JPH04313482A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH04313482A JPH04313482A JP3079517A JP7951791A JPH04313482A JP H04313482 A JPH04313482 A JP H04313482A JP 3079517 A JP3079517 A JP 3079517A JP 7951791 A JP7951791 A JP 7951791A JP H04313482 A JPH04313482 A JP H04313482A
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- JP
- Japan
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- laser
- laser beam
- mirror
- transmission system
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 5
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract 1
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［発明の目的］
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光により被加工
物を切断、溶接等の加工を施すレーザ加工装置に関する
。
物を切断、溶接等の加工を施すレーザ加工装置に関する
。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工装置におけるレーザ発振手段
の１つとして、炭酸ガスレーザ発振器がよく知られてい
る。
の１つとして、炭酸ガスレーザ発振器がよく知られてい
る。
【０００３】この炭酸ガスレーザ発振器は放電によって
得られるレーザ媒質から、レーザ光をとり出す共振器、
放電を形成する電極、電源、及び、レーザ媒質であるガ
スを冷却する循環ユニットなどによって構成されている
。レーザ光の品質を決定するのは、主に、レーザ光をと
り出す共振器の構成によって決まってくる。
得られるレーザ媒質から、レーザ光をとり出す共振器、
放電を形成する電極、電源、及び、レーザ媒質であるガ
スを冷却する循環ユニットなどによって構成されている
。レーザ光の品質を決定するのは、主に、レーザ光をと
り出す共振器の構成によって決まってくる。
【０００４】また、一般に共振器構成としては、安定形
共振器と、不安定形共振器にわけられるが、産業用の炭
酸ガスレーザ発振器としては、出力５ｋＷ以上のクラス
を除いて安定形共振器によって、レーザ光を取出すのが
普通である。
共振器と、不安定形共振器にわけられるが、産業用の炭
酸ガスレーザ発振器としては、出力５ｋＷ以上のクラス
を除いて安定形共振器によって、レーザ光を取出すのが
普通である。
【０００５】安定形共振器は、相対する２枚のミラー、
出力ミラーとリアミラーによって構成され、レーザ光を
出力する出力ミラーは部分的にレーザ光を透過するよう
になっている。
出力ミラーとリアミラーによって構成され、レーザ光を
出力する出力ミラーは部分的にレーザ光を透過するよう
になっている。
【０００６】上記より発生したレーザ光を光伝達系を介
して加工ヘッドに導き、レーザ加工を行なう装置として
、レーザ発振器と加工機を組み合わせたものがレーザ加
工機である。
して加工ヘッドに導き、レーザ加工を行なう装置として
、レーザ発振器と加工機を組み合わせたものがレーザ加
工機である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上のような安定形発
振器を有するレーザ発振器において、本発明が解決しよ
うとする問題点について説明する。
振器を有するレーザ発振器において、本発明が解決しよ
うとする問題点について説明する。
【０００８】前述のとおり、安定形共振器は、出力ミラ
ーとリアミラーが相対するように配置され、発振器内部
のレーザ媒質より、出力レーザ光を取出す構成である。 出力ミラーの発振器内部側はレーザ媒質を作り出すレー
ザガスにさらされるが、通常、Ｈｅ，Ｎ２ ，ＣＯ２
の混合ガスで純度の管理されたガスであり、ほこりなど
を含まないため、ガス自体により、出力ミラーをよごす
ことは少ない。しかし、出力ミラーの反対側の面は、空
気中にレーザ光を放射する関係上、外気にふれる構成に
なっている。外気は、発振器内部の雰囲気と異なり、通
常、レーザ加工を実施している大気であり、レーザ加工
により発生する粉塵はもとより、大気中の粉塵を含み、
出力ミラー外側に付着しやすい構成である。このように
、出力ミラー外部側に粉塵が付着するとレーザ光を吸収
し、出力ミラーは温度上昇をおこし、ミラー内に屈折率
分布や変形を生じ、出力レーザ光の伝搬特性をかえてし
まう。この現象は、いわゆる熱レンズ効果である。
ーとリアミラーが相対するように配置され、発振器内部
のレーザ媒質より、出力レーザ光を取出す構成である。 出力ミラーの発振器内部側はレーザ媒質を作り出すレー
