JP7267216B2 - 露光装置 - Google Patents

Description

本発明は、露光装置に関する。

近年、半導体基板に描画されるパターンは、微細化、かつ、複雑化している。そのため、マスクブランクスに回路パターンを描画するための露光装置では、アクチュエーターなどで発生する微細なパーティクルであっても、マスクブランクスに付着してしまうと、不良となってしまうおそれがある。

例えば、特許文献１には、低発塵型のアクチュエーターとして、開口部を有する防塵ケースと、案内レールおよび可動スライダを有する直動ガイドと、直動ガイドに案内されて防塵ケースの開口部内において移動可能な可動部と、開口部を塞ぎながら可動部を駆動する駆動ベルトと、を備えた直動機構が開示されている。この直動機構では、駆動ベルトが発塵カバーを兼ねるため、簡単な構成で低発塵型の直動機構を実現できる。

特開２００６－２３４００３号公報

上記のように露光対象へのパーティクルの付着を低減できる露光装置が求められている。

本発明に係る露光装置の一態様は、
露光対象を移動させるアクチュエーターと、
前記アクチュエーターが収容されたチャンバーと、
を含み、
前記アクチュエーターは、
レール、および前記レールに沿って移動可能なブロックを備えたガイド装置と、
前記ブロックに固定され、前記ブロックの移動に伴って移動可能なアームと、
前記ガイド装置を収容し、前記アームを通す開口部を有する容器と、
前記容器内に配置され、前記開口部を塞ぎ、前記アームの移動に伴って移動する第１カバーと、
前記容器の外に配置され、前記開口部を塞ぎ、前記アームの移動に伴って移動する第２カバーと、
を有する。

このような露光装置は、容器内に配置された第１カバー、および容器の外に配置された第２カバーを含むため、ガイド装置で発生したパーティクルの露光対象への付着を低減できる。

第１実施形態に係る露光装置の構成を示す図。 第１実施形態に係る露光装置のチャンバーの構成を示す図。 アライメントチャンバーを模式的に示す平面図。 アクチュエーターを模式的に示す断面図。 第１実施形態に係る露光装置の動作を説明するための図。 第１実施形態に係る露光装置の容器の変形例を模式的に示す断面図。 第１実施形態に係る露光装置の容器の変形例を模式的に示す斜視図。 第２実施形態に係る露光装置を示す機能ブロック図。 第２実施形態に係る露光装置のアライメントチャンバーを模式的に示す図。 第２実施形態に係る露光装置の制御部の処理の一例を示すフローチャート。 第２実施形態に係る露光装置の制御部の処理の第１変形例を示すフローチャート。 第２実施形態に係る露光装置の制御部の処理の第２変形例を示すフローチャート。

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

１． 第１実施形態
１．１． 露光装置
まず、第１実施形態に係る露光装置について図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る露光装置１００の構成を示す図である。図２は、第１実施形態に係る露光装置１００のチャンバーの構成を示す図である。

露光装置１００は、露光対象であるマスクブランクスに電子ビームを用いて回路パターンを描画するための電子ビーム描画装置である。

露光装置１００は、図１および図２に示すように、描画部１０と、メインチャンバー２０と、搬送ロボット３２が収容されたロボットチャンバー３０と、エアロックチャンバー４０と、アライメントチャンバー５０と、排気装置６０と、を含む。

描画部１０は、電子ビームをマスクブランクスに照射する電子光学系を含む。電子光学系は、電子銃、ブランカー、照射レンズ、第１スリット、成形偏向器、成形レンズ、第２スリット、縮小レンズ、対物レンズ、位置決め偏向器などを含む。露光装置１００では、第１スリット、成形偏向器、成形レンズ、および第２スリットによって、電子ビームを成形し、マスクブランクスに照射される電子ビームの断面形状、すなわち、ショット形状およびショットサイズを制御する。また、ブランカーによって、電子ビームがマスクブランクスに照射される時間、すなわち、ショット時間を制御する。また、位置決め偏向器によって、マスクブランクス上に照射される電子ビームの位置、すなわち、ショット位置を制御する。

露光装置１００では、電子ビームの偏向と、マスクブランクスの移動と、を組み合わせて、マスクブランクスの表面に回路パターンを描画する。すなわち、露光装置１００では、電子ビームの偏向範囲（フィールド）内の描画と、次のフィールドへのマスクブランクスの移動を繰り返すことによってマスクブランクスの表面に回路パターンを描画する。

