JP2024516090A - オプトエレクトロニクス半導体部品 - Google Patents
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Abstract
オプトエレクトロニクス半導体部品(100)であって、ハウジング(20)の内部空間(29)に少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ(10)を備え、ハウジングは底部(21)とカバー部(22)とを有し、底部はセラミック支持体として構成されており、カバー部は1種以上のガラス材料から形成されており、底部とカバー部との間に、ガラスはんだから成る接続層(23)が配置されており、セラミック支持体は、ガラスはんだに直接に接触するニッケル含有表面(211)を有する接続領域(210)を有する、オプトエレクトロニクス半導体部品(100)を提示する。【選択図】 図1
Description
本発明は、オプトエレクトロニクス半導体部品を提示する。
本特許出願は、特許文献1の優先権を主張し、その開示内容は参照により本明細書に援用されるものとする。
高価で敏感なマイクロエレクトロニクスにおいては、通常、電子部品を障害的な環境影響から保護するために、気密のハウジングが使用される。例えば、レーザダイオード、また他の電子モジュール、特にオプトエレクトロニクスモジュールも気密のハウジング内に実装される。このようなハウジングは、内部に配置される部品を外部環境へ接続する接続部、特に電子接続部も形成している。
例えば、ベースプレートと、このベースプレート上に取り付けられるフレームと、このフレーム上に取り付けられる、ハウジング内に実装されるモジュールのタイプに応じて透明であってもよいカバーとが、金属はんだ層を用いてそれぞれ相互に接続された、セラミックハウジングが公知である。例えば、金-錫はんだを使用することができる。しかし、このようなはんだ接続のためには、接続すべきすべての表面が接続領域にメタライゼーションを有する必要があり、ここで、これらのメタライゼーションのうちの2つを金-錫はんだでコーティングしなければならない。サイドエミッション型部品は、通常、ハウジングとして例えばベースプレートを有しており、このベースプレートには、ガラス窓が組み込まれた金属キャップがはんだ付けまたは溶接によって取り付けられる。こうした公知のハウジング手段には時間がかかり、したがって製造が高価となる。
特定の実施形態の少なくとも1つの課題は、オプトエレクトロニクス半導体部品を提供することである。
この課題は、独立請求項に記載されている対象発明によって解決される。当該対象発明の有利な実施形態および発展形態は各従属請求項に特徴付けられており、さらに以下の説明および図面から得られる。
少なくとも1つの実施形態では、オプトエレクトロニクス半導体部品は、ハウジングの内部空間に少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップを有している。特に、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップは、周囲雰囲気からの物質、例えば湿分および/または酸素に対して敏感でありうる半導体チップでありうる。例えば、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップは、半導体レーザダイオードでありうる。なお、以下の説明は半導体レーザダイオードとしてのオプトエレクトロニクス半導体チップの実施形態に焦点を当てるが、これに代えて、半導体チップの他の実施形態、例えばスーパールミネセントダイオード(SLED)、発光ダイオード(LED)、フォトダイオード、または他のオプトエレクトロニクス半導体チップも可能である。さらに、以下の説明では1つのオプトエレクトロニクス半導体チップを備えたオプトエレクトロニクス半導体部品に焦点を当てるが、オプトエレクトロニクス半導体部品がハウジング内に複数の同じもしくは異なるオプトエレクトロニクス半導体チップおよび/または別の電子部品を有することもできる。
特に好ましくは、ハウジングは気密に閉鎖されて構成されている。したがって、ハウジングの内部空間は、このハウジングによって好ましくは気密に閉鎖されて周囲から分離可能である。「気密に」または「気密に閉鎖されて」とは、ここおよび以下の部分では、特に周囲からの有害物質または他の障害的影響が、例えば通常期待されるもしくは規定の寿命の経過において障害作用が引き起こされるような規模で内部空間へ到達しえないことを意味しうる。
