JPH04196494A - レーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、共振器を構成する各ミラー及び出力窓の防塵
装置を有するレーザ発振器に関するものである。

従来の技術 従来、第４図に示すようなレーザ発振器の共振器を構成
するミラー１０１，４０２及び出力窓（透過鏡）１０３
は、発振器内外に浮遊する塵にさらされている。

発明が解決しようとする課題 従来の技術で述べた各ミラー及び出力窓は、°塵が付着
して汚染されるとレーザ出力か低下するので、定期的に
清掃する必要かある。この清掃作業に大変な労力と時間
を要し、その上清掃によりミラーの寿命が短くなるとい
う問題点を有している。

本発明は、従来の技術の有するこのような問題８点に鑑
みなされたものであり、その目的とするところは、レー
ザ発振器の内外に浮遊する塵からミラー及び出力窓を守
り、清掃が不要でミラー寿命を延ばすことのできる防塵
装置付レーザ発振器を提供しようとするものである。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために、本発明におけるレーザ発振
器は、共振器を構成する各ミラー及び出力窓のそれぞれ
の片側又は両側に光軸まわりを覆う筒形防塵カバ、−を
設け、該防塵カバー内から外側に向かって清潔なレーザ
媒質ガス又は清潔にしたレーザ媒質ガス若しくは清潔に
したエアを吹き出させる単段を設け−て、ごみ等の付着
を防止するものである。

作用 稼働中のレーザ発振器の器内は、レーザ媒質ガスによっ
て充満され、送風器によりこのガスか循環されており、
この循環するガスの流れに乗って浮遊している塵等がミ
ラーの表面や出力窓の内（！ｉｌ］に付着しやすい状態
であるか、各ミラー及び出力窓に設けた防塵カバーの内
側より外側に内力ぼって吹き出す清潔なガスによりミラ
ー及び出力窓に塵が付着するのを防止する。

また器外の大気中に浮遊する塵等が付着しやすい出力窓
・の表面は、防塵カバーの内側から外側に向かって吹き
出す清潔にしたエアにより塵等の付着するのを防止する
。

実施例 実施例について第１図を参照して説明する。

炭酸ガスレーザ発振器の容器１内に２個の電極２か向か
い合わせに設置されており、電極２間の空間に放電領域
ａか形成されている。放電領域ａの両側に共振器を形成
する全反射ミラーと部分反射ミラー４か向かい合わせに
設けられ、部分反射ミラー４の後方に圧力窓（透過鏡）
５か設けられている。このミラー３，４は取付枠を兼ね
る円筒形の防塵カバー６．７により、ミラー支持体８゜
９に取付けられ、出力窓５は取付枠１１により容器、１
の外側面に取付けられている。更にミラー支持体９の右
側面のミラ−４対応位置と、容器１の内側面の出力窓５
対応位置に、円筒形の防塵カバー１２．１３か向かい合
わせに取付けら打ている。

、　容器ｌ内にはレーザ媒質ガスを循環させる送風用フ
ァン１４か回転可能に設けられており、ファン１４はモ
ータ１５により回転される。

器外にはレーザ媒質ガスを充填したガスポジへ１６と、
容器１内のガス濃度と圧力を一定に保つためのガス制御
装置１７か設置されており、ガス制御装置１７の供給系
１７ａから容器内にガスを供給する管路１８は、先端部
か容器１内において四つに分岐されている。そして分岐
管路２０は、防塵カバー６に穿設された開口部側に向け
て傾斜する穴６ａに、また分岐管路２１は防塵カバー７
の穴７ａに、分岐管路２２は防塵カバー１２の穴１２ａ
に、分岐管路２３は防塵カバー１３の穴１３ａにそれぞ
れ連結されておすり゛、ガス制御装置１７の排気系統１
　’７　ｂと容器１間は排出用管路２４により連結され
ている。

続いて本実施例の作用について説明する。

炭酸ガスレーザ発振器は稼働中常時ファン１４により容
器ｌ内に充満するレーザ媒質ガスが循環されており、放
電により電極に発生する酸化物等の塵か容器内を浮遊し
ている。

