TWI803883B - 可調式光學配置 - Google Patents

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Abstract

本發明係關於一種可調式光學配置(10)，其具有一光學器件座架(12)、經固持在該光學器件座架(12)處之一光學元件(14)、一固持結構(16)，其中該光學器件座架(12)係固持於一球接頭(18)中之該固持結構(16)處，其中提供一第一調整器件(20)以圍繞一第一軸相對於該固持結構(16)樞轉該光學器件座架(12)，其中提供一第二調整器件(22)以圍繞一第二軸相對於該固持結構(16)樞轉該光學器件座架(12)，其中該球接頭(18)係配置於該光學元件(14)與該第一及第二調整器件(20、22)之間。

Description

可調式光學配置
本發明係關於一種可調式光學配置，其具有一光學器件座架、固持在該光學器件座架處之一光學元件、一固持結構，其中該光學器件座架固持在一球接頭中之該固持結構處，其中提供一第一調整器件以圍繞一第一軸相對於該固持結構樞轉該光學器件座架，且其中提供一第二調整器件以圍繞一第二軸相對於該固持結構樞轉該光學器件座架。
此一配置自US 3,897,139 A獲知。在此已知配置中，一鏡配置於一方形安裝板之中心。一球接頭及兩個調整器件配置於該方形安裝板之角處且將該安裝板連接至一固持結構。該球接頭及該兩個調整器件位於與該鏡相距相同距離處且在各情況中配置為緊鄰於該鏡。
本發明之目的
本發明之一目的係指定一種具有用於調整一光學元件之改良可接近性之光學配置。
根據本發明由如技術方案1之一配置來達成此目的。在附屬技術方案及描述中描述有利實施例。
根據本發明，提供一種可調式光學配置。該光學配置具有 一光學器件座架及固持於該光學器件座架處之一光學元件。該光學元件可為一透鏡。該光學元件較佳地係一鏡。
該光學器件亦具有一固持結構。該光學器件座架固持於該固持結構處。在調整期間，改變該光學器件座架及該光學元件相對於該固持結構之對準且以一界定方式設定。提供一球接頭以固持該固持結構處之該光學器件座架。該球接頭允許該光學器件座架相對於該固持結構在所有旋轉自由度下之一移動但限制所有平移自由度。
提供兩個調整器件以使得可能建立該光學器件座架相對於該固持結構之一界定對準。使用一第一調整器件，該光學器件座架可圍繞一第一軸相對於該固持結構樞轉。使用一第二調整器件，該光學器件座架可圍繞一第二軸相對於該固持結構樞轉。該第一軸及該第二軸原則上不平行與彼此對準。該第一軸及該第二軸可圍封10°與170°之間的一角度。約90°之角度係有利的。該第一軸與該第二軸之間的角度可較佳地介於75°與105°之間。該第一軸及該第二軸原則上延伸穿過該球接頭。藉此，可避免在調整期間拉緊該光學器件座架。該第一及第二調整器件較佳地僅相對於圍繞該第一及第二軸之旋轉來界定該光學器件座架相對於該固持結構之對準；所有其他自由度通常在各情況中不受該第一或第二調整器件限制。
根據本發明，該球接頭配置於該光學元件與該第一及第二調整器件之間。換言之，自該光學元件看，該兩個調整器件配置於該球接頭之另一側上。因此，該球接頭配置為比該等調整器件更靠近該光學元件。此藉由致動該等調整器件之一或兩者而簡化對該兩個調整器件之接取以設定該光學元件之對準。特定言之，可在該兩個調整器件與該光學元件之間、較佳地靠近該球接頭提供一氣密及/或光學緻密屏幕，而非藉此限 制對該等調整器件之接取。該第一軸可由透過該球接頭及該第二調整器件之一直線界定。該第二軸可由透過該球接頭及該第一調整器件之一直線界定。
該球接頭有利地盡可能靠近該光學元件之一光學中心點。該球接頭通常恰配置於該光學元件之該外徑之外部。若該光學元件不透射(即，一鏡)，則亦可設想該球接頭配置於該光學元件後面。
該兩個調整器件與該球接頭相距之距離有利地具有相同量值。該兩個調整器件與該球接頭相距之距離通常大於該球接頭與該光學元件之該光學中心點相距之距離，較佳地至少大兩倍。