別の実施形態では、ハウジングは底部とカバー部とを有している。底部とカバー部との間には好ましくは接続層が配置されており、この接続層によってカバー部が底部に取り付けられている、ひいては固定されている。ハウジングの内部空間は、底部とカバー部と接続層とによって包囲されている。特に、少なくとも底部もしくはカバー部またはその双方が凹部を有していてよく、底部とカバー部とが組み合わされて接続層によって相互に取り付けられると、内部空間が形成される。特に好ましくは、内部空間を、底部、接続層およびカバー部によって気密に閉鎖することができる。
少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップは底部上に実装されており、好適には電気的に接続されている。底部上の少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップの配置方向を、以下では垂直方向とも称する。当該垂直方向に対して垂直であって、底部の主延在面、特に底部の実装面に対して平行でありうる方向を、以下では横方向と称する。
ハウジング内に配置される部品、例えば少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップへの電気コンタクトを形成するために、ハウジング、特に好ましくは底部は、少なくとも1つの電気コンタクト素子を有する。少なくとも1つの電気コンタクト素子は、例えば、1つもしくは複数の導体路、1つもしくは複数の電気フィードスルー(「ビア」)、1つもしくは複数のリードフレームもしくは導体フレーム部、1つもしくは複数の電極面、およびこれらのうちのいずれかの組み合わせを、底部の1つもしくは複数の表面上にかつ/または底部内に埋め込んだ状態で有していてよく、またはこれにより形成されていてよい。特に、ハウジングは、複数の電気コンタクト素子を有することができる。例えば、底部は、コンタクト素子として少なくとも2つのビアを有していてよく、これらのビアはそれぞれ、内部空間内の電極面と、底部の、内部空間とは反対側の外面の電極面とを相互に接続している。
別の実施形態では、底部はセラミック支持体として構成されている。換言すれば、底部は、主成分として、例えば窒化アルミニウムを有するかまたは窒化アルミニウムから成るセラミック材料を有していてよい。
セラミック支持体は、好ましくは単層セラミック支持体または多層セラミック支持体でありうる。単層セラミック支持体は、例えばプレート状に構成されていてよく、これによりベースプレートを形成することができる。単層セラミック支持体は、セラミック材料から成る層によって形成されていてよく、この層はさらにコンタクト素子を有することができ、このコンタクト素子を介して、ハウジングの内部空間内で、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップへの外部からの電気的なコンタクト接続が可能となる。多層セラミック支持体は、同じセラミック材料または異なるセラミック材料から成りかつ底部を製造するために相互に重なるように堆積されて焼結される少なくとも2つ以上の層から形成可能である。例えば、複数の層のうちの1つは、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップが実装されたベースプレートを形成しており、少なくとも1つの別の層は、フレーム状に構成されて、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップを横方向で取り囲む。したがって、底部は、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップが内部に配置される凹部を有することができる。
特に好ましくは、ハウジングは表面実装可能でありうる。したがって、オプトエレクトロニクス半導体部品は、特に好ましくは表面実装可能部品、すなわちいわゆるSMD部品(SMD:“surface-mounted device”)とすることができ、こうした表面実装可能部品は、はんだ付けによって支持体上、例えばプリント回路板上へ実装可能である。特に好ましくは、セラミック支持体が表面実装可能であってもよい。
別の実施形態によれば、カバー部は、1種以上のガラス材料から形成されている。換言すれば、カバー部は、ガラスカバーとして、つまり1種以上のガラス材料から完全に形成されたものであってよい。特に好ましくは、カバー部はホウケイ酸ガラスを含むものであってよく、またはホウケイ酸ガラスから成るものであってよい。
好ましくは、底部およびカバー部は、類似した熱膨張係数を有する材料を含む。例えば、底部、特に底部のセラミック材料は第1の熱膨張係数C1を有しうるものであり、カバー部、特にカバー部の1種以上のガラス材料は第2の熱膨張係数C2を有しうるものであって、この場合、次式、すなわち、|C1-C2|/<C1,C2>≦0.90または|C1-C2|/<C1,C2>≦0.95または|C1-C2|/<C1,C2>≦0.99が成り立つ。ここで、<C1,C2>は、C1およびC2の平均値を表す。
