JPH02235012A - レーザ光通路エアフローシステム - Google Patents

レーザ光通路エアフローシステム

Info

Publication number
JPH02235012A
JPH02235012A JP1055158A JP5515889A JPH02235012A JP H02235012 A JPH02235012 A JP H02235012A JP 1055158 A JP1055158 A JP 1055158A JP 5515889 A JP5515889 A JP 5515889A JP H02235012 A JPH02235012 A JP H02235012A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
air
passage
clean
dry
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1055158A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Fukui
浩二 福井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP1055158A priority Critical patent/JPH02235012A/ja
Publication of JPH02235012A publication Critical patent/JPH02235012A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く産業上の利用分野〉 本発明は、光学系@器を具えたレーザ光の通路に空気を
送り込んで光学8i器の表面を常に清浄に保つようにし
たレーザ光通路エアフローシステムに関する。
く従来の技術〉 レーザ光は指向性のあるものであるゆえに、加工に供せ
られる時は光学機器を使用して方向を変え、収束させる
ものである。シーザ加工機においてはこのようにして発
振器から離れた所ででもレーザ光は加工に供せられるこ
とが可能となる。
第2図には従来のレーザ加工機の部分縦断面が示されて
いる。1は発振諾であり、ここからレーザ光が出される
。レーザ光の出口にはパイプ状の固定カバー2の一端が
取り付けられている。固定カバー2の内部は外気から遮
断され、他端は固定ブロック3に固着されている。
固定ブロック3内には互いに直角関係にある孔4,5が
設けられている。前記固定カノ{一2は、この孔4,5
の内の一方の孔4と気密に連通している。また、孔4,
5の合流する域には、鏡面をこの合流域の上方に向け、
水平方向に対して45゜の角度をもって反射ミラー6が
設けられている。一方、前記固定プロ,ク3の側部には
、テレスコピツクカバー7の大径端が取り付けられてお
り、前記孔5と気密に連通している。テレスコビツクカ
ノ{一7は入れ子状に伸縮するものである。テレスコピ
ックカバ−7の小径端は、ヘッドミラーブロック8の側
部に取り付けてある。ヘッドミラーブロック8内には、
側方と下方に開口し互いに直角関係にある孔9,10が
設けてある。そして、孔9,10の合流域には、鏡面を
この合流域の下方に向け、水平方向に対して45°の角
度をもって反射ミラー11が取り付けてある。前記テレ
スコピックヵバー7の小径端は、孔9,10の一方の孔
9に気密に連通している。前記へッドミラーブロック8
の下方には、ジャバラ12を介してレンズヘッド13が
取り付けられている。ヘッドミラーブロック8の孔10
は、ジャバラ12と気密に連通している。レンズヘッド
13の中にはジャバラ12と気密に連通ずる孔14が設
けられ、その途中に凸レンズ15が収まっている。そし
て、凸レンズ15の焦点距離に先端部を有するノズル1
6が、前記レンズヘッド13の下端に取付けられている
このようなレーザ加工機にあっては、発振M1から出る
レーザ光は固定カバー2を通り、孔4から固定ブロック
3に入り反射ミラー6で45°方向を変えられ、孔5か
らテレスコビックカバ−7内に入りこれを出て孔9カ゛
らへッドミラーブロック8内に入り、反射ミラー11で
さらに45″方向を変えられ下方の孔10からジャバラ