該光學器件座架可由該固持結構處之一縱向剛性引導元件引導。該光學器件座架相對於該固持結構之一界定旋轉位置由該引導元件相對於一第三軸建立。該第三軸原則上不平行於該第一及該第二軸延伸，但較佳地垂直於該第一及/或該第二軸延伸。特定言之，該第三軸可垂直於該第一與該第二軸之間的角平分線延伸。此可減少球該接頭上之應力。該第三軸通常延伸穿過該球接頭。
在各情況中，其中該引導元件具有一剛性設計之該縱向方向有利地以相對於該第一及該第二軸之至少30°之一角度延伸。特定言之，該引導元件可自該第一調整器件延伸至該第二調整器件，或該縱向方向可平行於該等調整器件之間的一連接線延伸。
該引導元件較佳地以一板片彈簧之形式體現。可具成本效益地提供一板片彈簧且其易於附接至該固持結構及該光學器件座架。同時，一板片彈簧允許該光學器件座架相對於該固持結構之精確引導。該板片彈簧在其縱向方向上係剛性的，即無明顯變形。該板片彈簧在橫向於該 縱向方向延伸之至少一方向上係撓性的，即，可顯著變形。該板片彈簧通常可圍繞其縱軸扭轉。
自該球接頭看，該引導元件有利地配置於該第一及/或第二調整器件後面。歸因於該引導元件與該球接頭相距之大距離，可達成該光學器件座架相對於該第二軸之一特別準確之對準。另外，此可簡化該光學配置之安裝。
為限制該球接頭之該第三旋轉自由度，該等調整器件之一者可交替地限制兩個自由度且以(例如)以一鉸鏈之方式體現。
就特定偏好而言，針對該光學器件座架進行供應以透過該固持結構中之一切口投射。接著，該固持結構促成密封或遮蔽其中該光學元件相對於該等調整器件配置於其中之一環境配置之一空間，且易於接取以進行調整。
該固持結構較佳地接合於該球接頭與該兩個調整器件之間的該光學器件座架周圍之所有側上。此可導致一特別緊湊之構造。此可進一步簡化該光學配置至一進一步結構(例如至一外殼)之連接。
一氣封較佳地配置於該光學器件座架與該固持結構之間。該光學元件之該區域中之一保護性氣體氛圍可由該氣封與該等調整器件之該區域中之周圍空氣分離。原則上，該氣封以一接觸方式抵靠該光學器件座架及抵靠該固持結構。
一光學屏幕可提供於該切口處。該光學屏幕可防止輻射自該光學元件之該區域進入操作人員可接取之環境中。較佳地，該光學屏幕由相互重疊之金屬片元件體現。該等金屬片元件之至少一者可固持於該固持結構處。至少一進一步金屬片元件可固持於該光學器件座架處。
為在調整期間僅在該氣封或該光學屏處引起小移動，該光學器件座架延伸穿過其之該固持結構之該切口較佳地配置為靠近該球接頭。該光學屏幕之該氣封及/或部分可直接配置於該切口處。
該光學器件座架可具有一冷卻劑通道。藉由引導冷卻劑透過該冷卻劑通道，可冷卻該光學器件座架且特定言之該光學元件。冷卻劑(特定言之冷卻水)可透過該冷卻劑通道自該光學器件座架之一第一冷卻劑連接器引導至該光學器件座架之一第二冷卻劑連接器。該冷卻劑通道可直接延伸通過該光學元件，其中該光學元件亦可形成該冷卻劑通道之一壁。
該第一及/或第二調整器件可體現為用於執行一長度改變。該第一及/或第二調整器件較佳地體現為具有一第一或第二調整螺釘及一第一或第二固定螺母。依此方式，可設定該光學器件座架及該光學元件相對於該固持結構之一特別精確之對準。另外，可由此等調整器件有效地避免設定中之非期望自動變化。
該第一及/或第二調整螺釘可體現為具有一旋轉橢圓形(特定言之，球形頭部區段)，其支撐於較佳地該光學器件座架之一錐形容器中。在此設計中，在該調整螺釘或改動調整螺釘與該(各自)容器之間產生一線接觸。該線接觸確保足夠剛性以確保該光學器件座架與該光學元件之精確對準，即使在震動或衝擊之情況下。另外，該線接觸減少該頭部區段與該各自容器之間的接觸壓力。
該第一及/或第二固定螺母可體現為具有一旋轉橢圓形、特定言之球形接觸表面，其支撐於一錐形容器、較佳地該固持結構之錐形容器中。在此設計中，在該固定螺母或該等固定螺母與該(各自)容器之間產生一線接觸。該線接觸確保足夠剛性以確保該光學器件座架與該光學元件 之精確對準，即使在震動或衝擊之情況下。另外，該線接觸減少該接觸表面與該各自容器之間的接觸壓力。
