JPS623894A - レ−ザ加工機のレ−ザ光伝送路の防塵装置 - Google Patents
レ−ザ加工機のレ−ザ光伝送路の防塵装置Info
- Publication number
- JPS623894A JPS623894A JP60140453A JP14045385A JPS623894A JP S623894 A JPS623894 A JP S623894A JP 60140453 A JP60140453 A JP 60140453A JP 14045385 A JP14045385 A JP 14045385A JP S623894 A JPS623894 A JP S623894A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- duct
- mirror
- transmission path
- processing machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は反射ミラーに塵埃等が付着するのを防t
ぐレーザ加工機のレーザ光伝送尊の防塵装置に関する。
第3図は一般的なレーザ加工機のレーザ光伝送路の概略
図である。第6図において、(1)、 (2)はミラー
保持部材、(3)、(4)は反射ミラー、(5)、(6
)はミラー保持部材(1)に固定されたダクト、(7)
、 (8)はミラー保持部材(2)に固定されたダク)
、 (9)はダクト(5) VC遊挿された伸縮ダク
ト、四はダク) (6) 、 (7)に遊挿された伸縮
ダクト、αやはダクト(8)に遊挿され九伸縮ダクト、
(ロ)はダクト(5)と伸縮ダクト(9)との間に嵌挿
嘔れたO IJソング(L→はダクト(6)と伸縮ダク
トαqとの間に嵌挿されたOリング、α4はレーザ光で
ある。
図である。第6図において、(1)、 (2)はミラー
保持部材、(3)、(4)は反射ミラー、(5)、(6
)はミラー保持部材(1)に固定されたダクト、(7)
、 (8)はミラー保持部材(2)に固定されたダク)
、 (9)はダクト(5) VC遊挿された伸縮ダク
ト、四はダク) (6) 、 (7)に遊挿された伸縮
ダクト、αやはダクト(8)に遊挿され九伸縮ダクト、
(ロ)はダクト(5)と伸縮ダクト(9)との間に嵌挿
嘔れたO IJソング(L→はダクト(6)と伸縮ダク
トαqとの間に嵌挿されたOリング、α4はレーザ光で
ある。
レーザ発振器(図示せず)から送出され念レーザ光α4
は伸縮ダクト(9)及びダク) (5) &介して反射
ミラー(3)で反射して進行方向が変えられ、ダクト(
6)、伸縮ダクト←q及びダクト(7)を介して反射ミ
ラー(4)で反射して再び進行方向が変えられ、ざらに
ダクト(8)及び伸縮ダクトへ1)を介して被加工物(
図示せず)に導かれる。
は伸縮ダクト(9)及びダク) (5) &介して反射
ミラー(3)で反射して進行方向が変えられ、ダクト(
6)、伸縮ダクト←q及びダクト(7)を介して反射ミ
ラー(4)で反射して再び進行方向が変えられ、ざらに
ダクト(8)及び伸縮ダクトへ1)を介して被加工物(
図示せず)に導かれる。
ところで、伸縮ダクト(9)〜叩はミラー保持部材(1
)〜(2)が固定されているので、外気温の変化及びレ
ーザ光α→の伝送により伸縮するようになっている。伸
縮ダクト(9)〜Qηが伸びるときには、ダクト(5)
と伸縮ダクト(9)との間、ダクト(6)と伸縮ダクト
αqとの間、ダクト(7)と伸縮ダク) ellとの間
及びダクト(8)と伸縮ダクトα力との間から内部に空
気とともに空気中に浮遊している塵埃が吸い込まれる。
)〜(2)が固定されているので、外気温の変化及びレ
ーザ光α→の伝送により伸縮するようになっている。伸
縮ダクト(9)〜Qηが伸びるときには、ダクト(5)
と伸縮ダクト(9)との間、ダクト(6)と伸縮ダクト
αqとの間、ダクト(7)と伸縮ダク) ellとの間
及びダクト(8)と伸縮ダクトα力との間から内部に空
気とともに空気中に浮遊している塵埃が吸い込まれる。
これはOリング(6)〜(2)があっても防げるもので
はない。内部に吸い込まれた塵埃は反射ミラー、特に反
射面が上に向いている反射ミラー(4ンに堆積付着する
。反射ミラー(4)は塵埃が付着すると、レーザ光u4
を吸収して加熱され、破損してしまうという問題があっ
た。又、破損しないまでも反射ミラー(4)の寿命が短
かくなってしまうという問題があった。
はない。内部に吸い込まれた塵埃は反射ミラー、特に反
射面が上に向いている反射ミラー(4ンに堆積付着する
。反射ミラー(4)は塵埃が付着すると、レーザ光u4
を吸収して加熱され、破損してしまうという問題があっ
た。又、破損しないまでも反射ミラー(4)の寿命が短
かくなってしまうという問題があった。
本発明は上記問題点を解決するためVCなされたもので
