JPS6026312B2 - 横方向励起気体循環形レ−ザ発振装置 - Google Patents
横方向励起気体循環形レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS6026312B2 JPS6026312B2 JP7519877A JP7519877A JPS6026312B2 JP S6026312 B2 JPS6026312 B2 JP S6026312B2 JP 7519877 A JP7519877 A JP 7519877A JP 7519877 A JP7519877 A JP 7519877A JP S6026312 B2 JPS6026312 B2 JP S6026312B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- container
- circulation type
- oscillation device
- gas circulation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、レーザ光線の集塵作用のために生じる部分
反射鏡、透過窓表面の汚染を防止し、長時間安定な動作
を可能とする横方向励起気体循環形レーザ発振装置に関
する。
反射鏡、透過窓表面の汚染を防止し、長時間安定な動作
を可能とする横方向励起気体循環形レーザ発振装置に関
する。
第１図は従来のこの種の気体循環形Ｃ０２レーザ発振装
置の構成を示す図である。
置の構成を示す図である。
この第１図における１はしーザ煤質、２は出力取出用の
部分反射鏡、３は全反射鏡、４は送風機、５は熱交換器
、６はホルダ、７は所定の気体を封入する容器である。
そして、８はしーザ光線の向きを示す。次に、この第１
図の動作について説明する。容器７内に封入されたＣ０
２を含む所定の混合気体を送風機４により部分反射鏡２
と全反射鏡３からなる共振器の軸に垂直に高速で流す。
この共振器の軸の近傍で放電によりＣ０２分子を励起し
て、しーザ媒質１を形成させる。そして、放電により高
温となった気体を熱交換器５で冷却し、送風機４に戻す
。かくすることにより、連続して高出力のレーザ光線が
得られることはよく知られている。ところが、この種の
レーザ装鷹の容器７内に送風機４など、種々の構成部品
が含まれるので、容器７内には必然的に塵などの不純物
が多くなり、レーザ発振動作を持続させると、レーザ光
の圧力による集豊作用のため、塵が部分反射鏡２の内面
に付着し、部分反射鏡２の破損を招く。このように従釆
の横方向励起気体循環形レーザ装置は以上のように構成
されかつレーザ光線を発生するものであるから、部分反
射鏡２の内面に付着した塵を定期的に除去することが必
要であるとともに、部分反射鏡２の寿命が短か〈なるな
どの欠点があった。
部分反射鏡、３は全反射鏡、４は送風機、５は熱交換器
、６はホルダ、７は所定の気体を封入する容器である。
そして、８はしーザ光線の向きを示す。次に、この第１
図の動作について説明する。容器７内に封入されたＣ０
２を含む所定の混合気体を送風機４により部分反射鏡２
と全反射鏡３からなる共振器の軸に垂直に高速で流す。
この共振器の軸の近傍で放電によりＣ０２分子を励起し
て、しーザ媒質１を形成させる。そして、放電により高
温となった気体を熱交換器５で冷却し、送風機４に戻す
。かくすることにより、連続して高出力のレーザ光線が
得られることはよく知られている。ところが、この種の
レーザ装鷹の容器７内に送風機４など、種々の構成部品
が含まれるので、容器７内には必然的に塵などの不純物
が多くなり、レーザ発振動作を持続させると、レーザ光
の圧力による集豊作用のため、塵が部分反射鏡２の内面
に付着し、部分反射鏡２の破損を招く。このように従釆
の横方向励起気体循環形レーザ装置は以上のように構成
されかつレーザ光線を発生するものであるから、部分反
射鏡２の内面に付着した塵を定期的に除去することが必
要であるとともに、部分反射鏡２の寿命が短か〈なるな
どの欠点があった。
この発明は、上記従釆の欠点を除去するためになされた
もので、清浄化したレーザ嬢質気体を常時鏡面に吹き付
けることにより、部分反射鏡の破損を防止できる横方向
励起気体循環形レーザ装置を提供することを目的とする
。
もので、清浄化したレーザ嬢質気体を常時鏡面に吹き付
けることにより、部分反射鏡の破損を防止できる横方向
励起気体循環形レーザ装置を提供することを目的とする
。
以下、この発明の横方向励起気体循環形レーザ装置の実
施例について図面に基づき説明する。
施例について図面に基づき説明する。
第２図はその一実施例の構成を示す図であり、この第２
図において、重複説明を避けるために、第１図と同一部
分には同一符号を付してその説明を省略し、第１図とは
異なる部分を重点的に述べることにする。さて、第２図
における６ａは吐出口付ホルダである。
図において、重複説明を避けるために、第１図と同一部
分には同一符号を付してその説明を省略し、第１図とは
異なる部分を重点的に述べることにする。さて、第２図
における６ａは吐出口付ホルダである。
この吐出口付ホルダ６ａは容器７の側壁に競合されてお
り、この吐出口付ホルダ６ａには部分反射鏡２が鉄合さ
