JPH0366490A - レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、レーザ光を発光させて作業をするレーザ装
置に関する。

従来の技術 従来のレーザ装置には、レーザ光の導光路をガラス又は
テフロン等のパイプで被覆したものや、導光路全体又は
一部をカバーで被覆したもの、あるいはこのカバー内部
に窒素等の気体を密封したもの等により塵や埃が導光光
学部材に付着しないようにしている。

発明が解決しようとする課題 いずれもわずかな隙間から塵や埃が侵入したり、あるい
は被覆したパイプやカバー内部の塵や埃が、レーザ光を
集光する集光レンズ又は反射ミラーに付着したりするこ
とがある。

この塵や埃がレーザ光を吸収して集光レンズ又は反射ミ
ラー等に焼着し、集光レンズや反射ミラー等を損傷する
ことがあった。

また集光レンズ又は反射ミラー等に塵や埃が付着するの
で、レーザ光の伝達効率が低下して、適正な出力のレー
ザ光による作業を行えない。

発明の目的 この発明は上記の問題点を解決して、集光レンズ又は反
射ミラーなどの導光光学部材に付着する塵や埃の侵入を
防止して損傷をなくし、適正なレーザ出力を得ることが
できるレーザ装置を提供することを目的とする。

発明の要旨 この発明は特許請求の範囲に記載のレーザ装置を要旨と
している。

課題を解決するための手段 第２図を参照する。

発光手段であるレーザ発振装置２はレーザ光を発光する
。導光光学部材としての集光レンズ３はレーザ光を導く
。吐出口９．ｉｏ。

１１は集光レンズ３の表面に気体としてたとえば空気を
吹付ける。ろ過手段であるろ過フィルタ２６は吹付ける
空気を清浄にする。気体供給手段であるコンプレッサ２
１は吐出口９．１０．１１に空気を供給する。

吸引口６．７．８は、集光レンズ３に関して吐出口９，
１０．１１と対称位置に配置される。吸引口６，７，８
は吹付けた空気を吸引する。気体除去手段としての真空
ポンプ２５は吸引口６．７．８からの空気を除去する。

気体供給手段には除湿手段である乾燥器２２を有する。

作　　用 集光レンズ３の表面にある塵や埃を、吐出口９．１０．
１１からの空気により強制的に除去し、吸引口６．７．
８を介して別のところに移す。また空気中に浮遊する塵
や埃が集光レンズ３の表面に近付いても、この吐出空気
によ・り吹きとばされ、集光レンズ３の表面には付着す
ることはできない。

実施例１ この発明のレーザ装置は第１図で概略を示す。

光フアイバ１とレーザ発振装置２の間には集光レンズ３
が設けられている。この集光レンズ３はレーザ発振装置
２のレーザ光を集光して光フアイバ１の入射端４に導（
。

集光レンズ３に対しては矢印Ｘで示すように空気を吹付
けるのである。

第２図と第３図を参照してより具体的に説明する。

レーザ発振装置２のレンズ枠５には集光レンズ３が取付
けられている。レンズ枠５には吸引口６，７．８と吐出
口９，１０．１１が対向して設けられている。

吸引口６．７．８は第３図で示すように３つの分岐形の
吸引パイプ１２．１３．１４の吸引口である。また吐出
口９．１０．１１は分岐形の吐出パイプ１５，１６．１
７の吐出口である。

空気供給手段２０は、第２図に示すようにコンプレッサ
２１、乾燥器２２、ホース２３゜２４、真空ポンプ２５
およびろ過フィルター２６を有する。

ホース２３はコンプレッサ２１と乾燥器もしくは乾燥剤
２２およびろ過フィルタ２６を直列に接続（、ている。

そしてホース２３の一端が吐出パイプ１５〜エフの接続
パイプ２７に接続されている。一方、吸引パイプ１２〜
１４の接続パイプ２８はホース２４の一端に接続されて
いる。真空ポンプ２５にはホース２４の他端が接続され
ている。

吐出口９〜土工と、吸引口６〜８とは、集光レンズ３に
関して対称な位置に設けられている。

［操作］ コンプレッサ２１から空気をホース２３内に発生させ、
乾燥器あるいは乾燥剤２２の内部を通過させて空気を除
湿する。次にろ過フィルタ２６を通して除湿した空気を
清浄にする。その後、吐出口９．１０．１１から集光レ
ンズ３の表面に空気が吹き付けられる。集光レンズ３の
前後の表面は空気Ｘが流れる。

