JP6417885B2 - 光モジュール - Google Patents

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Description

本発明は、光モジュールに関するものである。
パッケージ内にレーザダイオードを配置した光モジュールが知られている。このような光モジュールは、表示装置、光ピックアップ装置、光通信装置など、種々の装置の光源として用いられる。
上述のような光モジュールが用いられる装置の性能の向上や用途の広がりに起因して、光モジュールの高出力化が求められる場合がある。このような場合、光モジュールを複数個準備し、各光モジュールから出射される光を別途準備した光学系により合波するレーザ装置を構築することにより、高出力化を達成する対応が考えられる(たとえば、特許文献1参照)。
特開2007−65600号公報
しかし、上記特許文献1に開示された構造では、複数の光モジュール(パッケージ)と光学系とを組み合わせてレーザ装置を構築する必要がある。そのため、レーザ装置の小型化が難しいという問題がある。
そこで、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールを提供することを目的の1つとする。
本発明に従った光モジュールは、光を形成する光形成部と、光形成部からの光を透過する出射窓を有し、光形成部を取り囲むように配置される保護部材と、を備える。光形成部は、第1レーザダイオードと、第1レーザダイオードから出射される光とは異なる光路で光を出射する第2レーザダイオードと、第1レーザダイオードから出射される光と第2レーザダイオードから出射される光とを合波する偏波合成フィルタと、第2レーザダイオードと偏波合成フィルタとの間に位置し、第2レーザダイオードから出射される光の偏波方向を変換する波長板と、を含む。第1レーザダイオードから出射される光と第2レーザダイオードから出射される光とは同一波長である。そして、第1レーザダイオードから出射される光および第2レーザダイオードから出射される光は、レンズを通過することなく偏波合成フィルタに到達する。
上記光モジュールによれば、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールを提供することができる。
実施の形態1における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態1における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態1における光モジュールの構造を示す概略平面図である。 実施の形態2における光モジュールの構造を示す概略平面図である。 実施の形態3における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態4における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態5における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態5における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。 実施の形態5における光モジュールの構造を示す概略平面図である。
[本願発明の実施形態の説明]
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。本願の光モジュールは、光を形成する光形成部と、光形成部からの光を透過する出射窓を有し、光形成部を取り囲むように配置される保護部材と、を備える。光形成部は、第1レーザダイオードと、第1レーザダイオードから出射される光とは異なる光路で光を出射する第2レーザダイオードと、第1レーザダイオードから出射される光と第2レーザダイオードから出射される光とを合波する偏波合成フィルタと、第2レーザダイオードと偏波合成フィルタとの間に位置し、第2レーザダイオードから出射される光の偏波方向を変換する波長板と、を含む。第1レーザダイオードから出射される光と第2レーザダイオードから出射される光とは同一波長である。そして、第1レーザダイオードから出射される光および第2レーザダイオードから出射される光は、レンズを通過することなく偏波合成フィルタに到達する。
