JPH0794137A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPH0794137A JPH0794137A JP5267704A JP26770493A JPH0794137A JP H0794137 A JPH0794137 A JP H0794137A JP 5267704 A JP5267704 A JP 5267704A JP 26770493 A JP26770493 A JP 26770493A JP H0794137 A JPH0794137 A JP H0794137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling air
- window
- foil
- window foil
- irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ２連窓構造の照射窓に備えられた窓箔に吹き
付ける冷却風が下向きに流れないようにし、被照射物に
対する吹付を回避する。 【構成】 補強桟９によって中央が支持されている窓箔
３の中央下部に冷却風ダクト１１を設ける。この冷却風
ダクトよりその両側に向けて窓箔の下面に沿って冷却風
を吹き付ける。窓箔の中央からその両側に向かって冷却
風が流れることにより、窓箔の下面は冷却されるととも
に、窓箔の下面を通過した冷却風は照射窓の両側より抜
けて出るようになる。そのため冷却風が被照射体に向か
って吹き当たるようなことはなくなる。
付ける冷却風が下向きに流れないようにし、被照射物に
対する吹付を回避する。 【構成】 補強桟９によって中央が支持されている窓箔
３の中央下部に冷却風ダクト１１を設ける。この冷却風
ダクトよりその両側に向けて窓箔の下面に沿って冷却風
を吹き付ける。窓箔の中央からその両側に向かって冷却
風が流れることにより、窓箔の下面は冷却されるととも
に、窓箔の下面を通過した冷却風は照射窓の両側より抜
けて出るようになる。そのため冷却風が被照射体に向か
って吹き当たるようなことはなくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子線照射装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】周知のようにこの種電子線照射装置は、
加速管によって加速された電子線を走査管によって走査
して被照射物に照射する構成とされてあり、走査管には
電子線の取り出し部として照射窓を設置し、この照射窓
は金属性の窓箔によって閉塞されている。そしてこの窓
箔には圧縮空気を吹き付けることによる冷却風により冷
却するようにしている。
加速管によって加速された電子線を走査管によって走査
して被照射物に照射する構成とされてあり、走査管には
電子線の取り出し部として照射窓を設置し、この照射窓
は金属性の窓箔によって閉塞されている。そしてこの窓
箔には圧縮空気を吹き付けることによる冷却風により冷
却するようにしている。
【０００３】図３はその従来構成を示し、１は走査管、
２は照射窓、３は窓箔で、走査管１の下部フランジ４と
窓押えフランジ５とによってはさみこまれてあり、金属
シール６によりシールされている。電子線通過にともな
って生ずる窓箔３の発熱に対しては、圧縮空気ダクト７
からの冷却風をノズル８より窓箔３に吹き付けることに
より冷却する。
２は照射窓、３は窓箔で、走査管１の下部フランジ４と
窓押えフランジ５とによってはさみこまれてあり、金属
シール６によりシールされている。電子線通過にともな
って生ずる窓箔３の発熱に対しては、圧縮空気ダクト７
からの冷却風をノズル８より窓箔３に吹き付けることに
より冷却する。
【０００４】ところでこのような構成の照射窓による
と、電子流約１００ｍＡが発生しているとき、窓箔３の
温度は三百十数度に上昇し、これ以上電流密度を上げる
ことは困難である。そこで窓箔３の電流密度を上げるた
めに、走査管１の下面中央に補強桟９を設け、窓箔３の
中央上面をこの補強桟９によって支持することにより２
連窓構造とし、窓箔３の両側から圧縮空気ダクト７、ノ
ズル８より冷却風を吹き付けるようにしている。
と、電子流約１００ｍＡが発生しているとき、窓箔３の
温度は三百十数度に上昇し、これ以上電流密度を上げる
ことは困難である。そこで窓箔３の電流密度を上げるた
めに、走査管１の下面中央に補強桟９を設け、窓箔３の
中央上面をこの補強桟９によって支持することにより２
連窓構造とし、窓箔３の両側から圧縮空気ダクト７、ノ
ズル８より冷却風を吹き付けるようにしている。
【０００５】しかしこのように窓箔３の両側から冷却風
を吹き付けると、その冷却風１０は中央で互いに干渉し
合い、下方に向かって流れるようになり、そのため照射
窓２の下方にある被照射物に吹き付けるようになる。こ
の下方に向かう冷却風により被照射物がシート状のもの
であるときは、その被照射物がばたついたり、また強度
の弱いものは破れてしまうことがある。更にメッシュ、
スラット、コンベアなどで搬送される被照射物では巻き
上がってしまうことがある。
を吹き付けると、その冷却風１０は中央で互いに干渉し
合い、下方に向かって流れるようになり、そのため照射
窓２の下方にある被照射物に吹き付けるようになる。こ
の下方に向かう冷却風により被照射物がシート状のもの
であるときは、その被照射物がばたついたり、また強度
の弱いものは破れてしまうことがある。更にメッシュ、
スラット、コンベアなどで搬送される被照射物では巻き
上がってしまうことがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、２連窓構造
の照射窓において、冷却風の下向きの流れをなくすこと
によって、被照射物に対する吹付を回避することを目的
とする。
の照射窓において、冷却風の下向きの流れをなくすこと
によって、被照射物に対する吹付を回避することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、補強桟によっ
て中央が支持されている窓箔の中央下部に冷却風ダクト
を設け、この冷却風ダクトよりその両側に向けて窓箔の
下面に沿って冷却風を吹き付けるようにしたことを特徴
とする。
て中央が支持されている窓箔の中央下部に冷却風ダクト
を設け、この冷却風ダクトよりその両側に向けて窓箔の
下面に沿って冷却風を吹き付けるようにしたことを特徴
とする。
【０００８】
【作用】窓箔の中央からその両側に向かって冷却風が流
れることにより、窓箔の下面は冷却されるとともに、窓