容゛器１内に充満するレーザ媒質ガスは、器外のボンベ
１６から送り出される新しいガスを制御装置１７の供給
系＋７ａを介して容器ｌ内に供給するとともに、一方で
容器内のガスを制御装置１７の排気系１７゛ｂを介して
排出し、常にガス濃度と２圧力を一定に保っている。こ
の新′しいガスを容器内に供給する一管路１８から分岐
する分岐管路２０〜２３の先端か各防塵カバー６’、７
．１２．１３の穴６ａ、？ａ、１２ａ、１３ａに連・結
されており、それぞれの穴から吹き出される新鮮なガス
により、容器１内に浮遊する塵を寄せ付けないようにす
る。

次に第２実施例について第２図を参照して説明する。

第２実施例の第１実施例と異なるところは、−管路１８
は先端が容器１の供給穴に連結されており、容器１内に
送風用気体圧縮ポンプ２６とフィルタ２７か取付けられ
、管路２８〜３１の先端が各防塵カバーのそれぞれの穴
８ａ、７ａ、１２ａ、１３ａに連結されているところで
あり、他は同一のため説明の重複を避けるため同一個所
には同一符号を付して説明を省略する。

続いて第２実施例の作用について説明する。

モータ１５によりファン１４か回転されると同時に送風
用圧縮ポンプ２６か作動して容器内のガスを圧縮して高
圧化し、この高圧ガスをフィルタ２７を通して清浄化し
て管路２８〜３１を経て各防塵カバーのそれぞれの穴６
ａ゛、７ａ、　　１２ａ。

１３ａから吹き出す。これにより容器内に浮遊する塵を
寄せ付けないようにする。

次に第３実施例について第３図を参照して説明する。

出力窓５は取付枠を兼ねる円筒形の防塵カバー３３によ
り容器ｌの外側面に取付けられており、器外に送風用圧
縮ポンプ装置３４と、フィルタ３５か設置され、エア供
給用管路３６の先端か防塵カバー３３に穿設された開口
部側を向いて傾斜する穴３３ａに連結されている。

続いて第３実施例の作用について説明する。

エア圧縮ポンプ装置３４の圧縮タンク内に常時貯蔵され
る圧縮空気が図示しない流量絞り弁により絞られてフィ
ルタ３５に送り込まれ、塵等が除去された清浄な空気と
なって管路３６を経て穴３３ａから防塵カバー内に吐出
され、大気中に浮遊する塵を寄せ付けないようにする。

発明の効果 本発明は、上述のとおり構成されているので、次に記載
する効果を奏する。

共振器を構成する各ミラー及び出力窓に設けた防塵カバ
ーの、内側から外側に向かりて清潔な気体を吹き出して
浮遊する容器内外の塵等の付着するのを防止しミラー及
び出力窓の表面を常に清潔に保つことかできるようにし
たので、従来行っていた清掃か不要となり稼働率か向上
し、ミラーの寿命か延びる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１実施例の防塵装置を備えるレーザ発振器の
概略断面図、第２図は第２実施例の防塵装置を備えるレ
ーザ発振器の概略断面図、第３図は第３実施例の防塵装
置を備えるレーザ発振器の概略断面図、第４図は従来の
レーザ発振器の概略図である。 ３．４・・ミラー　５・・出力窓 ６．７．１２．．１３．３３・・防塵カバー１６・・ガ
スボンベ　２６・・気体圧縮ポンプ２７．３５・・フィ
ルタ ３４・・エア圧縮ポンプ装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）共振器を構成する各ミラー及び出力窓のそれぞれ
   の片側又は両側に光軸まわりを覆う筒形防塵カバーを設
   け、該防塵カバー内から外側に向かって清潔なレーザ媒
   質ガス又は清潔にしたレーザ媒質ガス若しくは清潔にし
   たエアを吹き出させる手段を設けて、ごみ等の付着を防
   止することを特徴とするレーザ発振器。