JPH0648480Y2 - 電子線照射装置の二次窓箔固定装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、照射窓の窓箔の外部と電子線の照射雰囲気
とを遮蔽するために用いる二次窓箔を固定する電子線照
射装置の二次窓箔固定装置に関するものである。

〔従来の技術〕

電子線照射装置は、高真空中で発生させた電子を加速
し、この加速された電子を大気中に取り出して被照射物
に照射することにより、その被照射物に化学反応を起こ
させる装置である。

第４図は従来の電子線照射装置の一例を示す。真空容器
51の走査管部51aの下端に照射窓52を設け、真空シール
用の窓箔53で覆ってある。窓箔53は、真空容器51に取付
けられた窓箔押え枠55により、真空容器51に固定する。
窓箔53は、電子線の透過時にそのエネルギの一部を吸収
して高温に加熱されるため、窓箔押え枠55に設けたエア
ーノズル61から冷却風ａを吹き付けて冷却する。

このような構成において、前記照射窓52の窓箔53が、被
照射体に電子線を照射する照射雰囲気57に直接に接しな
いように、照射雰囲気57を隔壁56を囲み、電子線を通過
させる位置に二次窓58を設けて二次窓箔59を張った二重
窓構造とすることがある。

二重窓構造とする場合としては、例えば塗料のキュアリ
ングのように照射雰囲気57の酸素濃度を低下させるため
や、被照射体が排煙であってその脱硫，脱硝処理を行う
ときのように排煙中の粉体により窓箔53が汚染されるの
を防ぐため等、種々の場合がある。前記キュアリングに
おいては、酸素濃度が高いと塗装品質が低下することか
ら不活性ガス中で一般に行われている。

二次窓箔59は、二次窓箔押え枠60により隔壁56に挟み込
んで固定している。二次窓箔59は、窓箔53と同様に電子
線の透過により加熱されるため、別のエアーノズル62を
設け、冷却風ｂを二次窓箔59に吹き付けるようにしてい
る。窓箔53および二次窓箔59は、電子線の透過性および
耐久性に優れていることから、チタンまたはチタン合金
またはアルミニウム等の金属箔を用いている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、二次窓箔59を固定したときにできる二次窓箔59
の弛み部分が、冷却風a,bのために振動し、繰り返し応
力により破れ易くなって二次窓箔59の寿命が低下すると
いう問題点がある。二次窓箔59の固定時の弛みを無くせ
ば、冷却風による振動を防止できるが、二次窓箔59は大
面積でかつ薄い箔であるため、弛みを生じさせずに張る
ことは非常に困難である。例えば、二次窓箔59は、大き
なものでは長さが2m,幅が30cm程度もあり、また電子線
の透過を良くするために通常は厚さが数十μの薄いもの
が用いられる。また、窓箔押え枠55と隔壁56との間の空
間が狭く、このことからも二次窓箔59を弛み無く張るこ
とが困難である。

この考案の目的は、二次窓箔を弛みなく引っ張り状態に
固定することができて、冷却風による二次窓箔の振動を
防止し、寿命向上を図ることのできる電子線照射装置の
二次窓箔固定装置を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案の電子線照射装置の二次窓箔固定装置は、電子
線発生源を収容した真空容器の照射窓の窓箔と外部と電
子線の照射雰囲気とを遮蔽する隔壁を設け、この隔壁に
前記照射窓と対向する二次窓を設け、この二次窓を覆う
二次窓箔を前記隔壁の前記二次窓の周縁と二次窓箔押え
枠とで挾み付けて固定した電子線照射装置の二次窓箔固
定装置において、前記二次窓箔押え枠と前記二次窓との
いずれか一方の内周縁に、他方側へ突出して前記二次窓
箔を緊張状態に押す表面が曲面になった突条を設け、前
記突条に対向する前記他方の内周縁を曲面に形成したも
のである。

〔作用〕

この考案の構成によれば、二次窓箔押え枠と二次窓との
いずれか一方の内周縁に他方へ突出する表面が曲面にな
った突条を設け、かつ突条に対向する他方の内周縁を曲
面に形成したので、二次窓箔押え枠を隔壁に固定する際
に二次窓箔の周縁部に固定されながら、突条が二次窓箔
に当たり、二次窓箔に張力をかけて行くので、二次窓箔
が突条で押されて所定の張力がかかった状態となり、弛
みを生じることなく固定される。そのため、冷却風が二
次窓箔に吹きつけられても、二次窓箔の振動が抑制さ
れ、二次窓箔の寿命低下が防止される。しかも突条の表
面等を曲面に形成したため、二次窓箔を傷付けることが
なく、また二次窓箔に張力を加えた時や微振動等に伴う
応力集中が緩和される。さらに二次窓箔を押す突条とい
う簡単な構成により、確実に二次窓箔を緊張状態に張る
ことができる。

〔実施例〕

この考案の一実施例を第１図ないし第３図に基づいて説
明する。この例は走査型の電子線照射装置に適用したも
のであり、第１図は走査方向と直交する方向の断面を示
す。真空容器１は電子線発生源を内蔵したものであり、
下部が走査管部1aに形成され、その上方に加速管部（図
示せず）が続く。走査管部1aは、走査方向（紙面と垂直
な方向）に下広がりとなったテーパ状に形成され、下端
の照射窓２は走査方向に長く形成されている。真空容器
１の照射窓２の周囲にはフランジ1bを外側へ突設してあ
る。

