JP3211438B2 - 電子線照射装置用排気装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば電子線照射装置
内で発生するオゾンを屋外に排出したり、オゾン処理装
置へ送り込んだりするための電子線照射装置用排気装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より電子線照射装置の電子線照射処
理を行う照射部内は、通常、窒素ガス等の不活性ガスに
よって置換され、これにより被照射物への酸素による影
響を少なくしている。しかし、例えばラミネート処理等
のように、照射部内の窒素ガスによる不活性化を必要と
しない場合がある。このような場合には窒素ガスを節約
するためにも不活性化を行わずに大気雰囲気中で被照射
物に対して電子線を照射している。

【０００３】図４は従来の排気装置を有する電子線照射
装置の概略図である。図４において、４０は電子線を発
生する電子線発生部、３０は被照射物Ａに電子線を照射
する照射部３１を有する搬送路である。尚、３２は被照
射物Ａの搬入口、３３は搬出口である。電子線発生部４
０は搬送路３０の略中央上部に設けられ、窓部４１から
電子線を放射して、窓部４１下の照射部３１を通過する
被照射物Ａに電子線を照射する。窓部４１は電子線発生
部４０の真空雰囲気と搬送路３０内の雰囲気とを仕切る
ものであるので、窓部４１には機械的な強度が強く、し
かも電子線の透過率のよいチタン箔を用いている。

【０００４】搬送路３０には、通常、窒素ガスを供給す
る搬入口側供給部３４，３５及び冷却用供給部３６など
が設けられている。搬入口側供給部３４は搬入口３２か
らの外気の流入を防止する窒素カーテンを造ると同時
に、搬入口側供給部３５と共に搬送路３０内に窒素ガス
を供給するためのものである。冷却用供給部３６は電子
線が貫通する窓部４１を冷却すると共に、搬送路３０内
に窒素ガスを供給するためのものである。尚、電子線発
生部４０と搬送路３０とは電子線照射の際に発生するＸ
線が外部に漏出しないように鉛遮蔽が施されている。

【０００５】上記の装置において窒素ガスを使用しない
で大気雰囲気中で電子線を照射する場合には、窓箔冷却
の為に冷却用供給部３６から空気を吹きつけている。大
気雰囲気中で搬入口３２から搬送路３０内に搬送された
ウェブ状の被照射物Ａが窓部４１下の照射部３１を通過
するときに被照射物Ａに電子線が照射される。このとき
照射部３１で大量のオゾンが発生する。この大量に発生
したオゾンはファン５２によって排気ダクト５０から屋
外へ排出される。尚、電子線照射を完了した被照射物Ａ
は搬出口３３より、外部に搬送される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の電子
線照射装置では、大量に発生したオゾンの濃度が高い
と、不図示のオゾン処理装置で、所定の基準値以下の濃
度に下げることができないという問題があった。また、
従来の電子線照射装置では、被照射物を搬入する搬入口
からオゾンが外部に流出する虞があり、更に、被照射物
Ａがウェブ状である場合、被照射物の表面層で発生した
オゾンがそのまま被照射物Ａと共に搬出口から電子線照
射装置の外部に流出し、工場や研究所等の屋内に流れ込
んでしまうという問題があった。

【０００７】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、外部に流出するオゾンの量を低減することがで
き、しかも外部に排出するオゾンの濃度を低下すること
ができる電子線照射装置用排気装置を提供することを目
的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに請求項１記載の発明に係る電子線照射装置用排気装
置は、被照射物の搬入口を覆うように設けられ、外部空
気を取り入れる下部に形成された吸気口と、前記搬入口
から流出するオゾンを前記吸気口から吸引された外部空
気とともに排出する上部に形成された排気口とを有する
入口用排出路と、被照射物の搬出口を覆うように設けら
れ、外部空気を取り入れる下部に形成された吸気口と、
前記搬出口から流出するオゾンを前記吸気口から吸引さ
れた外部空気とともに排出する上部に形成された排気口
とを有する出口用排出路と、前記入口用排出路及び前記
出口用排出路内の空気及びオゾンを排気する排気手段
と、を具備することを特徴とするものである。