較佳地，該光學器件座架及該固持結構係彼此預負載。依此方式，該光學器件座架及該固持結構可係在無間隙及不拉緊該光學器件座架之情況下耦合至該等調整器件。該第一及/或第二調整器件可具有一第一或第二彈簧元件。在該第一或第二調整器件之調整期間，可壓縮或擴展該各自彈簧元件。該第一或第二彈簧元件可圍繞該第一或第二調整螺釘接合。該第一或第二彈簧元件可係以一較佳地圓柱形之螺旋彈簧的形式體現。預拉緊可確保該等頭部區段及該等接觸表面可靠地抵靠該等各自容器。
該兩個調整器件之各者處之一預負載力可為(例如)至少100N，較佳地至少120N，尤其較佳地至少150N。使用此量值之預負載力，即使在振動及其他力作用於該光學器件座架上的情況下(例如藉由冷卻水軟管)，可確保無間隙及精確對準。在各情況中，該等調整器件處之預負載力通常小於500N。因此可避免該等調整器件過載。
該球接頭可係體現為具有擰至該固持結構之一螺栓上之一固定螺母，且具有經支撐於該光學器件座架之一進一步錐形容器中之一旋轉橢圓形，特定言之，球形的接合面。以此方式，可在該固持結構處，建立對振動及該光學器件座架之作用力不敏感的無間隙安裝。通常，提供一第三彈簧元件，其將該光學器件座架及該球接頭處之該固持結構彼此分開地預負載，較佳地其中該彈簧元件圍繞該螺栓接合。該第三彈簧元件可為一較佳地圓柱形之螺旋彈簧。該球接頭處之一預負載力可為至少100N，較佳地至少120N，尤其較佳地至少150N。使用此量值之一預負載力， 即使在振動及其他力作用於該光學器件座架上(例如藉由冷卻水軟管)的情況下，亦可確保無間隙及精確對準。該球接頭處之該負載力通常小於500N。因此，可避免該球接頭過載。該球接頭處之該預負載力通常大於該等調整器件處之該預負載力。該第三彈簧元件可具有大於該第一及該第二彈簧元件之一剛性。由於該光學器件座架之該質心通常位於更靠近該球接頭，因此可補償其較高負載。
該光學器件可進一步具有用於發射一雷射光束之一雷射光源及一目標，其中該光學元件配置於該雷射光束之該光束路徑中以將該雷射光束引導至該目標上。藉由使用一雷射光束照射該目標，可(例如)獲得極紫外線輻射(10nm與121nm之間的波長)。
本發明之進一步特徵及優點自描述、技術方案及圖式變得明顯。根據本發明，在各情況中，可個別使用上文及下文所提及之特徵，或可以任意、適宜之組合使用其等之複數個特徵。所展示及描述之實施例不應理解為一窮舉列表而具有用於繪示本發明之例示性特性。
10:可調式光學配置
12:光學器件座架
14:光學元件
16:固持結構
18:球接頭
20:第一調整器件
22:第二調整器件
24:第一軸
26:第二軸
28:引導元件
30:第一附接位置
32:第二附接位置
34:切口
36:第一組件
38:第二組件
40:氣封
42:光學屏幕
44:第一金屬片元件
46:第二金屬片元件
48:固定螺母
50:球形接合面
52:螺栓
54:錐形容器
56:彈簧元件
58:調整螺釘
60:固定螺母
62:球形頭部區段
64:錐形容器
66:球形接觸表面
68:錐形容器
70:彈簧元件
72:冷卻劑接頭
74:冷卻劑接頭
78:裝置
80:雷射光源
82:放大配置
84a:光學放大級
84b:光學放大級
84c:光學放大級
86:聚焦光學單元
88:目標
90:真空室
本發明繪示於圖式中且將藉由例示性實施例來更詳細地闡釋，其中：圖1展示根據本發明之具有一光學元件之一光學配置之一示意性截面圖，該光學元件固持於一光學器件座架處且可經由兩個調整器件相對於一固持結構調整，其中該固持結構圍繞一球接頭與位於較遠離該光學元件之該等調整器件之間的該光學器件座架接合；圖2展示圖1之可調式光學配置之一抽象示意圖； 圖3展示用於產生極紫外線輻射之一裝置之一示意圖，其中雷射輻射經由根據圖1之兩個可調式光學配置以使得發射極紫外線輻射之一方式自一光源導引至一目標上。
圖1展示一可調式光學配置10。圖2以一抽象方式繪示光學配置10之基本構造。
光學器件10具有一光學器件座架12。一光學元件14固持於光學器件座架12處。在此情況中，光學元件14係一鏡。替代地，光學元件可為一透射元件，例如一光束分離器(圖中未更詳細繪示)。光學元件14可放置於光學器件座架12之一接收切口中。
