JPH0554821U - エアースピンドル - Google Patents

エアースピンドル

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JPH0554821U
JPH0554821U JP11205891U JP11205891U JPH0554821U JP H0554821 U JPH0554821 U JP H0554821U JP 11205891 U JP11205891 U JP 11205891U JP 11205891 U JP11205891 U JP 11205891U JP H0554821 U JPH0554821 U JP H0554821U
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JP
Japan
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air
spindle
supply system
air supply
system path
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Pending
Application number
JP11205891U
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English (en)
Inventor
信彦 脇田
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Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
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Publication date
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Publication of JPH0554821U publication Critical patent/JPH0554821U/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
    • F16C32/0685—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for radial load only
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/72—Sealings

Abstract

(57)【要約】 【目的】 エアースピンドルのエアーシール領域に、圧
力の高い未使用のエアーを供給することによりエアーシ
ール効果を高める。 【構成】 ダイシング装置等に使用されるエアースピン
ドルであって、このエアースピンドルは、回転軸とこの
回転軸をスラスト方向、ラジアル方向に非接触で支持す
るエアーベアリング領域及びコンタミの侵入を防止する
エアーシール領域を含むスピンドルハウジングとから構
成される。スピンドルハウジングには、エアーベアリン
グ領域までエアーを供給する第１のエアー供給系路が形
成されると共に、第１のエアー供給系路から分岐して又
は別系路でエアーシール領域までエアーを供給する第２
のエアー供給系路が形成される。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、ダイシング装置等に使用されるエアースピンドルに関するものであ る。
【０００２】
【従来の技術】
ダイシング装置等に使用されるエアースピンドルは、エアーを媒体として回転 軸が軸受けに非接触状態で保持されるものであり、従来例えば特開昭６１−２４ ８１７号公報、特開昭６１−２５７４０号公報、特開昭５８−６８５１６号公報 等に開示されている。 このような従来のエアースピンドルにおいて、コンタミ等の切削屑が内部に侵 入するのを防止するために、図３に示すようにエアーベアリング領域ａの先端部 にエアーシール領域ｂを設け、このエアーシール領域ｂ内の一部のエアーを回転 軸ｃとの僅かな隙間ｄから外部に吹き出させ、その隙間ｄからコンタミ等の切削 屑が侵入するのを防ぐようにしている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
前記エアースピンドルのエアーシールによると、エアーベアリング領域ａに供 給される高圧エアーｅの一部を前記エアーシール領域ｂに導いて再利用している ため、エアーの圧力が低下してエアーシール効果が充分でない問題点があった。
【０００４】 本考案は、このような従来の問題点を技術的に解決するためになされ、圧力の 高い未使用のエアーをエアーシール領域に供給することによって、エアーシール の効果を著しく向上させた、エアースピンドルを提供することを課題としたもの である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、ダイシング装置等 に使用されるエアースピンドルであって、このエアースピンドルは、回転軸とこ の回転軸をスラスト方向、ラジアル方向に非接触で支持するエアーベアリング領 域及びコンタミの侵入を防止するエアーシール領域を含むスピンドルハウジング とから構成され、 このスピンドルハウジングには、エアーベアリング領域までエアーを供給する 第１のエアー供給系路が形成されていると共に、第１のエアー供給系路から分岐 して又は別系路でエアーシール領域までエアーを供給する第２のエアー供給系路 が形成されたことを要旨とするものである。
【０００６】
【作 用】
高圧で未使用のエアーが、第１のエアー供給系路から分岐した、或は独立した 別系路の第２のエアー供給系路を経てエアーシール領域に供給されるので、エア ーの圧力低下を未然に防止してエアーシールの効果を著しく向上させることがで きる。