ザガスにさらされるが、通常、Ｈｅ，Ｎ２ ，ＣＯ２
の混合ガスで純度の管理されたガスであり、ほこりなど
を含まないため、ガス自体により、出力ミラーをよごす
ことは少ない。しかし、出力ミラーの反対側の面は、空
気中にレーザ光を放射する関係上、外気にふれる構成に
なっている。外気は、発振器内部の雰囲気と異なり、通
常、レーザ加工を実施している大気であり、レーザ加工
により発生する粉塵はもとより、大気中の粉塵を含み、
出力ミラー外側に付着しやすい構成である。このように
、出力ミラー外部側に粉塵が付着するとレーザ光を吸収
し、出力ミラーは温度上昇をおこし、ミラー内に屈折率
分布や変形を生じ、出力レーザ光の伝搬特性をかえてし
まう。この現象は、いわゆる熱レンズ効果である。
【０００９】また、発生したレーザ光は、空気中を伝搬
し、加工ヘッドに導かれるため、伝搬途中に存在する。 空気中の微粒子や水分のため、わずかながら散乱し伝搬
ロスを生じる。このような現象の発生した場合、加工ヘ
ッドに導かれたレーザ光は、所定の性能を有さず、レー
ザ加工に悪影響を及ぼすことがある。
し、加工ヘッドに導かれるため、伝搬途中に存在する。 空気中の微粒子や水分のため、わずかながら散乱し伝搬
ロスを生じる。このような現象の発生した場合、加工ヘ
ッドに導かれたレーザ光は、所定の性能を有さず、レー
ザ加工に悪影響を及ぼすことがある。
【００１０】そこで、本発明では、上記の事情を考えて
なされたもので、その目的は出力ミラーの外側への粉塵
付着をおさえ、かつ、加工ヘッドまでのレーザ光伝搬ロ
スを最小限におさえるレーザ加工装置を提供することに
ある。 ［発明の構成］
なされたもので、その目的は出力ミラーの外側への粉塵
付着をおさえ、かつ、加工ヘッドまでのレーザ光伝搬ロ
スを最小限におさえるレーザ加工装置を提供することに
ある。 ［発明の構成］
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、部分透過鏡である出力ミラーと、この出
力ミラーに対向して配置された全反射鏡であるリアミラ
ーとを有し、レーザ媒質を励起し、レーザ光を射出する
レーザ発振手段と、このレーザ発振手段から射出された
レーザ光を被加工物まで導くレーザ光伝達系と、このレ
ーザ光伝達系内を真空圧に維持し、外気より保護する保
護手段とを備えたレーザ加工装置を提供する。
に、本発明は、部分透過鏡である出力ミラーと、この出
力ミラーに対向して配置された全反射鏡であるリアミラ
ーとを有し、レーザ媒質を励起し、レーザ光を射出する
レーザ発振手段と、このレーザ発振手段から射出された
レーザ光を被加工物まで導くレーザ光伝達系と、このレ
ーザ光伝達系内を真空圧に維持し、外気より保護する保
護手段とを備えたレーザ加工装置を提供する。
【００１２】
【作用】以上のように構成された本発明のレーザ加工装
置によれば、出力ミラーは外気に接しないため、外気中
に含まれる粉塵の付着に伴なうレーザ光の熱吸収が軽減
され、出力ミラーの温度上昇を小さくおさえることが可
能となる。また、レーザ光伝達系についても、外気から
保護されるため、レーザ光伝搬ロスが最小限に軽減され
る。
置によれば、出力ミラーは外気に接しないため、外気中
に含まれる粉塵の付着に伴なうレーザ光の熱吸収が軽減
され、出力ミラーの温度上昇を小さくおさえることが可
能となる。また、レーザ光伝達系についても、外気から
保護されるため、レーザ光伝搬ロスが最小限に軽減され
る。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について図１を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１４】安定形共振器として、出力ミラー１とリア
ミラー２を相対して配置し、レーザ媒質３より出力レー
ザ光４をとり出す。とり出したレーザ光４はレーザ光伝
達系５を介して、加工ヘッド６内に配置された集光レン
ズ７まで、伝搬され、被加工物Ａに照射される。この伝
搬経路８は、すべて囲い９で保護され、外気１０より遮
断し、かつ、経路８内部の雰囲気１０を真空ポンプ１１
にて真空圧に維持する。すなわち、外気１０中に含まれ
る粉塵を伝搬経路８内部に進入しない構成とすることで
、出力ミラー１の外側の面を保護し、外気と接しない構
成とする。
ミラー２を相対して配置し、レーザ媒質３より出力レー
ザ光４をとり出す。とり出したレーザ光４はレーザ光伝
達系５を介して、加工ヘッド６内に配置された集光レン
ズ７まで、伝搬され、被加工物Ａに照射される。この伝
搬経路８は、すべて囲い９で保護され、外気１０より遮
断し、かつ、経路８内部の雰囲気１０を真空ポンプ１１
にて真空圧に維持する。すなわち、外気１０中に含まれ
る粉塵を伝搬経路８内部に進入しない構成とすることで
、出力ミラー１の外側の面を保護し、外気と接しない構
成とする。
【００１５】このような構成とすることにより、出力ミ
ラーは、外側に付着する粉塵に起因するレーザ光の吸収
と、それに伴なう温度上昇をなくすことが可能となり、
結果として、出力ミラーに発生する熱レンズ効果を最小
限に軽減することが可能となる。また、伝搬経路で発生
していた微小粒子、水分によるレーザ光の散乱も最小限