メインチャンバー２０には、ステージ２２が収容されている。ステージ２２は、マスクブランクスを保持する。メインチャンバー２０において、ステージ２２に配置されたマスクブランクスに電子光学系から電子線が照射される。ステージ２２は、マスクブランクスを移動させる移動機構を備えている。次のフィールドへ移動させるためのマスクブランク
スの移動は、ステージ２２によって行われる。

ロボットチャンバー３０には、マスクブランクスを搬送する搬送ロボット３２が収容されている。搬送ロボット３２は、メインチャンバー２０、エアロックチャンバー４０、およびアライメントチャンバー５０に、マスクブランクスを搬送できる。

例えば、エアロックチャンバー４０に収容されたマスクブランクスをメインチャンバー２０に搬送する際には、搬送ロボット３２は、まず、エアロックチャンバー４０に収容されたマスクブランクスを、アライメントチャンバー５０に移動させる。アライメントチャンバー５０では、マスクブランクスの位置決めが行われる。次に、搬送ロボット３２は、位置決めされたマスクブランクスを、アライメントチャンバー５０からメインチャンバー２０に搬送し、ステージ２２に配置する。

エアロックチャンバー４０は、マスクブランクスを外部から露光装置１００内に導入するためのチャンバーである。エアロックチャンバー４０は、第１仕切り弁４２と、第２仕切り弁４４と、を有している。

第１仕切り弁４２は、外部とエアロックチャンバー４０内の空間を仕切っている。第２仕切り弁４４は、エアロックチャンバー４０内の空間とメインチャンバー２０内の空間とを仕切っている。図２に示す例では、第２仕切り弁４４は、エアロックチャンバー４０内の空間と、メインチャンバー２０内の空間と連続するロボットチャンバー３０内の空間とを仕切っている。第１仕切り弁４２および第２仕切り弁４４を用いることによって、メインチャンバー２０の真空度の低下を防ぎつつ、外部から露光装置１００内にマスクブランクスを導入できる。

アライメントチャンバー５０には、マスクブランクスを位置決めするための３つの位置決めピン５２、およびアクチュエーター５４が収容されている。なお、位置決めピン５２の数は、マスクブランクスを位置決めできれば特に限定されない。アクチュエーター５４は、搬送ロボット３２で搬送されたマスクブランクスを３つの位置決めピン５２に押し当てる。これにより、マスクブランクスを位置決めできる。

図２に示す例では、メインチャンバー２０内の空間と、ロボットチャンバー３０内の空間と、アライメントチャンバー５０内の空間とは、連続している。また、第２仕切り弁４４を開くことで、メインチャンバー２０内の空間と、ロボットチャンバー３０内の空間と、エアロックチャンバー４０内の空間と、アライメントチャンバー５０内の空間とが連続する。

排気装置６０は、例えば、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプ、および排気経路を切り替えるバルブ等を含む。

排気装置６０は、電子光学系が収容された鏡筒内、メインチャンバー２０内、ロボットチャンバー３０内、およびアライメントチャンバー５０内を排気する。これにより、鏡筒内、メインチャンバー２０内、ロボットチャンバー３０内、およびアライメントチャンバー５０内は、真空状態に維持される。また、排気装置６０の排気経路を切り替えることによって、エアロックチャンバー４０内の空間を、大気圧としたり、真空状態としたりすることができる。また、排気装置６０は、後述する図４に示すアライメントチャンバー５０内の排気ポート５３に接続されており、排気経路を切り替えることによって、排気ポート５３からアライメントチャンバー５０内の空間を排気することができる。

１．２． アクチュエーター
図３は、アライメントチャンバー５０を模式的に示す平面図である。図４は、アクチュエーター５４を模式的に示す断面図である。なお、図４は、図３のＩＶ－ＩＶ線断面図である。

アクチュエーター５４は、図３に示すように、アーム装置５６と、駆動部５８と、を含む。なお、図３では、便宜上、アーム装置５６および駆動部５８を簡略化して図示している。

アーム装置５６は、図４に示すように、ガイド装置５１０と、台座５２０と、アーム５３０と、容器５４０と、第１カバー５５０と、第２カバー５６０と、を含む。アーム装置５６は、マスクブランクス２を移動させるアーム５３０を備えた装置である。

ガイド装置５１０は、レール５１２と、ブロック５１４と、を有している。レール５１２は、チャンバーベース５１に配置されている。チャンバーベース５１は、アライメントチャンバー５０を構成する部材である。レール５１２は、ブロック５１４を案内するレールである。ブロック５１４は、レール５１２に沿って移動可能である。