特に好ましくは、カバー部は完全に光透過性であってよい。この場合、「光透過性」とは、少なくとも半透明であり、好ましくは光学的に透視可能である、すなわち透明であることを意味しうる。例えば、カバー部は、フレーム部内に配置された光学窓を有することができる。フレーム部と光学窓とは同じガラス材料から形成されていてよく、例えば相互に融着されていてよい。さらに、光学窓が第1のガラス材料を有するのに対し、フレーム部が第1のガラス材料とは異なる第2のガラス材料を有することも可能でありうる。この場合にも、光学窓はフレーム部に融着されていてよい。オプトエレクトロニクス半導体部品の実施形態に応じて、光学窓は、横方向でオプトエレクトロニクス半導体チップの隣に、または垂直方向でオプトエレクトロニクス半導体チップの上方に、配置することができる。
さらに、カバー部は、オプトエレクトロニクス半導体チップが少なくとも部分的に内部に配置される凹部を有することができる。したがって、カバー部は、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップを例えばドーム状に覆うことができる。
別の一実施形態では、接続層はガラスはんだを有し、特に好ましくはガラスはんだから成る。ガラスはんだにより、有利には、接続面上の、20μmまでまたはさらにはそれ以上のオーダーの粗面性およびその他の不規則性を補償することが可能となりうる。こうしたガラスはんだに比べて、はんだ接続では、典型的には粗面性およびその他の不規則性を著しく小さくすること、例えば5μm以下の範囲とすることが必要である。さらに、底部にカバー部を取り付けるための、ガラスはんだによって形成される接続層は、カバー部に直接に接する位置にあってよく、かつカバー部に直接に接触しうる。したがって、はんだ接続の場合に必要となる例えばメタライゼーションのような接着促進層をカバー部に設ける必要がない。
別の実施形態では、底部、特にセラミック支持体が接続領域を有している。接続領域は、底部、特にセラミック支持体のうち、接続層が被着される領域である。特に好ましくは、底部、特にセラミック支持体は、接続領域にニッケル含有表面を有しており、このニッケル含有表面は、接続層、すなわち特にガラスはんだに直接に接触することができる。ニッケル含有表面により、ガラスはんだの特に良好な接着を達成することができる。例えば、ニッケル含有表面は、ニッケル含有層によって形成することができる。特に好ましくは、ニッケル含有層は、このニッケル含有層の全体積を基準として95体積%以上のニッケルの相対割合を有しうる。
本明細書に記載するオプトエレクトロニクス半導体部品は、上述した実施形態および特徴に従い、好ましくは底部として、単層セラミックまたは多層セラミックの形態のセラミック支持体を有する。特に、多層セラミックの設計は、フィードスルーの場合にもプリント回路板の場合にも同様に小さいフォームファクタのもとでI/O接続部のきわめて高い密度を可能にする、微細3D接続手段を製造することができる。高い熱伝導率および耐熱性から、セラミック材料は使用に最良に適している。また、セラミック設計により、はんだ付け可能な(SMD)モジュールが可能となる。ガラス窓またはガラス窓としてのカバー部との関連において、こうした構造はまた、例えばレーザエミッタに特に適したハウジングとなる。セラミック支持体のニッケル含有表面を用いて確実にセラミック支持体上に被着および固定することのできるガラスはんだにより、底部とカバー部との間の気密な接続を低コストに製造することができる。
さらなる利点、有利な実施形態および発展形態は、以下で図に即して説明する実施例から得られる。
さらなる利点、有利な実施形態および発展形態は、以下で図に即して説明する実施例から得られる。
実施例および図において、同一の要素、同様の要素または同じ作用を有する要素には、それぞれ同じ参照番号を付してある。図示の各要素およびその相互の寸法比は縮尺通りに描かれてはおらず、むしろ個々の要素、例えば層、モジュール、素子および領域などにつき、良好な図示のためかつ/または良好な理解のために意図的に拡大して示したところがある。
後続の図に関連して、オプトエレクトロニクス半導体部品100に関する実施例およびこのオプトエレクトロニクス半導体部品100の要素を説明する。オプトエレクトロニクス半導体部品100は、ハウジング20内にオプトエレクトロニクス半導体チップ10を有している。オプトエレクトロニクス半導体部品100は、以下の実施例では、純粋に例としてであるが、オプトエレクトロニクス半導体チップ10としての半導体レーザダイオードを備えた発光半導体部品として構成されている。これに代えて、半導体チップの他の実施形態、例えばスーパールミネセントダイオード(SLED)、発光ダイオード(LED)、フォトダイオード、または他のオプトエレクトロニクス半導体チップも可能である。さらに、オプトエレクトロニクス半導体部品100がハウジング20内に複数の同じもしくは異なるオプトエレクトロニクス半導体チップ10および/または他の電子部品を有することも可能である。