におさえることが可能となり、レーザ光伝搬中に発生す
る伝搬ロスを軽減することができる。
ラーは、外側に付着する粉塵に起因するレーザ光の吸収
と、それに伴なう温度上昇をなくすことが可能となり、
結果として、出力ミラーに発生する熱レンズ効果を最小
限に軽減することが可能となる。また、伝搬経路で発生
していた微小粒子、水分によるレーザ光の散乱も最小限
におさえることが可能となり、レーザ光伝搬中に発生す
る伝搬ロスを軽減することができる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のレーザ加工
装置によれば、出力ミラー外側に付着する粉塵をなくし
、それに起因して発生するレーザ光の吸収と温度上昇が
小さくなり、いわゆる熱レンズ効果を軽減することがで
きる発振器と組合わせることができる。このことは、熱
レンズ効果によって発生する。レーザ出力に応じたレー
ザ光の伝搬の相違が軽減されレーザ光を利用する加工特
性の向上につながる。また、レーザ光伝達系でのレーザ
出力ロスも軽減され、同時に加工特性の向上につながる
。
装置によれば、出力ミラー外側に付着する粉塵をなくし
、それに起因して発生するレーザ光の吸収と温度上昇が
小さくなり、いわゆる熱レンズ効果を軽減することがで
きる発振器と組合わせることができる。このことは、熱
レンズ効果によって発生する。レーザ出力に応じたレー
ザ光の伝搬の相違が軽減されレーザ光を利用する加工特
性の向上につながる。また、レーザ光伝達系でのレーザ
出力ロスも軽減され、同時に加工特性の向上につながる
。
【００１７】さらに、出力ミラー自体の温度上昇をおさ
え、かつ、伝達系に含まれる光学部品の保護も兼ねるた
め、光学部品の寿命も長くなり、発振器を含む、レーザ
加工機全体のメンテナンス間隔も長くすることができる
。
え、かつ、伝達系に含まれる光学部品の保護も兼ねるた
め、光学部品の寿命も長くなり、発振器を含む、レーザ
加工機全体のメンテナンス間隔も長くすることができる
。
【図１】本発明の一実施例を示す概要構成図である。
１は出力ミラー、２はリアミラー、３はレーザ媒質、４
はレーザ光、５はレーザ光伝達系、６は加工ヘッド、７
は集光レンズ、８は伝搬経路、９は囲い、１０は外気、
１１は真空ポンプである。
はレーザ光、５はレーザ光伝達系、６は加工ヘッド、７
は集光レンズ、８は伝搬経路、９は囲い、１０は外気、
１１は真空ポンプである。
Claims (1)
- 【請求項１】 部分透過鏡である出力ミラーと、この
出力ミラーに対向して配置された全反射鏡であるリアミ
ラーとを有し、レーザ媒質を励起し、レーザ光を射出す
るレーザ発振手段と、このレーザ発振手段から射出され
たレーザ光を被加工物まで導くレーザ光伝達系と、この
レーザ光伝達系内を真空圧に維持し、外気より保護する
保護手段とを具備したことを特徴とするレーザ加工装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079517A JPH04313482A (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3079517A JPH04313482A (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04313482A true JPH04313482A (ja) | 1992-11-05 |
Family
ID=13692172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3079517A Pending JPH04313482A (ja) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04313482A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020082553A (ko) * | 2001-04-24 | 2002-10-31 | 삼성전자 주식회사 | 레이저 광 보호 장치 및 레이저 광을 사용하는 가공 장치 |
| JP2011159901A (ja) * | 2010-02-03 | 2011-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ装置 |
-
1991
- 1991-04-12 JP JP3079517A patent/JPH04313482A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020082553A (ko) * | 2001-04-24 | 2002-10-31 | 삼성전자 주식회사 | 레이저 광 보호 장치 및 레이저 광을 사용하는 가공 장치 |
| JP2011159901A (ja) * | 2010-02-03 | 2011-08-18 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ装置 |
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