JPH09145900A - 電子線照射装置の窓箔冷却構造 - Google Patents
電子線照射装置の窓箔冷却構造Info
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- JPH09145900A JPH09145900A JP7344689A JP34468995A JPH09145900A JP H09145900 A JPH09145900 A JP H09145900A JP 7344689 A JP7344689 A JP 7344689A JP 34468995 A JP34468995 A JP 34468995A JP H09145900 A JPH09145900 A JP H09145900A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】２重窓構造の電子線照射窓箔の冷却効率を高め
た窓箔冷却構造を提供すること 【解決手段】窓箔２、３で２重窓構造とされた電子線照
射窓の内部を２分し、窓箔２、３を冷却する冷却媒体
Ｅ、Ｆの流れを折り返す中央ダクト３５を設けるととも
に、前記中央ダクト３５の側壁３７、３８に、前記中央
ダクト３５の中空内部と前記２分されたそれぞれの電子
線照射窓内部とを連通する狭い開口３９、４０を設け、
前記中央ダクト３５の中空内部に供給された冷却媒体Ｇ
を前記狭い開口３９、４０から噴出させ、前記２分され
たそれぞれの電子線照射窓内部を流れる前記冷却媒体
Ｅ、Ｆの流れを案内助長する電子線照射装置の窓箔冷却
構造。
た窓箔冷却構造を提供すること 【解決手段】窓箔２、３で２重窓構造とされた電子線照
射窓の内部を２分し、窓箔２、３を冷却する冷却媒体
Ｅ、Ｆの流れを折り返す中央ダクト３５を設けるととも
に、前記中央ダクト３５の側壁３７、３８に、前記中央
ダクト３５の中空内部と前記２分されたそれぞれの電子
線照射窓内部とを連通する狭い開口３９、４０を設け、
前記中央ダクト３５の中空内部に供給された冷却媒体Ｇ
を前記狭い開口３９、４０から噴出させ、前記２分され
たそれぞれの電子線照射窓内部を流れる前記冷却媒体
Ｅ、Ｆの流れを案内助長する電子線照射装置の窓箔冷却
構造。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子線源から出射
された電子線の取り出し口である開口部を窓箔で気密に
覆うようにした電子線照射窓に関し、詳しくは、前記窓
箔の冷却構造に関するものである。
された電子線の取り出し口である開口部を窓箔で気密に
覆うようにした電子線照射窓に関し、詳しくは、前記窓
箔の冷却構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】加速された電子を照射窓から放出し外部
の被照射物に照射する場合、電子線照射装置の加速管の
気密を維持するため、その照射窓に薄い箔、例えば厚さ
１２μｍ〜５０μｍのチタン箔で覆うようにして窓箔が
形成されている。加速された電子はこの窓箔を透過して
外部に放射されるが、この透過の際、電子の加速エネル
ギーの一部は窓箔で失うことになり、この失われたエネ
ルギーにより窓箔は発熱する。
の被照射物に照射する場合、電子線照射装置の加速管の
気密を維持するため、その照射窓に薄い箔、例えば厚さ
１２μｍ〜５０μｍのチタン箔で覆うようにして窓箔が
形成されている。加速された電子はこの窓箔を透過して
外部に放射されるが、この透過の際、電子の加速エネル
ギーの一部は窓箔で失うことになり、この失われたエネ
ルギーにより窓箔は発熱する。
【０００３】ところで、近年、電子線照射装置は利用分
野の拡大に伴い益々大電流化の傾向にある。この場合、
電子線照射装置は、窓箔でのエネルギーロスによる熱集
中を防ぐため、電子線をスキャン（走査）し、窓箔部も
幅広くしてダブルチャンネル方式とし、また窓箔での発