12を経てレンズヘッド13に入る。レンズヘッド13
の凸レンズ15によって桑光されたレーザ光は、ノズル
16先端から出て加工に供せられる。
く発明が解決しようとする課題〉 レンズヘッド13は加工に際して上下,左右に移動する
ことが好ましく、このため、ジャバラ12及びテレスコ
ピックカバ−7は伸縮する。ジャパラ12,テレスコピ
ックカバー7の伸縮に伴って前述の光路は内容積を変化
させる。従って、内容積の変化により光路内に不可非的
に空気の出入が生じる。この空気の出入は、テレスコビ
ックカバ−7の摺動部等で行う。この空気の出入に伴っ
て外部の水滴・塵埃が入りこんで、光学機器に付着する
。光学機器の汚れは、レーザ光の汚れへの吸収を招来し
、レーザ光のノズル16部での威力低下や、光学機器の
破損につながった。
く課題を解決するための手段〉 本発明は上記問題点を解決するために、光学機器を具え
且つ密閉されたレーザ光の通路に乾燥した清浄な空気を
送り込むエアユニットを設けると共にこの通路末端に前
記空気を通路から排出するチェック弁を設けた構成を有
している。
く作   用〉 レーザ光の通路に乾燥した清浄な空気を送り込み、この
空気を通路の末端側のチェック弁によって適宜排出する
。通路は密閉構造であることより外気の侵入を阻止し、
光学機器を清浄に保つ。
く実 施 例〉 以下図面を参照して、本発明の一実施例に係わるレーザ
光通路エアフローシステムについて説明する。
第1図には本発明のレーザ光通路エアフローシステムに
係わる一実施例の全体縦断面が示されていろ。
なお、従来例と同じ部材については同じ符号を付し説明
は省略する。
レーザ光通路の端特部である、固定カバー2のレーザ光
発振器1近傍の側部に、接続配官17の一端を連結させ
る。この接続配t17の他端はドライエアユニット18
に接続させる。
一方、レンズヘッド13の側部で凸レンズ15の位置よ
りヘッドミラーブロック8側に孔20を設け、ここにチ
工ツク弁19を設置する。そして、前記テレスコビック
カバ−7の摺動部は気密にする。
上記のような構成のレーザ光エアフローシステムの作用
について説明する。テレスコビックカバー7やジャバラ
12の縮んだ時、レ一ザ光の通路の内容積は減少する。
この時、適宜チ工ツク弁19が開いて通路内部の余分な
空気を排出すると共に、常時ドライエアユニット18か
らレーザ光通路内に乾燥した清浄な空気が図の矢印のよ
うに流れ、チェック弁19から排出されている。これに
よりテレスコピックカバー7やジャバラ12が縮んだ時
には、光学機器は清浄に保たれ、レーザ光は威力を減ず
ることなく加工に供されろ。
また、テレスコピツクカバ−7やジャバラ12が伸びた
時、レーザ光の通路の内容積は増大する。しかし常時、
ドライエアユニット18から乾燥した清浄な空気が供給
されているため、外部から空気が侵入する余地はなく、
ヂ工ツク弁19はレーザ光の通路内を図の矢印のように
流れる ドライエアユニット18から供給されろ空気を
排出する。これによりテレスコピックカパ−7やジャバ
ラ12が伸びた時も、レーザ光通路内の光学機器は清浄
に保たれ、レーザ光は威力を減ずることなく加工に供さ
れる。
なお、本発明のレーザ光の通路は本実施例に限定される
ことなく、ジャバラに代えてテレスコビックカバーを使
用してもよい。
また、本発明の実施例はレーザ加工機としたが、これに
限定されることなく、光学機器を具えたレーザ光通路一
般に適用可能である。
く発明の効果〉 本発明は上記構成に示すように、密閉されたレーザ光の
通路に、乾燥した清浄な空気を送り込むエアユニットと
、これを排出するチェック弁とを設けたので、レーザ光
通路内の光学機器は常に清浄に保たれ、レーザ光による
損傷を受けることなく、まなレーザ光自体の威力も減ず
ることがない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のレーザ加工機のレーザ光通路エアフロ
ーシステムに係わる一実施例の・全体縦断面図、第2図
は従来のレーザ加工機の部分縦断面図である。 図  中、 1は発振器、 6,11は反射ミラー 15は凸レンズ、 16はノズル) 18はドライエアユニット、 19はチェック弁である。 特  許  出  願 三菱重工業 代    理

