JP2589535Y2 - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JP2589535Y2 JP2589535Y2 JP1993041524U JP4152493U JP2589535Y2 JP 2589535 Y2 JP2589535 Y2 JP 2589535Y2 JP 1993041524 U JP1993041524 U JP 1993041524U JP 4152493 U JP4152493 U JP 4152493U JP 2589535 Y2 JP2589535 Y2 JP 2589535Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- irradiation
- inert gas
- electron beam
- flange
- beam irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は電子線照射装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】電子線を照射して被照射物の表面に塗布
された塗料を硬化させる場合、その照射領域の酸素を不
活性ガスで置換することが必要である。そのため従来で
は電子線照射装置の照射室の内部に不活性ガスを吹き出
すノズルを配置し、これからの不活性ガスにより照射室
内の酸素を置換するようにしている。
された塗料を硬化させる場合、その照射領域の酸素を不
活性ガスで置換することが必要である。そのため従来で
は電子線照射装置の照射室の内部に不活性ガスを吹き出
すノズルを配置し、これからの不活性ガスにより照射室
内の酸素を置換するようにしている。
【０００３】図３はその従来構成を示し、１は真空チャ
ンバ、２はその内部に配置されたフィラメント部、３は
真空チャンバ１の開口部、４は開口部３のフランジ、５
は照射窓、６は照射窓５に設けられている箔、７は箔６
を照射窓５に固定するように抑えつけるためのフラン
ジ、８は照射室である。
ンバ、２はその内部に配置されたフィラメント部、３は
真空チャンバ１の開口部、４は開口部３のフランジ、５
は照射窓、６は照射窓５に設けられている箔、７は箔６
を照射窓５に固定するように抑えつけるためのフラン
ジ、８は照射室である。
【０００４】フィラメント部２からの電子線は、開口部
３、照射窓５および箔６を通って照射室８に放出され
る。被照射物９は照射室８内にあり、放出された電子線
がこの被照射物を照射する。１０は被照射物９を搬送す
るコンベアである。照射室８内を不活性ガス雰囲気とす
るために、照射室８の内部に不活性ガス（たとえば窒素
ガス）を吹き出すノズル１１を配置し、これからの不活
性ガスで酸素と置換するようにしている。
３、照射窓５および箔６を通って照射室８に放出され
る。被照射物９は照射室８内にあり、放出された電子線
がこの被照射物を照射する。１０は被照射物９を搬送す
るコンベアである。照射室８内を不活性ガス雰囲気とす
るために、照射室８の内部に不活性ガス（たとえば窒素
ガス）を吹き出すノズル１１を配置し、これからの不活
性ガスで酸素と置換するようにしている。
【０００５】しかし被照射物９の外形が大きいような場
合、あるいは被照射物が立体的な構造物であることによ
り、電子線照射装置をロボットアームで移動させながら
電子線を照射するような場合、照射室８として、これら
の被照射物が収納でき、あるいは電子線照射装置が充分
に移動できる程度の広さが必要となる。
合、あるいは被照射物が立体的な構造物であることによ
り、電子線照射装置をロボットアームで移動させながら
電子線を照射するような場合、照射室８として、これら
の被照射物が収納でき、あるいは電子線照射装置が充分
に移動できる程度の広さが必要となる。
【０００６】このように照射室８が広くなると、初期の
不活性ガスの置換に長時間を要するようになるし、また
不活性ガスも多量に必要となる。更に電子線照射過程に
おける低酸素濃度を保つためにも多量の不活性ガスが必
要となる。そのためランニングコストが高くつく欠点が
ある。
不活性ガスの置換に長時間を要するようになるし、また
不活性ガスも多量に必要となる。更に電子線照射過程に
おける低酸素濃度を保つためにも多量の不活性ガスが必
要となる。そのためランニングコストが高くつく欠点が
ある。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、被照射物に
電子線を照射するにあたり、酸素を置換するために必要
な不活性ガスの使用量の減少を可能とし、ランニングコ
スト低減を図ることを目的とする。
電子線を照射するにあたり、酸素を置換するために必要
な不活性ガスの使用量の減少を可能とし、ランニングコ
スト低減を図ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本考案は、照射窓に取り
付けられる箔を固定するためのフランジの内部に、不活
性ガスが供給される流通路を形成し、この流通路に、照
射領域に向かって開口する吹出口を設けたことを特徴と
する。
付けられる箔を固定するためのフランジの内部に、不活
性ガスが供給される流通路を形成し、この流通路に、照
射領域に向かって開口する吹出口を設けたことを特徴と
する。
【０００９】
【作用】流通路に不活性ガスを供給すると、流通路に設
けた吹出口から照射領域に向かって不活性ガスが吹き出
す。この不活性ガスにより照射領域にある被照射物の周
辺が局部的に不活性ガスと置換される。これにより照射
室全体を不活性ガスにより置換する必要はなくなり、不
活性ガスの使用量は少なくてすむし、またこの置換に要
する時間も短くてすむようになる。
けた吹出口から照射領域に向かって不活性ガスが吹き出
す。この不活性ガスにより照射領域にある被照射物の周
辺が局部的に不活性ガスと置換される。これにより照射
室全体を不活性ガスにより置換する必要はなくなり、不
活性ガスの使用量は少なくてすむし、またこの置換に要
する時間も短くてすむようになる。
【００１０】
【実施例】本考案の実施例を図１、図２によって説明す
る。なお図３と同じ符号を付した部分は、同一または対
応する部分を示す。本考案にしたがい、箔６を照射窓５
に固定するためのフランジ７の内部に、不活性ガスが供
給される流通路１２を設ける。フランジ７は照射窓５に
