JPWO2020054593A1 - 光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[構成]
図1Aは、実施の形態1に係る光学装置100の内部構成を示す上面図である。図1Bは、実施の形態1に係る光学装置100の内部構成を示す側面図である。図1Cは、実施の形態1に係る光学装置100を示す部分側面図である。図1Dは、実施の形態1に係る光学装置100を示す部分正面図である。なお、図1C及び図1Dには、光学装置100の構成要素のうちの一部のみを図示している。
続いて、光学装置100の光学特性について、比較例とともに説明する。
以上のように、実施の形態1に係る光学装置100は、レーザ光210を射出する半導体レーザ素子110と、レーザ光210が射出される光出射面111に対向して、且つ、光出射面111と離間して配置された光学部品130と、半導体レーザ素子110及び光学部品130を収容し、気体を導入するための導入口141及び気体を排出するための排気口142を有するケース140と、半導体レーザ素子110に、導入口141から導入された気体を吹き付けるための吹付口151を有する流路部(筒体)150と、を備える。より具体的には、流路部150は、半導体レーザ素子1110における光出射面111に、導入口141から導入された気体を吹き付けるための吹付口151を有する。
図3Aは、実施の形態1の変形例1に係る光学装置100aを示す部分側面図である。図3Bは、実施の形態1の変形例1に係る光学装置100aを示す部分正面図である。なお、図3A及び図3Bには、図1C及び図1Dに対応する構成要素を示しており、ケース140等の構成要素の一部を省略して示している。
図4Aは、実施の形態1の変形例2に係る光学装置100bを示す部分側面図である。図4Bは、実施の形態1の変形例2に係る光学装置100bを示す部分正面図である。なお、図4A及び図4Bには、図1C及び図1Dに対応する構成要素を示しており、ケース140等の構成要素の一部を省略して示している。
図5Aは、実施の形態1の変形例3に係る光学装置100cを示す部分側面図である。図5Bは、実施の形態1の変形例3に係る光学装置を示す部分正面図である。なお、図5A及び図5Bには、図1C及び図1Dに対応する構成要素を示しており、ケース140等の構成要素の一部を省略して示している。
図6は、実施の形態1の変形例4に係る光学装置の内部構成を示す上面図である。なお、図6は、図1Aに対応する上面図である。
図7は、実施の形態1の変形例5に係る光学装置の内部構成を示す上面図である。なお、図7は、図1Aに対応する上面図である。
続いて、図8及び図9を参照して、実施の形態2に係る光学装置について説明する。
図8は、実施の形態2に係る光学装置101の内部構成を示す上面図である。なお、図8は、図1Aに対応する上面図である。
以上のように、実施の形態2に係る光学装置101は、半導体レーザ素子110を複数有し、複数の吹付口151は、それぞれ複数の半導体レーザ素子110のそれぞれに1対1で対応するように配置されている。
図9は、実施の形態2の変形例に係る光学装置101aの内部構成を示す部分上面図である。なお、図9は、図1Aに対応する上面図である。
続いて、図10を参照して、実施の形態3に係る光学装置について説明する。
図10は、実施の形態3に係る光学装置102の内部構成を示す部分上面図である。
以上のように、実施の形態3に係る光学装置102は、半導体レーザ素子110と、光学部品130と、ケース140と、流路部150と、を備え、さらに、導入口141と排気口142とにケース140の外部で接続し、排気口142から気体を排気させ、排気口142から排気させた気体を導入口141から導入させることで、ケース140内の気体を循環させる循環装置180を備える。
続いて、図11A〜図14Bを参照して、実施の形態4に係る光学装置について説明する。
図11Aは、実施の形態4に係る光学装置103を示す部分側面図である。図11Bは、実施の形態4に係る光学装置103を示す部分斜視図である。
以上のように、実施の形態4に係る光学装置103は、半導体レーザ素子110と、光学部品130と、ケース140と、流路部150と、を備え、さらに、半導体レーザ素子110とケース140との間に配置され、半導体レーザ素子110を支持する支持部材160と、光学部品130を支持部材160に固定する固定部材170と、を備える。
図12Aは、実施の形態4の変形例1に係る光学装置103aを示す部分側面図である。図12Bは、実施の形態4の変形例1に係る光学装置103aを示す部分斜視図である。
図13Aは、実施の形態4の変形例2に係る光学装置103bを示す部分側面図である。図13Bは、実施の形態4の変形例2に係る光学装置103bを示す部分斜視図である。
図14Aは、実施の形態4の変形例3に係る光学装置103cを示す部分側面図である。図14Bは、実施の形態4の変形例3に係る光学装置103cを示す部分斜視図である。
以上、一つ又は複数の態様に係る光学装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、又は、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、一つ又は複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
110 半導体レーザ素子
111 端面(光出射面)
120 サブマウント基板
130、131 光学部品
140 ケース
141 導入口
142 排気口
150、150a、150b、150c、180b、180c 流路部(筒体)
151 吹付口
152 流路
160、161 支持部材
170、170a、170b、170c 固定部材
171、171a 貫通孔
180 循環装置
180a、190 気体供給装置
210、210a レーザ光
220 光学デバイス
230 透光窓
Claims (11)
- レーザ光を射出する半導体レーザ素子と、
前記レーザ光が射出される光出射面に対向して、且つ、前記光出射面と離間して配置された光学部品と、
前記半導体レーザ素子及び前記光学部品を収容し、気体を導入するための導入口及び前記気体を排出するための排気口を有するケースと、
前記半導体レーザ素子に、前記導入口から導入された前記気体を吹き付けるための吹付口を有する流路部と、を備える
光学装置。 - 前記流路部は、前記光出射面に、前記導入口から導入された前記気体を吹き付けるための前記吹付口を有する
請求項1に記載の光学装置。 - 前記光出射面に平行な方向から見た場合に、前記吹付口は、前記半導体レーザ素子と前記光学部品との間に位置する
請求項1又は2に記載の光学装置。 - 前記流路部は、前記導入口と前記吹付口とを接続し、前記気体が通過する流路を有する筒体である
請求項1〜3のいずれか1項に記載の光学装置。 - さらに、前記半導体レーザ素子と前記ケースとの間に配置され、前記半導体レーザ素子を支持する支持部材と、
前記光学部品を前記支持部材に固定する固定部材と、を備える
請求項1〜4のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記固定部材には、前記吹付口から噴き出された前記気体が通過する貫通孔が形成されており、
前記貫通孔は、前記光出射面と前記吹付口との間に位置する
請求項5に記載の光学装置。 - 前記流路部は、前記吹付口を複数有する
請求項1〜6のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記光学装置は、
前記半導体レーザ素子を複数有し、
複数の前記吹付口は、それぞれ複数の前記半導体レーザ素子のそれぞれに1対1で対応するように配置されている
請求項7に記載の光学装置。 - 前記気体は、酸素を含む
請求項1〜8のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記気体は、さらに、窒素、水素、ヘリウム、アルゴン、ハロゲン系ガス、及び、ハロゲン化合物ガスの内少なくとも1種を含む
請求項9に記載の光学装置。 - さらに、前記導入口と前記排気口とに前記ケースの外部で接続し、前記排気口から前記気体を排気させ、前記排気口から排気させた前記気体を前記導入口から導入させることで、前記ケース内の前記気体を循環させる循環装置を備える
請求項1〜10のいずれか1項に記載の光学装置。
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