JPH02235012A - レーザ光通路エアフローシステム - Google Patents
レーザ光通路エアフローシステムInfo
- Publication number
- JPH02235012A JPH02235012A JP1055158A JP5515889A JPH02235012A JP H02235012 A JPH02235012 A JP H02235012A JP 1055158 A JP1055158 A JP 1055158A JP 5515889 A JP5515889 A JP 5515889A JP H02235012 A JPH02235012 A JP H02235012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- air
- passage
- clean
- dry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000003984 copper intrauterine device Substances 0.000 description 1
- 230000003292 diminished effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は、光学系@器を具えたレーザ光の通路に空気を
送り込んで光学8i器の表面を常に清浄に保つようにし
たレーザ光通路エアフローシステムに関する。
送り込んで光学8i器の表面を常に清浄に保つようにし
たレーザ光通路エアフローシステムに関する。
く従来の技術〉
レーザ光は指向性のあるものであるゆえに、加工に供せ
られる時は光学機器を使用して方向を変え、収束させる
ものである。シーザ加工機においてはこのようにして発
振器から離れた所ででもレーザ光は加工に供せられるこ
とが可能となる。
られる時は光学機器を使用して方向を変え、収束させる
ものである。シーザ加工機においてはこのようにして発
振器から離れた所ででもレーザ光は加工に供せられるこ
とが可能となる。
第2図には従来のレーザ加工機の部分縦断面が示されて
いる。1は発振諾であり、ここからレーザ光が出される
。レーザ光の出口にはパイプ状の固定カバー2の一端が
取り付けられている。固定カバー2の内部は外気から遮
断され、他端は固定ブロック3に固着されている。
いる。1は発振諾であり、ここからレーザ光が出される
。レーザ光の出口にはパイプ状の固定カバー2の一端が
取り付けられている。固定カバー2の内部は外気から遮
断され、他端は固定ブロック3に固着されている。
固定ブロック3内には互いに直角関係にある孔4,5が
設けられている。前記固定カノ{一2は、この孔4,5
の内の一方の孔4と気密に連通している。また、孔4,
5の合流する域には、鏡面をこの合流域の上方に向け、
水平方向に対して45゜の角度をもって反射ミラー6が
設けられている。一方、前記固定プロ,ク3の側部には
、テレスコピツクカバー7の大径端が取り付けられてお
り、前記孔5と気密に連通している。テレスコビツクカ
ノ{一7は入れ子状に伸縮するものである。テレスコピ
ックカバ−7の小径端は、ヘッドミラーブロック8の側
部に取り付けてある。ヘッドミラーブロック8内には、
側方と下方に開口し互いに直角関係にある孔9,10が
設けてある。そして、孔9,10の合流域には、鏡面を
この合流域の下方に向け、水平方向に対して45°の角
度をもって反射ミラー11が取り付けてある。前記テレ
スコピックヵバー7の小径端は、孔9,10の一方の孔
9に気密に連通している。前記へッドミラーブロック8
の下方には、ジャバラ12を介してレンズヘッド13が
取り付けられている。ヘッドミラーブロック8の孔10
は、ジャバラ12と気密に連通している。レンズヘッド
13の中にはジャバラ12と気密に連通ずる孔14が設
けられ、その途中に凸レンズ15が収まっている。そし
て、凸レンズ15の焦点距離に先端部を有するノズル1
6が、前記レンズヘッド13の下端に取付けられている
。
設けられている。前記固定カノ{一2は、この孔4,5
の内の一方の孔4と気密に連通している。また、孔4,
5の合流する域には、鏡面をこの合流域の上方に向け、
水平方向に対して45゜の角度をもって反射ミラー6が
設けられている。一方、前記固定プロ,ク3の側部には
、テレスコピツクカバー7の大径端が取り付けられてお
り、前記孔5と気密に連通している。テレスコビツクカ
ノ{一7は入れ子状に伸縮するものである。テレスコピ
ックカバ−7の小径端は、ヘッドミラーブロック8の側
部に取り付けてある。ヘッドミラーブロック8内には、