【０００９】請求項２記載の発明に係る電子線照射装置
用排気装置は、前記被照射物はウェブ状のものであり、
前記出口用排出路には、前記被照射物が搬出される排出
路用搬出口が形成され、前記排出路用搬出口の近傍の上
方に前記ウェブ状の被照射物の表面上に付着したオゾン
を取り払うための空気を噴出する空気噴出装置が設けら
れていることを特徴とするものである。

【００１０】請求項３記載の発明に係る電子線照射装置
用排気装置は、前記入口用排出路の前記吸気口と前記排
気口との中間、及び前記出口用排出路の前記吸気口と前
記排気口との中間に風量を調整するための風量調整機構
が設けられていることを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】以下に、本発明の作用について説明する。請求
項１記載の発明は前記の構成によって、排気手段により
入口用排出路及び出口用排出路を介して強制的に搬入口
及び排出口から流出するオゾンを吸引するので、外部に
流出するオゾンの量を低減することができ、また吸気口
から外部空気を取り入れ、取り入れた空気と共にオゾン
を排出するので、排出口から排出するオゾン濃度を低減
することができる。

【００１２】請求項２記載の発明は前記の構成によって
いるので、空気噴出装置によりウェブ状の被照射物の表
面上に付着したオゾンを取り払うことができる。

【００１３】

【実施例】以下に本発明の一実施例を図１乃至図３を参
照して説明する。図１は本発明の一実施例である電子線
照射装置用排気装置の入口用排出路と出口用排出路の概
略図、図２は本実施例装置の出口用排出路の側面図、図
３は本実施例装置を電子線照射装置に取り付けたときの
概略全体図である。尚、図１乃至図３に示す本実施例に
おいて、図４に示すものと同一の機能を有するものに
は、同一の符号を付することにより、その詳細な説明を
省略する。

【００１４】本実施例の電子線照射装置用排気装置は、
入口用排出路２と、出口用排出路１２と、空気噴出装置
２０と、排気手段２８とを含んで構成される。図３に示
すように、入口用排出路２は搬送路３０の搬入口３２を
覆うように電子線照射装置に取り付けられ、出口用排出
路１２は搬送路３０の搬出口３３を覆うように電子線照
射装置に取り付けられている。

【００１５】出口用排出路１２は、外部空気を取り入れ
る吸気口１４と、空気とともにオゾンを排出する排出口
１６と、円筒形状の排出管１７と、被照射物Ａを外部に
搬出する排出路用搬出口１２ａとを含んで構成される。

【００１６】搬出口３３近傍の出口用排出路１２のヨコ
巾（図３のＡ寸法）は、照射部３１で大量に発生したオ
ゾンが搬出口３３から外部に流出するのを防止するため
に搬出口３３の巾より十分大きく形成されている。ま
た、搬出口３３側から外部に流出するオゾンの量は、搬
入口３２側から外部に流出するオゾンの量よりも多いの
で、出口用排出路１２は入口用排出路２に比べてより多
くの空気を吸い込む必要がある。したがって、出口用排
出路１２の奥行（図３のＢ寸法）は入口用排出路２の奥
行に比べて大きく形成されている。

【００１７】また、吸気口１４から取り入れた空気と、
搬出口３３から出口用排出路１２に流れ出たオゾンとを
出口用排出路１２上部に形成された円筒形の排気管１７
へ効率よく排気するために、吸気口１４から排気管１７
下端までの出口用排出路は略山形状に形成されている。
排気管１７の内部には出口用排出路１２に吸引される外
部空気及びオゾンの量を調整するための風量調整機構１
８を設けている。

【００１８】出口用排出路１２に設けられた空気噴出装
置２０は、空気を被照射物の表面に噴射するノズルを有
する空気吹き出し部２１と、空気吹き出し部２１に空気
を送り出す空気送風管２２と、送風機２３とを有する。
空気吹き出し部２１の長さはウェブ状の被照射物Ａの表
面層で発生したオゾンがそのまま被照射物と共に外部に
流れ出すのを防止するため被照射物の巾よりも十分長く
してある。さらに、空気吹き出し口２１により吹き出す
空気の向きは、空気を被照射物Ａの表面に向けて吹き付
けることにより被照射物の表面層で発生したオゾンをは
ぎ取るために、ウェブに対して略１３５度に傾けられて
いる。送風機２３は空気送風管２２を介して空気吹き出
し部２１に空気を送り込み、ノズルから空気を噴出させ
る。