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光学機器を具え且つ密閉されたレーザ光の通路に乾燥し
    た清浄な空気を送り込むエアユニットを設けると共に、
    この通路末端に前記空気を通路から排出するチェック弁
    を設けたことを特徴とするレーザ光通路エアフローシス
    テム。
JP1055158A 1989-03-09 1989-03-09 レーザ光通路エアフローシステム Pending JPH02235012A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1055158A JPH02235012A (ja) 1989-03-09 1989-03-09 レーザ光通路エアフローシステム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1055158A JPH02235012A (ja) 1989-03-09 1989-03-09 レーザ光通路エアフローシステム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02235012A true JPH02235012A (ja) 1990-09-18

Family

ID=12990940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1055158A Pending JPH02235012A (ja) 1989-03-09 1989-03-09 レーザ光通路エアフローシステム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02235012A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5811753A (en) * 1995-06-19 1998-09-22 Trumpf Gmbh & Co. Laser machine tool with gas filled beam delivery conduit
WO2000054925A1 (en) * 1998-09-09 2000-09-21 Gsi Lumonics Robotically operated laser head
US6822187B1 (en) 1998-09-09 2004-11-23 Gsi Lumonics Corporation Robotically operated laser head
EP1535695A2 (en) * 2003-11-27 2005-06-01 Fanuc Ltd Laser machining system

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6346509U (ja) * 1986-09-12 1988-03-29
JPS63104905A (ja) * 1986-10-22 1988-05-10 Yoshiko Morimoto テルペン類の化合物を含有する,住居内のダニ類の予防,駆除物体
JPS646461A (en) * 1987-02-04 1989-01-11 Sanyo Kokusaku Pulp Co Direct bonding floor material and its production

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6346509U (ja) * 1986-09-12 1988-03-29
JPS63104905A (ja) * 1986-10-22 1988-05-10 Yoshiko Morimoto テルペン類の化合物を含有する,住居内のダニ類の予防,駆除物体
JPS646461A (en) * 1987-02-04 1989-01-11 Sanyo Kokusaku Pulp Co Direct bonding floor material and its production

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5811753A (en) * 1995-06-19 1998-09-22 Trumpf Gmbh & Co. Laser machine tool with gas filled beam delivery conduit
WO2000054925A1 (en) * 1998-09-09 2000-09-21 Gsi Lumonics Robotically operated laser head
US6822187B1 (en) 1998-09-09 2004-11-23 Gsi Lumonics Corporation Robotically operated laser head
EP1535695A2 (en) * 2003-11-27 2005-06-01 Fanuc Ltd Laser machining system
EP1535695A3 (en) * 2003-11-27 2006-02-01 Fanuc Ltd Laser machining system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101236632B1 (ko) 스캐너 헤드 및 관련 공작 기계
US5221823A (en) Laser machining apparatus for welding and cutting
CN101674913B (zh) 具有后扫瞄透镜偏转的激光微加工系统
JPH02235012A (ja) レーザ光通路エアフローシステム
CA2384172A1 (en) Imaging technique for use with optical mems devices
US4606620A (en) Device for cooling reflecting mirror
US9450670B1 (en) Position sensor for a fast steering mirror
FR3100219B1 (fr) Dispositif de gestion des flux d’air et véhicule comprenant un tel dispositif
ATE247578T1 (de) Luftangetriebene klarsichtscheibe
ES2324821T3 (es) Robot de brazo articulado con sistema de guiado por rayo laser que comprende un telescopio.
JPH06167670A (ja) 空冷式防塵カメラハウジング
WO2003043489A3 (de) Vorrichtung zum positionieren zumindest eines optischen bauelements innerhalb eines endoskopischen systems
JPS61224380A (ja) レ−ザ加工装置
JP3357170B2 (ja) レーザ加工機
WO2002048775A3 (en) Projection system utilizing asymmetric etendue
US20230047967A1 (en) Beam guide and positioning device for positioning a scraper mirror, provided for coupling out laser radiation
WO2000005791A3 (de) Justierbares system eines diodenlasers mit externem resonator in der littman-konfiguration
TWI803883B (zh) 可調式光學配置
ATE317556T1 (de) Trinokulartubus für stereomikroskope
JPS623894A (ja) レ−ザ加工機のレ−ザ光伝送路の防塵装置
RU97108632A (ru) Оптико-фокусирующая головка для лазерной обработки
JPH09141477A (ja) レーザ加工機の光軸カバー装置
JPH04138891A (ja) レーザ加工機
EP1198039A4 (en) SOLID LASER APPARATUS
JPH0780673A (ja) レーザ加工機