側方と下方に開口し互いに直角関係にある孔9,10が
設けてある。そして、孔9,10の合流域には、鏡面を
この合流域の下方に向け、水平方向に対して45°の角
度をもって反射ミラー11が取り付けてある。前記テレ
スコピックヵバー7の小径端は、孔9,10の一方の孔
9に気密に連通している。前記へッドミラーブロック8
の下方には、ジャバラ12を介してレンズヘッド13が
取り付けられている。ヘッドミラーブロック8の孔10
は、ジャバラ12と気密に連通している。レンズヘッド
13の中にはジャバラ12と気密に連通ずる孔14が設
けられ、その途中に凸レンズ15が収まっている。そし
て、凸レンズ15の焦点距離に先端部を有するノズル1
6が、前記レンズヘッド13の下端に取付けられている
。
このようなレーザ加工機にあっては、発振M1から出る
レーザ光は固定カバー2を通り、孔4から固定ブロック
3に入り反射ミラー6で45°方向を変えられ、孔5か
らテレスコビックカバ−7内に入りこれを出て孔9カ゛
らへッドミラーブロック8内に入り、反射ミラー11で
さらに45″方向を変えられ下方の孔10からジャバラ
12を経てレンズヘッド13に入る。レンズヘッド13
の凸レンズ15によって桑光されたレーザ光は、ノズル
16先端から出て加工に供せられる。
レーザ光は固定カバー2を通り、孔4から固定ブロック
3に入り反射ミラー6で45°方向を変えられ、孔5か
らテレスコビックカバ−7内に入りこれを出て孔9カ゛
らへッドミラーブロック8内に入り、反射ミラー11で
さらに45″方向を変えられ下方の孔10からジャバラ
12を経てレンズヘッド13に入る。レンズヘッド13
の凸レンズ15によって桑光されたレーザ光は、ノズル
16先端から出て加工に供せられる。
く発明が解決しようとする課題〉
レンズヘッド13は加工に際して上下,左右に移動する
ことが好ましく、このため、ジャバラ12及びテレスコ
ピックカバ−7は伸縮する。ジャパラ12,テレスコピ
ックカバー7の伸縮に伴って前述の光路は内容積を変化
させる。従って、内容積の変化により光路内に不可非的
に空気の出入が生じる。この空気の出入は、テレスコビ
ックカバ−7の摺動部等で行う。この空気の出入に伴っ
て外部の水滴・塵埃が入りこんで、光学機器に付着する
。光学機器の汚れは、レーザ光の汚れへの吸収を招来し
、レーザ光のノズル16部での威力低下や、光学機器の
破損につながった。
ことが好ましく、このため、ジャバラ12及びテレスコ
ピックカバ−7は伸縮する。ジャパラ12,テレスコピ
ックカバー7の伸縮に伴って前述の光路は内容積を変化
させる。従って、内容積の変化により光路内に不可非的
に空気の出入が生じる。この空気の出入は、テレスコビ
ックカバ−7の摺動部等で行う。この空気の出入に伴っ
て外部の水滴・塵埃が入りこんで、光学機器に付着する
。光学機器の汚れは、レーザ光の汚れへの吸収を招来し
、レーザ光のノズル16部での威力低下や、光学機器の
破損につながった。
く課題を解決するための手段〉
本発明は上記問題点を解決するために、光学機器を具え
且つ密閉されたレーザ光の通路に乾燥した清浄な空気を
送り込むエアユニットを設けると共にこの通路末端に前
記空気を通路から排出するチェック弁を設けた構成を有
している。
且つ密閉されたレーザ光の通路に乾燥した清浄な空気を
送り込むエアユニットを設けると共にこの通路末端に前
記空気を通路から排出するチェック弁を設けた構成を有
している。
く作 用〉
レーザ光の通路に乾燥した清浄な空気を送り込み、この
空気を通路の末端側のチェック弁によって適宜排出する
。通路は密閉構造であることより外気の侵入を阻止し、
光学機器を清浄に保つ。
空気を通路の末端側のチェック弁によって適宜排出する
。通路は密閉構造であることより外気の侵入を阻止し、
光学機器を清浄に保つ。
く実 施 例〉
以下図面を参照して、本発明の一実施例に係わるレーザ
光通路エアフローシステムについて説明する。
光通路エアフローシステムについて説明する。
第1図には本発明のレーザ光通路エアフローシステムに
係わる一実施例の全体縦断面が示されていろ。
係わる一実施例の全体縦断面が示されていろ。
なお、従来例と同じ部材については同じ符号を付し説明
は省略する。
は省略する。
レーザ光通路の端特部である、固定カバー2のレーザ光
発振器1近傍の側部に、接続配官17の一端を連結させ
る。この接続配t17の他端はドライエアユニット18
に接続させる。
発振器1近傍の側部に、接続配官17の一端を連結させ
る。この接続配t17の他端はドライエアユニット18
に接続させる。
一方、レンズヘッド13の側部で凸レンズ15の位置よ
りヘッドミラーブロック8側に孔20を設け、ここにチ