生熱を冷却する方法として窓箔に空気や窒素を吹き付け
る空冷式とされている。
野の拡大に伴い益々大電流化の傾向にある。この場合、
電子線照射装置は、窓箔でのエネルギーロスによる熱集
中を防ぐため、電子線をスキャン（走査）し、窓箔部も
幅広くしてダブルチャンネル方式とし、また窓箔での発
生熱を冷却する方法として窓箔に空気や窒素を吹き付け
る空冷式とされている。
【０００４】このような空冷式では、冷却風の吹き付け
による被照射物への影響又は発生するオゾンを押えるた
め等により、被照射物が粉末や排気ガス等では、冷却風
が被照射物に当たらないように、また、被照射物が１次
窓箔に当たらないようにもう一枚箔を用いた２重窓構造
とされている。ダブルチャンネル方式の２重窓構造で
は、１次窓箔、２次窓箔をそれぞれ空冷するために、冷
却風の流れを考えてそれぞれ一方向により冷却風を吹き
付けるようにされている。
による被照射物への影響又は発生するオゾンを押えるた
め等により、被照射物が粉末や排気ガス等では、冷却風
が被照射物に当たらないように、また、被照射物が１次
窓箔に当たらないようにもう一枚箔を用いた２重窓構造
とされている。ダブルチャンネル方式の２重窓構造で
は、１次窓箔、２次窓箔をそれぞれ空冷するために、冷
却風の流れを考えてそれぞれ一方向により冷却風を吹き
付けるようにされている。
【０００５】その例を図２の電子線照射装置の窓箔冷却
構造を示す要部断面図を参照して説明すると、図２にお
いて、１は電子線Ｄ１およびＤ２を紙面の垂直方向に走
査する走査管、４は走査管１の電子線照射窓（１次照射
窓）部に取り付けられ、その電子線照射窓１１を気密に
覆う窓箔（１次照射窓用窓箔）２を押圧取付ける窓箔押
えダクトである。
構造を示す要部断面図を参照して説明すると、図２にお
いて、１は電子線Ｄ１およびＤ２を紙面の垂直方向に走
査する走査管、４は走査管１の電子線照射窓（１次照射
窓）部に取り付けられ、その電子線照射窓１１を気密に
覆う窓箔（１次照射窓用窓箔）２を押圧取付ける窓箔押
えダクトである。
【０００６】窓箔押えダクト４は、走査管１の１次照射
窓と対向する面の反対側の面に走査管１の電子線を外部
に照射する電子線照射窓（２次照射窓）１２と、両側の
それぞれに給気口７、８および図示しない排気口とを備
えている。走査管１の１次照射窓１１と対向する開口１
３には、１次照射窓用窓箔２の周縁を押圧する１次窓箔
押え板５が設けられ、また、２次照射窓１２には、２次
照射窓用窓箔３の周縁を押圧する２次窓箔押え板９を取
着する取着板６が設けられている。
窓と対向する面の反対側の面に走査管１の電子線を外部
に照射する電子線照射窓（２次照射窓）１２と、両側の
それぞれに給気口７、８および図示しない排気口とを備
えている。走査管１の１次照射窓１１と対向する開口１
３には、１次照射窓用窓箔２の周縁を押圧する１次窓箔
押え板５が設けられ、また、２次照射窓１２には、２次
照射窓用窓箔３の周縁を押圧する２次窓箔押え板９を取
着する取着板６が設けられている。
【０００７】窓箔押えダクト４の内部には、給気路と排
気路とを仕切る仕切板１７、１８が形成されている。仕
切板１７の先端部は１次窓箔押え板５に接近して配置し
てノズル状に形成し、給気口７から供給された冷却空気
Ａを１次照射窓用窓箔２に吹き付けるようにされ、冷却
空気Ａは１次照射窓用窓箔２に沿って流れ、窓箔押えダ
クト４の給気口８が設けられた側の図示しない排気口か
ら排出される。また、仕切板１８の先端部は取着板６に
接近して配置してノズル状に形成し、給気口８から供給
された冷却空気Ｂを２次照射窓用窓箔３に吹き付けるよ
うにされ、冷却空気Ｂは２次照射窓用窓箔３に沿って流
れ、窓箔押えダクト４の給気口７が設けられた側の図示
しない排気口から排出される。
気路とを仕切る仕切板１７、１８が形成されている。仕
切板１７の先端部は１次窓箔押え板５に接近して配置し
