JPS6125121A - レ−ザ光分配器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はレーザ光を２方向に分岐させるレーザ光分配器
に関するものである。

従来例の構成とその問題点 レーザ光をメカニカルに２方向に分岐させる方法として
回転チョッパーミラーを用いたレーザ光分配器がある。

このレーザ光分配器について第１図を用いて説明する。

同図°において、（ＩＬ）はレーザ分配器を用いだレー
ザ加工装置の概略図であり、同図（ｂ）は同図（＆）の
レーザ分配器を矢印入方向から見た矢視図である。

レーザ光分配器は第１図（ｂ）に示すような窓部１とミ
ラー部２を有する回転チョッパーミラー３と回転チョッ
パーミラー３を回転させる駆動部４（第１図（ａ）参照
）で構成されたものである。その動作をレーザ加工に用
いられる場合を例にして第１図（ａ）に基づき説明する
。レーザ発振器５で発振させたレーザ光６を回転チョッ
パーミラー３で通過レーザ光７．１！：反射レーザ光８
に分岐させ、通過レーザ光７を用いて第１の加工ステー
ジョン９でレーザ加工を行い、反射レーザ光８を用いて
第２の加工ステージョン１０でレーザ加工を行う。以上
のようにレーザ光分配器は１つのレーザ発振器で複数の
加工ステーシロンでレーザ加工を行えるようにしたもの
である。

しかしながらこのレーザ光分配器は以下に述べるような
問題点を有している。

すなわち、レーザ光分配器は加工現場等に使用されるも
のであり、空気の清浄度の高いところで使用されるとは
限らない。ところが、レーザ光分配器の中の回転チジッ
パーミラ−３の防塵対策は何もなされていないのが現状
である。そこで空気中の塵埃による回転チョッパー３の
汚れ具合がレーザ光分配器の寿命を左右していた。

発明の目的 本発明は上記問題点を解決するもので回転チッ゛ツバー
ミラーに防塵対策を施し、回転チョッパーミラーの長寿
命化をはかったレーザ光分配器を提供することを目的と
する。

発明の構成 本発明は上記目的を達成するもので、窓部とミラー部と
からなる回転チョッパーミラーと、回転チタッパーミラ
ーを回転させる駆動部と、回転チョッパーミラーと回転
チョッパーミラーを覆うカバーと、送風機とフィルター
とからなるフィルターユニットとから構成され、送風機
により強制的にフ、イルターを介して無塵空気流を回転
チラッパーミラー面に吹きつけることにより、回転テコ
ツバ−ミラーに防塵対策を施したものである。

実施例の説明 以下に本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第２図（ａ）に本発明の一実施例におけるレーザ光分配
器の構成を示す平面図、同図（ｂ）に同図（ＩＬ）のム
ーム′における断面図を示す。

同図において１０１はミラー部１ｏ２．窓部１０３を有
した回転チｑツバ−ミラー、１０４は回転チョッパーミ
ラー１０１を回転させる駆動部、１０５はレーザ発振器
で発振させた入射レーザ光、１０６はミラー部１０２で
反射された反射レーザ光、１０７は通過レーザ光′、１
０８はレーザ光路保護パイプ、１０９は入射レーザ光１
０６が通過する第１の通過窓１１０と反射レーザ光１０
６が通過する第２の通過窓１１１と通過レーザ光１０７
が通過する第３の通過窓１１２と通気孔１１３とを有し
フィルターユニット１１４が取り付けられた・カバーで
ある。フィルターユニット１１４は送風機１１６とフィ
ルター１１６と送風カバー１１７とからなる。１１８＃
’ｊ以上のように構成されたレーザ光分配器を取り付け
るベースである。

次に動作を説明する。

レーザ発振器（図示せず）の発振と回転チョッパーミラ
ー１０１の回転とを制御することにより入射レーザ光１
０５を回転チョッパーミラー１０１で反射レーザ光１０
６１通過レーザ光１０７に分岐させ複数の加工＼ステー
ジせンにそれぞれのレーザ光を導き同時にレーザ加工を
行うという点では従来の方法と同様である。本実施例で
は回転チロツバ−ミラー１０１に防塵対策をほどこした
ところに特徴がある。すなわち本実施例は駆動部１０４
により回転している回転チ’ａツバ−ミラー１０１に、
送風機１１６によりフィルター１１６を介して送風され
てきた無塵空気流を強制的にふきつける構造になってい
る。そのため回転チョッパーミラー１０１は加工現場等
の塵埃の多い環境から常に隔離され、さらにその表面は
無塵埃空気流で常にクリーンに保たれているため埃り等
により回転チロツバ−ミラー１０１が破壊されることが
なくなる。

なお本実施例では無塵埃空気流は前記フィルター１１６
から出てすぐに前記回転チョッパーミラー１０１に吹き
つける構造になっているため、前記回転チョッパーミラ
ー１０１の近傍はクラス１００程度の清浄度にたもつこ
とができる。

発明の効果 以上型するに本発明は窓部とミラー部とからなる回転チ
ョッパーミラーと、回転チョッパーミラーを回転させる
駆動部と、回転チョッパーミラーと駆動部とを覆うカバ
ーと、送風機とフィルターとからなるフィルターユニッ
トからなるレーザ光分配器を提供するもので、回転チョ
ッパーミラーに強制的に前記フィルターを介して無塵空
気流をふきつけるため前記回転チョッパーミラーの空気
中の塵埃による汚れを防ぐことができると共に、無塵空
気流を前記送風機で送り込むので前記カバーの内部が外
部と比較し高圧になるため前記カバーに設けられた穴等
から塵埃が浸入することはなく常にクリーンに保たれ回
転チぢツバ−ミラーの長寿命化がはかれる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は従来のレーザ光分配器を用いたレーザ加
工装置の概略図、同図（ｂ）は同図（ａ）の矢印ム方向
からみた矢視図、第２図（２Ｌ）は本発明の一実施例に
おけるレーザ光分配器の平面図、同図（ｂ）ｉｄ同図（
ａ）のＡ−Ａ′における断面図である。 １０１・・・・・・回転チョッパーミラー、１０２・・
・・・・ミラー部、１０３・・・・・・窓部、１０４・
・・・・・駆動部、１０９・・・・・・カバー、１１４
・・・・・・フィルターユニット、１１６・・・・・・
送風機、１１６・・・・・・フィルター。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１基筒　
ｌ　°図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 窓部とミラー部とからなる回転チョッパーミラーと、前
   記回転チョッパーミラーを回転させる駆動部と、少なく
   とも前記回転チョッパーミラーと駆動部とを覆うカバー
   と、前記カバーの一部に設けられ、フィルタを介して前
   記回転チョッパーミラーに送風を行う手段とを具備する
   ことを特徴とするレーザ光分配器。