、反射ミラーに塵埃が付着するのを防ぐレーザ加工機の
レーザ光伝送路の防塵装置を提供することを目的とする
。
、反射ミラーに塵埃が付着するのを防ぐレーザ加工機の
レーザ光伝送路の防塵装置を提供することを目的とする
。
そこで本発明では、ミラー保持部材によって支持された
反射ミラーと、ミラー保持部材に固定されたダクトと、
ダクトニ遊挿された伸縮ダクトとを有し、伸縮ダクト及
びダク)f介して伝送されてきたレーザ光を反射ミラー
によって反射してその進行方向を変えるレーザ加工機の
レーザ光伝送部にドライエアーを送出するコンプレッサ
と、ドライエアーを反射ミラーに吹き付けるノズルとを
備えたレーザ加工機のレーザ光伝送路の防塵装置を構成
する。
反射ミラーと、ミラー保持部材に固定されたダクトと、
ダクトニ遊挿された伸縮ダクトとを有し、伸縮ダクト及
びダク)f介して伝送されてきたレーザ光を反射ミラー
によって反射してその進行方向を変えるレーザ加工機の
レーザ光伝送部にドライエアーを送出するコンプレッサ
と、ドライエアーを反射ミラーに吹き付けるノズルとを
備えたレーザ加工機のレーザ光伝送路の防塵装置を構成
する。
上記構成のレーザ加工機のレーザ光伝送路の防塵装置は
、反射ミラーが伸縮ダクト及びダクトを介して伝送され
てキ之レーザ光を反射してその進行方向を変える。こ・
のとさ、レーザ光の伝送により伸縮ダクトが伸びて空気
とともに内部に吸い込まれ、反射ミラーに付着しようと
する塵埃を、コンプレッサからノズルに送られてくるド
ライエアーによって吹き飛ばす。
、反射ミラーが伸縮ダクト及びダクトを介して伝送され
てキ之レーザ光を反射してその進行方向を変える。こ・
のとさ、レーザ光の伝送により伸縮ダクトが伸びて空気
とともに内部に吸い込まれ、反射ミラーに付着しようと
する塵埃を、コンプレッサからノズルに送られてくるド
ライエアーによって吹き飛ばす。
以下、本発明の一実施例を添付図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
において、第6図と同様の機能を来たす部分については
同一の符号を付し、その説明は省略する。
同一の符号を付し、その説明は省略する。
(至)、αQは水分及び油分を除去したドライエアーを
送出するコンプレッサ、αη、(1→はホースill、
IJはドライエアーを反射ミラー(4)、 (3)VC
吹き付けろノズルである。
送出するコンプレッサ、αη、(1→はホースill、
IJはドライエアーを反射ミラー(4)、 (3)VC
吹き付けろノズルである。
次に、本発明に係るレーザ加工機のレーザ光伝送路の防
塵装置の作用について説明する。レーザ発振器(図示せ
ず)から送出されたレーザ光α4は伸縮ダクト(9)及
びダクト(5)ヲ介して反射ミラー(3)で反射して進
行方向が変えられ、ダクト(6)、伸縮ダクトαq及び
ダクト(7)を介して反射ミラー(4)で反射して再び
進行方向が変えられ、さらにダクト(8)及び伸縮ダク
トαηを介して被加工物(図示せず)に導かれる。上述
したレーザ光α→の伝送により、伸縮ダクト(9)〜C
L、)が伸び、塵埃が空気とともに内部に吸い込まれる
。反射ミラー(3)、 (41にはドライエアーが吹き
付けられているので、塵埃は反射ミラー(3)i4)に
付着しないことになる。
塵装置の作用について説明する。レーザ発振器(図示せ
ず)から送出されたレーザ光α4は伸縮ダクト(9)及
びダクト(5)ヲ介して反射ミラー(3)で反射して進
行方向が変えられ、ダクト(6)、伸縮ダクトαq及び
ダクト(7)を介して反射ミラー(4)で反射して再び
進行方向が変えられ、さらにダクト(8)及び伸縮ダク
トαηを介して被加工物(図示せず)に導かれる。上述
したレーザ光α→の伝送により、伸縮ダクト(9)〜C
L、)が伸び、塵埃が空気とともに内部に吸い込まれる
。反射ミラー(3)、 (41にはドライエアーが吹き
付けられているので、塵埃は反射ミラー(3)i4)に
付着しないことになる。
欠に、第2図は本発明に係るレーザ加工機のレーザ光伝
送路の防塵装置の他の実施例を示すブロック図である。
送路の防塵装置の他の実施例を示すブロック図である。
なお、第2図において第1図と同様の機能を果たす部分
については同一符号を付し、その説明は省略する。
については同一符号を付し、その説明は省略する。
ドライエアーの反射ミラー(3)、(4)への吹き付け
はレーザ光CL4の伝送時に行なうようVこし、レーザ
光α4を伝送しない時は休止することが、コンプレッサ
(至)、α→の負担を軽減するうえで望ましい。しかし
、ドライエアーを反射ミラー(3)、(4)に吹き付け
ても、皇埃が外部に排除されるわけではなく。
はレーザ光CL4の伝送時に行なうようVこし、レーザ
光α4を伝送しない時は休止することが、コンプレッサ
(至)、α→の負担を軽減するうえで望ましい。しかし