てノズル状に形成し、給気口７から供給された冷却空気
Ａを１次照射窓用窓箔２に吹き付けるようにされ、冷却
空気Ａは１次照射窓用窓箔２に沿って流れ、窓箔押えダ
クト４の給気口８が設けられた側の図示しない排気口か
ら排出される。また、仕切板１８の先端部は取着板６に
接近して配置してノズル状に形成し、給気口８から供給
された冷却空気Ｂを２次照射窓用窓箔３に吹き付けるよ
うにされ、冷却空気Ｂは２次照射窓用窓箔３に沿って流
れ、窓箔押えダクト４の給気口７が設けられた側の図示
しない排気口から排出される。
【０００８】１次照射窓用窓箔２は、走査管１の１次照
射窓１１部のフランジ１４と窓箔押えダクト４の１次窓
箔押え板５との間でシール部材１５を介して締め付けボ
ルト１６により圧着されている。２次照射窓用窓箔３
は、窓箔押えダクト４の取着板６と２次窓箔押え板９と
の間でシール部材１０を介して締め付けボルト１９によ
り圧着されている。なお、２０は１次照射窓１１の中央
部に電子線走査方向と平行に形成された中央桟であり、
２１は被照射物を配置する容器でそのフランジ２２に窓
箔押えダクト４が取り付けられている。
射窓１１部のフランジ１４と窓箔押えダクト４の１次窓
箔押え板５との間でシール部材１５を介して締め付けボ
ルト１６により圧着されている。２次照射窓用窓箔３
は、窓箔押えダクト４の取着板６と２次窓箔押え板９と
の間でシール部材１０を介して締め付けボルト１９によ
り圧着されている。なお、２０は１次照射窓１１の中央
部に電子線走査方向と平行に形成された中央桟であり、
２１は被照射物を配置する容器でそのフランジ２２に窓
箔押えダクト４が取り付けられている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
た電子線照射装置では、ランニングコストとして冷却風
を供給するための冷却ブロワの消費電力は、装置全体の
３〜４割をしめており、窓箔の冷却を効率良く冷却し、
冷却ブロワの風量を低減させ、冷却ブロワに要する消費
電力の低減が要望されている。加えて、上記のような１
次照射窓および２次照射窓を有する２重窓構造では、１
次窓箔、２次窓箔ともに冷却する必要があり、それぞれ
の冷却風が狭い空間でぶつかり、冷却効率が劣るという
問題がある。
た電子線照射装置では、ランニングコストとして冷却風
を供給するための冷却ブロワの消費電力は、装置全体の
３〜４割をしめており、窓箔の冷却を効率良く冷却し、
冷却ブロワの風量を低減させ、冷却ブロワに要する消費
電力の低減が要望されている。加えて、上記のような１
次照射窓および２次照射窓を有する２重窓構造では、１
次窓箔、２次窓箔ともに冷却する必要があり、それぞれ
の冷却風が狭い空間でぶつかり、冷却効率が劣るという
問題がある。
【００１０】本発明は、上記の要望や問題に鑑みなされ
たもので、電子線照射窓が２重窓構造でありながら、冷
却効率の高い電子線照射装置の窓箔冷却構造を提供する
ことを目的とする。
たもので、電子線照射窓が２重窓構造でありながら、冷
却効率の高い電子線照射装置の窓箔冷却構造を提供する
ことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、電
子線照射窓が窓箔を有して２重に構成され、各窓箔によ
り形成された前記電子線照射窓の内部に冷却媒体を通流
して前記各窓箔を冷却する電子線照射装置の窓箔冷却構
造であって、前記電子線照射窓の内部を２分し、前記冷
却媒体の流れを折り返す中央ダクトを設けるとともに、
前記中央ダクトの側壁に、前記中央ダクトの中空内部と
前記２分されたそれぞれの電子線照射窓内部とを連通す
る狭い開口を設け、前記中央ダクトの中空内部に供給さ
れた冷却媒体を前記狭い開口から噴出することにより、
前記２分されたそれぞれの電子線照射窓内部を流れる前
記冷却媒体の流れを案内することを特徴とする電子線照
射装置の窓箔冷却構造とすることにより達成される。