特に好ましくは、ハウジング20は、5cm以下または2cm以下または1cm以下または0.5cm以下または0.3cm以下の寸法を有する。換言すれば、オプトエレクトロニクス半導体部品100は、好ましくはいわゆる半導体パッケージとして達成されている。
少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10、すなわち図示の実施例では特に少なくとも1つの半導体レーザダイオードは、動作時に活性領域において光を生成するように構成され設けられた少なくとも1つの活性層を有することができる。活性層は特に、複数の半導体層を有する半導体積層体の一部であってよく、半導体積層体の層の配置方向に対して垂直な主延在面を有していてよい。例えば、活性層は厳密に1つの活性領域を有することができる。さらに、半導体レーザダイオードは、活性層内の複数の活性領域および/または複数の活性層を有することもでき、これらの活性領域は、半導体積層体内において上下に積層され、例えばトンネル接合部を介して相互に直列に接続可能である。
半導体積層体は、特にエピタキシ積層体として、すなわちエピタキシャル成長される半導体積層体として形成可能である。この場合、半導体積層体は、例えばInAlGaNをベースとして形成可能である。InAlGaNベースの半導体積層体とは、特に、エピタキシャルに製造された半導体積層体が通常それぞれ異なる個別層から成る積層体を有しており、かつIII-V族化合物半導体材料系であるInxAlyGa1-x-yN[0≦x≦1,0≦y≦1かつx+y≦1]から成る材料を含む、半導体積層体に相当する。特に、活性層はこのような材料をベースとしていてよい。InAlGaNをベースとした少なくとも1つの活性層を有する半導体積層体は、例えば好ましくは紫外波長領域から緑色波長領域の電磁放射を放出することができる。
代替的にもしくは付加的に、半導体積層体はInAlGaPをベースとしたものであってもよく、つまり、半導体積層体は異なる個別層を有することができ、そのうちの少なくとも1つの個別層、例えば活性層は、III-V族化合物半導体材料系であるInxAlyGa1-x-yP[0≦x≦1,0≦y≦1かつx+y≦1]から成る材料を含む。InAlGaPをベースとした少なくとも1つの活性層を有する半導体積層体は、例えば好ましくは緑色波長領域から赤色波長領域の1つもしくは複数のスペクトル成分を有する電磁放射を放出することができる。
代替的にもしくは付加的に、半導体積層体が他のIII-V族化合物半導体材料系、例えばInAlGaAsをベースとした材料を含んでいてもよいし、またはII-VI族化合物半導体材料系を含んでいてもよい。特に、InAlGaAsベースの材料を含む活性層は、赤色波長領域から赤外波長領域の1つもしくは複数のスペクトル成分を有する電磁放射を放出することに適しうる。II-VI族化合物半導体材料は、例えばBe、Mg、Ca、Srなどの第2族元素およびO、S、Seなどの第6族元素からの少なくとも1つの元素を含みうる。例えば、II-VI族化合物半導体材料には、ZnSe、ZnTe、ZnO、ZnMgO、CdS、ZnCdSおよびMgBeOが含まれる。
活性層、特にこの活性層を含む半導体積層体は、基板上に形成可能である。例えば、基板は、上部に半導体積層体が成長される成長基板として形成可能である。活性層および特にこの活性層を含む半導体積層体は、エピタキシプロセス、例えば有機金属気相成長法(MOVPE)または分子線エピタキシ(MBE)によって製造可能である。これは特に、半導体積層体が成長基板上に成長されることを意味しうる。さらに、半導体積層体には、1つもしくは複数のコンタクト素子の形態の電気コンタクトを設けることができる。さらにまた、成長基板を成長プロセス後に除去することもできる。この場合、半導体積層体を、例えば成長後に、支持体基板として形成された基板上へ移すこともできる。基板は、半導体材料、例えば上述した化合物半導体材料系または他の材料を含みうる。特に、基板は、サファイア、GaAs、GaP、GaN、InP、SiC、Si、Geおよび/またはセラミック材料、例えばSiNもしくはAlNを含むかまたはこうした材料から成るものであってよい。
活性層は、例えば、光生成のための従来のpn接合部、二重ヘテロ構造、単一量子井戸構造(SQW構造)または多重量子井戸構造(MQW構造)を有することができる。半導体積層体は、活性層に加えて、他の機能層および機能領域、例えば、pドープされたもしくはnドープされた電荷担体輸送層すなわち電子輸送層もしくは正孔輸送層、非ドープのもしくはpドープされたもしくはnドープされた閉じ込め層、クラッド層もしくは導波層、バリア層、平坦化層、バッファ層、保護層および/または電極層ならびにこれらのうちいずれかの組み合わせを含むことができる。さらに、付加的な層、例えばバッファ層、バリア層および/または保護層は、半導体積層体の成長方向に対して垂直に、例えば半導体積層体を取り巻くように、つまり例えば半導体積層体の側面にも、配置することができる。