箔の下面を通過した冷却風は照射窓の両側より抜けて出
るようになる。そのため冷却風が被照射体に向かって吹
き当たることはない。
れることにより、窓箔の下面は冷却されるとともに、窓
箔の下面を通過した冷却風は照射窓の両側より抜けて出
るようになる。そのため冷却風が被照射体に向かって吹
き当たることはない。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図１によって説明する。な
お図３と同じ符号を付した部分は同一または対応する部
分を示す。本発明にしたがい、窓箔３の中央下部に冷却
風ダクト１１を設ける。この冷却風ダクト１１として
は、たとえば図２に示すように、樋状のダクト本体１２
と、その開口面を覆う蓋体１３とによって構成し、ダク
ト本体１２と蓋体１３との間の隙間１４をノズルとして
利用する。ダクト本体１２の一方の端面を閉塞し、他方
の端面より圧縮空気を供給すれば、ダクト本体１２の両
側の隙間１４より圧縮空気が吹きでるようになる。この
圧縮空気が冷却風１０となって窓箔３に吹き付けられる
ようになる。
お図３と同じ符号を付した部分は同一または対応する部
分を示す。本発明にしたがい、窓箔３の中央下部に冷却
風ダクト１１を設ける。この冷却風ダクト１１として
は、たとえば図２に示すように、樋状のダクト本体１２
と、その開口面を覆う蓋体１３とによって構成し、ダク
ト本体１２と蓋体１３との間の隙間１４をノズルとして
利用する。ダクト本体１２の一方の端面を閉塞し、他方
の端面より圧縮空気を供給すれば、ダクト本体１２の両
側の隙間１４より圧縮空気が吹きでるようになる。この
圧縮空気が冷却風１０となって窓箔３に吹き付けられる
ようになる。
【００１０】このようにして窓箔３の中央からその両側
に向かって冷却風が吹き付けられ、その冷却風は窓箔３
の下面に沿って流れることにより窓箔３は冷却される。
窓箔３の下面を通過した冷却風１０はそのまま照射窓２
の両側より抜けて出るようになる。そのため冷却風１０
は照射窓２の下方にある被照射物に吹き当たるようなこ
とはない。
に向かって冷却風が吹き付けられ、その冷却風は窓箔３
の下面に沿って流れることにより窓箔３は冷却される。
窓箔３の下面を通過した冷却風１０はそのまま照射窓２
の両側より抜けて出るようになる。そのため冷却風１０
は照射窓２の下方にある被照射物に吹き当たるようなこ
とはない。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、２
連構造の窓箔の中央からその両側に向かって冷却風を窓
箔に向けて吹き付けるようにしたので、従来のように冷
却風が中央において干渉して下向きに流れるようなこと
はなくなり、これによって被照射物に対する冷却風の吹
き当たりを防止することができる効果を奏する。
連構造の窓箔の中央からその両側に向かって冷却風を窓
箔に向けて吹き付けるようにしたので、従来のように冷
却風が中央において干渉して下向きに流れるようなこと
はなくなり、これによって被照射物に対する冷却風の吹
き当たりを防止することができる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】冷却ダクトの部分斜視図である。
【図３】従来例の断面図である。
１ 走査管 ２ 照射窓 ３ 窓箔 ９ 補強桟 １１ 冷却風ダクト
Claims (1)
- 【請求項１】 走査管の電子線の取り出し部である照射
窓に設けられた窓箔の中央上面を補強桟によって支持す
るとともに、前記窓箔の中央下部に冷却風ダクトを設
け、前記冷却風ダクトよりその両側に向けて前記窓箔の
下面に沿って冷却風を吹き付けてなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5267704A JPH0794137A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5267704A JPH0794137A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0794137A true JPH0794137A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=17448391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5267704A Pending JPH0794137A (ja) | 1993-09-20 | 1993-09-20 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0794137A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0769890A1 (en) * | 1995-10-17 | 1997-04-23 | Ebara Corporation | Method and apparatus for cooling window foils of electron beam accelerator |
| US10602826B2 (en) | 2015-05-22 | 2020-03-31 | Dyson Technology Limited | Hand held appliance |
-
1993
- 1993-09-20 JP JP5267704A patent/JPH0794137A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0769890A1 (en) * | 1995-10-17 | 1997-04-23 | Ebara Corporation | Method and apparatus for cooling window foils of electron beam accelerator |
| US5877582A (en) * | 1995-10-17 | 1999-03-02 | Ebara Corporation | Method and apparatus for cooling window foils of electron beam accelerator |
| US10602826B2 (en) | 2015-05-22 | 2020-03-31 | Dyson Technology Limited | Hand held appliance |
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