、ドライエアーを反射ミラー(3)、(4)に吹き付け
ても、皇埃が外部に排除されるわけではなく。
ダクト(5)〜(8)、伸縮ダクト(9)〜αη内に浮
遊している。レーザ光α燵の伝送を中玉し、ドライエア
ーの吹き付けを止めれば、この塵埃は反射ミラー、特に
反射面が上に向いている反射ミラー(4)に堆積、付着
することになる。そこで、本実施例ではミラー保持部材
(2)にシャッターe])、(財)を設け、レーザ光α
尋の伝送時以外はシャッターQ1)、(2)を閉じてお
くことにより、ダクト(5)〜(8)及び伸縮ダクト(
9)〜αυ内の塵埃が反射ミラー(4)に堆積付着する
のを防ぐようにする。ドライエアー吹き付は時は上記実
施例と同じであるので、その説明は省略する。
遊している。レーザ光α燵の伝送を中玉し、ドライエア
ーの吹き付けを止めれば、この塵埃は反射ミラー、特に
反射面が上に向いている反射ミラー(4)に堆積、付着
することになる。そこで、本実施例ではミラー保持部材
(2)にシャッターe])、(財)を設け、レーザ光α
尋の伝送時以外はシャッターQ1)、(2)を閉じてお
くことにより、ダクト(5)〜(8)及び伸縮ダクト(
9)〜αυ内の塵埃が反射ミラー(4)に堆積付着する
のを防ぐようにする。ドライエアー吹き付は時は上記実
施例と同じであるので、その説明は省略する。
以上説明し友ように本発明によれば、コンプレッサから
送出されたドライエアーをノズルによって反射ミラーに
吹き付けるようにしたので、レーザ光の伝送によって伸
縮する伸縮ダクトとダクトの間から空気とともに吸い込
まれる塵埃が反射ミラーに付着するのを防ぐことができ
る。
送出されたドライエアーをノズルによって反射ミラーに
吹き付けるようにしたので、レーザ光の伝送によって伸
縮する伸縮ダクトとダクトの間から空気とともに吸い込
まれる塵埃が反射ミラーに付着するのを防ぐことができ
る。
又、塵埃が反射ミラーに付着するのを防ぐことにより、
反射ミラーの破損を防ぎ、反射ミラーの寿命を伸ばすこ
とができる。
反射ミラーの破損を防ぎ、反射ミラーの寿命を伸ばすこ
とができる。
さらに、ドライエアーを反射ミラーに吹き付けないと@
は、ミラー保持採材に取り付けたシャッタを閉じておく
ことにより、伸縮ダクト内の塵埃が反射ミラーに付着す
るのを防ぐことができる。
は、ミラー保持採材に取り付けたシャッタを閉じておく
ことにより、伸縮ダクト内の塵埃が反射ミラーに付着す
るのを防ぐことができる。
第1図は本発明に係るレーザ加工機のレーザ光伝送路の
防塵装置の概略図、第2図は本発明に係るレーザ加工機
のレーザ光伝送路の防塵装置の他の実施例を示す概略図
、第3図は一般的なレーザ加工機のレーザ光伝送路の概
略図であるう図中、1,2はミラー保持部材、6,4は
反射ミラー、5,6,7.8はダクト、9,10.11
は伸縮ダクト、12.13tlOリング、14はレーザ
光、15.16はコンプレッサ、17.18はホース、
19.20はノズル、21.22けシャッタである。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すもので
ある。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第1図 第2図 第3図
防塵装置の概略図、第2図は本発明に係るレーザ加工機
のレーザ光伝送路の防塵装置の他の実施例を示す概略図
、第3図は一般的なレーザ加工機のレーザ光伝送路の概
略図であるう図中、1,2はミラー保持部材、6,4は
反射ミラー、5,6,7.8はダクト、9,10.11
は伸縮ダクト、12.13tlOリング、14はレーザ
光、15.16はコンプレッサ、17.18はホース、
19.20はノズル、21.22けシャッタである。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すもので
ある。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第1図 第2図 第3図
Claims (4)
- (1)ミラー保持部材によつて支持された反射ミラーと
、該ミラー保持部材に固定されたダクトと、該ダクトに
遊挿された伸縮ダクトとを有し、前記伸縮ダクト及びダ
クトを介して前記反射ミラーにレーザ光を照射し、該レ
ーザ光の進行方向を変えるレーザ加工機のレーザ光伝送
路の防塵装置において、ドライエアーを送出するコンプ
レッサと、該ドライエアーを前記反射ミラーに吹き付け
るノズルとを備えたことを特徴とするレーザ加工機のレ
ーザ光伝送路の防塵装置。 - (2)ドライエアーは、水分及び油分を除去したもので
ある特許請求の範囲第1項記載のレーザ加工機のレーザ
光伝送路の防塵装置。 - (3)ノズルは、前記ミラー保持部材に取り付けられて
いる特許請求の範囲第1項記載のレーザ加工機のレーザ