オプトエレクトロニクス半導体チップ10は、例えばエッジエミッション型半導体レーザダイオードとして構成可能であり、ここでは、動作時に少なくとも1つの活性層において生成される光が、少なくとも1つの活性層に対して垂直に形成可能なファセットとして構成された側面を介して放射される。これに代えて、半導体レーザダイオードを、例えばVCSELダイオード(VCSEL:“vertical-cavity surface-emitting laser”、垂直共振器型面発光レーザ)などのヴァーティカルエミッション型レーザダイオードとして構成することもでき、ここでは、動作時に少なくとも1つの活性層において生成される光が、半導体積層体の、活性層に対して平行に配置されている表面を介して放射される。さらに、例えば偏向光学系が組み込まれたエッジエミッション型半導体レーザダイオードの形態のヴァーティカルエミッション型半導体レーザダイオードも可能である。図1には、オプトエレクトロニクス半導体チップ10がヴァーティカルエミッション型半導体レーザダイオードとして、すなわち、示されている図における上方への発光を行う半導体レーザダイオードとして構成された実施例が示されている。
ハウジング20は、図1に示されているように、底部21とカバー部22とを有している。底部21とカバー部22との間には接続層23が配置されており、この接続層23を用いてカバー部22が底部21に取り付けられ、ひいては固定されている。底部21とカバー部22と接続層23とによって、ハウジング20の内部空間29が包囲されている。特に、少なくとも底部21またはカバー部22またはこれらの双方が凹部28を有していてよく、この凹部28により、底部21とカバー部22とが組み合わされて接続層23を用いて相互に取り付けられたときに、内部空間29が形成される。特に好ましくは、内部空間29は、底部21とカバー部22と接続層23とによって気密に閉鎖されている。
図1に示されている実施例および図2A、図2B、図2D~図2F、図3A、図3Bに示されている実施例においては、カバー部22が凹部28を有しており、これに対して、図3Cの実施形態においては、底部21が凹部28を有することが示されている。
少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10は、内部空間29内で底部21上に実装されており、好ましくは電気的に接続されている。底部21上の少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10の配置方向が、垂直方向に相当する。当該垂直方向に対して垂直であって、底部21の主延在面、特に底部21の実装面に対して平行に配向された方向を、横方向と称する。
底部21は、セラミック支持体として構成されており、したがって主成分として例えば窒化アルミニウムを有するかまたは窒化アルミニウムから成るセラミック材料を有する。セラミック支持体は、好ましくは単層セラミック支持体または多層セラミック支持体でありうる。単層セラミック支持体は、図1、図3Aおよび図3Bに示されているように、例えばプレート状に形成されて、これによりベースプレートを形成することができる。
例えば図3Cに示されているような多層セラミック支持体は、同じセラミック材料または異なるセラミック材料から成る少なくとも2つ以上の層から形成可能であり、これらの層は、底部21の製造のために相互に重なるように堆積されて焼結される。図3Cに示されている実施例では、層のうちの1つが、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10を上部に実装したベースプレートを形成しており、一方、少なくとも1つの別の層が、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10を横方向で取り囲むフレーム状に構成されており、これにより、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10が配置される凹部28が形成される。
特に好ましくは、ハウジング10は表面実装可能でありうる。したがって、オプトエレクトロニクス半導体部品100は、特に好ましくは表面実装可能部品、すなわち、はんだ付けによって支持体上、例えばプリント回路板上へ実装可能ないわゆるSMD部品(SMD:“surface-mounted device”)であってよい。相応に、特に好ましくは、セラミック支持体も表面実装可能であってよい。
