JPH09258000A - 電子線照射処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】電子線照射窓の窓枠の機能を充分に得ながら、
電子線のエアパス距離の短縮を可能にし、電子線の有効
利用を高めること。 【解決手段】電子線４を放出する窓７と前記窓７を覆う
窓箔８と前記窓箔８を取り付ける窓枠９とを有する電子
線照射装置２と、前記電子線を放出する窓７と連結さ
れ、内部に被処理物３を搬送する搬送ローラ２１、２２
を有する照射チャンバー１とからなる電子線照射処理装
置であって、前記搬送ローラ２１、２２を前記被処理物
３が搬送される方向の前記窓７の両側で、前記搬送ロー
ラ２１、２２の一部の表面が前記窓枠９の下端面を結ん
で形成される平面よりも前記窓箔８側に寄せて配置し、
これにより電子線４のエネルギーの損失を少なくする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子線照射処理装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、紙やフィルム、金属等のシート
状の表面に塗布したコーティング剤、インク、接着剤等
の液状樹脂を電子線照射により硬化処理し、その表面品
質の向上や生産性の向上を図ることが行われている。こ
の場合、電子線照射装置は、図３及び図４に示すよう
に、シート状の被処理物３に電子線４を照射する照射チ
ャンバー１の開口部に電子線４を発生する電子線照射装
置２の電子線を放出する窓７を連結して構成される。そ
して窓７には、窓枠９により電子線が通過する窓箔８を
取り付け、この窓箔８により電子線照射装置２の電子線
を加速或は走査する真空室６が真空状態を維持するよう
にされている。

【０００３】照射チャンバー１内には、シート状の被処
理物３を照射窓７下部の電子線照射エリア５を通過させ
るための被処理物搬送ローラ１１、１２が設置されてい
る。この場合、搬送ローラ１１、１２は、被処理物３が
窓枠９に当接しないように、窓枠９の下面に対して距離
Ｌ１を隔て、被処理物３の搬送方向に対して窓枠９の外
側の前後に配置されている。被処理物３はこの２個のロ
ーラ１１、１２で照射窓７に対して常に一定の距離が維
持され、均一に照射されながら搬送される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このように搬
送ローラ１１、１２が配置されていると、電子線４が通
過する窓箔８から被処理物３までの距離が長く、その間
を通過する電子線４は、照射チャンバー１内の空気又は
不活性ガスと衝突してエネルギーを失い、又、失われた
エネルギーは熱に変化し、照射チャンバー１内の温度を
上昇させると云う問題点がある。また、空気の場合に
は、オゾンを発生すると云う問題もある。

【０００５】このような問題を解消するには、窓枠９を
薄く形成して、電子線４が気中を通過する距離、すなわ
ち、エアパスを短くすればよいが、窓枠９は窓箔８、真
空シール等を固定支持するので機械的強度が要求され、
それに見合った厚みを必要とし、簡単に薄く形成するこ
とはできない。

【０００６】本発明は、上記の状況に鑑みなされたもの
で、電子線照射窓の窓枠の機能を充分に得ながら、電子
線のエアパス距離の短縮を可能にし、電子線の有効利用
を高めた電子線照射処理装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、電
子線を放出する窓と前記窓を覆う窓箔と前記窓箔を取り
付ける窓枠とを有する電子線照射装置と、前記電子線を
放出する窓と連結され、内部に被処理物を搬送する搬送
ローラを有する照射チャンバーとからなる電子線照射処
理装置において、前記搬送ローラは前記被処理物が搬送
される方向の前記窓の少なくとも両側に配置されるとと
もに、前記搬送ローラのそれぞれの少なくとも一部の表
面が前記窓枠で形成される領域内に位置してなることを
特徴とする電子線照射処理装置とすることにより達成さ
れる。

【０００８】上記特徴によれば、搬送ローラにより搬送
される被処理物は、電子線を放出する窓に形成された窓
箔に接近した位置に置かれ、電子線の、所謂エアパスが
短縮され、電子線が照射チャンバー内の空気又は不活性
ガスと衝突して発生する熱やオゾンが減少される。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る電子線照射処
理装置について図１および図２を参照して以下説明す
る。図１は本発明に係る電子線照射処理装置の要部の構
造を示す正面側断面図、図２は図１に示す要部の側面側
断面図図である。なお、図３および図４と同一部分には
同一の符号を付している。