光伝送路の防塵装置。 - (4)ダクトは、前記反射ミラーを前記伸縮ダクトに対
して密閉状態にするシャッタを有している特許請求の範
囲第1項記載のレーザ加工機のレーザ光伝送路の防塵装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60140453A JPS623894A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | レ−ザ加工機のレ−ザ光伝送路の防塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60140453A JPS623894A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | レ−ザ加工機のレ−ザ光伝送路の防塵装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS623894A true JPS623894A (ja) | 1987-01-09 |
Family
ID=15268967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60140453A Pending JPS623894A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | レ−ザ加工機のレ−ザ光伝送路の防塵装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS623894A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63164701U (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | ||
JPS63164720U (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | ||
US5373523A (en) * | 1992-10-15 | 1994-12-13 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Excimer laser apparatus |
US20090120917A1 (en) * | 2006-05-09 | 2009-05-14 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Laser Processing Machines and Methods for Providing a Gas to the Beam Guide of a Laser Processing Machine |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP60140453A patent/JPS623894A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63164701U (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | ||
JPS63164720U (ja) * | 1987-04-16 | 1988-10-27 | ||
JPH058574Y2 (ja) * | 1987-04-16 | 1993-03-03 | ||
US5373523A (en) * | 1992-10-15 | 1994-12-13 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Excimer laser apparatus |
US20090120917A1 (en) * | 2006-05-09 | 2009-05-14 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Laser Processing Machines and Methods for Providing a Gas to the Beam Guide of a Laser Processing Machine |
US8203098B2 (en) * | 2006-05-09 | 2012-06-19 | Trumpf Laser-Und Systemtechnik Gmbh | Laser processing machines and methods for providing a gas to the beam guide of a laser processing machine |
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