JPS61199685A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61199685A JPS61199685A JP3889385A JP3889385A JPS61199685A JP S61199685 A JPS61199685 A JP S61199685A JP 3889385 A JP3889385 A JP 3889385A JP 3889385 A JP3889385 A JP 3889385A JP S61199685 A JPS61199685 A JP S61199685A
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- Japan
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- vibration
- proof rubber
- invar
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、Ｃｏｔレーザ発振器の共振器の構造に関す
るものである。
るものである。
第３図は、従来のＣＯｔレーザ発振器の共振器構造を示
す構成図である。本発明にも適用される第２図を参照し
て、（１）は発振器筐体、（２）はレーザ光を外部に叡
出すウィンドウ、（３）はレーザガス循環用プロワ（送
風機） 、（４１はプロワ（３）および共振器を支持す
る支持台（５）は例えばインバーのごとき低熱１１張合
金（以下インバーと言う）からなる支持部材で、長手方
向に上下および左右に配置される。
す構成図である。本発明にも適用される第２図を参照し
て、（１）は発振器筐体、（２）はレーザ光を外部に叡
出すウィンドウ、（３）はレーザガス循環用プロワ（送
風機） 、（４１はプロワ（３）および共振器を支持す
る支持台（５）は例えばインバーのごとき低熱１１張合
金（以下インバーと言う）からなる支持部材で、長手方
向に上下および左右に配置される。
（６）は４本の支持部材（５）の両端部にそれぞれ支持
・搭載される光学系構成部品（共振ミラー）で、支持部
＠（５）とによシ共振器を構成する。（７）は共振器を
支持する防振ゴムで、下刃一対の支持部材（５１を支持
台（４）上に支持する。（８）は支持部材（５）を長手
方向移動自在に支持する防振ゴム（７）上の搭載台、（
９）は下刃一対の支持部材（５）の右端部を防振ゴム（
７）上に搭載するための台、ａαは固定用枠、αυは取
付ねじて、下方一対の支持部材（５）の右端部を台（９
）に固ザガス流方向およびレーザ光の方向がそれぞれ直
交した３軸、またはいずれか２つが直交する２軸の直交
形レーザ発振方式が、５Ｋｗ以上の大出力レーザ発振器
として実用されている。この種レーザ発振器において、
レーザ励起および増幅に必要な共振ミラーα２で構成さ
れる光学系部品（６）は、インバーを材料とする支持部
材（５）の両端に支持・搭載される。この理由としては
、Ｆｅ−Ｎｉ系合金のインバーが一般の鉄系材料に較べ
て熱膨張係数が１／１０ 程と小さく、レーザ発振器の
稼働中に生じる放電による発熱などの熱的影響が少ない
こと、及び比較的安価で、容易に２〜６肩の長さで重量
が数１００ｋｇの光学系機構を支持できる等のためであ
る。支持部材（５）上に搭載される光学系構成部品（６
）は、共振器を支持する支持台（４）上に防振ゴム（７
）を介して支持され、周囲の振動から隔離される。
・搭載される光学系構成部品（共振ミラー）で、支持部
＠（５）とによシ共振器を構成する。（７）は共振器を
支持する防振ゴムで、下刃一対の支持部材（５１を支持
台（４）上に支持する。（８）は支持部材（５）を長手
方向移動自在に支持する防振ゴム（７）上の搭載台、（
９）は下刃一対の支持部材（５）の右端部を防振ゴム（
７）上に搭載するための台、ａαは固定用枠、αυは取
付ねじて、下方一対の支持部材（５）の右端部を台（９
）に固ザガス流方向およびレーザ光の方向がそれぞれ直
交した３軸、またはいずれか２つが直交する２軸の直交
形レーザ発振方式が、５Ｋｗ以上の大出力レーザ発振器