工ツク弁19を設置する。そして、前記テレスコビック
カバ−7の摺動部は気密にする。
りヘッドミラーブロック8側に孔20を設け、ここにチ
工ツク弁19を設置する。そして、前記テレスコビック
カバ−7の摺動部は気密にする。
上記のような構成のレーザ光エアフローシステムの作用
について説明する。テレスコビックカバー7やジャバラ
12の縮んだ時、レ一ザ光の通路の内容積は減少する。
について説明する。テレスコビックカバー7やジャバラ
12の縮んだ時、レ一ザ光の通路の内容積は減少する。
この時、適宜チ工ツク弁19が開いて通路内部の余分な
空気を排出すると共に、常時ドライエアユニット18か
らレーザ光通路内に乾燥した清浄な空気が図の矢印のよ
うに流れ、チェック弁19から排出されている。これに
よりテレスコピックカバー7やジャバラ12が縮んだ時
には、光学機器は清浄に保たれ、レーザ光は威力を減ず
ることなく加工に供されろ。
空気を排出すると共に、常時ドライエアユニット18か
らレーザ光通路内に乾燥した清浄な空気が図の矢印のよ
うに流れ、チェック弁19から排出されている。これに
よりテレスコピックカバー7やジャバラ12が縮んだ時
には、光学機器は清浄に保たれ、レーザ光は威力を減ず
ることなく加工に供されろ。
また、テレスコピツクカバ−7やジャバラ12が伸びた
時、レーザ光の通路の内容積は増大する。しかし常時、
ドライエアユニット18から乾燥した清浄な空気が供給
されているため、外部から空気が侵入する余地はなく、
ヂ工ツク弁19はレーザ光の通路内を図の矢印のように
流れる ドライエアユニット18から供給されろ空気を
排出する。これによりテレスコピックカパ−7やジャバ
ラ12が伸びた時も、レーザ光通路内の光学機器は清浄
に保たれ、レーザ光は威力を減ずることなく加工に供さ
れる。
時、レーザ光の通路の内容積は増大する。しかし常時、
ドライエアユニット18から乾燥した清浄な空気が供給
されているため、外部から空気が侵入する余地はなく、
ヂ工ツク弁19はレーザ光の通路内を図の矢印のように
流れる ドライエアユニット18から供給されろ空気を
排出する。これによりテレスコピックカパ−7やジャバ
ラ12が伸びた時も、レーザ光通路内の光学機器は清浄
に保たれ、レーザ光は威力を減ずることなく加工に供さ
れる。
なお、本発明のレーザ光の通路は本実施例に限定される
ことなく、ジャバラに代えてテレスコビックカバーを使
用してもよい。
ことなく、ジャバラに代えてテレスコビックカバーを使
用してもよい。
また、本発明の実施例はレーザ加工機としたが、これに
限定されることなく、光学機器を具えたレーザ光通路一
般に適用可能である。
限定されることなく、光学機器を具えたレーザ光通路一
般に適用可能である。
く発明の効果〉
本発明は上記構成に示すように、密閉されたレーザ光の
通路に、乾燥した清浄な空気を送り込むエアユニットと
、これを排出するチェック弁とを設けたので、レーザ光
通路内の光学機器は常に清浄に保たれ、レーザ光による
損傷を受けることなく、まなレーザ光自体の威力も減ず
ることがない。
通路に、乾燥した清浄な空気を送り込むエアユニットと
、これを排出するチェック弁とを設けたので、レーザ光
通路内の光学機器は常に清浄に保たれ、レーザ光による
損傷を受けることなく、まなレーザ光自体の威力も減ず
ることがない。
第1図は本発明のレーザ加工機のレーザ光通路エアフロ
ーシステムに係わる一実施例の・全体縦断面図、第2図
は従来のレーザ加工機の部分縦断面図である。 図 中、 1は発振器、 6,11は反射ミラー 15は凸レンズ、 16はノズル) 18はドライエアユニット、 19はチェック弁である。 特 許 出 願 三菱重工業 代 理
ーシステムに係わる一実施例の・全体縦断面図、第2図
は従来のレーザ加工機の部分縦断面図である。 図 中、 1は発振器、 6,11は反射ミラー 15は凸レンズ、 16はノズル) 18はドライエアユニット、 19はチェック弁である。 特 許 出 願 三菱重工業 代 理
Claims (1)
- 光学機器を具え且つ密閉されたレーザ光の通路に乾燥し
た清浄な空気を送り込むエアユニットを設けると共に、
この通路末端に前記空気を通路から排出するチェック弁
を設けたことを特徴とするレーザ光通路エアフローシス
