JP2537154Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JP2537154Y2 JP2537154Y2 JP10879191U JP10879191U JP2537154Y2 JP 2537154 Y2 JP2537154 Y2 JP 2537154Y2 JP 10879191 U JP10879191 U JP 10879191U JP 10879191 U JP10879191 U JP 10879191U JP 2537154 Y2 JP2537154 Y2 JP 2537154Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window foil
- electron beam
- window
- cooling
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は電子線照射装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】電子線照射装置における走査管の端面に
設けた照射窓を、金属薄膜からなる窓箔によって密閉
し、電子線をこの窓箔を通して被照射体に照射するよう
にした構成はよく知られている。この場合窓箔に電子線
が通過することによってその窓箔の温度が上昇するの
で、これを冷却するために従来では冷却空気を吹き付け
るようにしている。
設けた照射窓を、金属薄膜からなる窓箔によって密閉
し、電子線をこの窓箔を通して被照射体に照射するよう
にした構成はよく知られている。この場合窓箔に電子線
が通過することによってその窓箔の温度が上昇するの
で、これを冷却するために従来では冷却空気を吹き付け
るようにしている。
【０００３】図３はその従来構成を示し、１は走査管、
２は照射窓、３はその窓箔で、その両側は、走査管１の
下部フランジ４と窓押えフランジ５によって金属シール
６を介して走査管１の端面に取り付けられてある。照射
時、走査管１内は真空となるので、窓箔３は走査管１内
に吸引される。したがって図に示すように、走査管１内
に向かって湾曲するようになる。７は窓箔３の側面に設
けられた冷却空気用のダクトで、ここから吹き出される
冷却空気は、湾曲している窓箔３の下面に沿って流れ、
その過程で窓箔３を冷却するようにしている。
２は照射窓、３はその窓箔で、その両側は、走査管１の
下部フランジ４と窓押えフランジ５によって金属シール
６を介して走査管１の端面に取り付けられてある。照射
時、走査管１内は真空となるので、窓箔３は走査管１内
に吸引される。したがって図に示すように、走査管１内
に向かって湾曲するようになる。７は窓箔３の側面に設
けられた冷却空気用のダクトで、ここから吹き出される
冷却空気は、湾曲している窓箔３の下面に沿って流れ、
その過程で窓箔３を冷却するようにしている。
【０００４】ところで５００〜１０００ｋＶ級の電子線
照射装置では、窓箔３の温度上昇は激しいので、これを
冷却するのに必要な冷却空気は、１分間当たり数１０立
方メートルに及ぶ多大の量を必要とする。そのため容量
の大きいブロワー、配管類が必要となる。
照射装置では、窓箔３の温度上昇は激しいので、これを
冷却するのに必要な冷却空気は、１分間当たり数１０立
方メートルに及ぶ多大の量を必要とする。そのため容量
の大きいブロワー、配管類が必要となる。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、窓箔を冷却
するための構成を簡略化することを目的とする。
するための構成を簡略化することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本考案は、窓箔と走査管
の下部フランジとの間に、底面を凹状面とし、側部に冷
却水用の通路を有し、かつ中央に多数の開口部を桟部に
よって仕切ってなる水冷グリッドを設け、また窓箔の側
面に、窓箔に吹き付けるための乾燥気体用のダクトを設
けたことを特徴とする。
の下部フランジとの間に、底面を凹状面とし、側部に冷
却水用の通路を有し、かつ中央に多数の開口部を桟部に
よって仕切ってなる水冷グリッドを設け、また窓箔の側
面に、窓箔に吹き付けるための乾燥気体用のダクトを設
けたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】水冷グリッドはその側部に設けた通路を流れる
冷却水によって冷却される。そのため電子線照射時、窓
箔が湾曲して水冷グリッドの底面、特にその桟の底面に
付着することによって冷却されるようになる。したがっ
て従来のような冷却空気の吹付に必要な構成を省略する
ことができる。
冷却水によって冷却される。そのため電子線照射時、窓
箔が湾曲して水冷グリッドの底面、特にその桟の底面に
付着することによって冷却されるようになる。したがっ
て従来のような冷却空気の吹付に必要な構成を省略する
ことができる。
【０００８】また窓箔の側面に設けたダクトから、乾燥
気体を窓箔の下面に向けて吹き付ける。これは窓箔への
塵類の付着、結露を防止するためのものである。したが
ってその量は僅かで足りる。なおこの乾燥気体の吹き付
けは、窓箔の補助冷却を兼ねてもよい。
気体を窓箔の下面に向けて吹き付ける。これは窓箔への
塵類の付着、結露を防止するためのものである。したが
ってその量は僅かで足りる。なおこの乾燥気体の吹き付
けは、窓箔の補助冷却を兼ねてもよい。
【０００９】
【実施例】本考案の実施例を図１によって説明する。な
お図３と同じ符号を付した部分は同一または対応する部
分を示す。本考案にしたがい、水冷グリッド８を窓箔３
とフランジ４との間に設ける。水冷グリッド８はフラン
ジ４に気密に取り付けられる。したがって金属シール６
は窓押さえフランジ５と水冷グリッド８との間に支持さ
れるようになる。
お図３と同じ符号を付した部分は同一または対応する部
分を示す。本考案にしたがい、水冷グリッド８を窓箔３
とフランジ４との間に設ける。水冷グリッド８はフラン
ジ４に気密に取り付けられる。したがって金属シール６
は窓押さえフランジ５と水冷グリッド８との間に支持さ
れるようになる。
【００１０】水冷グリッド８は図２に示すように、その
底面９を凹面状に湾曲してあり、湾曲する窓箔３がこの
底面９に添うようにしてある。また側部には冷却水が流
れる通路１０が設けてあり、冷却水源から供給される冷
却水がこの通路１０を流れるようにしてある。更に中央
に多数の開口部１１を桟部１２によって仕切って形成し
てある。
底面９を凹面状に湾曲してあり、湾曲する窓箔３がこの
底面９に添うようにしてある。また側部には冷却水が流