【００１９】入口用排出路２は、空気吹き出し部２１と
空気送風管２２とが設けられていないが、この点を除け
ば、出口用排出路１２とほぼ同様である。入口用排出路
２は、外部空気を取り入れる吸気口４と、空気とともに
オゾンを排出する排出口６と、円筒形状の排出管７と、
外部から被照射物Ａを搬入する排出路用搬入口２ａとを
含んで構成される。

【００２０】入口用排出路２の搬入口３２近傍の横巾
は、出口排出路１２と同様に、照射部３１で大量に発生
したオゾンが搬入口３２から外部に流出するのを防止す
るために搬入口３２の巾より十分大きなものとする。ま
た、出口用排出路１２と同様に、吸気口４から排気管７
下端までの入口用排出路２は山形状に形成されている。
更に、入口用排出路２にも、出口用排出路１２と同様に
風量調整機構８が設けられている。

【００２１】排気手段２８は、通路２６を介して、入口
用排出路２及び出口用排出路１２内の空気及びオゾンを
電子線照射装置の外部又は図示しないオゾン処理装置に
排出する。なお、出口用排出路１２及び入口用排出路２
の電子線照射装置への取り付けは、両者の取り付け部か
ら外部へオゾンガスが流出しないように密閉性を考慮し
てボルトにて固定される。

【００２２】次に、本実施例装置の動作を説明する。準
備段階の動作として、まず排気手段２８を駆動し、搬入
口３２側および搬出口３３側の各排出路２，１２の吸気
口４，１４から外部空気を取り入れる。外部空気の取り
入れ量は排気管７，１７に設けられている風量調整機構
８，１８により調整することができる。これにより、照
射部３１で発生するオゾンに対応してオゾン処理装置
（不図示）に排出されるオゾンの濃度をそのオゾン処理
装置で処理できる程度にまで空気により薄めるよう調整
することができる。また、送風機２３を駆動して空気吹
き出し口２４のノズルから出口用排出路１２内に空気を
噴出する。

【００２３】次に、被照射物を搬入口３２から電子線照
射装置の照射室３１内に搬送し、被照射物Ａが窓部４１
下の照射部３１を通過するときに電子線を照射する。こ
のとき照射部３１で大量のオゾンが発生する。照射部３
１で発生した大量のオゾンは被照射物の搬入口３２及び
搬出口３３に流れていく。

【００２４】搬入口３２及び搬出口３３に流れて来たオ
ゾンは搬入口３２側に設けた入口用搬出路２と、搬出口
３３側に設けた出口用排出路１２により吸引され、同じ
く両排出路２，１２により吸引された外部からの空気と
ともに排気口６，１６から排出される。このときに排出
されるオゾンの濃度は、風量調整機構８，１８により調
整され、図示しないオゾン処理装置で処理できる程度に
まで薄められる。

【００２５】また、ウェブ状の被照射物の表面で発生し
たオゾンがそのまま被照射物と共に外部に流出するのを
防止するため空気吹き出し口２１のノズルから空気をウ
ェブの表面に吹き付けて被照射物Ａの表面に付着したオ
ゾンを剥がして出口用排出路１２に吹き戻す。なお、排
気手段２８により、搬入口側および搬出口側の各排出路
２，１２から排出される空気とオゾンは、通路２６を介
して、オゾンの濃度が低ければ、そのまま屋外へ排出さ
れる。また、オゾンの濃度が所定の基準値よりも高い場
合には、オゾン処理装置（不図示）等に送られ、ここで
所定のオゾン濃度にまで下げた後、外部に排出される。

【００２６】被照射物への電子線照射処理が全て完了
し、被照射物が搬出口３３から搬出された後に電子線照
射装置の駆動を停止する。その後に送風機２３の駆動を
停止する。なお、照射部３１で発生したオゾンは電子線
照射装置の駆動を停止しても電子線照射装置の内部に残
っているので、排気手段２８は電子線照射装置の駆動を
停止した後も、しばらくの間は駆動する。排気管７，１
７又は通路２６等に取り付けられた検知器等（不図示）
により、各排出路２，１２にオゾンが残っていないこと
を確認した後に排気手段２８の駆動を停止する。