光學器件10亦具有一固持結構16。具有光學元件14之光學器件座架12可相對於固持結構16予以調整。為允許光學器件座架12相對於固持結構16傾斜，光學器件座架12固持於一球接頭18中之固持結構16上。球接頭18允許光學器件座架12於所有三個(旋轉)自由度中相對於固持結構16之一旋轉相對移動。在球接頭18處，光學器件座架12相對於固持結構16之平移位移係不可能的。
光學器件10具有一第一調整器件20及一第二調整器件22。藉由致動第一調整器件20，光學器件座架12可圍繞第一軸24相對於固持結構16樞轉。藉由致動第二調整器件22，光學器件座架12可圍繞一第二軸26相對於固持結構16樞轉。在此處，第一軸24由透過球接頭18及第二調整器件22之一直線界定。此處，第二軸26由透過球接頭18及第一調整器件20一直線界定。第一軸24及第二軸26可在兩個調整器件20、22之間圍封(例如)90°之一角度。然而，較小或較大角度亦可行。
球接頭18配置於光學元件14與第一調整器件20及第二調整器件22之間。光學元件14(特定言之光學元件14之一中心)與球接頭18之一距離小於光學元件14與第一調整器件20相距之一距離。同樣地，光學元件14(之中心)與球接頭18相距之距離小於光學元件14(之中心)與第二調整器件22之距離。在所繪示之實施例中，特定言之，自第一調整器件20看，第二軸26上之點(該點具有與光學元件14(特定言之，自光學元件之中心)相距最小距離)位於球接頭18之另一側上。因此，自第二調整器件22看，第一軸24上之點(該點具有與光學元件14(特定言之，自光學元件之中心)相距最小距離)位於球接頭18之另一側上。自光學元件14看，兩個調整器件20、22均配置於球接頭18後面。
提供一引導元件28以界定光學器件座架12相對於固持結構16相對於圍繞一第三軸之旋轉之對準。在此情況中，第三軸透過球接頭18垂直延伸至(垂直於圖2中之圖式之平面)垂直於第一軸24及第二軸26延伸。引導元件28可呈一板片彈簧之形式。在一端上，引導元件28固定至一第一附接位置30處之固持結構16。在另一端，引導元件28固定至一第二附接位置32處之光學器件座架12。一直線在與球接頭18相距一距離處延伸穿過引導元件28之兩個附接位置30、32。此直線可平行於兩個調整器件20、22之一連接線延伸。由於引導元件28體現為縱向剛性，因此可防止光學器件座架12圍繞第三軸相對於固持結構16之一旋轉。為擴大引導元件28與球接頭18相距之距離且因此獲得光學器件座架12之特別精確之引導，自光學元件14看，引導元件28可配置於兩個調整器件20、22後面。
固持結構16可具有學器件座架12透過其突出之一切口34 (參閱圖1)。應注意，固持結構16可形成於多個部分中。特定言之，固持結構16及切口34處之兩個調整器件20、22之攻擊點可提供於固持結構16之一第一組件36處。球接頭18可提供於固持結構16之一第二組件38處。若固持結構16由多個部分形成，則其組件36、38彼此固定地連接，且特定言之，不可相對於彼此移動。
在此情況中，光學器件座架12由一單件主體形成。替代地，光學器件座架之一主體可體現在多個部分中，且特定言之，劃分於調整器件20、22及球接頭18或光學元件14之間(未更詳細地繪示)。
於切口34之區域中，固持結構16連續地接合於光學器件座架12周圍。可在切口34處提供一氣封40。氣封40可以折疊伸縮管之方式體現。氣封40使光學元件14配置於其中且通常含有一保護氣體之一空間與其中調整器件20、22可自由接取之一環境分離。
此外，可在切口34處提供一光學屏幕42。屏幕42防止光、特定言之雷射光通過切口34進入具有調整器件20、22之環境。光學屏幕42可具有附接至固持結構16之至少一第一金屬片元件44。光學屏幕42可進一步具有附接至光學器件座架12之至少一第二金屬片元件46。金屬片元件44、46彼此重疊，使得光無法透過切口34離開。
為在相對於固持結構16調整光學器件座架12期間引起氣封40及屏幕42處之小移動，切口34配置於靠近球接頭18。亦由固持結構16定界且光學元件14位於其中之空間外部之調整器件20、22之配置使得可能保持切口34較小。依此方式，氣封40及屏幕42亦可經設計具有一小周長長度。