【０００７】
【実施例】
以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。 図１は本考案の第１実施例を示すもので、１はスピンドルハウジングであり、シ リンダー２と、その内部に嵌着されたスリーブ３と、シリンダー２の先端部に取 り付けられた第１のスラストベアリング４、スラストカラー５、及び第２のスラ ストベアリング６とを備え、回転軸７をスラスト方向及びラジアル方向いずれも 接触しないで軸受け作用ができるようにしてある。
【０００８】 前記スピンドルハウジング１には、エアーベアリング領域までエアーを供給す る第１のエアー供給系路Ａが形成され、この第１のエアー供給系路Ａは、前記シ リンダー２に設けられた給気路２ａと、第１のスラストベアリング４に設けられ た給気路４ａと、スラストカラー５に設けられた給気路５ａと、第２のスラスト ベアリング６に設けられた給気路６ａとから構成され、前記回転軸７のスラスト 方向のエアーベアリング領域Ｓ及びラジアル方向のエアーベアリング領域Ｒに高 圧のエアーを供給できるようにしてある。
【０００９】 前記第１のエアー供給系路Ａからエアーベアリング領域Ｓ、Ｒに供給された高 圧のエアーは、前記第２のスラストベアリング６に設けられた排気路６ｂと、第 １のスラストベアリング４に設けられた排気路４ｂ、及び排気溜りＰ、Ｑを介し てシリンダー２に設けられた排気路２ｂに流入し、この排気路２ｂから殆ど大気 圧に近い低圧のエアーとなって外部に排気される。
【００１０】 前記第２のスラストベアリング６には、途中で分岐６ｃしてシール用空気溜め Ｔに至る第２のエアー供給系路Ｂが設けられており、第１のエアー供給系路Ａか ら供給された高圧のエアーの一部をシール用空気溜めＴに供給できるようにして ある。 従って、このシール用空気溜めＴに供給された高圧エアーが、回転軸７との僅 かな隙間から外部に強く吹き出し、コンタミ等の切削屑の侵入を防止することに よりエアーシール領域Ｕのエアーシール効果を著しく向上させることができる。
【００１１】 図２は本考案の第２実施例を示すもので、基本的な構成は前記第１実施例のも のと同じであるが、第２のエアー供給系路Ｂ′を第１のエアー供給系路Ａから分 岐させないで独立の別系路として設けた点が異なる。即ち、第１実施例と同じ部 材は同一符号を付けて記述するが、スピンドルハウジング１におけるシリンダー ２、第１のスラストベアリング４、スラストカラー５及び第２のスラストベアリ ング６にそれぞれ設けた給気路２ｃ、４ｃ、５ｃ、６ｃを連通させると共に、シ ール用空気溜めＴに至る第２のエアー供給系路Ｂ′を設けてある。
【００１２】 従って、この場合も第２のエアー供給系路Ｂ′からシール用空気溜めＴに高圧 エアーが供給され、回転軸７との僅かな隙間から外部に強く吹き出すのでコンタ ミ等の切削屑の侵入を防止し、エアーシール領域Ｕのエアーシール効果を著しく 向上させることができる。
【００１３】 尚、高圧エアーといっても第２のエアー供給系路Ｂ′はエアーシール領域にだ け供給するものであるから、第１実施例で用いる高圧エアー（５Kg／cm2 ）より やや低い１．５〜２Kg／cm2 程度の中圧エアーで充分実施することが可能である 。
【００１４】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案は、ダイシング装置等に用いるエアースピンドル において、コンタミ等の切削屑の侵入を防ぐエアーシール領域には、回転軸のエ アーベアリング領域に高圧エアーを供給する第１のエアー供給系路から分岐させ た、或はこれとは独立した別系路の第２のエアー供給系路から供給する構成にし たので、シール用空気溜めに未使用の高圧エアーを供給することが可能となり、 このため回転軸との僅かな隙間から高圧エアーを強く吹き出させることにより、 コンタミ等の切削屑の侵入を確実に防止し、エアーシール効果を著しく向上させ る効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本考案の第１実施例を示す主要部の概略断面
図である。
【図２】 本考案の第２実施例を示す主要部の概略断面
図である。
【図３】 従来例を示す主要部の概略断面図である。
【符号の説明】
１…スピンドルハウジング ２…シリンダー ２ａ
…給気路 ２ｂ…排気路 ２ｃ…給気路 ３…ス
リーブ ４…第１のスラストベアリング ４ａ…給気路 ４ｂ…排気路 ４ｃ…給気路 ５
…スラストカラー ５ａ…給気路 ５ｃ…給気路
６…第２のスラストベアリング ６ａ…給気路
６ｂ…排気路 ６ｃ…給気路 ７…回転軸 Ａ…第１のエアー供給系路 Ｂ、Ｂ′…第２のエアー
供給系路 Ｐ、Ｑ…排気溜り Ｒ、Ｓ…エアーベア
リング領域 Ｔ…シール用空気溜め Ｕ…エアーシ
ール領域

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ダイシング装置等に使用されるエアース
    ピンドルであって、このエアースピンドルは、回転軸と
    この回転軸をスラスト方向、ラジアル方向に非接触で支
    持するエアーベアリング領域及びコンタミの侵入を防止
    するエアーシール領域を含むスピンドルハウジングとか
    ら構成され、 このスピンドルハウジングには、エアーベアリング領域
    までエアーを供給する第１のエアー供給系路が形成され
    ていると共に、第１のエアー供給系路から分岐して又は
    別系路でエアーシール領域までエアーを供給する第２の
    エアー供給系路が形成されたことを特徴とするエアース
    ピンドル。
JP11205891U 1991-12-25 1991-12-25 エアースピンドル Pending JPH0554821U (ja)

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