れる通路１０が設けてあり、冷却水源から供給される冷
却水がこの通路１０を流れるようにしてある。更に中央
に多数の開口部１１を桟部１２によって仕切って形成し
てある。
【００１１】１３は窓箔３の側面に設けられた、たとえ
ば乾燥空気、乾燥不活性ガス（たとえば乾燥窒素ガス）
のような乾燥気体用のダクトで、ここから送られてくる
乾燥気体は、窓箔３の下面に沿って流れるようにしてあ
る。
ば乾燥空気、乾燥不活性ガス（たとえば乾燥窒素ガス）
のような乾燥気体用のダクトで、ここから送られてくる
乾燥気体は、窓箔３の下面に沿って流れるようにしてあ
る。
【００１２】電子線の照射時、走査管１の内部は真空化
されるので、図に示すように窓箔３は走査管１の内部に
向かって湾曲する。この湾曲によって窓箔３は水冷グリ
ッド８の、湾曲している底面９、特に桟部１２の底面に
密着する。水冷グリッド８はその通路１０に流れる冷却
水によって冷却されているので、これに密着した窓箔３
は冷却されるようになる。
されるので、図に示すように窓箔３は走査管１の内部に
向かって湾曲する。この湾曲によって窓箔３は水冷グリ
ッド８の、湾曲している底面９、特に桟部１２の底面に
密着する。水冷グリッド８はその通路１０に流れる冷却
水によって冷却されているので、これに密着した窓箔３
は冷却されるようになる。
【００１３】電子線は水冷グリッド８の開口部１２を通
ってから、窓箔３を透過して外部に向かい、被照射体を
照射する。ダクト７から乾燥気体が窓箔３の下面に向か
って吹き付けられる。これによって窓箔３に塵類が付着
したり、結露するのを防止する。そのため従来のような
冷却空気の供給を止めてもなんらの支障は生じない。し
かも乾燥気体の供給量は僅かで足りる。この乾燥気体は
窓箔３を補助的に冷却するのに兼用させることもでき
る。
ってから、窓箔３を透過して外部に向かい、被照射体を
照射する。ダクト７から乾燥気体が窓箔３の下面に向か
って吹き付けられる。これによって窓箔３に塵類が付着
したり、結露するのを防止する。そのため従来のような
冷却空気の供給を止めてもなんらの支障は生じない。し
かも乾燥気体の供給量は僅かで足りる。この乾燥気体は
窓箔３を補助的に冷却するのに兼用させることもでき
る。
【００１４】また窓箔３は水冷グリッド８の底面に密着
しているので、万一窓箔３が破損するようなことがあっ
ても、水冷グリッド８に遮られることによって、これが
細片となったり、破片が走査管１の内部に吸引されてい
くようなことは回避される。
しているので、万一窓箔３が破損するようなことがあっ
ても、水冷グリッド８に遮られることによって、これが
細片となったり、破片が走査管１の内部に吸引されてい
くようなことは回避される。
【００１５】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、窓
箔を冷却するにあたり、水冷グリッドを利用するように
したので、従来のように多量の冷却空気の供給を必要と
しなくなり、それに伴い大容量のブロワー、配管類を省
略することができ、それだけ冷却構成の簡略化が図れる
し、更に乾燥気体の吹き付けによって窓箔への塵類の付
着、結露が回避され、また窓箔の破損時における細片の
発生、破片の走査管内への吸引が防止されるといった効
果を奏する。
箔を冷却するにあたり、水冷グリッドを利用するように
したので、従来のように多量の冷却空気の供給を必要と
しなくなり、それに伴い大容量のブロワー、配管類を省
略することができ、それだけ冷却構成の簡略化が図れる
し、更に乾燥気体の吹き付けによって窓箔への塵類の付
着、結露が回避され、また窓箔の破損時における細片の
発生、破片の走査管内への吸引が防止されるといった効
果を奏する。
【図１】本考案の実施例を示す断面図である。
【図２】水冷グリッドの斜視図である。
【図３】従来例の断面図である。
１ 走査管 ２ 照射窓 ３ 窓箔 ４ 走査管の下部フランジ ５ 窓押さえ用のフランジ ９ 底面 １０ 冷却水用の通路 １１ 開口部 １２ 桟部
Claims (1)
- 【請求項１】 走査管の端面に設けた照射窓の窓箔を通
して電子線を被照射体に照射する電子線照射装置におい
て、前記窓箔と前記走査管の下部フランジとの間に、底
面を凹状面とし、側部に冷却水用の通路を有し、かつ中
央に多数の開口部を桟部によって仕切ってなる水冷グリ
ッドを設け、前記窓箔の側面に、前記窓箔に吹き付ける
ための乾燥気体用のダクトを設けてなる電子線照射装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10879191U JP2537154Y2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10879191U JP2537154Y2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0539640U JPH0539640U (ja) | 1993-05-28 |
| JP2537154Y2 true JP2537154Y2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=14493575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10879191U Expired - Lifetime JP2537154Y2 (ja) | 1991-10-30 | 1991-10-30 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2537154Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08164322A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Japan Atom Energy Res Inst | 電子ビーム照射設備における反応器側の窓箔の冷却方法 |
| CN113692103B (zh) * | 2020-05-19 | 2023-12-08 | 四川智研科技有限公司 | 引出窗支撑结构及其应用方法 |
-
1991
- 1991-10-30 JP JP10879191U patent/JP2537154Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0539640U (ja) | 1993-05-28 |
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