【００１０】図１および図２において、１は照射チャン
バー、２は電子線照射装置、３は被処理物、６は電子線
照射装置２の真空室、７は電子線４を放出する窓、８は
窓箔、９は窓枠であり、これらは従来技術と同様である
ので、その説明は省略する。

【００１１】２１および２２は、被処理物３を電子線照
射エリア５を搬送させるための搬送ローラで、被処理物
３が搬送される方向に対して直角をなす方向の窓枠９の
内側寸法よりも短く形成され、搬送ローラ２１および２
２の一部の表面が窓枠９で形成される領域内、つまり窓
枠９の端面を結んで形成される平面よりも窓箔８側に接
近させて窓７の両側に配置されている。

【００１２】２個の搬送ローラ２１、２２は、その両端
部で軸受２３に回転自在に支持され、上部をシート状の
被処理物３を搬送させるため、窓枠９及び窓箔８に被処
理物３が接触しない距離Ｌ２が設けられている。

【００１３】このように構成された電子線照射処理装置
では、シート状の被処理物３は、ローラ２１の略斜め下
方向から照射エリア５内に搬送され、照射エリア５内で
電子線４が照射され、ローラ２２の略斜め下方向へ搬送
される。照射エリア５内で窓箔８を通過して放出される
電子線４は、窓箔８と被処理物３との間の空間を通過し
被処理物３を照射する。

【００１４】この場合、窓箔８と被処理物３との間の距
離Ｌ２は、搬送ローラ２１、２２が窓箔８に接近した状
態で搬送される分だけ従来に比し短くされてあり、電子
線４の照射チャンバー１内の大気あるいは不活性ガスの
分子と衝突する量は少なくなる。従って、例え電子ビー
ム４が大気中の空気又は不活性ガスの分子に衝突して
も、その量は従来技術よりは少なくすることができるた
め、衝突によるエネルギー損失を減少させ、且つ衝突に
より発生する熱変換を少なくして温度上昇を抑制するこ
とができる。

【００１５】なお、上記例の電子線照射処理装置にあっ
ては、搬送ローラは、被処理物が搬送される方向の電子
線を放出する窓の両側に配置されているが、更に電子線
照射エリア内に１つ以上の搬送ローラを設けるようにし
ても良い。また、照射チャンバー内における搬送ローラ
は電子線照射エリア部分に配置されたものに限らず、照
射チャンバーの被処理物入口や出口部においても設けら
れる。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被処理物は電子線を放出する窓箔に接近して配置され、
したがって、電子線が窓箔から被処理物に到達する距
離、いわゆるエアパスが短くなり、電子線の空気又は不
活性ガスに衝突して発生するエネルギーの損失、及び衝
突により発生する熱への変換及び衝突による温度上昇を
抑制することができると同時に電子線の有効利用が高め
られる。

【００１７】また、構造的には、複雑な構造にすること
なく窓枠の機能を充分に高めた状態を維持することがで
き、かつ、電子線が窓箔から被処理物に到達する距離を
短くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電子線照射処理装置の要部を示す
正面側断面図である。

【図２】図１に示す要部の側面側断面図である。

【図３】従来技術における電子線照射処理装置の要部を
示す正面側断面図である。

【図４】図３に示す電子線照射処理装置の要部の側面側
断面図である。

【符号の説明】

１ 電子線照射チャンバー ２ 電子線照射装置 ３ 被処理物 ４ 電子線 ５ 照射エリア ６ 真空チャンバー ７ 電子線放出窓 ８ 窓箔 ９ 窓枠 ２１、２２ 搬送ローラ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子線を放出する窓と前記窓を覆う窓箔と
   前記窓箔を取り付ける窓枠とを有する電子線照射装置
   と、前記電子線を放出する窓と連結され、内部に被処理
   物を搬送する搬送ローラを有する照射チャンバーとから
   なる電子線照射処理装置において、前記搬送ローラは前
   記被処理物が搬送される方向の前記窓の少なくとも両側
   に配置されるとともに、前記搬送ローラのそれぞれの少
   なくとも一部の表面が前記窓枠で形成される領域内に位
   置してなることを特徴とする電子線照射処理装置。