本願の光モジュールでは、同一波長を有する第1レーザダイオードを出射した光と第2レーザダイオードを出射した光とが合波されるため、高出力化を達成することができる。ここで、本願の光モジュールは、第1レーザダイオード、第2レーザダイオード、偏波合成フィルタ、および波長板を含む光形成部が単一の保護部材により取り囲まれた構造、すなわち単一のパッケージ内に第1レーザダイオード、第2レーザダイオード、偏波合成フィルタ、および波長板が搭載された構造を有している。そのため、複数のパッケージからの光を、別途準備された光学系にて合波する場合に比べてレーザ装置の小型化を図ることができる。また、本願の光モジュールでは、この単一のパッケージ内において第1レーザダイオードから出射された光と第2レーザダイオードから出射された光とが、レンズを通過することなく偏波合成フィルタにて合波される。そのため、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて、パッケージの小型化を達成することができる。さらに、本願の光モジュールでは、第1レーザダイオードから出射された光と第2レーザダイオードから出射された光とを偏波合成フィルタにて合波するために、第2レーザダイオードを出射した光の偏波方向を波長板によって変換する構造が採用される。そのため、パッケージ内の限られた空間内において第2レーザダイオードの設置面を第1レーザダイオードの設置面に対して傾ける必要がない。その結果、パッケージサイズの小型化に対応することが容易となる。このように、本願の光モジュールによれば、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールを提供することができる。
なお、本願において、第1レーザダイオードから出射される光と第2レーザダイオードから出射される光とが同一波長である状態とは、第1レーザダイオードから出射される光と第2レーザダイオードから出射される光との波長の差が10nm以下である状態をいう。
上記光モジュールにおいて、上記保護部材は、光形成部をハーメチックシールするものであってもよい。このようにすることにより、光モジュールの寿命を長くすることができる。
上記光モジュールにおいて、上記光形成部は、偏波合成フィルタにより合波された光のスポットサイズを変換するレンズをさらに含んでいてもよい。このようにすることにより、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて小型化を達成しつつ、所望のスポットサイズを有する光を光モジュールから出射させることができる。また、光モジュールの外部に別途レンズを設置する場合に比べて、レーザ装置の小型化を達成することができる。
上記光モジュールにおいて、光形成部は、第1レーザダイオードおよび第2レーザダイオードを冷却する電子冷却モジュールをさらに含んでいてもよい。このようにすることにより、温度が高くなる環境下においても光モジュールを使用することが可能となる。
[本願発明の実施形態の詳細]
(実施の形態1)
次に、本発明にかかる光モジュールの一実施の形態である実施の形態1を、図1〜図3を参照しつつ説明する。図2は、図1のキャップ40を取り外した状態に対応する図である。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
図1および図2を参照して、本実施の形態における光モジュール1は、円盤の形状を有するステム10と、ステム10の一方の主面10A上に配置され、光を形成する光形成部20と、光形成部20を覆うようにステム10の一方の主面10A上に接触して配置されるキャップ40と、ステム10の他方の主面10B側から一方の主面10A側まで貫通し、一方の主面10A側および他方の主面10B側の両側に突出する複数のリードピン51とを備えている。ステム10とキャップ40とは、たとえばYAG(Yittrium Aluminium Garnet)レーザ溶接、抵抗溶接などの手法により溶接され、気密状態とされている。すなわち、光形成部20は、ステム10とキャップ40とによりハーメチックシールされている。ステム10とキャップ40とにより取り囲まれる空間には、たとえば乾燥空気、乾燥窒素などの水分が低減(除去)された気体が封入されている。キャップ40には、光形成部20からの光を透過する出射窓41が形成されている。出射窓41は主面が互いに平行な平板状の形状を有していてもよいし、光形成部20からの光を集光または拡散させるレンズ形状を有していてもよい。ステム10およびキャップ40は、保護部材を構成する。
図2を参照して、光形成部20は、半円柱状の形状を有するベース部材であるベースブロック60を含む。ベースブロック60は、長方形形状を有する搭載面60Aを有している。ベースブロック60は、半円形状を有する底面において、ステム10の一方の主面10Aに固定されている。搭載面60Aは、ステム10の一方の主面10Aに対して交差する方向、より具体的には垂直な方向に延在する。ステム10の一方の主面10Aは、X−Y平面に沿う。搭載面60Aは、X−Z平面に沿う。
