JPH0539641U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 粉体に電子線を照射して処理するにあたり、
エネルギーロスの低減を図り、かつ大量輸送による処理
を可能とすることを目的とする。 【構成】 走査管の照射窓に、その照射窓を横切る方向
に延びる管を設け、その管の上面に形成した開口部に、
照射窓の窓箔が位置するようにする。粉体は冷却気体に
よって管内に輸送され、その過程で窓箔を通過した電子
線によって照射される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は電子線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置における走査管の端面に設けた照射窓を、金属薄膜からなる窓 箔によって密閉し、電子線をこの窓箔を通して被照射体に照射するようにした構 成はよく知られている。この場合窓箔に電子線が通過することによってその窓箔 の温度が上昇するので、これを冷却するために冷却気体を吹き付けるようにして いる。

【０００３】 一方被照射体がたとえば粉体である場合、窓箔を冷却する冷却気体によってそ の粉体が吹き飛ばされてしまうことがあり、これを避けるために窓箔と被照射体 との間に、別に金属薄膜からなる補助窓箔を設けるようにしている。

【０００４】 その従来構成を示したのが図２である。同図において、１は走査管、２は照射 窓、３は窓箔で、フランジ４によって走査管１の端面に密閉して取り付けられて ある。５は補助窓箔で、フランジ４に対して押え枠６によって取り付けられてい る。この場合補助窓箔５にも電子線が通過するので、窓箔３とともにこの補助窓 箔５を冷却する必要がある。

【０００５】 そのためダクト７から送られる冷却空気を、窓箔３の外面に沿って送り、フラ ンジ４によってその送り方向を反転させ、補助窓箔５の内面に沿って排気用のダ クト８に排気するようにしてある。これによって窓箔３，５はともに冷却される ようになる。矢印は冷却空気の流れを示す。９はコンベア１０によって搬送され る被照射体である粉体である。

【０００６】 しかしこのような構成によると、照射部から粉体９までの距離が長くなり、そ の間でエネルギーロスが生じるし、補助窓箔５にも電子線が通過するので、補助 窓箔５においてもエネルギーロスが生じる。またコンベア１０による搬送では、 大量輸送処理が困難である。

【０００７】 更にオゾン発生を防止する必要のあるとき、粉体９を不活性ガス中で照射する ことが要求されるが、そのためには別の密封構造の容器を用意し、その容器内に 粉体を搬送するしなければならない不便がある。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、粉体に電子線を照射するにあたり、エネルギーロスを低減させると ともに、大量輸送による電子線照射を可能とすることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

本考案は、走査管の照射窓にその照射窓を横切る方向に延びる管を設け、その 管の上面に形成した開口部に、照射窓の窓箔が位置するようにし、前記管内に被 照射体である粉体を、冷却気体によって輸送するようにしたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】

管内に送られた粉体は、照射窓の下方を通過するとき、窓箔を通ってきた電子 線に照射される。電子線は窓箔のみを通過するだけで粉体に照射されるので、エ ネルギーロスは窓箔によるのみとなる。粉体を輸送する冷却気体によって窓箔が 冷却される。また粉体は管によって搬送されるので、大量輸送が可能となる。

【００１１】

【実施例】

この考案の実施例を図１によって説明する。なお図２と同じ符号を付した部分 は、同一または対応する部分を示す。本考案にしたがい、照射窓２を横切る方向 に延びる管１１を設ける。そしてこの管１１の上面に開口窓１２を形成し、この 開口窓１２内に窓箔３が位置するように、管１１を走査管１の下部に設置する。 １３はその取付位置をシールするパッキンである。

【００１２】 粉体９は、空気、不活性ガス（例えば窒素ガス）のような冷却気体によって管 １１の一方の端部から送られてくる。そして窓箔３の下方を通過するとき、窓箔 ３を通過してきた電子線により照射される。照射された粉体９は管１１の他方の 端部に向かってそのまま送られていく。この粉体９の輸送に使用される冷却気体 は、窓箔３に接することによって窓箔３の熱を奪い、これを冷却する。

【００１３】 なお図に示すように管１１の開口窓１２に向かい合う下面壁１４を絞るように して、その部分が窓箔３に接近するように形成しておくと、粉体９および冷却気 体が窓箔３に接近して通るようになる。そのため電子線の粉体９に対する照射効 率は高まるとともに、冷却気体による窓箔３の冷却効率も高まるようになって都 合がよい。また冷却気体として不活性ガスを使用した場合は、オゾンの発生を阻 止するのに有効に作用する。

【００１４】 図示する構成において、電子線は窓箔３を通って粉体９を照射したあと、管１ １の下面壁１４を通過することにより、その下面壁１４が発熱することがある。 その冷却のためには、図示するように下面壁１４の外側に冷却管１５を適宜設置 し、この冷却管１４によって下面壁１４を冷却するとよい。

【００１５】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案によれば、粉体に電子線を照射するにあたり、従来 構成に比較してエネルギーロスを低減させることができるとともに、粉体の輸送 に使用する気体に冷却気体を利用するようにしたので、窓箔冷却のための構成も 簡単となり、かつ大量輸送による処理も期待できるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示すもので部分平面図であ
る。

【図２】従来例を示すもので部分平面図である。

【符号の説明】

１ 走査管 ２ 照射窓 ３ 窓箔 ９ 粉体 １１ 管 １２ 開口窓

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 走査管の照射窓に、前記照射窓を横切る
   方向に延び、かつ上面に形成した開口部に、前記照射窓
   の窓箔が位置するように管を設け、前記管内に被照射体
   である粉体を、冷却気体によって輸送するようにしてな
   る電子線照射装置。