図４に示す例では、ガイド装置５１０は、ブロック５１４を直線的に移動させるリニアガイドであり、ブロック５１４は、第１方向Ａおよび第１方向Ａとは反対方向の第２方向Ｂに移動可能である。なお、ガイド装置５１０は、ブロック５１４を直線軌道で運動させるリニアガイドに限定されない。例えば、ガイド装置５１０は、ブロック５１４を曲線軌道で運動させてもよいし、直線と曲線を組み合わせた軌道で運動させてもよい。

図３に示す駆動部５８は、ブロック５１４を移動させる。駆動部５８は、例えば、モーターの回転をシャフトの直線運動に変換して、シャフトでブロック５１４を移動させる装置であってもよい。駆動部５８は、例えば、アライメントチャンバー５０の外に配置されていてもよい。なお、駆動部５８の機構は、ブロック５１４をレール５１２に沿って移動させることができれば、特に限定されない。

アーム５３０は、台座５２０を介して、ブロック５１４に固定されている。なお、図示はしないが、アーム５３０は、ブロック５１４に直接固定されていてもよい。

アーム５３０は、ブロック５１４の移動に伴って移動可能である。すなわち、アーム５３０は、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに移動可能である。アーム５３０は、開口部５４２内を移動する。

アーム５３０は、基部５３２と、突出部５３４と、を有している。基部５３２は、台座５２０に固定されている。基部５３２は、開口部５４２を通って容器５４０の外に突き出ている。突出部５３４は、基部５３２から第１方向Ａに突出している。突出部５３４は、容器５４０の外に位置している。アーム５３０でマスクブランクス２を押す際には、突出部５３４の先端が、マスクブランクス２に接触する。

容器５４０は、ガイド装置５１０を収容している。容器５４０は、チャンバーベース５１に固定されている。容器５４０は、アーム５３０を通す開口部５４２を有している。開口部５４２は、容器５４０を貫通している。

容器５４０は、側壁部５４３と、天井部５４６と、を有している。チャンバーベース５１の上面に垂直な方向から見て、側壁部５４３は、アーム装置５６を囲んでいる。天井部５４６は、側壁部５４３で囲まれた空間の上部を塞いでいる。開口部５４２は、天井部５４６に設けられている。

容器５４０の側壁部５４３には、容器５４０内を排気するための孔５４４が設けられている。孔５４４は、ブロック５１４よりも下側に位置している。すなわち、孔５４４とチャンバーベース５１との間の距離Ｄ２は、ブロック５１４とチャンバーベース５１との間の距離Ｄ４よりも小さい（Ｄ２＜Ｄ４）。図４に示す例では、孔５４４は、容器５４０とチャンバーベース５１との間の隙間であり、Ｄ２＝０である。なお、孔５４４は、容器５４０の側壁部５４３の任意の位置に設けられてもよい。

第１カバー５５０は、容器５４０の開口部５４２を塞いでいる。第１カバー５５０は、容器５４０の内側に配置されている。第１カバー５５０は、ブロック５１４の移動に伴って移動する。すなわち、第１カバー５５０は、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに移動可能である。第１カバー５５０は、アーム５３０に固定されている。なお、第１カバー５５０は、ブロック５１４に固定されていてもよいし、台座５２０に固定されていてもよい。

第１カバー５５０は、天井部５４６に平行な第１部分５５２と、側壁部５４３に平行な第２部分５５４と、を有している。すなわち、第１カバー５５０は、板状の部材を折り曲げた形状を有している。

第１方向Ａにおいて、第１カバー５５０の長さは、開口部５４２の長さとアーム５３０の移動可能距離の和よりも大きい。そのため、アーム５３０を移動させても、第１カバー５５０によって、開口部５４２を塞ぐことができる。第１カバー５５０の幅は、開口部５４２の幅よりも大きい。第１カバー５５０の開口部５４２を向く面の面積は、開口部５４２の開口の面積よりも大きい。

第２カバー５６０は、容器５４０の開口部５４２を塞いでいる。第２カバー５６０は、容器５４０の外側に配置されている。すなわち、容器５４０の開口部５４２は、第１カバー５５０および第２カバー５６０によって、容器５４０の内側と外側から塞がれている。第２カバー５６０は、ブロック５１４の移動に伴って移動する。すなわち、第２カバー５６０は、第１方向Ａおよび第２方向Ｂに移動可能である。第２カバー５６０は、アーム５３０に固定されている。