図2および図3を参照して、搭載面60A上には、平板状の第1サブマウント71が配置されている。そして、第1サブマウント71上に、第1レーザダイオード81が配置されている。第1サブマウント71および第1レーザダイオード81は、搭載面60Aの短辺に隣接して配置される。搭載面60A上には、平板状の第2サブマウント72が配置されている。そして、第2サブマウント72上に、第2レーザダイオード82が配置されている。第2サブマウント72および第2レーザダイオード82は、搭載面60Aの長辺に隣接して配置される。第1レーザダイオード81から出射される光と第2レーザダイオード82から出射される光とは同一波長である。第1レーザダイオード81および第2レーザダイオード82の光軸の高さ(搭載面60Aを基準面とした場合の基準面と光軸との距離;Y軸方向における基準面との距離)は、第1サブマウント71および第2サブマウント72により調整されて一致している。第1レーザダイオード81は、搭載面60Aの長辺に沿った方向(Z方向)に光を出射する。第2レーザダイオード82は、搭載面60Aの短辺に沿った方向(X方向)に光を出射する。第1レーザダイオード81の光の出射方向と第2レーザダイオード82の光の出射方向とは交差する。より具体的には、第1レーザダイオード81の光の出射方向と第2レーザダイオード82の光の出射方向とは直交する。第2レーザダイオード82の設置面である第2サブマウント72の主面と第1レーザダイオード81の設置面である第1サブマウント71の主面とは、平行である。
第1レーザダイオード81を出射した光と第2レーザダイオード82を出射した光とが交差する位置に対応する搭載面60A上に、偏波合成フィルタ91が配置される。偏波合成フィルタ91は、互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。偏波合成フィルタ91の主面は、第1レーザダイオード81の出射方向(Z方向)および第2レーザダイオード82の出射方向(X方向)に対して傾斜している。より具体的には、偏波合成フィルタ91の主面は、第1レーザダイオード81の出射方向(Z方向)および第2レーザダイオード82の出射方向(X方向)に対して45°傾斜している。
偏波合成フィルタ91と第2レーザダイオード82との間に位置するように、搭載面60A上に波長板92が配置される。波長板92は、互いに平行な主面を有する平板状の形状を有している。第1レーザダイオード81から出射される光および第2レーザダイオード82から出射される光は、レンズを通過することなく偏波合成フィルタ91に到達する。すなわち、第1レーザダイオード81と偏波合成フィルタ91との間には、レンズは配置されない。また、第2レーザダイオード82と偏波合成フィルタ91との間にも、レンズは配置されない。
次に、本実施の形態における光モジュール1の動作について説明する。図3を参照して、第1レーザダイオード81から出射された光は、光路Lに沿って進行し、偏波合成フィルタ91に入射する。第1レーザダイオード81から出射された光の偏波方向は、たとえば搭載面60Aに垂直な方向(Y方向)である。ここで、偏波合成フィルタ91は、偏波方向が搭載面60Aに垂直な方向(Y方向)である光を透過し、偏波方向が搭載面60Aに平行な方向(Z方向)である光を反射する。そのため、偏波合成フィルタ91に入射した第1レーザダイオード81からの光は偏波合成フィルタ91を透過し、光路Lに沿ってさらに進行する。そして、キャップ40の出射窓41を通って光モジュール1の外部へと出射する(図2参照)。
第2レーザダイオード82から出射された光は、光路Lに沿って進行し、波長板92に入射する。第2レーザダイオード82から出射された光の偏波方向は、第1レーザダイオード81から出射された光と同じであり、たとえば搭載面60Aに垂直な方向(Y方向)である。ここで、波長板92は、入射した光の偏波方向を90°変換する。そのため、第2レーザダイオード82から出射され、波長板92に入射した光の偏波方向は搭載面60Aに平行な方向(Z方向)に変換され、光路L4に沿って進行し、偏波合成フィルタ91に入射する。偏波合成フィルタ91は、偏波方向が搭載面60Aに平行な方向(Z方向)である光を反射するため、第2レーザダイオード82から出射された光は光路Lに合流する。第2レーザダイオード82を出射した光は第1レーザダイオード81を出射した光と合波され、光路Lに沿って進行し、キャップ40の出射窓41を通って光モジュール1の外部へと出射する(図2参照)。このように、2つのレーザダイオードを出射した同一波長の光(レーザ光)が合波されることにより、光モジュール1の高出力化が達成されている。