子線照射窓が窓箔を有して２重に構成され、各窓箔によ
り形成された前記電子線照射窓の内部に冷却媒体を通流
して前記各窓箔を冷却する電子線照射装置の窓箔冷却構
造であって、前記電子線照射窓の内部を２分し、前記冷
却媒体の流れを折り返す中央ダクトを設けるとともに、
前記中央ダクトの側壁に、前記中央ダクトの中空内部と
前記２分されたそれぞれの電子線照射窓内部とを連通す
る狭い開口を設け、前記中央ダクトの中空内部に供給さ
れた冷却媒体を前記狭い開口から噴出することにより、
前記２分されたそれぞれの電子線照射窓内部を流れる前
記冷却媒体の流れを案内することを特徴とする電子線照
射装置の窓箔冷却構造とすることにより達成される。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明は、例えば、電子線を走査
する走査管の電子線照射窓（１次照射窓）を気密に覆う
窓箔（１次照射窓用窓箔）の押え板を、電子線を外部に
照射する電子線照射窓（２次照射窓）と両側のそれぞれ
に冷却媒体の供給口および排出口を備えるダクト付きに
構成して、各電子線照射窓に窓箔を取着し、電子線照射
装置の電子線照射窓を２重構造にする。そして、前記ダ
クトの前記２重構造の電子線照射窓に対応する中央位置
に電子線走査方向と平行する中央ダクトを設け、この中
央ダクトにより前記２重構造の電子線照射窓内部を２つ
に仕切る。
する走査管の電子線照射窓（１次照射窓）を気密に覆う
窓箔（１次照射窓用窓箔）の押え板を、電子線を外部に
照射する電子線照射窓（２次照射窓）と両側のそれぞれ
に冷却媒体の供給口および排出口を備えるダクト付きに
構成して、各電子線照射窓に窓箔を取着し、電子線照射
装置の電子線照射窓を２重構造にする。そして、前記ダ
クトの前記２重構造の電子線照射窓に対応する中央位置
に電子線走査方向と平行する中央ダクトを設け、この中
央ダクトにより前記２重構造の電子線照射窓内部を２つ
に仕切る。
【００１３】中央ダクトは、２次照射窓側に位置する相
対向する側壁の端部に狭い開口を形成する。また、ダク
トの両側それぞれの内部に供給路と排出路とを仕切る仕
切板を設け、それぞれの仕切板の先端部は１次照射窓用
窓箔方向に向け、ダクトの供給口から供給された冷却媒
体を１次照射窓用窓箔に吹き付けるようにする。
対向する側壁の端部に狭い開口を形成する。また、ダク
トの両側それぞれの内部に供給路と排出路とを仕切る仕
切板を設け、それぞれの仕切板の先端部は１次照射窓用
窓箔方向に向け、ダクトの供給口から供給された冷却媒
体を１次照射窓用窓箔に吹き付けるようにする。
【００１４】吹き付けられた冷却媒体は、２分されたそ
れぞれの電子線照射窓において１次照射窓用窓箔に沿っ
て流れ、中央ダクトの側壁に伝ってその方向が反転さ
れ、２次照射窓の２次照射窓用窓箔に沿って流れ、排出
路を通ってダクトの排出口から排出される。このとき、
中央ダクトの中空内部にも冷却媒体を供給し、中央ダク
トの側壁の２次照射窓側の端部に形成した狭い開口から
噴出させる。
れぞれの電子線照射窓において１次照射窓用窓箔に沿っ
て流れ、中央ダクトの側壁に伝ってその方向が反転さ
れ、２次照射窓の２次照射窓用窓箔に沿って流れ、排出
路を通ってダクトの排出口から排出される。このとき、
中央ダクトの中空内部にも冷却媒体を供給し、中央ダク
トの側壁の２次照射窓側の端部に形成した狭い開口から
噴出させる。
【００１５】この噴出された冷却媒体により１次照射窓
用窓箔に沿って流れた冷却媒体の２次照射窓用窓箔に沿
う流れが案内助長され、１次および２次照射窓用窓箔に
沿って流れる冷却媒体の流れは滑らかになり、効果的に
各窓箔は冷却される。また、従来のように冷却媒体の窓
箔への吹き付け位置から遠い位置の窓箔の冷却を基準
（当該位置の窓箔の温度上昇を抑制することを基準にし
て冷却ブロワ風量等が設定され、消費電力は大きい。）