として実用されている。この種レーザ発振器において、
レーザ励起および増幅に必要な共振ミラーα２で構成さ
れる光学系部品（６）は、インバーを材料とする支持部
材（５）の両端に支持・搭載される。この理由としては
、Ｆｅ−Ｎｉ系合金のインバーが一般の鉄系材料に較べ
て熱膨張係数が１／１０ 程と小さく、レーザ発振器の
稼働中に生じる放電による発熱などの熱的影響が少ない
こと、及び比較的安価で、容易に２〜６肩の長さで重量
が数１００ｋｇの光学系機構を支持できる等のためであ
る。支持部材（５）上に搭載される光学系構成部品（６
）は、共振器を支持する支持台（４）上に防振ゴム（７
）を介して支持され、周囲の振動から隔離される。
また、発振器（１）内部の温度変化に対する共振器の伸
縮、即ち２〜６風に及ぶ両光学系構成部品（６）。
縮、即ち２〜６風に及ぶ両光学系構成部品（６）。
（６）間の距離の変動は、防振ゴム（７）による支持を
支持部材（５）の右端部では固定し、左端部では長手方
向に移動自在とすることによシ、制御される構造となっ
ている。
支持部材（５）の右端部では固定し、左端部では長手方
向に移動自在とすることによシ、制御される構造となっ
ている。
従来のレーザ発振器は以上のように構成されているので
、重量が数１ｏｏＩｃ９となる光学系構成部品（６）を
、長さが２〜３７１ｔ程度のインバーからなる支持部材
（５）の両端部において防振ゴム（７）によって支持す
ることになシ、支持部材（５）の自重及び搭載物の：ｌ
ｉｉにより、第４図の破線で示すように、支持部材（５
）が中央部にたわみを生じ、両端に搭載された光学系部
品（６）の共珈ミラー１２が垂直力向に対して傾斜し、
共振器全体の光軸のずれを生じてレーザ光発振の効率を
低下させる原因となっていた。
、重量が数１ｏｏＩｃ９となる光学系構成部品（６）を
、長さが２〜３７１ｔ程度のインバーからなる支持部材
（５）の両端部において防振ゴム（７）によって支持す
ることになシ、支持部材（５）の自重及び搭載物の：ｌ
ｉｉにより、第４図の破線で示すように、支持部材（５
）が中央部にたわみを生じ、両端に搭載された光学系部
品（６）の共珈ミラー１２が垂直力向に対して傾斜し、
共振器全体の光軸のずれを生じてレーザ光発振の効率を
低下させる原因となっていた。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、インバーからなる支持部材を６点で支持す
る構造とし、自重および搭載物重量による支持部材の中
央部におけるたわみを防止し、共振器の光軸のずれが生
じないようなレーザ発振器を得ることを目的とする。
れたもので、インバーからなる支持部材を６点で支持す
る構造とし、自重および搭載物重量による支持部材の中
央部におけるたわみを防止し、共振器の光軸のずれが生
じないようなレーザ発振器を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ発振器は、光学系部品を搭載しイ
ンバーを材料とする支持部材の中央部を防振ゴム上に固
定し、両端部を防振ゴム上に長手方向に移動自在に支持
する構造としたものである。
ンバーを材料とする支持部材の中央部を防振ゴム上に固
定し、両端部を防振ゴム上に長手方向に移動自在に支持
する構造としたものである。
この発明におけるレーザ発振器の共振器構造において、
光学系部品を両端に搭載するインバーからなる支持部材
を中央部において防振ゴム上に固定し、両端部において
防振ゴム上に長手方向移動自在に支持することにより、
重量物である光学系部品および自重による支持部拐の中
央部でのたわみを防止し、共振器の光軸のずれが生じな
いようにする。
光学系部品を両端に搭載するインバーからなる支持部材
を中央部において防振ゴム上に固定し、両端部において
防振ゴム上に長手方向移動自在に支持することにより、
重量物である光学系部品および自重による支持部拐の中
央部でのたわみを防止し、共振器の光軸のずれが生じな
いようにする。
以下、この発明の一実施例を図によって説明する。第１
図及び第２図において、（１）はレーザ発振器筐体、（
２）はレーザ光を取出すためのウィンドウ、（３）はレ