ここで、本実施の形態の光モジュール1は、第1レーザダイオード81、第2レーザダイオード82、偏波合成フィルタ91、および波長板92を含む光形成部20が単一のパッケージ内(ステム10およびキャップ40から構成される保護部材内)に搭載された構造を有している。そのため、複数のパッケージからの光を、別途準備された光学系にて合波する場合に比べてレーザ装置の小型化を図ることができる。また、複数の光モジュールから出射された光を別途準備した光学系にて合波する場合のように、複数の光モジュールからの光のスポットサイズの調整、光軸の調整など、煩雑な調整作業が軽減される。
また、本実施の形態の光モジュール1では、この単一のパッケージ内において第1レーザダイオード81から出射された光と第2レーザダイオード82から出射された光とが、レンズを通過することなく偏波合成フィルタ91にて合波される。そのため、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて、パッケージの小型化を達成することができる。さらに、本実施の形態の光モジュール1では、第1レーザダイオード81から出射された光と第2レーザダイオード82から出射された光とを偏波合成フィルタ91にて合波するために、第2レーザダイオード82を出射した光の偏波方向を波長板92によって変換する構造が採用される。そのため、パッケージ内の限られた空間内において第2レーザダイオード82の設置面(第2サブマウント72の主面)を第1レーザダイオード81の設置面(第1サブマウント71の主面)に対して傾ける必要がない。その結果、パッケージサイズの小型化に対応することが容易となる。このように、本実施の形態の光モジュール1は、レーザ装置の小型化を達成しつつ高出力化を達成可能な光モジュールとなっている。
(実施の形態2)
次に、本発明にかかる光モジュールの他の実施の形態である実施の形態2を説明する。図4は、実施の形態2における光モジュールの構造を示す概略平面図である。図4および図3を参照して、本実施の形態における光モジュール1は、基本的には実施の形態1の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態2における光モジュール1は、ベースブロック60の搭載面60A上にレンズ93が配置される点において実施の形態1の場合とは異なっている。
具体的には、図4を参照して、実施の形態2の光モジュール1においては、光形成部20は、偏波合成フィルタ91により合波された光のスポットサイズを変換するレンズ93をさらに含んでいる。レンズ93は、表面がレンズ面となっているレンズ部93Aを有している。レンズ93は、レンズ部93Aとレンズ部93A以外の領域とが一体成型されている。レンズ93のレンズ部93Aの中心軸、すなわちレンズ部93Aの光軸は、第1レーザダイオード81の光軸に一致するように調整されている。
本実施の形態における光モジュール1では、偏波合成フィルタ91において合波された第1レーザダイオード81を出射した光および第2レーザダイオード82を出射した光が光路Lに沿って進行し、レンズ93のレンズ部93Aに入射する。これにより、光のスポットサイズが変換される。具体的には、たとえばレンズ部93Aに入射した光がコリメート光に変換される。そして、レンズ93においてスポットサイズが変換された光は、キャップ40の出射窓41を通って光モジュール1の外部へと出射する(図2参照)。
本実施の形態における光モジュール1においては、各レーザダイオードに対応してレンズを配置する場合に比べて小型化を達成しつつ、所望のスポットサイズを有する光を光モジュール1から出射させることができる。また、光モジュール1の外部に別途レンズを設置する場合に比べて、レーザ装置の小型化を達成することができる。
(実施の形態3)
次に、本発明にかかる光モジュールのさらに他の実施の形態である実施の形態3を説明する。図5は、実施の形態3における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図5および図2を参照して、本実施の形態における光モジュール1は、基本的には実施の形態1の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態3における光モジュール1の光形成部20は、電子冷却モジュール30をさらに含んでいる点において、実施の形態1の場合とは異なっている。
具体的には、図5を参照して、実施の形態3における光モジュール1のベースブロック60は、搭載面60Aに交差する方向(直交する方向)に突出する突出部62を有している。突出部62は、ステム10の一方の主面10Aに面するベースブロック60の底面が広がるように形成される。そして、突出部62のステム10の一方の主面10Aに面する側の面である設置面62Bとステム10の一方の主面10Aとの間に、電子冷却モジュール30が配置される。