れている。この吐出口付ホルダ６ａにおいて、容器７内
側には吐出口６ｂが設けられており、吐出口６ｂは吐出
口付ホルダ６ａの壁内を貫通するように形成されている
。吐出口６ｂの一端はパイプ１２を介してフィル夕１０
１こ連結されており、このフィル夕１０‘こはパイプ１
３を介して気体圧縮ポンプ９が連結されている。この気
体圧縮ポンプ９は容器７内の混合気体を加圧してフィル
夕１０で気体中に含まれている塵を完全に除去するため
のものである。そして、清浄化された気体１１を吐出口
付ホルダ６ａの吐出口６ｂを通して、部分反射鏡２の内
面に常時吹き付けるようになっている。レーザ共振器内
部には共振波長を持つ光の定在波が形成される。
り、この吐出口付ホルダ６ａには部分反射鏡２が鉄合さ
れている。この吐出口付ホルダ６ａにおいて、容器７内
側には吐出口６ｂが設けられており、吐出口６ｂは吐出
口付ホルダ６ａの壁内を貫通するように形成されている
。吐出口６ｂの一端はパイプ１２を介してフィル夕１０
１こ連結されており、このフィル夕１０‘こはパイプ１
３を介して気体圧縮ポンプ９が連結されている。この気
体圧縮ポンプ９は容器７内の混合気体を加圧してフィル
夕１０で気体中に含まれている塵を完全に除去するため
のものである。そして、清浄化された気体１１を吐出口
付ホルダ６ａの吐出口６ｂを通して、部分反射鏡２の内
面に常時吹き付けるようになっている。レーザ共振器内
部には共振波長を持つ光の定在波が形成される。
そして、部分反射鏡２が存在するため、全反射鏡３から
部分反射鏡２に向かう前進波の強度はその逆の向きの後
進波の強度に比して大きい。したがって、共振器内部で
は、全体としてレーザ光線の向き８に光が伝搬されてい
ると考えられる。レーザ光の近傍に媒質の屈折率より高
い屈折率を持つ塵が存在するとき、その塵はしーザ光の
圧力により、光線に捕えられ、かつ光線の向きに運ばれ
る。以上の機構により、容器７内の塵は部分反射鏡２の
しーザ媒質側表面に向かって、ある運動量をもって運ば
れる。この運動量に対して、十分抗し得る力を清浄化さ
れた気体により鰹に与えると、塵は部分反射鏡面に達し
ない。
部分反射鏡２に向かう前進波の強度はその逆の向きの後
進波の強度に比して大きい。したがって、共振器内部で
は、全体としてレーザ光線の向き８に光が伝搬されてい
ると考えられる。レーザ光の近傍に媒質の屈折率より高
い屈折率を持つ塵が存在するとき、その塵はしーザ光の
圧力により、光線に捕えられ、かつ光線の向きに運ばれ
る。以上の機構により、容器７内の塵は部分反射鏡２の
しーザ媒質側表面に向かって、ある運動量をもって運ば
れる。この運動量に対して、十分抗し得る力を清浄化さ
れた気体により鰹に与えると、塵は部分反射鏡面に達し
ない。
したがって、塵は鏡の表面に付着せず、鏡の破損が防止
できる。なお、上記の実施例では、清浄気体を吐出させ
るために、気体圧縮ポンプ９を用いたが送風機４からの
気体流を一部用いてもよい。
できる。なお、上記の実施例では、清浄気体を吐出させ
るために、気体圧縮ポンプ９を用いたが送風機４からの
気体流を一部用いてもよい。
また、上記実施例では、通常の気体循環形レーザ発振装
置について説明したが、透過窓を使用している不安定共
振器を用いた発振装置や増幅器を備えた発振装置であっ
てもよく、上記実施例と同機の効果を奏する。以上のよ
うに、この発明によれば、清浄化したレーザ煤質気体を
常時部分反射鏡または透過窓のレーザ煤質側表面に吹き
付けるようにしたので、それらの表面を常に清浄に保つ
ことができる。
置について説明したが、透過窓を使用している不安定共
振器を用いた発振装置や増幅器を備えた発振装置であっ
てもよく、上記実施例と同機の効果を奏する。以上のよ
うに、この発明によれば、清浄化したレーザ煤質気体を
常時部分反射鏡または透過窓のレーザ煤質側表面に吹き
付けるようにしたので、それらの表面を常に清浄に保つ
ことができる。
したがって、定期的に鏡の表面を清浄化することが不必
要である。また、鏡の寿命も長くなる効果がある。
要である。また、鏡の寿命も長くなる効果がある。
第１図は従来の横方向励起気体循環形Ｃ○２レ−ザ発振
装置の構成を示す図、第２図はこの発明の横方向励起気
体循環形レーザ発振装置の一実施例の構成を示す図であ
る。 １・…・・しーザ媒質、２・・・・・・部分反射鏡、３
・・・・・・全反射鏡、４・・・・・・送風機、５・・
・・・・熱交換器、６ａ・・・・・・吐出口付ホルダ、
６ｂ・…・・吐出口、７・・・・・・容器、９・・・・
・・気体圧縮ポンプ、１０・・・・・・フィル夕、１１
・・・・・・清浄化された気体の流れ。 なお、図中同一符号は同一部分または相当部分を示す。
第１図 第２図
装置の構成を示す図、第２図はこの発明の横方向励起気
体循環形レーザ発振装置の一実施例の構成を示す図であ
る。 １・…・・しーザ媒質、２・・・・・・部分反射鏡、３
・・・・・・全反射鏡、４・・・・・・送風機、５・・
・・・・熱交換器、６ａ・・・・・・吐出口付ホルダ、
６ｂ・…・・吐出口、７・・・・・・容器、９・・・・
・・気体圧縮ポンプ、１０・・・・・・フィル夕、１１
・・・・・・清浄化された気体の流れ。 なお、図中同一符号は同一部分または相当部分を示す。