ーザガスを循環させるプロワ、（４）はプロワ（３）お
よび共振器を支持する支持台、（５）はインバーを材料
とする支持部材で、上下および左右の４本で′！ｓ成さ
れる。（６）は支持部材（５）の両端において支持され
搭載される光学系構成部品、（７）は防振ゴム、（８）
は支持部材（５）ｔ−長手方向移動自在に支持・搭載す
る防振ゴム（力の搭載部、（９）は支持部材（５）を支
持・搭載する搭載台で、防振ゴム（７）上に固着されて
いる。ＯＩは支持部材（５）を搭載台（９）上に固定す
る固定枠、α１）は固定枠Ｑｌを締付ける取付ねじ、ａ
ｚは共振ミラーである。
図及び第２図において、（１）はレーザ発振器筐体、（
２）はレーザ光を取出すためのウィンドウ、（３）はレ
ーザガスを循環させるプロワ、（４）はプロワ（３）お
よび共振器を支持する支持台、（５）はインバーを材料
とする支持部材で、上下および左右の４本で′！ｓ成さ
れる。（６）は支持部材（５）の両端において支持され
搭載される光学系構成部品、（７）は防振ゴム、（８）
は支持部材（５）ｔ−長手方向移動自在に支持・搭載す
る防振ゴム（力の搭載部、（９）は支持部材（５）を支
持・搭載する搭載台で、防振ゴム（７）上に固着されて
いる。ＯＩは支持部材（５）を搭載台（９）上に固定す
る固定枠、α１）は固定枠Ｑｌを締付ける取付ねじ、ａ
ｚは共振ミラーである。
次に、このように構成されたレーザ発振器の作距離を２
〜６風程度に保持されて光共振器を構成し、レーザ励起
および増＠を行い、増幅され次レーザ光をウィンドウ（
２）よシ外部に取出す。この支持部材（６）は、レーザ
発振器稼働中に放電等によシ生じる発熱等の熱的影響を
少くするため、一般の鉄系材料に較べて熱膨張係数が１
／１０と小さいインバーを材料として構成される。この
支持部材（５）は、下刃の一対を中央部において第２図
（ａ）に示すように、支持台（４）上に防振ゴム（７）
を介して搭載台（９）土に固定枠α１１１ｔ−取付ねじ
ａυで締結することにより固定きれ、左右の両端部にお
いて（ｂ）図に示すように防振ゴム（７）上の搭載部（
８）に長手方向移動自在に支持される。従って、発振器
（１）内部の温度変化に対する共振器の伸縮、すなわち
インバーで構成される支持部材（６）の伸縮を、中央部
を中心として両端が自在に伸縮し、熱的変形量は両端に
分散されて、従来のように一力のみが伸縮することがな
く、熱的に光学系が安定化する。
〜６風程度に保持されて光共振器を構成し、レーザ励起
および増＠を行い、増幅され次レーザ光をウィンドウ（
２）よシ外部に取出す。この支持部材（６）は、レーザ
発振器稼働中に放電等によシ生じる発熱等の熱的影響を
少くするため、一般の鉄系材料に較べて熱膨張係数が１
／１０と小さいインバーを材料として構成される。この
支持部材（５）は、下刃の一対を中央部において第２図
（ａ）に示すように、支持台（４）上に防振ゴム（７）
を介して搭載台（９）土に固定枠α１１１ｔ−取付ねじ
ａυで締結することにより固定きれ、左右の両端部にお
いて（ｂ）図に示すように防振ゴム（７）上の搭載部（
８）に長手方向移動自在に支持される。従って、発振器
（１）内部の温度変化に対する共振器の伸縮、すなわち
インバーで構成される支持部材（６）の伸縮を、中央部
を中心として両端が自在に伸縮し、熱的変形量は両端に
分散されて、従来のように一力のみが伸縮することがな
く、熱的に光学系が安定化する。
また、５ＫＷ以上の大出力Ｃｏｔレーザ発振器において
は、共振器の長さ、すなわち支持部材（５）の是さは２
〜５ｒｎ程度の長尺となシ、共振器およびインバーから
なる支持部材（５）の重量は数１００ｋｇにもなるため
、この重量により支持部材（５）が中央部でたわみを生
じる−おそれがあるが、中央部が防振ゴム（７）上の搭
載台（９）で支持、固定されているので、両端部の防振
ゴム（７）上の搭載台（８）との間のたわみ量は極く僅
かとな９、第４図に示すような共振器両端の共振ミラー
Ｃ１２１の傾斜による光軸のずれは、実用上レーザ光の
増幅にほとんど影響を与えることはない。
は、共振器の長さ、すなわち支持部材（５）の是さは２
