JPS60148999U - 電子線照射装置の電子線の取り出し窓構造 - Google Patents

電子線照射装置の電子線の取り出し窓構造

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JPS60148999U
JPS60148999U JP3635184U JP3635184U JPS60148999U JP S60148999 U JPS60148999 U JP S60148999U JP 3635184 U JP3635184 U JP 3635184U JP 3635184 U JP3635184 U JP 3635184U JP S60148999 U JPS60148999 U JP S60148999U
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JP
Japan
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electron beam
window
beam irradiation
sides
edge
Prior art date
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Pending
Application number
JP3635184U
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English (en)
Inventor
寿男 木村
林　啓三
坂本　勇
水澤　健一
Original Assignee
日新ハイボルテ−ジ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来における電子線の取り出し窓の縦断面図、
第２図はこの考案の電子線の取り出し窓の実施例縦断面
図、第３図は同分解図、第４図は他実施例の分解図であ
る。 １・・・真空チャンバ、７・・・両側部、１２・・・窓
箔おさえ枠、１４・・・両側部、１５・・・下面、１７
・・・窓箔、１８・・・シール材、２０・・・下面、２
１・・・被照射物。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 搬送される被照射物に相対するように位置する電子線の
    照射窓の窓縁に、窓箔おさえ枠により窓箔を気密に取り
    付けて構成する電子線照射装置の電子線の取り出し窓構
    造において、上記窓縁の被照射物の搬送方向に直交して
    位置する両側部の下面を凹めて構成し、一方窓箔おさえ
    枠の被照射物の搬送方向に直交して位置する両側部を上
    記窓縁の両側部の凹み部に嵌合し、かつ嵌合した際にそ
    の下面が窓縁の最低高さの下面とほぼ面二かもしくはよ
    り高く位置するような構成とし、窓箔の両側部は上記窓
    縁と窓箔おさえ枠のそれぞれの上記両側部間に挾着され
    る状態で固定されている電子線照射装置の電子線の取り
    出し窓構造。
JP3635184U 1984-03-13 1984-03-13 電子線照射装置の電子線の取り出し窓構造 Pending JPS60148999U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63168899U (ja) * 1987-04-24 1988-11-02
EP2006860A2 (en) * 2006-03-10 2008-12-24 Hamamatsu Photonics K.K. Electron beam generating apparatus

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63168899U (ja) * 1987-04-24 1988-11-02
EP2006860A2 (en) * 2006-03-10 2008-12-24 Hamamatsu Photonics K.K. Electron beam generating apparatus
EP2006860A4 (en) * 2006-03-10 2010-07-14 Hamamatsu Photonics Kk ELECTRON PRODUCTION DEVICE

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