照射窓２は窓箔３で覆い、窓箔３は窓箔押え枠４により
真空容器１の下面に固定してある。窓箔押え枠４は、フ
ランジ1bに多数本のボルト等の締付け具（図示せず）に
より取付けてある。窓箔３は、内外の圧力差により湾曲
形状となる。５はＯリング等のシール材である。

照射窓３の下方には照射雰囲気６を囲む隔壁７が設けら
れ、隔壁７の上面の厚肉部分7aに、照射窓３と対向する
二次窓８が形成してある。隔壁７は気密室を構成するも
のであり、その側壁部分7bに被照射物の出入り口19を設
けてある。照射雰囲気６は、不活性ガス雰囲気等であ
る。

二次窓８は二次窓箔10で覆い、二次窓箔10は二次窓箔押
え枠９と隔壁７の二次窓８の周縁部とで挟み込んで固定
してある。二次窓箔押え枠９は、数十本のボルト等の締
付け具17により隔壁７に固定してある。二次窓箔押え枠
９には内周縁に隔壁７側へ突出した突条9aが全周に突設
してある。突条9aの先端は円弧状の断面形状としてある
（第２図）。

隔壁７の二次窓８の周縁には溝を形成してＯリング等の
シール材15を嵌着してある。また、二次窓箔押え枠９
は、冷却液路16を内部に形成し、循環配管18（第３図）
を介して水等の冷却液を循環させるようにしてある。冷
却液路16は、二次窓箔押え枠９に形成した溝に蓋体16a
を溶接等で固定して形成したものである。

第１図に示すように、前記窓箔押え枠５内には窓箔３に
冷却風を吹き付けるエアーノズル11を照射窓２の長手方
向の一辺に形成し、接続口12に冷却風供給装置を接続す
る。エアーノズル11と反対の辺には二次窓箔８に冷却風
を吹き付ける第２のエアーノズル13が設けてある。13a
はエアーノズル13の吹き出し口、14は冷却風供給装置接
続口である。

この実施例の構成によると、二次窓箔押え枠９に突条9a
を設けてあるため、二次窓箔押え枠９を締付け具17で締
めつけて行くと、シール材15が完全に溝内に圧縮されて
二次窓箔押え枠９と隔壁７とが接する前に、突条9aが二
次窓箔10に当たり、二次窓箔10に張力をかけていく。そ
のため、二次窓箔10が弛みなく、引っ張り状態で固定さ
れ、二次窓箔10がエアーノズル11,13からの冷却風によ
って振動することが緩和される。そのため、二次窓箔10
の寿命が長くなる。突条9aは先端を円弧状の断面形状と
してあるので、二次窓箔10と傷付けることがない。

なお、前記実施例では突条9aを二次窓箔押え枠９に形成
したが、隔壁７の二次窓８の内周縁に形成しても良い。
突条9aは、必ずしも全周に設ける必要はなく、たとえば
半周に設けてもよい。隔壁７は、気密室を構成するもの
ではなく、単なるフード状のものであっても良い。ま
た、前記実施例では走査型に適用した場合について説明
したが、この考案は非走査型の電子線照射装置にも適用
することができる。

〔考案の効果〕 この考案の電子線照射装置の二次窓箔固定装置は、二次
窓箔押え枠と二次窓とのいずれか一方の内周縁に他方へ
突出する表面が曲面になった突条を設け、かつ突条に対
向する他方の内周縁を曲面に形成したので、二次窓箔押
え枠を隔壁に固定する際に二次窓箔の周縁部に固定され
ながら、突条が二次窓箔に当たり、二次窓箔に張力をか
けて行くので、二次窓箔が突条で押されて所定の張力が
かかった状態となり、弛みを生じることなく固定され
る。そのため、冷却風が二次窓箔に吹きつけられても、
二次窓箔の振動が抑制され、二次窓箔の寿命低下が防止
される。しかも突条の表面等を曲面に形成したため、二
次窓箔を傷付けることがなく、また二次窓箔に張力を加
えた時や微振動等に伴う応力集中が緩和される。さらに
二次窓箔を押す突条という簡単な構成により、確実に二
次窓箔を緊張状態に張ることができるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例の断面図、第２図はその部
分拡大断面図、第３図は同じくその二次窓箔押え枠の平
面図、第４図は従来例の断面図である。 １…真空容器、２…照射窓、３…窓箔、４…窓箔押え
枠、６…照射雰囲気、７…隔壁、８…二次窓、９…二次
窓箔押え枠、9a…突条、10…二次窓箔

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】電子線発生源を収容した真空容器の照射窓
   の窓箔の外部と電子線の照射雰囲気とを遮蔽する隔壁を
   設け、この隔壁に前記照射窓と対向する二次窓を設け、
   この二次窓を覆う二次窓箔を前記隔壁の前記二次窓の周
   縁と二次窓箔押え枠とで挾み付けて固定した電子線照射
   装置の二次窓箔固定装置において、前記二次窓箔押え枠
   と前記二次窓とのいずれか一方の内周縁に、他方側へ突
   出して前記二次窓箔を緊張状態に押す表面が曲面になっ
   た突条を設け、前記突条に対向する前記他方の内周縁を
   曲面に形成したことを特徴とする電子線照射装置の二次
   窓箔固定装置。