第２カバー５６０は、マスクブランクス２の上面２ａに垂直な方向から見て、マスクブランクス２と重なっている。マスクブランクス２の上面２ａに垂直な方向において、第２カバー５６０は、容器５４０の天井部５４６とマスクブランクス２の間に位置している。なお、マスクブランクス２の上面２ａは、露光対象の露光面である。

第２カバー５６０の先端と基部５３２との間の距離Ｄ６は、突出部５３４の先端と基部５３２との間の距離Ｄ８よりも大きい（Ｄ６＞Ｄ８）。そのため、上述したように、マスクブランクス２の上面２ａに垂直な方向から見て、第２カバー５６０を、マスクブランクス２と重ねることができる。

第１方向Ａにおいて、第２カバー５６０の長さは、開口部５４２の長さとアーム５３０の移動可能距離の和よりも大きい。そのため、アーム５３０を移動させても、第２カバー５６０によって、開口部５４２を塞ぐことができる。第２カバー５６０の幅は、開口部５４２の幅よりも大きい。第２カバー５６０の開口部５４２を向く面の面積は、開口部５４２の開口の面積よりも大きい。

アライメントチャンバー５０には、排気ポート５３が設けられている。図示の例では、チャンバーベース５１に、排気ポート５３が設けられている。排気ポート５３は、アライメントチャンバー５０内の空間を排気するためのポートである。排気ポート５３は、排気
装置６０に接続されている。排気ポート５３は、容器５４０の孔５４４の近傍に設けられている。

１．３． 露光装置の動作
次に、露光装置１００の動作について説明する。ここでは、マスクブランクス２を外部から導入されたマスクブランクス２をステージ２２に配置する動作について説明する。

まず、第２仕切り弁４４を閉じて、エアロックチャンバー４０内を大気圧とし、第１仕切り弁４２を開く。この状態で、エアロックチャンバー４０内にマスクブランクス２を搬入する。次に、第１仕切り弁４２を閉じて、エアロックチャンバー４０に接続された排気装置６０によって、エアロックチャンバー４０内を真空状態にする。エアロックチャンバー４０内の真空度が、メインチャンバー２０内の真空度と同程度になったら、第２仕切り弁４４を開く。

次に、搬送ロボット３２が、エアロックチャンバー４０内のマスクブランクス２をアライメントチャンバー５０に搬送する。アライメントチャンバー５０に搬送されたマスクブランクス２は、アクチュエーター５４によって、３つの位置決めピン５２に押し当てられる。これにより、マスクブランクス２の位置が調整される。このマスクブランクス２を位置決めする際の露光装置１００の動作の詳細については、後述する「１．４． マスクブランクスの位置決め」で説明する。

このようにして位置決めされたマスクブランクス２は、搬送ロボット３２によってメインチャンバー２０に搬送され、ステージ２２に配置される。

１．４． マスクブランクスの位置決め
図５は、マスクブランクス２を位置決めするときの露光装置１００の動作を説明するための図である。

駆動部５８によって、ブロック５１４をレール５１２に沿って第１方向Ａに移動させることで、アーム５３０を第１方向Ａに移動させることができる。これにより、アーム５３０の突出部５３４の先端でマスクブランクス２を押すことができる。この結果、マスクブランクス２が移動し、３つの位置決めピン５２に押し当てられる。このとき、第１カバー５５０および第２カバー５６０は、アーム５３０とともに第１方向Ａに移動する。

ここで、駆動部５８によって、ブロック５１４をレール５１２に沿って移動させることによって、ブロック５１４がレール５１２を摺動し、パーティクルＰが発生する。アクチュエーター５４では、容器５４０、第１カバー５５０、および第２カバー５６０によって、マスクブランクス２の上面２ａへのパーティクルＰの付着を低減できる。

また、アライメントチャンバー５０には、排気ポート５３が設けられており、アクチュエーター５４が動作する間、アライメントチャンバー５０内は排気ポート５３から排気されている。また、容器５４０には、容器５４０内を排気するための孔５４４が設けられているため、容器５４０内も排気できる。したがって、アライメントチャンバー５０内および容器５４０内に飛散したパーティクルを除去することができ、マスクブランクス２の上面２ａへのパーティクルＰの付着を低減できる。

１．５． 作用効果
露光装置１００は、アクチュエーター５４を含み、アクチュエーター５４は、容器５４０内に配置され、開口部５４２を塞ぎ、アーム５３０の移動に伴って移動する第１カバー５５０と、容器５４０の外に配置され、開口部５４２を塞ぎ、アーム５３０の移動に伴っ
て移動する第２カバー５６０と、を有する。このように、露光装置１００では、容器５４０内に配置された第１カバー５５０、および容器５４０の外に配置された第２カバー５６０を含むため、ガイド装置５１０で発生したパーティクルの、マスクブランクス２の上面２ａへの付着を低減できる。

