JPH075247U - 電子線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子線照射部の酸素濃度の低減と、箔の冷却
のために、不活性ガスを効率よく吹き付けることを目的
とする。 【構成】 照射窓を構成している箔を固定するためのフ
ランジの内部に、不活性ガスが供給される流通路を形成
し、この流通路に連通するように、フランジの内面に向
かって開口する吹出口を設ける。吹き出された不活性ガ
スは箔の下面に沿って流れるので、箔を効率よく冷却す
るとともに、照射部の酸素と置換される。流通路と吹出
口とは密閉した状態で連通しているので、不活性ガスは
吹出口より無駄なく吹き出される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は電子線照射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

電子線照射装置では、その照射部の酸素濃度を低減させるとともに、照射窓に 設けた電子線が透過する箔を冷却するために、不活性ガスを利用している。図３ はその従来構成を示し、１は走査管、２は照射窓で、開口部３をもつ走査管１の フランジ４と、電子線が透過する箔５と、この箔５を抑えるフランジ６とによっ て構成されている。電子線は走査管１より、開口部３、箔５を通って外部に放出 される。

【０００３】 照射窓２の周辺に不活性ガス（たとえば窒素ガス）を吹き出すノズル７を配置 し、これからの不活性ガスを照射窓２の下面に流すようにしている。この不活性 ガスを効率的に流す目的で、フランジ６に横方向に貫通する孔８を、フランジ６ の周辺に沿って複数形成している。ノズル７に設けた吹出口９から吹き出された 不活性ガスは、孔８を通って箔５の下面に流れる。これにより照射部の酸素濃度 を低減させるとともに、箔５を冷却する。

【０００４】 しかしこのような構成によると、孔８における不活性ガスの流れに対するコン ダクタンスが悪く、また不活性ガスはノズル７の吹出口９と孔８の入口との間の 空間を流れる必要があるため、箔７の下面にまで不活性ガスが円滑に流れること ができない。その結果、酸素濃度の低減、箔５の冷却を効率的に行なうことがで きない欠点がある。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、不活性ガスによる照射部における酸素濃度の低減と、箔の冷却との 効率化を図ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は、照射窓を構成している箔を固定するためのフランジの内部に、不活 性ガスが供給される流通路を形成し、この流通路に連通し、箔の下面に不活性ガ スが流れるように、フランジの内面に向かって開口する吹出口を設けたことを特 徴とする。

【０００７】

【作用】

流通路に不活性ガスを供給すると、流通路に設けた吹出口からフランジの内面 に向かって不活性ガスが吹き出す。この不活性ガスは箔の下面に沿って流れるよ うになる。流通路と吹出口とは密閉した状態で連通しているので、不活性ガスは フランジの内部から直接吹出口に流れる。したがって不活性ガスの流通は無駄な く、高効率で行なわれる。また不活性ガスは直接箔に吹き付けられるので、これ により効率的に箔が冷却される。

【０００８】

【実施例】

本考案の実施例を図１、図２によって説明する。なお図３と同じ符号を付した 部分は、同一または対応する部分を示す。本考案にしたがい、箔５を固定するた めのフランジ６の内部に、その周辺に沿って不活性ガスが供給される流通路１０ を設ける。

【０００９】 そして流通路１０の供給口１１から不活性ガスが供給されるようにしてある。 そして流通路１０から分枝するように、フランジ６の内面１２に向かって開口す る吹出口１３が、流通路１０の延長方向に沿って多数形成されてある。

【００１０】 以上の構成において、流通路１０に不活性ガスを供給すると、その不活性ガス は吹出口１３よりフランジ６の内面１２に向かって吹き出され、箔５の下面に沿 って流れる。この不活性ガスの流れにより箔５は冷却され、また照射部の近辺の 酸素がこの不活性ガスによって置換され、酸素濃度が低減される。

【００１１】 この場合、流通路１０はフランジ６の内部に設けられてあり、吹出口１２はこ の流通路１０に密閉された状態で連通しているので、不活性ガスは無駄なく吹き 出されるし、またその吹出量は、供給口１１から供給するガス圧力によって調整 可能となる。したがって箔５の下面には充分な量の不活性ガスを効率よく供給す ることができる。また箔５に直接ガスを吹き付けるので、その冷却のための効率 も高まる。

【００１２】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、照射窓に箔を取り付けるためのフランジ に不活性ガスが供給される流通路を設け、この流通路に連通して、フランジの内 面に向かって開口する吹出口を設けて、この吹出口より不活性ガスを吹き出すよ うにしたので、従来構成に比較して、不活性ガスによる照射部における酸素濃度 の低減と、箔の冷却との効率化を図ることができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す断面図である。

【図２】図１の一部の底面図である。

【図３】従来例の断面図である。

【符号の説明】

２ 照射窓 ５ 箔 ６ フランジ １０ 流通路 １２ 内面 １３ 吹出口

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 照射窓にフランジによって取り付けた箔
   を介して電子線を外部に放出するようにした電子線照射
   装置において、前記フランジの内部に、不活性ガスが供
   給される流通路を設けるとともに、前記流通路に連通し
   て、前記フランジの内面から前記箔の下面に向かって前
   記不活性ガスを流すように、前記フランジの内面に開口
   する吹出口を設けてなる電子線照射装置。