球接頭18可體現為具有一固定螺母48。固定螺母48具有一 球形接合面50。在所繪示之例示性實施例中，固定螺母48擰在固持結構16之一螺栓52上。此處，螺栓52與固定結構16之第二組件38形成一件。固定螺母48之球形接合面50支撐於光學器件支座12之一錐形容器54中。在球接頭18之區域中，光學器件座架12及固持結構16由一彈簧元件56彼此預負載，其在圖1中以一套管之方式示意性地繪示。彈簧元件56可以一螺旋彈簧之形式體現。彈簧元件56可圍繞螺栓52接合。彈簧元件56之預負載選擇為足夠大(例如約240N)以當在操作期間發生負載時總是確保固定螺母48與錐形容器54之間的一線型接觸。使用此構造，可在球接頭18中之固持結構16處達成光學器件座架12之精確、剛性及容易可調式安裝。
兩個調整器件20、22可具有相同結構設計。調整器件20、22可用於在光學器件座架12及固持結構16處改變其各自攻擊點之間的距離。換言之，調整器件20、22可體現為用於執行一長度改變。
在本情況中，調整器件20、22各具有一調整螺釘58及一固定螺母60。可藉由旋轉調整螺釘58及固定螺母60來修改調整器件20、22之有效長度。在各情況中，調整螺釘58具有一球形頭部區段62。調整螺釘58之球形頭部區段62在各情況中係支撐於光學器件座架12之一(進一步)錐形容器64中。固定螺母60各具有一球形接觸表面66。固定螺母60之球形接觸表面66可在各情況中係支撐於固持結構16之一錐形容器68中。應理解調整螺釘58及固定螺母60之配置亦可相反，其意謂頭部區段62係支撐於固持結構16處，且接觸表面66係支撐於光學器件座架處(圖中未繪示)。
在調整器件20、22之區域中，光學器件座架12及固持結構 16係由彈簧元件70彼此預負載。第一調整器件20之彈簧元件70在圖1中係以一套管之形狀示意性地繪示。彈簧元件70在各情況中可被體現為一螺旋彈簧。在各情況中，彈簧元件70可圍繞相關聯之調整螺釘58接合。彈簧元件70之預負載經選擇為足夠大(例如約150N)，使得當在操作期間出現負載時，總是確保頭部區段22及接觸表面66及各自錐形容器64、68之一線性接觸。使用此構造，可在固持結構16處達成光學器件座架12之精確、剛性及靜態定向安裝。由於調整器件20、22在各情況中僅限制或設定一單一自由度，因此光學配置10之調整係容易可行的，且可可靠地避免光學器件座架12之拉緊(其可對光學元件14之成像品質具有一負面影響)。
將光學器件座架12附接至固持結構16(其既剛性亦無應力)，使得可能將冷卻劑軟管(圖中未繪示)連接至光學器件座架12而不會對光學器件座架12與光學元件14之對準精確度產生負面影響。為此，兩個冷卻劑接頭72、74係提供於光學器件座架12上。一冷卻劑通道(未更詳細繪示)延伸於光學器件座架12中。冷卻劑通道將兩個冷卻劑接頭72、74彼此連接。可設想冷卻劑通道直接延伸通過光學元件14且係部分地由光學元件14定界。
圖3展示用於產生極紫外線輻射之一裝置78。裝置具有一雷射光源80及具有三個光學放大級84a、84b、84c之一放大配置82。已由雷射光源80發射且由放大配置82放大之一雷射光束由上文所描述之兩個之可調式光學配置10及一聚焦光學單元86引導至一目標88處。聚焦光學單元86可為一透鏡。目標88可由錫組成。當使用雷射光束照射時，目標88之材料轉變為一電漿狀態且發射極紫外線輻射(參閱虛線箭頭)。
兩個光學配置10之至少目標88、聚焦光學單元86及光學元 件14配置於一真空室90中。真空室90在低壓下可含有一保護氣體。真空室90之一壁亦可由具有切口34之固持結構16之區域形成。固持結構16可附接於真空室90之外部或其壁。光學器件座架12在固持結構16之切口34處透過真空室90之壁突出。光學元件14且在此情況中亦球接頭18各配置於真空室90內部。調整器件20、22且在此情況中亦冷卻劑接頭72、74配置於真空室90外部。因此，調整器件20、22易於接取以便調整。