【００２７】上記の本実施例によれば、既存の電子線照
射装置の被照射物の搬入口側と搬出口側に各排出路を取
り付けることにより、電子線照射処理により発生したオ
ゾンを外部から取り入れた空気とともに外部に排出する
ので、外部に排出するオゾンの濃度を低下することがで
きる。また、本実施例によれば、出口用排出路に空気噴
出装置を設けたことにより被照射物の表面に付着したオ
ゾンが被照射物とともに外部に排出されるのを防止する
ことができ、さらに搬出口側だけでなく、搬入口側にも
入口用排出路を設けたことにより、外部に流出するオゾ
ンの量を低減することができる。

【００２８】尚、本発明は、上記の実施例に限定される
ものではなく、その要旨の範囲内において種々の変形が
可能である。たとえば、上記の実施例では、排気手段１
つで各排出路の空気及びオゾンを排出する場合について
説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、
排気手段を各排出路毎に設けることも可能である。ま
た、上記の実施例では、風量調整機構や空気噴出装置を
設けた場合について説明したが、これらは省略すること
も可能である。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように請求項１記載の発明
によれば、上記の構成としたことにより、従来の装置に
比べて外部に流出するオゾンの量を低減することができ
るとともに、発生したオゾンを外部から取り入れた空気
とともに外部に排出するので、外部に排出するオゾンの
濃度を低下することができる電子線照射装置用排気装置
を提供することができる。

【００３０】請求項２記載の発明によれば、上記の効果
に加えて、空気噴出装置を設けたことにより、外部に流
出するオゾンの量を低減することができる電子線照射装
置用排気装置を提供することができる。

【００３１】請求項３記載の発明によれば、上記の効果
に加えて、風量調整機構を設けたことにより、排出する
オゾンの濃度を調整することができる電子線照射装置用
排気装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である電子線照射装置用排気
装置の概略図である。

【図２】本実施例装置の出口用排出路の側面図である。

【図３】本実施例装置を電子線照射装置に取り付けたと
きの概略全体図である。

【図４】従来の排気装置を有する電子線照射装置の概略
図である。

【符号の説明】

２ 入口用排出路 ２ａ 排出路用搬入口 ４ 入口用排出路の吸気口 ６ 入口用排出路の排気口 ７ 入口用排出路の排出管 ８ 入口用排出路に設けられた風量調整機構 １２ 出口用排出路 １２ａ 排出路用搬出口 １４ 出口用排出路の吸気口 １６ 出口用排出路の排気口 １７ 出口用排出路の排出管 １８ 出口用排出路に設けられた風量調整機構 ２０ 空気噴出装置 ２１ 空気吹き出し口 ２３ 送風機 ２６ 通路 ２８ 排気手段 ３０ 搬送路 ４０ 電子線発生部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G21K 5/00

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被照射物の搬入口を覆うように設けら
   れ、外部空気を取り入れる下部に形成された吸気口と、
   前記搬入口から流出するオゾンを前記吸気口から吸引さ
   れた外部空気とともに排出する上部に形成された排気口
   とを有する入口用排出路と、 被照射物の搬出口を覆うように設けられ、外部空気を取
   り入れる下部に形成された吸気口と、前記搬出口から流
   出するオゾンを前記吸気口から吸引された外部空気とと
   もに排出する上部に形成された排気口とを有する出口用
   排出路と、 前記入口用排出路及び前記出口用排出路内の空気及びオ
   ゾンを排気する排気手段と、 を具備することを特徴とする電子線照射装置用排気装
   置。
2. 【請求項２】 前記被照射物はウェブ状のものであり、
   前記出口用排出路に、前記被照射物が搬出される排出路
   用搬出口が形成され、前記排出路用搬出口の近傍の上方
   に前記被照射物の表面上に付着したオゾンを取り払うた
   めの空気を噴出する空気噴出装置が設けられていること
   を特徴とする請求項１記載の電子線照射装置用排気装
   置。
3. 【請求項３】 前記入口用排出路と前記出口用排出路に
   は前記吸気口と前記排気口との間に風量を調整するため
   の風量調整機構が設けられていることを特徴とする請求
   項１又は２記載の電子線照射装置用排気装置。