また、第１カバー５５０および第２カバー５６０は、ブロック５１４の移動に伴って移動するため、アーム５３０の移動を妨げたり、アーム５３０と摺動してパーティクルを発生させたりすることなく、開口部５４２を塞ぐことができる。

露光装置１００では、マスクブランクス２の上面２ａに垂直な方向から見て、第２カバー５６０は、マスクブランクス２と重なっている。そのため、ガイド装置５１０で発生したパーティクルが容器５４０の開口部５４２から出てマスクブランクス２の上面２ａに至る経路を長くできる。したがって、露光装置１００では、マスクブランクス２の上面２ａへのパーティクルの付着を低減できる。

露光装置１００では、第２カバー５６０の先端と基部５３２との間の距離Ｄ６は、突出部５３４の先端と基部５３２との間の距離Ｄ８よりも大きい。そのため、ガイド装置５１０で発生したパーティクルが容器５４０の開口部５４２から出てマスクブランクス２の上面２ａに至る経路を長くできる。したがって、露光装置１００では、マスクブランクス２の上面２ａへのパーティクルの付着を低減できる。

露光装置１００では、容器５４０には、容器５４０内を排気するための孔５４４が設けられている。そのため、露光装置１００では、ガイド装置５１０で発生したパーティクルを容器５４０内から除去できる。

露光装置１００では、孔５４４とチャンバーベース５１との間の距離Ｄ２は、ブロック５１４とチャンバーベース５１との間の距離Ｄ４よりも小さい（Ｄ２＜Ｄ４）。すなわち、孔５４４は、パーティクルの発生源である、ブロック５１４とレール５１２との摺動部分よりも、チャンバーベース５１に近い。したがって、ブロック５１４がレール５１２を摺動することによって発生したパーティクルが、マスクブランクス２の方向に飛散することを防ぐことができる。

露光装置１００では、アライメントチャンバー５０には、排気ポート５３が設けられている。そのため、アライメントチャンバー５０内のパーティクルを効率よく除去できる。また、アライメントチャンバー５０では、排気ポート５３がチャンバーベース５１に設けられ、孔５４４は、パーティクルの発生源である、ブロック５１４とレール５１２との摺動部分よりも、チャンバーベース５１に近い（Ｄ２＜Ｄ４）。したがって、容器５４０内のパーティクルを飛散させることなく、容器５４０内を効率よく排気できる。

１．６． 変形例
図６は、露光装置１００の容器５４０の変形例を模式的に示す断面図である。図７は、露光装置１００の容器５４０の変形例を模式的に示す斜視図である。以下、図６および図７に示す露光装置１００の変形例において、上述した露光装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図６および図７に示すように、容器５４０は、複数の孔５４４を有している。図６および図７に示す例では、孔５４４は、スリット状に形成されている。孔５４４は、図６に示すように、容器５４０の外側の第１開口５４４ａと、容器５４０の内側の第２開口５４４ｂと、を有している。孔５４４の第１開口５４４ａは、チャンバーベース５１側を向いている。すなわち、孔５４４の第１開口５４４ａは、下側を向いている。そのため、孔５４
４から出たパーティクルが、マスクブランクス２の方向に飛散することを防ぐことができる。例えば、孔５４４の第１開口５４４ａが、上側、すなわちマスクブランクス２側を向いている場合、孔５４４から排気されたパーティクルが上方に飛散して、マスクブランクス２の上面２ａに付着する可能性が高くなる。

２． 第２実施形態
２．１． 露光装置
次に、第２実施形態に係る露光装置について図面を参照しながら説明する。図８は、第２実施形態に係る露光装置２００を示す機能ブロック図である。図９は、第２実施形態に係る露光装置２００のアライメントチャンバー５０を模式的に示す図である。以下、第２実施形態に係る露光装置２００において、上述した露光装置１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

露光装置２００は、図８および図９に示すように、パーティクルモニター装置２１０と、ブロー装置２２０と、制御部２３０と、を含む。

パーティクルモニター装置２１０は、アライメントチャンバー５０内に配置されている。パーティクルモニター装置２１０は、アライメントチャンバー５０内のパーティクルの数を計測する。パーティクルモニター装置２１０は、例えば、単位時間あたりのパーティクルの数を計測してもよいし、単位体積あたりのパーティクルの数を計測してもよい。なお、パーティクルモニター装置２１０は、容器５４０内に配置されていてもよい。