電子冷却モジュール30は、吸熱板31と、放熱板32と、電極を挟んで吸熱板31と放熱板32との間に並べて配置される半導体柱33とを含む。吸熱板31および放熱板32は、たとえばアルミナからなっている。吸熱板31がベースブロック60の設置面62Bに接触して配置される。放熱板32は、ステム10の一方の主面10Aに接触して配置される。本実施の形態において、電子冷却モジュール30はペルチェモジュール(ペルチェ素子)である。そして、電子冷却モジュール30に電流を流すことにより、吸熱板31に接触するベースブロック60の熱がステム10へと移動し、ベースブロック60が冷却される。その結果、第1レーザダイオード81および第2レーザダイオード82が冷却される。これにより、たとえば自動車に搭載される場合など、温度が高くなる環境下においても光モジュール1を使用することが可能となる。また、第1レーザダイオード81および第2レーザダイオード82の温度を適正な範囲に維持することで、所望の波長の光を精度よく形成することが可能となる。
(実施の形態4)
次に、本発明にかかる光モジュールのさらに他の実施の形態である実施の形態4を説明する。図6は、実施の形態4における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図6および図2を参照して、本実施の形態における光モジュール1は、基本的には実施の形態1の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態4における光モジュール1には、ベースブロック60が採用されず、光形成部20がステム10の一方の主面10Aに直接搭載される点において、実施の形態1の場合とは異なっている。
図6を参照して、第1サブマウント71、第2サブマウント72、第1レーザダイオード81、第2レーザダイオード82、偏波合成フィルタ91および波長板92が、実施の形態1においてベースブロック60の搭載面60A上に搭載される場合と同様の相対的な位置関係を有するように、ステム10の一方の主面10A上に直接搭載される。さらに、本実施の形態の光モジュール1においては、光形成部20は、偏波合成フィルタ91により合波された光の進行方向を変更するミラー94をさらに含んでいる。ミラー94は、光を反射すべき面である反射面94Aを有している。反射面94Aがステム10の一方の主面10Aに対して45°の角度をなすように、ミラー94はステム10の一方の主面10A上に搭載される。
本実施の形態における光モジュール1では、偏波合成フィルタ91において合波された第1レーザダイオード81を出射した光および第2レーザダイオード82を出射した光が光路Lに沿って進行し、ミラー94の反射面94Aに入射する。本実施の形態において、光路L〜Lは、ステム10の一方の主面10Aに平行な面内(X−Y平面に平行な面内)に含まれる。そして、ミラー94の反射面94Aに入射した上記光は、進行方向がステム10の一方の主面10Aに交差する方向、より具体的には主面10Aに直交する方向(Z方向)に変換され、光路Lに沿って進行する。そして、当該光はキャップ40の出射窓41を通って光モジュール1の外部へと出射する。
本実施の形態の光モジュール1においては、第1サブマウント71、第2サブマウント72、第1レーザダイオード81、第2レーザダイオード82、偏波合成フィルタ91および波長板92をベースブロック60の搭載面60Aに搭載する場合に比べて、光モジュール1からの光の出射方向(Z方向)において、光モジュール1を小型化することが容易となる。
(実施の形態5)
次に、本発明にかかる光モジュールのさらに他の実施の形態である実施の形態5を説明する。図7および図8は、実施の形態5における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図9は、実施の形態5における光モジュールの構造を示す概略平面図である。図7〜図9および図1〜図3を参照して、本実施の形態における光モジュール1は、基本的には実施の形態1の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、実施の形態5における光モジュール1は、ステム、キャップおよびベース部材の構造において実施の形態1の場合とは異なっている。
図7および図8を参照して、本実施の形態における光モジュール100は、矩形平板状の形状を有するステム110と、ステム110の一方の主面110A上に配置され、光を形成する光形成部120と、光形成部120を覆うようにステム110の一方の主面110A上に接触して配置されるキャップ140と、ステム110の他方の主面110B側から一方の主面110A側まで貫通し、一方の主面110A側および他方の主面110B側の両側に突出する複数のリードピン151とを備えている。光形成部120は、実施の形態1の場合と同様に、ステム110とキャップ140とによりハーメチックシールされている。キャップ140には、光形成部120からの光を透過する出射窓141が形成されている。