10:可調式光學配置
12:光學器件座架
14:光學元件
16:固持結構
18:球接頭
20:第一調整器件
22:第二調整器件
28:引導元件
30:第一附接位置
32:第二附接位置
34:切口
36:第一組件
38:第二組件
40:氣體密封
42:光學屏幕
44:第一金屬片元件
46:第二金屬片元件
48:固定螺母
50:球形接合面
52:螺栓
54:錐形容器
56:彈簧元件
58:調整螺釘
60:固定螺母
62:球形頭部區段
64:錐形容器
66:球形接觸表面
68:錐形容器
70:彈簧元件
72:冷卻劑接頭
74:冷卻劑接頭

Claims (15)

  1. 一種可調式光學配置(10)，其具有一光學器件座架(12)，一光學元件(14)，其經固持於該光學器件座架(12)處，一固持結構(16)，其中該光學器件座架(12)經固持於一球接頭(18)中之該固持結構(16)處，其中提供一第一調整器件(20)以圍繞一第一軸(24)相對於該固持結構(16)樞轉該光學器件座架(12)，其中提供一第二調整器件(22)以圍繞一第二軸(26)相對於該固持結構(16)樞轉該光學器件座架(12)，其中該球接頭(18)係配置於該光學元件(14)與該第一及第二調整器件(20、22)之間，其中該光學器件座架(12)在該固持結構(16)處係由一縱向剛性引導元件(28)引導。
  2. 如請求項1之配置(10)，其中該引導元件(28)係體現為一板片彈簧。
  3. 如請求項2之配置(10)，其中自該球接頭(18)看，該引導元件(28)係配置於該第一及/或該第二調整器件(20、22)後面。
  4. 如請求項1至3中任一項之配置(10)，其中該光學器件座架(12)透過該 固持結構(16)之一切口(34)突出。
  5. 如請求項4之配置(10)，其中該固持結構(16)圍繞該球接頭(18)與該兩個調整器件(20、22)之間的該光學器件座架(12)接合。
  6. 如請求項4之器件(10)，其中一氣封(40)係配置於該光學器件座架(12)與該固持結構(16)之間。
  7. 如請求項4之配置(10)，其中一光學屏幕(42)、較佳地具有相互重疊之金屬薄片元件(44、46)係提供於該切口(34)處。
  8. 如請求項1至3中任一項之配置(10)，其中該光學器件座架(12)具有一冷卻劑通道。
  9. 如請求項1至3中任一項之配置(10)，其中該第一及/或該第二調整器件(20、22)經形成具有一第一或第二調整螺釘(58)及一第一或第二固定螺母(60)。
  10. 如請求項9之配置(10)，其中該第一及/或該第二調整螺釘(58)經體現為具有一旋轉橢圓形、特定言之球形頭部區段(62)，其係支撐於較佳地該光學器件座架(12)之一錐形容器(64)中。
  11. 如請求項9中之配置(10)，其中該第一及/或該第二固定螺母(60)經體 現為具有一旋轉橢圓形、特定言之球形接觸表面(66)，其係支撐於較佳地該固持結構(16)之一錐形容器(68)中。
  12. 如請求項1至3中任一項之配置(10)，其中該光學器件座架(12)及該固持結構(16)係彼此分開預負載，較佳地其中該第一及/或該第二調整器件(20、22)具有一彈簧元件(70)。
  13. 如請求項12之配置(10)，其中該兩個調整器件(20、22)之各者處之一預負載力係至少100N，較佳地至少120N，尤其較佳地至少150N。
  14. 如請求項1至3中任一項之一之配置(10)，其中該球接頭(18)係由經形成具有被擰至該固持結構(16)之一螺栓(52)上之一固定螺母(48)，且具有一旋轉橢圓形、特定言之球形接合面(50)，其經支撐於該光學器件座架(12)之一錐形容器(54)中。
  15. 如請求項1至3中任一項之一之配置(10)，進一步具有用於發射一雷射光束之一雷射光源(80)及一目標(88)，其中該光學元件(14)係配置於該雷射光束之該路徑中，以將該雷射光束引導至該目標(88)上。
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