とする必要がなく、冷却媒体量や静圧が低減されて冷却
のための消費電力が低減できる。
用窓箔に沿って流れた冷却媒体の２次照射窓用窓箔に沿
う流れが案内助長され、１次および２次照射窓用窓箔に
沿って流れる冷却媒体の流れは滑らかになり、効果的に
各窓箔は冷却される。また、従来のように冷却媒体の窓
箔への吹き付け位置から遠い位置の窓箔の冷却を基準
（当該位置の窓箔の温度上昇を抑制することを基準にし
て冷却ブロワ風量等が設定され、消費電力は大きい。）
とする必要がなく、冷却媒体量や静圧が低減されて冷却
のための消費電力が低減できる。
【００１６】
【実施例】図１は、本発明の一実施例における電子線照
射装置の窓箔冷却構造を示す要部断面図である。なお、
図２と同一部分には同一の符号を付し、重複する説明は
省略する。図１において、３０は走査管１の電子線照射
窓（１次照射窓）１１部に取り付けられ、その電子線照
射窓１１を気密に覆う窓箔（１次照射窓用窓箔）２を押
圧取付ける窓箔押えダクトである。窓箔押えダクト３０
は、走査管１の１次照射窓と対向する面の反対側の面に
走査管１の電子線を外部に照射する電子線照射窓（２次
照射窓）１２と、両側のそれぞれに冷却媒体例えば空気
や窒素等を供給する供給口および排出口とを備えている
（図では、一方の側の供給口３１と他方の側の排出口３
２が示されている。）。
射装置の窓箔冷却構造を示す要部断面図である。なお、
図２と同一部分には同一の符号を付し、重複する説明は
省略する。図１において、３０は走査管１の電子線照射
窓（１次照射窓）１１部に取り付けられ、その電子線照
射窓１１を気密に覆う窓箔（１次照射窓用窓箔）２を押
圧取付ける窓箔押えダクトである。窓箔押えダクト３０
は、走査管１の１次照射窓と対向する面の反対側の面に
走査管１の電子線を外部に照射する電子線照射窓（２次
照射窓）１２と、両側のそれぞれに冷却媒体例えば空気
や窒素等を供給する供給口および排出口とを備えている
（図では、一方の側の供給口３１と他方の側の排出口３
２が示されている。）。
【００１７】３５は、窓箔押えダクト３０の電子線照射
窓１２の中央部に電子線走査方向と平行して窓箔押えダ
クト３０の両端に跨って形成された中央ダクトで、１次
照射窓用窓箔２と２次照射窓用窓箔３により２重構造に
された電子線照射窓内部を２つに仕切る。この中央ダク
ト３５の相対向する両側の側壁３７、３８は適宜の曲率
を持って形成され、その下端部近傍位置に適宜幅の狭い
開口（複数の細径孔でも良い。）３９、４０が形成され
ている。
窓１２の中央部に電子線走査方向と平行して窓箔押えダ
クト３０の両端に跨って形成された中央ダクトで、１次
照射窓用窓箔２と２次照射窓用窓箔３により２重構造に
された電子線照射窓内部を２つに仕切る。この中央ダク
ト３５の相対向する両側の側壁３７、３８は適宜の曲率
を持って形成され、その下端部近傍位置に適宜幅の狭い
開口（複数の細径孔でも良い。）３９、４０が形成され
ている。
【００１８】また、窓箔押えダクト３０の両側内部に
は、冷却媒体の供給路と排出路とを仕切る仕切板３３、
３４が形成されている。その仕切板３３、３４の先端部
は１次窓箔押え板５に接近して配置してノズル状に形成
し、供給口３１から供給された冷却媒体Ｅおよび図示し
ない供給口から供給された冷却媒体Ｆを１次照射窓用窓
箔２に吹き付けるようにしている。
は、冷却媒体の供給路と排出路とを仕切る仕切板３３、
３４が形成されている。その仕切板３３、３４の先端部
は１次窓箔押え板５に接近して配置してノズル状に形成
し、供給口３１から供給された冷却媒体Ｅおよび図示し
ない供給口から供給された冷却媒体Ｆを１次照射窓用窓
箔２に吹き付けるようにしている。
【００１９】供給口３１から供給された冷却媒体Ｅは１
次照射窓用窓箔２、中央ダクト３５の側壁３７、２次照
射窓用窓箔３に沿って流れ、排出路を通って図示しない
排出口から排出される。図示しない供給口から供給され
