JPH0539640U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 照射窓の窓箔を冷却するための構成を簡易化
することを目的とする。 【構成】 窓箔と走査管の下部フランジとの間に、底面
を凹状面とし、側部に冷却水用の通路を有し、かつ中央
に多数の開口部を桟部によって仕切ってなる水冷グリッ
ドを設ける。また窓箔の側面に、窓箔に吹き付けるため
の乾燥気体用のダクトを設ける。窓箔は水冷グリッドの
底面に密着することによって冷却される。乾燥気体によ
って窓箔への塵の付着、結露を防止する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は電子線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置における走査管の端面に設けた照射窓を、金属薄膜からなる窓 箔によって密閉し、電子線をこの窓箔を通して被照射体に照射するようにした構 成はよく知られている。この場合窓箔に電子線が通過することによってその窓箔 の温度が上昇するので、これを冷却するために従来では冷却空気を吹き付けるよ うにしている。

【０００３】 図３はその従来構成を示し、１は走査管、２は照射窓、３はその窓箔で、その 両側は、走査管１の下部フランジ４と窓押えフランジ５によって金属シール６を 介して走査管１の端面に取り付けられてある。照射時、走査管１内は真空となる ので、窓箔３は走査管１内に吸引される。したがって図に示すように、走査管１ 内に向かって湾曲するようになる。７は窓箔３の側面に設けられた冷却空気用の ダクトで、ここから吹き出される冷却空気は、湾曲している窓箔３の下面に沿っ て流れ、その過程で窓箔３を冷却するようにしている。

【０００４】 ところで５００〜１０００ｋＶ級の電子線照射装置では、窓箔３の温度上昇は 激しいので、これを冷却するのに必要な冷却空気は、１分間当たり数１０立方メ ートルに及ぶ多大の量を必要とする。そのため容量の大きいブロワー、配管類が 必要となる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、窓箔を冷却するための構成を簡略化することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】 本考案は、窓箔と走査管の下部フランジとの間に、底面を凹状面とし、側部に 冷却水用の通路を有し、かつ中央に多数の開口部を桟部によって仕切ってなる水 冷グリッドを設け、また窓箔の側面に、窓箔に吹き付けるための乾燥気体用のダ クトを設けたことを特徴とする。

【０００７】

【作用】

水冷グリッドはその側部に設けた通路を流れる冷却水によって冷却される。そ のため電子線照射時、窓箔が湾曲して水冷グリッドの底面、特にその桟の底面に 付着することによって冷却されるようになる。したがって従来のような冷却空気 の吹付に必要な構成を省略することができる。

【０００８】 また窓箔の側面に設けたダクトから、乾燥気体を窓箔の下面に向けて吹き付け る。これは窓箔への塵類の付着、結露を防止するためのものである。したがって その量は僅かで足りる。なおこの乾燥気体の吹き付けは、窓箔の補助冷却を兼ね てもよい。

【０００９】

【実施例】

本考案の実施例を図１によって説明する。なお図３と同じ符号を付した部分は 同一または対応する部分を示す。本考案にしたがい、水冷グリッド８を窓箔３と フランジ４との間に設ける。水冷グリッド８はフランジ４に気密に取り付けられ る。したがって金属シール６は窓押さえフランジ５と水冷グリッド８との間に支 持されるようになる。

【００１０】 水冷グリッド８は図２に示すように、その底面９を凹面状に湾曲してあり、湾 曲する窓箔３がこの底面９に添うようにしてある。また側部には冷却水が流れる 通路１０が設けてあり、冷却水源から供給される冷却水がこの通路１０を流れる ようにしてある。更に中央に多数の開口部１１を桟部１２によって仕切って形成 してある。

【００１１】 １３は窓箔３の側面に設けられた、たとえば乾燥空気、乾燥不活性ガス（たと えば乾燥窒素ガス）のような乾燥気体用のダクトで、ここから送られてくる乾燥 気体は、窓箔３の下面に沿って流れるようにしてある。

【００１２】 電子線の照射時、走査管１の内部は真空化されるので、図に示すように窓箔３ は走査管１の内部に向かって湾曲する。この湾曲によって窓箔３は水冷グリッド ８の、湾曲している底面９、特に桟部１２の底面に密着する。水冷グリッド８は その通路１０に流れる冷却水によって冷却されているので、これに密着した窓箔 ３は冷却されるようになる。

【００１３】 電子線は水冷グリッド８の開口部１２を通ってから、窓箔３を透過して外部に 向かい、被照射体を照射する。ダクト７から乾燥気体が窓箔３の下面に向かって 吹き付けられる。これによって窓箔３に塵類が付着したり、結露するのを防止す る。そのため従来のような冷却空気の供給を止めてもなんらの支障は生じない。 しかも乾燥気体の供給量は僅かで足りる。この乾燥気体は窓箔３を補助的に冷却 するのに兼用させることもできる。

【００１４】 また窓箔３は水冷グリッド８の底面に密着しているので、万一窓箔３が破損す るようなことがあっても、水冷グリッド８に遮られることによって、これが細片 となったり、破片が走査管１の内部に吸引されていくようなことは回避される。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、窓箔を冷却するにあたり、水冷グリッド を利用するようにしたので、従来のように多量の冷却空気の供給を必要としなく なり、それに伴い大容量のブロワー、配管類を省略することができ、それだけ冷 却構成の簡略化が図れるし、更に乾燥気体の吹き付けによって窓箔への塵類の付 着、結露が回避され、また窓箔の破損時における細片の発生、破片の走査管内へ の吸引が防止されるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す断面図である。

【図２】水冷グリッドの斜視図である。

【図３】従来例の断面図である。

【符号の説明】

１ 走査管 ２ 照射窓 ３ 窓箔 ４ 走査管の下部フランジ ５ 窓押さえ用のフランジ ９ 底面 １０ 冷却水用の通路 １１ 開口部 １２ 桟部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 走査管の端面に設けた照射窓の窓箔を通
   して電子線を被照射体に照射する電子線照射装置におい
   て、前記窓箔と前記走査管の下部フランジとの間に、底
   面を凹状面とし、側部に冷却水用の通路を有し、かつ中
   央に多数の開口部を桟部によって仕切ってなる水冷グリ
   ッドを設け、前記窓箔の側面に、前記窓箔に吹き付ける
   ための乾燥気体用のダクトを設けてなる電子線照射装
   置。