ハウジング20内に配置される部品の電気的なコンタクト接続、例えば特に少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10の電気的なコンタクト接続のために、ハウジング20、特に好ましくは底部21は、少なくとも1つの電気コンタクト素子24を有している。少なくとも1つの電気コンタクト素子は、例えば、1つもしくは複数の導体路、1つもしくは複数の電気フィードスルー(「ビア」)、1つもしくは複数のリードフレームまたは導体フレーム部、1つもしくは複数の電極面およびこれらのうちのいずれかの組み合わせを、底部の1つもしくは複数の表面上にかつ/または底部内に埋め込んだ状態で有することができ、またはこれにより形成することができる。特に、ハウジング20は、複数の電気コンタクト素子24を有することができる。例えば、底部21は、コンタクト素子24として、図1および図3A~図3Cに示されているように、それぞれ内部空間内の電極面242と底部21の内部空間とは反対側の外面上の電極面242とを相互に接続する少なくとも2つのビア241を有することができる。オプトエレクトロニクス半導体チップ10は、図1に示されているように、電極面242上に直接に実装可能であり、一方、オプトエレクトロニクス半導体チップ10の他方側では、ボンディングワイヤを介した接続が可能である。また、オプトエレクトロニクス半導体チップ10は、図3A~図3Cに示されているように、ヒートシンク30上に実装可能であって、適切なボンディングワイヤ接続を介して電気的に接続可能である。さらに、別の電気的な接続形式も可能である。また、オプトエレクトロニクス半導体チップ10の実施形態に応じて、かつ/または2つ以上のオプトエレクトロニクス半導体チップ10を備えたオプトエレクトロニクス半導体部品において、3つ以上のコンタクト素子24を設けることもできる。
図1に関連して説明した、オプトエレクトロニクス半導体チップ10としてのヴァーティカルエミッション型レーザダイオードを備えた発光半導体部品として構成されるオプトエレクトロニクス半導体部品の実施例では、カバー部22が、少なくともオプトエレクトロニクス半導体チップ10の上方の領域27において、光、特にオプトエレクトロニクス半導体チップ10によって生成される光に対して透過性を有するように構成されている。また、カバー部22全体が光透過性を有していてもよい。特に好ましくは、カバー部22は、少なくとも光透過のために設けられた領域27においてクリアに透視することができ、つまり最大限の透明性を有することができる。代替的にもしくは付加的に、カバー部22は、少なくとも光透過のために設けられた領域27において所定の光学特性、例えば光散乱性または光屈折性を有するように構成可能である。例えば、領域27をレンズとして構成することができる。
カバー部22は、1種以上のガラス材料から形成されている。例えば、カバー部は、例えばホウケイ酸ガラスなどのガラス材料から形成されていてよい。
カバー部22は、1種以上のガラス材料から形成されている。例えば、カバー部は、例えばホウケイ酸ガラスなどのガラス材料から形成されていてよい。
接続層23は、ガラスはんだを有し、特に好ましくはガラスはんだから成る。ガラスはんだにより、接続層23に接する接続面上での、20μmまでまたはさらにはそれ以上のオーダーの粗面性およびその他の不規則性を補償することができる。底部21にカバー部22を取り付けるための、ガラスはんだによって形成される接続層23は、カバー部22に直接に接し、したがってカバー部22と直接に接触している。はんだ接続の場合に必要となる接着促進層、例えばメタライゼーションは、当該カバー部22においては不要である。接続層は、例えば組み合わせ前に、底部21またはカバー部22に被着させておくことができる。熱作用かつ/またはレーザ照射により、底部21とカバー部22との持続的な、好ましくは気密の接続を達成することができる。
底部21、すなわち特に底部21のセラミック支持体は、接続領域210を有している。接続領域210は、特に、セラミック支持体のうち接続層23が被着される領域である。特に好ましくは、底部21は、接続領域210において、接続層23すなわち特にガラスはんだに直接に接触するニッケル含有表面211を有する。ニッケル含有表面211によって、ガラスはんだの特に良好な接着を達成することができる。例えば、ニッケル含有表面211は、ニッケル含有層25によって形成可能である。特に好ましくは、ニッケル含有層25は、このニッケル含有層の全体積を基準として95体積%以上のニッケルの相対割合を有することができる。ニッケル含有層25は、例えば底部21、特にセラミック支持体に蒸着されたものであってよく、またはセラミック支持体の製造プロセスの範囲において、セラミック支持体のセラミック材料と共に焼結されたものであってもよい。