た冷却媒体Ｆは１次照射窓用窓箔２、中央ダクト３５の
側壁３８、２次照射窓用窓箔３に沿って流れ、排出路を
通って排出口３２から排出される。
次照射窓用窓箔２、中央ダクト３５の側壁３７、２次照
射窓用窓箔３に沿って流れ、排出路を通って図示しない
排出口から排出される。図示しない供給口から供給され
た冷却媒体Ｆは１次照射窓用窓箔２、中央ダクト３５の
側壁３８、２次照射窓用窓箔３に沿って流れ、排出路を
通って排出口３２から排出される。
【００２０】２重構造にされた電子線照射窓内部に冷却
媒体Ｅ、Ｆが供給されるとき、中央ダクト３５の中空内
部に同様の冷却媒体Ｇを供給し、中央ダクト３５の相対
向する両側の側壁３７、３８に形成されてある開口３
９、４０から噴出させる。なお、３６は水等の冷却媒体
を通流する冷却管である。
媒体Ｅ、Ｆが供給されるとき、中央ダクト３５の中空内
部に同様の冷却媒体Ｇを供給し、中央ダクト３５の相対
向する両側の側壁３７、３８に形成されてある開口３
９、４０から噴出させる。なお、３６は水等の冷却媒体
を通流する冷却管である。
【００２１】１次照射窓用窓箔２は、走査管１の１次照
射窓１１部のフランジ１４と窓箔押えダクト４の１次窓
箔押え板５との間でシール部材１５を介して締め付けボ
ルト１６により圧着されている。２次照射窓用窓箔３
は、窓箔押えダクト３０の取着板６と２次窓箔押え板９
との間でシール部材１０を介して締め付けボルト１９に
より圧着されている。なお、２０は窓箔押えダクト３０
の１次照射窓１１と対向する開口１３の中央部に電子線
走査方向と平行に形成された中央桟であり、２１は被照
射物を配置する容器でそのフランジ２２に窓ダクト４が
取り付けられている。
射窓１１部のフランジ１４と窓箔押えダクト４の１次窓
箔押え板５との間でシール部材１５を介して締め付けボ
ルト１６により圧着されている。２次照射窓用窓箔３
は、窓箔押えダクト３０の取着板６と２次窓箔押え板９
との間でシール部材１０を介して締め付けボルト１９に
より圧着されている。なお、２０は窓箔押えダクト３０
の１次照射窓１１と対向する開口１３の中央部に電子線
走査方向と平行に形成された中央桟であり、２１は被照
射物を配置する容器でそのフランジ２２に窓ダクト４が
取り付けられている。
【００２２】以上のように構成される電子線照射装置の
窓箔冷却構造によれば、例えば、電子線出力１００ｍ
Ａ、走査管の走査幅１２０ｃｍの電子線照射装置にして
従来の窓箔冷却構造のものと比較すると、ブロワ消費電
力は、従来のものでは３０ＫＷ要するのに対して、本例
では１８．５ＫＷとなり、冷却に要する消費電力は従来
に比べ大幅に低減される。更に、中央ダクトの相対向す
る両側の側壁に形成されてある開口の幅等の設定によ
り、より消費電力の低減は可能である。
窓箔冷却構造によれば、例えば、電子線出力１００ｍ
Ａ、走査管の走査幅１２０ｃｍの電子線照射装置にして
従来の窓箔冷却構造のものと比較すると、ブロワ消費電
力は、従来のものでは３０ＫＷ要するのに対して、本例
では１８．５ＫＷとなり、冷却に要する消費電力は従来
に比べ大幅に低減される。更に、中央ダクトの相対向す
る両側の側壁に形成されてある開口の幅等の設定によ
り、より消費電力の低減は可能である。
【００２３】なお、ブロワ消費電力の算出は以下の条件
により求めたものである。 １次照射窓用窓箔冷却風について、 従来 ２２ｍ３／ｍｉｎ、 本例 従来と同じ２２ｍ３／ｍｉｎ ２次照射窓用窓箔冷却風について、 従来 ２２ｍ３／ｍｉｎ、 本例 １次照射窓用窓箔冷却風そのまま利用 ガイド風について、 従来 なし、 本例１０ｍ３／ｍｉｎ したがって、冷却風総計は、従来では４４ｍ３／ｍｉｎ
であり、本例では３２ｍ３／ｍｉｎ、また、吹き出し圧
損は、両者とも０．１５ｋｇ／ｃｍ２である。