吐出口９，１０．１１は所定の風圧を有するように、吐
出口の径は小さく設計されている。

吐出口９．１０．１１からの除湿した空気により集光レ
ンズ３上の塵や埃は払い除けられ、吸引口６，７．８へ
この払い除けられた塵や埃が吸引される。吸引口６，７
．８は大きいので吸込みが容易である。吸引された塵や
埃はホース２４を通って真空ポンプ２５へ導かれる。

このようにすると、レーザ光を発振させた場合でも、集
光レンズ３の上に空気を吹き付けることで塵や埃は集光
レンズの表面上に付着せず、レーザ光による塵や埃の焼
き付けが発生しなくなり、集光レンズを損傷することは
なくなってしまう。

実施例２ 第４図では実施例２を概略的に示している。

光フアイバ１とレーザ発振装置２の間には集光レンズ３
とハーフミラ−３０が配置されている。これら集光レン
ズ３とハーフミラ−３０にも実施例１と同様に空気を吹
付けるのである。

このハーフミラ−は照準光源３１の照準光とレーザ発振
装置２のレーザ光を重畳させて集光レンズ３を介して光
ファイバｌに導くのである。

ところでこの発明は上述の実施例に限定されない。たと
えば多数のレンズからなるズーム系の塵や埃を除去する
のにも適用できる。

吹付ける気体は空気の他に窒素、ヘリウムなどでもよい
。

発明の効果 請求項１の発明によれば、導光光学部材に付着した塵や
埃等を気体供給手段により吹き飛ばし侵入を防止し、し
かも空気などの気体はろ過手段により清浄であるので、
導光光学部材の表面は常に清潔である。

塵や埃等の付着がないのでレーザ光の作用により導光光
学部材を傷付けるといったことがなく、しかもレーザ光
の伝達効率の低下を防ぐことができる。大出力レーザに
おいては導光光学部材を空気などの気体の流れにより冷
却できるので熱による特性の低下、破損が防げる。

請求項２の発明によれば、吐出口の対称位置に吸引口を
設け、しかも気体除去手段を設けることにより確実に塵
や埃を排除できる。

請求項３の発明によれば、空気を除湿するので水分を含
んだ空気により導光光学部材が湿って塵や埃が付着して
しまうおそれがなくなる。特にＥｒ：ＹＡＧレーザやＨ
Ｆレーザなど水分に対する吸収の大きい波長のレーザに
用いる導光光学部材の保護に有効である。

乾燥した空気の流れにより水分が取除かれるので、水分
によりレーザ光が吸収されることがなくレーザ光の伝達
効率がよくなる。結果的に出力の安定したレーザ光を得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例上の概略を示す図、第２図は
実施例１を詳細に示す図、第３図は第２図のＡ−Ａ線に
おける断面図、第４図は実施例２の概略を示す図である
。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・光フアイ
バ２・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・レーザ
発振装置３・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・集光レンズ６．７．８・・・・・・・・・吸引口 ９．１０．・１１・・・吐出口 ２０・・・・・・・・・・・・・・・・・・空気供給手
段２１・・・・・・・・・・・・・・・・・・コンプレ
ッサ２２・・・・・・・・・・・・・・・・・・乾燥器
２３．２４・・・・・・・・・ホース

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、レーザ光を発光させる発光手段と、 上記レーザ光を導光する導光光学部材と、 上記導光光学部材の表面に気体を吹き付けるための吐出
   口と、 上記気体を清浄にするろ過手段と、 上記吐出口に気体を供給する気体供給手段と、を設けた
   ことを特徴とするレーザ装置。 ２、上記導光光学部材に関して上記吐出口の対称位置に
   、上記導光光学部材に吹き付けられた気体を吸引するた
   めの吸引口と、上記吸引口により吸引された気体を除去
   する気体除去手段と、を有する請求項第１項記載のレー
   ザ装置。 ３、上記気体として空気を用い、上記空気を除湿する除
   湿手段を設けた請求項第１項記載のレーザ装置。