好ましくは、底部21およびカバー部22は、類似した熱膨張係数を有する材料を有する。これにより、温度変化時にそれぞれ異なる熱膨張係数によって底部21とカバー部22との間に生じうる応力を最小化することができる。
例えば、カバー部22は、ウェハベースのプロセスの範囲では、多数の連続するカバー部から成る複合体の形態で製造可能であり、この場合、当該複合体は、製造後に個々のカバー部へと分割される。このために、例えば、複数のカバー部から成る複合体のネガ型を形成するシリコンウェハを用意することができる。カバー部22のためのガラス材料として、ネガ型の軟化温度よりも低い軟化温度を有する材料を選択することができる。ガラス材料は、例えばガラスウェハの形態でネガ型に結合させることができる。ネガ型における構造部および凹部は例えばエッチングによって設けることができ、これらの構造部および凹部が後のカバー部22内の3次元成形された領域に相当する。熱作用および圧力作用により、カバー部複合体の3次元成形を達成することができる。
図1に示されているカバー部22は、例えば完全に同一のガラス材料から形成可能である。図2A~図3Cには、フレーム部222に光学窓221を有するカバー部22に関する実施例が示されている。ここで、光学窓221とは特に、カバー部22のうち、オプトエレクトロニクス半導体部品100の意図された用途のための十分な光学品質を有する部分を云う。例えば、複合体ベースでの製造においては、予め作製された光学窓をネガ型に挿入し、フレーム材料を用いてフレーム部222を形成する際に熱作用および/または圧力作用のもとで変形させることができる。この場合、フレーム部222には、ネガ型よりも低い軟化点を有するガラス材料を使用することができるのに対し、光学窓221には、フレーム部222用のガラス材料よりも高い軟化点を有するガラス材料が使用される。
図2Aおよび図2Bには、それぞれ凹部28を有するカバー部22が示されており、このカバー部22は、オプトエレクトロニクス半導体部品においてオプトエレクトロニクス半導体チップの上方に配置される光学窓221を有する。図2Bに示されているように、上述した製造方法により、カバー部22の任意の形状が可能となる。図2Cには、図2Aおよび図2Bの実施例との比較において、凹部を有さずプレート状に形成されたカバー部22が示されている。
図2D~図2Fに示されているように、光学窓221は、オプトエレクトロニクス半導体部品内の少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップを基準とした横方向、すなわち側方に配置することもできる。ここでは、図2Dに示されているように、光学窓221が、カバー部22のうち、このカバー部22がオプトエレクトロニクス半導体部品内で接続層に接する側壁の一部を形成することができる。さらに、光学窓221は、図2Eおよび図2Fに示されているようにフレーム状の側壁に組み込まれてもよく、この場合には、図2Fに示されているように、カバー部22の接続領域に、接続層との接続のためのフランジを設けることができる。
図3Aおよび図3Bには、少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10としてのエッジエミッション型レーザダイオードを有するサイドエミッタとして構成されたオプトエレクトロニクス半導体部品100が示されている。図3Aおよび図3Bのオプトエレクトロニクス半導体部品100は、純粋に例としてであるが、図2Dおよび図2Fの実施例によるカバー部22を有している。
図3Cには、純粋に例としてであるが図2Cの実施例によるカバー部22を有するヴァーティカルエミッタとして構成されたオプトエレクトロニクス半導体部品100が示されている。少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ10は、上述した2つの実施例と同様に、エッジエミッション型発光半導体レーザダイオードとして構成されている。横方向に放出された光を垂直方向へ偏向させるために、オプトエレクトロニクス半導体部品100は、図示の実施例では底部21に取り付けられた例えばプリズムの形態の偏向素子40を有している。
記載のオプトエレクトロニクス半導体部品100は、低コストであって、接続されるモジュールの許容差に対する要求が低いこと、製造プロセスにおける熱印加が僅かであること、大部分で信頼性の確認された公知のサブプロセスが用いられること、および特にAlNセラミックの使用によって良好な熱伝導率が得られることを特徴とするものでありうる。
図に関連して説明した特徴および実施例は、すべての組み合わせが明示的に記載されていなくとも、別の実施例により相互に組み合わせ可能である。なお、図に関連して説明した各実施例は、明細書の全般にわたる別の特徴を付加的にもしくは代替的に含むことができる。