により求めたものである。 １次照射窓用窓箔冷却風について、 従来 ２２ｍ３／ｍｉｎ、 本例 従来と同じ２２ｍ３／ｍｉｎ ２次照射窓用窓箔冷却風について、 従来 ２２ｍ３／ｍｉｎ、 本例 １次照射窓用窓箔冷却風そのまま利用 ガイド風について、 従来 なし、 本例１０ｍ３／ｍｉｎ したがって、冷却風総計は、従来では４４ｍ３／ｍｉｎ
であり、本例では３２ｍ３／ｍｉｎ、また、吹き出し圧
損は、両者とも０．１５ｋｇ／ｃｍ２である。
【００２４】このように消費電力が従来に比べ低減され
る理由は、窓箔の冷却による熱移動は、熱伝達率と温度
差に依存している。熱伝達率は風速に依存しており、風
速は距離に関係する。つまり吹き付け点から冷却面まで
の距離をなるべく近づけることが効率の良い冷却とな
る。従来は、片側の吹き付け点からダブルチャンネルの
１次照射窓用窓箔、２次照射窓用窓箔を冷却しているた
め吹き付け点から遠い窓箔の温度が上がることになり、
必要冷却風量はこの遠い方の窓箔の温度により決められ
ていた（摂氏２５０度〜３００度）。そのために従来
は、多くの風量を必要としている。
る理由は、窓箔の冷却による熱移動は、熱伝達率と温度
差に依存している。熱伝達率は風速に依存しており、風
速は距離に関係する。つまり吹き付け点から冷却面まで
の距離をなるべく近づけることが効率の良い冷却とな
る。従来は、片側の吹き付け点からダブルチャンネルの
１次照射窓用窓箔、２次照射窓用窓箔を冷却しているた
め吹き付け点から遠い窓箔の温度が上がることになり、
必要冷却風量はこの遠い方の窓箔の温度により決められ
ていた（摂氏２５０度〜３００度）。そのために従来
は、多くの風量を必要としている。
【００２５】これに比べ本例では、吹き付け点から遠い
窓箔は、２次照射窓用窓箔にし、２次照射窓用窓箔は１
次照射窓用窓箔のように高真空で引張られることがな
く、箔の厚みが薄く、そのため電子線のエネルギーロス
が少なくなり、窓箔の発熱量が低く、吹き付け点から遠
い窓箔の温度上昇をさほど考慮する必要をなくし、１次
照射窓用窓箔を冷却した風を２次照射窓用窓箔の冷却に
流用し、ガイド風を発生させて冷却風の循環を滑らかに
することにより効率良く冷却している。
窓箔は、２次照射窓用窓箔にし、２次照射窓用窓箔は１
次照射窓用窓箔のように高真空で引張られることがな
く、箔の厚みが薄く、そのため電子線のエネルギーロス
が少なくなり、窓箔の発熱量が低く、吹き付け点から遠
い窓箔の温度上昇をさほど考慮する必要をなくし、１次
照射窓用窓箔を冷却した風を２次照射窓用窓箔の冷却に
流用し、ガイド風を発生させて冷却風の循環を滑らかに
することにより効率良く冷却している。
【００２６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、１次照射
窓用窓箔および２次照射窓用窓箔を冷却する冷却媒体量
や静圧を低減することができ、冷却のための消費電力を
低減することができる。
窓用窓箔および２次照射窓用窓箔を冷却する冷却媒体量
や静圧を低減することができ、冷却のための消費電力を
低減することができる。
【図１】本発明の実施例の電子線照射装置の窓箔冷却構
造を示す要部断面図である。
造を示す要部断面図である。
【図２】従来の電子線照射装置の窓箔冷却構造を示す要
部断面図である。
部断面図である。
１ 電子線走査管 ２ １次照射窓用窓箔 ３ ２次照射窓用窓箔 ５ １次窓箔押え板 １１ １次照射窓 １２ ２次照射窓 ３０ 窓箔押えダクト ３１ 冷却媒体供給口 ３２ 冷却媒体排出口 ３３、３４ 仕切板 ３５ 中央ダクト ３７、３８ 中央ダクトの側壁 ３９、４０ 開口 Ｅ、Ｆ 冷却媒体 Ｇ ガイド用冷却媒体
Claims (1)
- 【請求項１】電子線照射窓が窓箔を有して２重に構成さ
れ、各窓箔により形成された前記電子線照射窓の内部に
冷却媒体を通流して前記各窓箔を冷却する電子線照射装
置の窓箔冷却構造であって、前記電子線照射窓の内部を
２分し、前記冷却媒体の流れを折り返す中央ダクトを設