その周囲に沿って設けられているので、流通路１２も照
射窓５の周囲に沿って設けられる。そして図示しない供
給口から不活性ガスが供給されるようにしてある。
る。なお図３と同じ符号を付した部分は、同一または対
応する部分を示す。本考案にしたがい、箔６を照射窓５
に固定するためのフランジ７の内部に、不活性ガスが供
給される流通路１２を設ける。フランジ７は照射窓５に
その周囲に沿って設けられているので、流通路１２も照
射窓５の周囲に沿って設けられる。そして図示しない供
給口から不活性ガスが供給されるようにしてある。
【００１１】流通路１２には、照射領域に向かって、す
なわち図の例では照射窓５の下方に向かって開口する吹
出口１３が、流通路１２の延長方向に沿って多数形成さ
れてある。また必要によりフランジ７の周囲から被照射
物９の近辺にまで延長するカバー１４を設ける。１５は
フランジ７を照射窓５に固定するためのボルト、１６は
その固定個所をシールするＯリングである。
なわち図の例では照射窓５の下方に向かって開口する吹
出口１３が、流通路１２の延長方向に沿って多数形成さ
れてある。また必要によりフランジ７の周囲から被照射
物９の近辺にまで延長するカバー１４を設ける。１５は
フランジ７を照射窓５に固定するためのボルト、１６は
その固定個所をシールするＯリングである。
【００１２】以上の構成において、流通路１２に不活性
ガスを供給すると、その不活性ガスは吹出口１３より下
方に向かって吹き出される。照射窓５の下方には被照射
物９が存在しているので、被照射物９の周辺は吹き出さ
れた不活性ガスにより、局部的に置換されるようにな
る。カバー１４が設けてある場合は、この置換は効率よ
く行なわれる。
ガスを供給すると、その不活性ガスは吹出口１３より下
方に向かって吹き出される。照射窓５の下方には被照射
物９が存在しているので、被照射物９の周辺は吹き出さ
れた不活性ガスにより、局部的に置換されるようにな
る。カバー１４が設けてある場合は、この置換は効率よ
く行なわれる。
【００１３】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、照
射窓に箔を取り付けるためのフランジに不活性ガスが供
給される流通路を設け、この流通路に照射領域に向かっ
て開口する吹出口を設けて、この吹出口より不活性ガス
を吹き出すようにしたので、照射領域にある被照射物の
周辺はこの不活性ガスにより置換されるようになり、そ
のため初期並びに運転時における置換に必要な不活性ガ
スの量は、照射室全体を置換するのに必要な量に較べて
少なくてすむし、また置換に要する時間も短縮できると
いった効果を奏する。
射窓に箔を取り付けるためのフランジに不活性ガスが供
給される流通路を設け、この流通路に照射領域に向かっ
て開口する吹出口を設けて、この吹出口より不活性ガス
を吹き出すようにしたので、照射領域にある被照射物の
周辺はこの不活性ガスにより置換されるようになり、そ
のため初期並びに運転時における置換に必要な不活性ガ
スの量は、照射室全体を置換するのに必要な量に較べて
少なくてすむし、また置換に要する時間も短縮できると
いった効果を奏する。
【図１】本考案の実施例を示す断面図である。
【図２】図１の一部の拡大断面図である。
【図３】従来例の断面図である。
５ 照射窓 ６ 箔 ７ フランジ ８ 照射室 ９ 被照射物 １２ 流通路 １３ 吹出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−41799（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−122440（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−178363（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−127597（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−8699（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/30 G21K 5/04
Claims (1)
- 【請求項１】 照射窓にフランジによって取り付けた箔
を介して電子線を外部の照射室に放出するようにした電
子線照射装置において、前記フランジの内部に、不活性
ガスが供給される流通路を設けるとともに、前記流通路
に、照射領域に向かって開口する吹出口を設けてなる電
子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993041524U JP2589535Y2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993041524U JP2589535Y2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075248U JPH075248U (ja) | 1995-01-24 |
| JP2589535Y2 true JP2589535Y2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=12610785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993041524U Expired - Lifetime JP2589535Y2 (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2589535Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-06-17 JP JP1993041524U patent/JP2589535Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH075248U (ja) | 1995-01-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081120 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081120 Year of fee payment: 10 |