ブロー装置２２０は、エアーを吹き付けること、すなわち、ブローによって、パーティクルを吹き飛ばし、パーティクルを除去する。ブロー装置２２０は、エアーを噴射するノズルを有している。ブロー装置２２０は、例えば、マスクブランクス２にエアーを吹き付けて、マスクブランクス２の上面２ａに付着したパーティクルを除去する。なお、ブロー装置２２０の位置や、ブロー装置２２０がエアーを吹き付ける場所は特に限定されない。

制御部２３０は、パーティクルモニター装置２１０におけるパーティクルの計測結果に基づいて、ブロー装置２２０を制御する。また、制御部２３０は、アクチュエーター５４を制御する処理や、排気装置６０を制御する処理などの処理を行う。制御部２３０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などのプロセッサと、ＲＡＭ（Random Access
Memory）およびＲＯＭ（Read Only Memory）などを含む記憶装置と、を含む。制御部２３０では、ＣＰＵで記憶装置に記憶されたプログラムを実行することにより、各種制御処理を行う。

２．２． 露光装置の動作
図１０は、露光装置２００の制御部２３０の処理の一例を示すフローチャートである。

マスクブランクス２がアライメントチャンバー５０に搬送されると、制御部２３０は、アクチュエーター５４の駆動部５８を動作させる（Ｓ１００）。これにより、アーム装置５６のブロック５１４が移動し、アーム５３０が移動する。この結果、マスクブランクス２が３つの位置決めピン５２に押し当てられて位置決めされる。

次に、制御部２３０は、排気装置６０にアライメントチャンバー５０の排気を開始させる（Ｓ１０２）。これにより、排気ポート５３に接続された排気装置６０によってアライメントチャンバー５０内の排気が開始される。

なお、ここでは、アクチュエーター５４にマスクブランクス２の位置決めを行わせる処理（Ｓ１００）の後に、排気装置６０に排気を開始させる処理（Ｓ１０２）を行う場合に
ついて説明したが、処理Ｓ１０２の後に、処理Ｓ１００を行ってもよいし、処理Ｓ１００と処理Ｓ１０２を同時に行ってもよい。

次に、制御部２３０は、パーティクルモニター装置２１０におけるパーティクルの計測結果に基づいて、ブロー装置２２０を動作させる。具体的には、制御部２３０は、パーティクルモニター装置２１０から計測結果を取得し（Ｓ１０４）、パーティクルの数が所定数以上か否かを判定する（Ｓ１０６）。

制御部２３０は、パーティクルの数が所定数以上と判定した場合（Ｓ１０６のＹｅｓ）、ブロー装置２２０にブローを開始させる（Ｓ１０８）。これにより、ブロー装置２２０からエアーが吹き出し、マスクブランクス２上のパーティクルを除去できる。

制御部２３０は、再び、パーティクルモニター装置２１０から計測結果を取得し（Ｓ１０４）、パーティクルの数が所定数以上か否かを判定する（Ｓ１０６）。制御部２３０は、パーティクルの数が所定数以上でないと判定されるまで、ブロー装置２２０にブローを継続させる。

制御部２３０は、パーティクルの数が所定数以上でないと判定した場合（Ｓ１０６のＮｏ）、ブロー装置２２０にブローを停止させ、排気装置６０にアライメントチャンバー５０の排気を停止させる（Ｓ１１０）。そして、制御部２３０は、処理を終了する。

以上の処理により、マスクブランクス２の位置決めが終了する。位置決めされたマスクブランクス２は、搬送ロボット３２によって、アライメントチャンバー５０からメインチャンバー２０内に搬送され、ステージ２２に配置される。

２．３． 作用効果
露光装置２００は、アライメントチャンバー５０内に配置され、パーティクルを計測するパーティクルモニター装置２１０を含む。そのため、露光装置２００では、アライメントチャンバー５０内のパーティクルを計測できる。

露光装置２００では、アライメントチャンバー５０内に配置され、パーティクルをブローによって除去するブロー装置２２０と、パーティクルモニター装置２１０におけるパーティクルの計測結果に基づいて、ブロー装置２２０を制御する制御部２３０と、を含む。そのため、露光装置２００では、マスクブランクス２の上面２ａに多数のパーティクルが付着した状態で、メインチャンバー２０に搬送されることを防ぐことができる。

２．４． 変形例
２．４．１． 第１変形例
図１１は、露光装置２００の制御部２３０の処理の第１変形例を示すフローチャートである。以下では、上述した図１０に示す制御部２３０の処理と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。