図8を参照して、光形成部120は、矩形板状の形状を有するベース部材であるベース板160を含む。ベース板160は、長方形形状を有する一方の主面である搭載面160Aを有している。ベース板160は、搭載面160Aとは反対側の主面においてステム110の一方の主面110Aに固定されている。搭載面160Aは、ステム10の一方の主面10Aと平行な面である。搭載面160Aおよびステム110の一方の主面110Aは、いずれもX−Y平面に沿う。
図8および図9を参照して、搭載面160A上には、第1サブマウント71、第2サブマウント72、第1レーザダイオード81、第2レーザダイオード82、偏波合成フィルタ91および波長板92が、実施の形態1においてベースブロック60の搭載面60A上に搭載される場合と同様の相対的な位置関係を有するように搭載される。
本実施の形態においては、光路L〜Lは、ステム110の一方の主面110Aに平行な面内(X−Y平面に平行な面内)に含まれる。そして、本実施の形態における光モジュール1では、偏波合成フィルタ91において合波された第1レーザダイオード81を出射した光および第2レーザダイオード82を出射した光が光路Lに沿って進行し、キャップ140の出射窓141を通って光モジュール1の外部へと出射する。
なお、上記サブマウントは、サブマウント上に搭載される素子等に熱膨張係数が近い材料からなるものとされ、たとえばAlN、SiC、Si、ダイヤモンドなどからなるものとすることができる。また、ステムおよびキャップを構成する材料としては、たとえば熱伝導率の高い材料である鉄、銅などを採用してもよいし、AlN、CuW、CuMoなどを採用してもよい。
上記実施の形態1〜5の構造は、本願の光モジュールの構造の一例である。上記実施の形態1〜5の構造を適宜組み合わせて本願の光モジュールの他の構造を構成することができる。また、上記実施の形態においては、2個の同一波長を有するレーザダイオードからの光が合波される場合について説明したが、3個以上の同一波長を有するレーザダイオードからの光が合波されてもよい。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本願の光モジュールは、レーザ装置の小型化と高出力化との両立が求められる用途に使用される光モジュールに、特に有利に適用され得る。
1,100 光モジュール
10,110 ステム
10A,110A 主面
10B,110B 主面
20,120 光形成部
30 電子冷却モジュール
31 吸熱板
32 放熱板
33 半導体柱
40,140 キャップ
41,141 出射窓
51,151 リードピン
60 ベースブロック
60A 搭載面
62 突出部
62B 設置面
71 第1サブマウント
72 第2サブマウント
81 第1レーザダイオード
82 第2レーザダイオード
91 偏波合成フィルタ
92 波長板
93 レンズ
93A レンズ部
94 ミラー
94A 反射面
160 ベース板
160A 搭載面

Claims (4)

  1. 光を形成する光形成部と、
    前記光形成部からの光を透過する出射窓を有し、前記光形成部を取り囲むように配置される保護部材と、を備え、
    前記光形成部は、
    第1レーザダイオードと、
    前記第1レーザダイオードから出射される光とは異なる光路で光を出射する第2レーザダイオードと、
    前記第1レーザダイオードから出射される光と前記第2レーザダイオードから出射される光とを合波する偏波合成フィルタと、
    前記第2レーザダイオードと前記偏波合成フィルタとの間に位置し、前記第2レーザダイオードから出射される光の偏波方向を変換する波長板と、を含み、
    前記第1レーザダイオードから出射される光と前記第2レーザダイオードから出射される光とは同一波長であり、
    前記第1レーザダイオードから出射される光および前記第2レーザダイオードから出射される光は、レンズを通過することなく前記偏波合成フィルタに到達する、光モジュール。
  2. 前記保護部材は、前記光形成部をハーメチックシールする、請求項1に記載の光モジュール。
  3. 前記光形成部は、前記偏波合成フィルタにより合波された光のスポットサイズを変換するレンズをさらに含む、請求項1または2に記載の光モジュール。
  4. 前記光形成部は、前記第1レーザダイオードおよび前記第2レーザダイオードを冷却する電子冷却モジュールをさらに含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の光モジュール。
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