テム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1055158A JPH02235012A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | レーザ光通路エアフローシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1055158A JPH02235012A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | レーザ光通路エアフローシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02235012A true JPH02235012A (ja) | 1990-09-18 |
Family
ID=12990940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1055158A Pending JPH02235012A (ja) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | レーザ光通路エアフローシステム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02235012A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5811753A (en) * | 1995-06-19 | 1998-09-22 | Trumpf Gmbh & Co. | Laser machine tool with gas filled beam delivery conduit |
WO2000054925A1 (en) * | 1998-09-09 | 2000-09-21 | Gsi Lumonics | Robotically operated laser head |
US6822187B1 (en) | 1998-09-09 | 2004-11-23 | Gsi Lumonics Corporation | Robotically operated laser head |
EP1535695A2 (en) * | 2003-11-27 | 2005-06-01 | Fanuc Ltd | Laser machining system |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6346509U (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-29 | ||
JPS63104905A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-10 | Yoshiko Morimoto | テルペン類の化合物を含有する,住居内のダニ類の予防,駆除物体 |
JPS646461A (en) * | 1987-02-04 | 1989-01-11 | Sanyo Kokusaku Pulp Co | Direct bonding floor material and its production |
-
1989
- 1989-03-09 JP JP1055158A patent/JPH02235012A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6346509U (ja) * | 1986-09-12 | 1988-03-29 | ||
JPS63104905A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-10 | Yoshiko Morimoto | テルペン類の化合物を含有する,住居内のダニ類の予防,駆除物体 |
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WO2000054925A1 (en) * | 1998-09-09 | 2000-09-21 | Gsi Lumonics | Robotically operated laser head |
US6822187B1 (en) | 1998-09-09 | 2004-11-23 | Gsi Lumonics Corporation | Robotically operated laser head |
EP1535695A2 (en) * | 2003-11-27 | 2005-06-01 | Fanuc Ltd | Laser machining system |
EP1535695A3 (en) * | 2003-11-27 | 2006-02-01 | Fanuc Ltd | Laser machining system |
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