本発明は、実施例に即した説明によってこれらの実施例に限定されるものではない。むしろ、本発明は、新規な特徴のすべておよび特に特許請求の範囲の特徴の組み合わせを含む特徴の組み合わせのすべてがそれ自体では特許請求の範囲または実施例に明示されていなくても、これらの特徴のすべておよびその組み合わせのすべてを含む。
10 オプトエレクトロニクス半導体チップ
20 ハウジング
21 底部
22 カバー部
23 接続層
24 コンタクト素子
25 層
27 領域
28 凹部
29 内部空間
30 ヒートシンク
40 偏向素子
100 オプトエレクトロニクス半導体部品
210 接続領域
211 表面
221 光学窓
222 フレーム部
241 ビア
242 電極面
20 ハウジング
21 底部
22 カバー部
23 接続層
24 コンタクト素子
25 層
27 領域
28 凹部
29 内部空間
30 ヒートシンク
40 偏向素子
100 オプトエレクトロニクス半導体部品
210 接続領域
211 表面
221 光学窓
222 フレーム部
241 ビア
242 電極面
Claims (15)
- オプトエレクトロニクス半導体部品(100)であって、
ハウジング(20)の内部空間(29)内に少なくとも1つのオプトエレクトロニクス半導体チップ(10)を備え、
-前記ハウジングが底部(21)とカバー部(22)とを有しており、
-前記底部はセラミック支持体として構成されており、
-前記カバー部は1種以上のガラス材料から形成されており、
-前記底部と前記カバー部との間に、ガラスはんだから成る接続層(23)が配置されており、
-前記セラミック支持体は、前記ガラスはんだに直接に接触するニッケル含有表面(211)を有する接続領域(210)を有している、
オプトエレクトロニクス半導体部品(100)。 - 前記底部が凹部(28)を有しており、該凹部(28)内に前記オプトエレクトロニクス半導体チップが配置されている、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記底部は、多層セラミック支持体として構成されている、請求項2に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記カバー部が凹部を有しており、該凹部内に前記オプトエレクトロニクス半導体チップが配置されている、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記カバー部は完全に光透過性である、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記カバー部は、フレーム部(222)内に配置された光学窓(221)を有している、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記光学窓は第1のガラス材料を有しており、前記フレーム部は、前記第1のガラス材料とは異なる第2のガラス材料を有している、請求項6に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記光学窓は、横方向で前記オプトエレクトロニクス半導体チップの隣に配置されている、請求項6または7に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記光学窓は、垂直方向で前記オプトエレクトロニクス半導体チップの上方に配置されている、請求項6または7に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記カバー部は、ケイ素よりも低い軟化点を有するガラス材料から成る少なくとも一部を有する、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記ニッケル含有表面は、ニッケル含有層(25)によって形成される、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記ニッケル含有層は、該ニッケル含有層の全体積を基準として95体積%以上のニッケルの相対割合を有する、請求項11に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記接続層は、前記カバー部に直接に接触している、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記内部空間は、前記底部、前記接続層および前記カバー部によって気密に閉鎖されている、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
- 前記オプトエレクトロニクス半導体チップは半導体レーザダイオードである、請求項1に記載のオプトエレクトロニクス半導体部品。
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