上述した図１０に示す制御部２３０の処理では、パーティクルの数が所定数以上と判定した場合（Ｓ１０６のＹｅｓ）、ブロー装置２２０にブローを開始させた（Ｓ１０８）。

これに対して、図１１に示す制御部２３０の処理では、パーティクルの数が所定数以上と判定した場合（Ｓ１０６のＹｅｓ）、パーティクルの数が所定数以上であることをユーザーに通知する処理を行う（Ｓ１０７）。制御部２３０は、ユーザーに通知する処理（Ｓ１０７）の後、ブロー装置２２０にブローを開始させる（Ｓ１０８）。

ユーザーへの通知方法としては、例えば、光や音による通知、表示部にパーティクルの数が所定数以上であることを通知するメッセージを表示するなどが挙げられる。

また、上述した図１０に示す制御部２３０の処理では、パーティクルの数が所定数以上でないと判定した場合（Ｓ１０６のＮｏ）、ブロー装置２２０にブローを停止させ、排気装置６０にアライメントチャンバー５０の排気を停止させた（Ｓ１１０）。

これに対して、図１１に示す制御部２３０の処理では、パーティクルの数が所定数以上でないと判定した場合（Ｓ１０６のＮｏ）、パーティクルの数が所定数以上でないことをユーザーに通知する処理を行う（Ｓ１０９）。制御部２３０は、ユーザーに通知する処理（Ｓ１０９）の後、ブロー装置２２０にブローを停止させ、排気装置６０にアライメントチャンバー５０の排気を停止させる（Ｓ１１０）。

ユーザーへの通知方法としては、例えば、光や音による通知、表示部にパーティクルの数が所定数以上でないことを通知するメッセージを表示するなどが挙げられる。

なお、上記では、パーティクルの数が所定数以上でないと判定されるまで、ブローを継続する場合について説明したが、パーティクルの数が所定数以上と判定した回数が予め設定された回数以上となった場合には、制御部２３０はその旨を通知して、処理を終了してもよい。

２．４．２． 第２変形例
上述した第２実施形態では、ブロー装置２２０がマスクブランクス２にエアーを吹き付ける場合について説明したが、ブロー装置２２０が、アライメントチャンバー５０の壁面やアクチュエーター５４にエアーを吹き付けてもよい。

図１２は、制御部２３０の処理の第２変形例を示すフローチャートである。以下では、上述した図１０に示す制御部２３０の処理と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。

制御部２３０は、搬送ロボット３２がアライメントチャンバー５０にマスクブランクス２を搬入する前に、排気装置６０にアライメントチャンバー５０の排気を開始させる（Ｓ２０２）。

例えば、制御部２３０は、搬送ロボット３２がエアロックチャンバー４０内のマスクブランクス２を保持したタイミングで、排気装置６０にエアロックチャンバー４０内の排気を開始させる処理Ｓ２０２を行ってもよい。なお、排気装置６０に排気を開始させる処理Ｓ２０２を行わせるタイミングは、搬送ロボット３２がアライメントチャンバー５０にマスクブランクス２を搬送する前であれば特に限定されない。

次に、制御部２３０は、パーティクルモニター装置２１０から計測結果を取得し（Ｓ２０４）、パーティクルの数が所定数以上か否かを判定する（Ｓ２０６）。制御部２３０は、パーティクルの数が所定数以上と判定した場合（Ｓ２０６のＹｅｓ）、ブロー装置２２０にブローを開始させる（Ｓ２０８）。

制御部２３０は、再び、パーティクルモニター装置２１０から計測結果を取得し（Ｓ２０４）、パーティクルの数が所定数以上か否かを判定する（Ｓ２０６）。制御部２３０は、パーティクルの数が所定数以上でないと判定されるまで、ブロー装置２２０にブローを継続させる。

制御部２３０は、パーティクルの数が所定数以上でないと判定した場合（Ｓ２０６のＮｏ）、ブロー装置２２０にブローを停止させ、排気装置６０にアライメントチャンバー５０の排気を停止させる（Ｓ２１０）。

次に、制御部２３０は、アライメントチャンバー５０に対するパーティクル除去処理が完了したことを示す信号を、搬送ロボット３２を制御する制御装置に送る（Ｓ２１２）。これにより、マスクブランクス２が、搬送ロボット３２によって、アライメントチャンバー５０に搬送される。