第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ レーザ出力取出用の部分反射鏡または透過窓のレー
ザ媒質側表面に清浄化したレーザ媒質気体を吹き付ける
ための手段を備えたことを特徴とする横方向励起気体循
環形レーザ発振装置。 ２ 清浄化したレーザ媒質気体を吹き付けるための手段
は上記部分反射鏡の鏡面に向かつて開口する吐出口を有
しこの部分反射鏡を保持して容器に取り付けられた吐出
口付ホルダと、この吐出口付ホルダの吐出口に連結され
上記容器内の気体に含まれている塵を除去するフイルタ
と、このフイルタに連結され容器内の気体を圧縮して上
記フイルタに供給する気体圧縮ポンプとよりなることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の横方向励起気体
循環形レーザ発振装置。 ３ 気体圧縮ポンプより吐出される気体を容器内におい
て全反射鏡と部分反射鏡からなる共振器の軸に垂直に送
風機で送られる気体の一部に代えることを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載の横方向励起気体循環形レーザ
発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7519877A JPS6026312B2 (ja) | 1977-06-23 | 1977-06-23 | 横方向励起気体循環形レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7519877A JPS6026312B2 (ja) | 1977-06-23 | 1977-06-23 | 横方向励起気体循環形レ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS548997A JPS548997A (en) | 1979-01-23 |
| JPS6026312B2 true JPS6026312B2 (ja) | 1985-06-22 |
Family
ID=13569250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7519877A Expired JPS6026312B2 (ja) | 1977-06-23 | 1977-06-23 | 横方向励起気体循環形レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6026312B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628405U (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-19 | ||
| US11498438B2 (en) | 2007-05-09 | 2022-11-15 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ZA826935B (en) * | 1981-09-24 | 1983-10-26 | James R Morris | Microsurgical laser |
| JPS5896788A (ja) * | 1981-12-03 | 1983-06-08 | Toshiba Corp | 横流式ガスレ−ザ装置 |
| DE3212928C2 (de) * | 1982-04-07 | 1984-01-26 | Lambda Physik GmbH, 3400 Göttingen | Entladungsgepumpter Laser |
| JPS61145883A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置 |
| JPS61145882A (ja) * | 1984-12-20 | 1986-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工装置 |
| JPH0714089B2 (ja) * | 1987-05-18 | 1995-02-15 | ファナック株式会社 | レ−ザ発振装置及びレ−ザ発振装置のレ−ザガスの封入方法 |
| JPH01115179A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ装置 |
-
1977
- 1977-06-23 JP JP7519877A patent/JPS6026312B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS628405U (ja) * | 1985-06-29 | 1987-01-19 | ||
| US11498438B2 (en) | 2007-05-09 | 2022-11-15 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS548997A (en) | 1979-01-23 |
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