けるとともに、前記中央ダクトの側壁に、前記中央ダク
トの中空内部と前記２分されたそれぞれの電子線照射窓
内部とを連通する狭い開口を設け、前記中央ダクトの中
空内部に供給された冷却媒体を前記狭い開口から噴出す
ることにより、前記２分されたそれぞれの電子線照射窓
内部を流れる前記冷却媒体の流れを案内することを特徴
とする電子線照射装置の窓箔冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7344689A JPH09145900A (ja) | 1995-11-25 | 1995-11-25 | 電子線照射装置の窓箔冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7344689A JPH09145900A (ja) | 1995-11-25 | 1995-11-25 | 電子線照射装置の窓箔冷却構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145900A true JPH09145900A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18371222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7344689A Pending JPH09145900A (ja) | 1995-11-25 | 1995-11-25 | 電子線照射装置の窓箔冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09145900A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000042620A1 (fr) * | 1999-01-11 | 2000-07-20 | Ebara Corporation | Dispositif de reaction a une projection de faisceau electronique |
| JP2013026368A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP2013185830A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-19 | Sumitomo Electric Fine Polymer Inc | 電離性放射線照射装置 |
-
1995
- 1995-11-25 JP JP7344689A patent/JPH09145900A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000042620A1 (fr) * | 1999-01-11 | 2000-07-20 | Ebara Corporation | Dispositif de reaction a une projection de faisceau electronique |
| US6724003B1 (en) | 1999-01-11 | 2004-04-20 | Ebara Corporation | Electron beam-irradiating reaction apparatus |
| JP2013026368A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
| JP2013185830A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-19 | Sumitomo Electric Fine Polymer Inc | 電離性放射線照射装置 |
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