マスクブランクス２がアライメントチャンバー５０に搬送されると、制御部２３０は、アクチュエーター５４の駆動部５８を動作させる（Ｓ２１４）。これにより、マスクブランクス２が３つの位置決めピン５２に押し当てられて位置決めされる。そして、制御部２３０は、処理を終了する。

位置決めされたマスクブランクス２は、搬送ロボット３２で、アライメントチャンバー５０からメインチャンバー２０内に搬送され、ステージ２２に配置される。

第２変形例では、マスクブランクス２をアライメントチャンバー５０内に搬送する前に、アライメントチャンバー５０内のパーティクルを除去できる。

３． その他
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

上述した第１実施形態では、露光装置１００が、電子ビームを用いて露光する装置である場合について説明したが、露光装置１００は、レーザー光を用いて露光する装置であってもよいし、レーザー光以外の光を用いて露光する装置であってもよいし、イオンビーム等の電子ビーム以外の荷電粒子ビームを用いて露光する装置であってもよい。第２実施形態に係る露光装置２００についても同様である。

第１実施形態および第２実施形態では、露光対象がマスクブランクス２である場合について説明したが、露光対象はこれに限定されない。例えば、露光対象は、半導体基板などであってもよい。例えば、露光装置１００および露光装置２００は、半導体基板を回路パターンが形成されたフォトマスクで覆って光を照射し、半導体基板上のフォトレジストを露光する装置であってもよい。

上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

２…マスクブランクス、２ａ…上面、１０…描画部、２０…メインチャンバー、２２…ステージ、３０…ロボットチャンバー、３２…搬送ロボット、４０…エアロックチャンバー
、４２…第１仕切り弁、４４…第２仕切り弁、５０…アライメントチャンバー、５１…チャンバーベース、５２…位置決めピン、５３…排気ポート、５４…アクチュエーター、５６…アーム装置、５８…駆動部、６０…排気装置、１００…露光装置、２００…露光装置、２１０…パーティクルモニター装置、２２０…ブロー装置、２３０…制御部、５１０…ガイド装置、５１２…レール、５１４…ブロック、５２０…台座、５３０…アーム、５３２…基部、５３４…突出部、５４０…容器、５４２…開口部、５４３…側壁部、５４４…孔、５４４ａ…第１開口、５４４ｂ…第２開口、５４６…天井部、５５０…第１カバー、５５２…第１部分、５５４…第２部分、５６０…第２カバー

Claims (9)

1. 露光対象を移動させるアクチュエーターと、
   前記アクチュエーターが収容されたチャンバーと、
   を含み、
   前記アクチュエーターは、
   レール、および前記レールに沿って移動可能なブロックを備えたガイド装置と、
   前記ブロックに固定され、前記ブロックの移動に伴って移動可能なアームと、
   前記ガイド装置を収容し、前記アームを通す開口部を有する容器と、
   前記容器内に配置され、前記開口部を塞ぎ、前記アームの移動に伴って移動する第１カバーと、
   前記容器の外に配置され、前記開口部を塞ぎ、前記アームの移動に伴って移動する第２カバーと、
   を有する、露光装置。
2. 請求項１において、
   前記露光対象の露光面に垂直な方向から見て、前記第２カバーは、前記露光対象と重なっている、露光装置。
3. 請求項１または２において、
   前記アームは、前記ブロックの移動に伴って第１方向および前記第１方向とは反対方向の第２方向に移動可能であり、
   前記アームは、基部と、前記基部から前記第１方向に突出した突出部と、を有し、
   前記第２カバーの前記第１方向の先端と前記基部との間の距離は、前記突出部の先端と前記基部との間の距離よりも大きい、露光装置。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
   前記容器には、前記容器内を排気するための孔が設けられている、露光装置。
5. 請求項４において、
   前記レールが配置されたチャンバーベースを含み、
   前記孔と前記チャンバーベースとの間の距離は、前記ブロックと前記チャンバーベースとの間の距離よりも小さい、露光装置。
6. 請求項５において、
   前記孔は、前記容器の外側の第１開口と、前記容器の内側の第２開口と、を有し、
   前記第１開口は、前記チャンバーベース側を向いている、露光装置。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項において、
   前記チャンバーには、排気ポートが設けられている、露光装置。
8. 請求項１ないし７のいずれか１項において、
   前記チャンバー内に配置され、パーティクルを計測するパーティクルモニター装置を含む、露光装置。
9. 請求項８において、
   前記チャンバー内に配置され、パーティクルをブローによって除去するブロー装置と、
   前記パーティクルモニター装置におけるパーティクルの計測結果に基づいて、前記ブロー装置を制御する制御部と、
   を含む、露光装置。

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