〜５ｒｎ程度の長尺となシ、共振器およびインバーから
なる支持部材（５）の重量は数１００ｋｇにもなるため
、この重量により支持部材（５）が中央部でたわみを生
じる−おそれがあるが、中央部が防振ゴム（７）上の搭
載台（９）で支持、固定されているので、両端部の防振
ゴム（７）上の搭載台（８）との間のたわみ量は極く僅
かとな９、第４図に示すような共振器両端の共振ミラー
Ｃ１２１の傾斜による光軸のずれは、実用上レーザ光の
増幅にほとんど影響を与えることはない。
以上のように、共振器は、熱的影響に対して光学系部品
（６）を支持する支持部材（５１１１Ｉ：インバーを材
料として構成することと、中央部を固定して両端を伸縮
自在とするととＫよル、また重量によるたわみに対して
３点支持構造とすることによシ、光学系を安定化させる
ことができる。
（６）を支持する支持部材（５１１１Ｉ：インバーを材
料として構成することと、中央部を固定して両端を伸縮
自在とするととＫよル、また重量によるたわみに対して
３点支持構造とすることによシ、光学系を安定化させる
ことができる。
なお、上記実施例においては、インバーからなる支持部
材（５）を上下および左右で４本用いた例を示したが、
下方左右に２本、上方に１本配置する構造であっても、
同様な構造とすることによシ、同様な効果を得ることが
できる。
材（５）を上下および左右で４本用いた例を示したが、
下方左右に２本、上方に１本配置する構造であっても、
同様な構造とすることによシ、同様な効果を得ることが
できる。
以上のように、この発明によれば、共振器を構成する光
学系部品を両端部に支持・搭載する支持部材をインバー
で構成し、その中央部を防振ゴム上に固定し、両端部を
防振ゴム上に長手方向移動自在に支持するように構成し
たので、共振器の重書による支持部材のたわみ及び熱的
変形による光軸のずれを防止できるので、レーザ発振器
の光学系を機械的にも熱的にも安定化でき、安定したレ
ーザ出力が得られるという効果がある。
学系部品を両端部に支持・搭載する支持部材をインバー
で構成し、その中央部を防振ゴム上に固定し、両端部を
防振ゴム上に長手方向移動自在に支持するように構成し
たので、共振器の重書による支持部材のたわみ及び熱的
変形による光軸のずれを防止できるので、レーザ発振器
の光学系を機械的にも熱的にも安定化でき、安定したレ
ーザ出力が得られるという効果がある。
第１図はこの発明による一実施例のレーザ発振器を示す
構成図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は支持部材を支持す
る構造を示す説明図、第６図は従来のレーザ発振器を示
す構成図、第４図はたわみか生じている状態を示す説明
図である。 図において、（１）は発振器筐体、（４）は支持台、（
５）はインバーからなる支持部材、（６）は光学系構成
部品、（７）は防振ゴム、（８）は移動自在搭載台、（
９）は固定搭載台、（ｔｌｊは固定枠である。なお、図
中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗第３図
構成図、第２図（ａ） 、 （ｂ）は支持部材を支持す
る構造を示す説明図、第６図は従来のレーザ発振器を示
す構成図、第４図はたわみか生じている状態を示す説明
図である。 図において、（１）は発振器筐体、（４）は支持台、（
５）はインバーからなる支持部材、（６）は光学系構成
部品、（７）は防振ゴム、（８）は移動自在搭載台、（
９）は固定搭載台、（ｔｌｊは固定枠である。なお、図
中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗第３図
Claims (2)
- （１）光学系構成部品を搭載する低熱膨張合金で形成し
た支持部材の中央部を防振ゴム上に固定すると共に上記
支持部材の両端部を防振ゴム上に長手方向に移動自在に
支持したことを特徴とするレーザ発振器。 - （２）上記支持部材をインバーで構成してなる特許請求
の範囲第１項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3889385A JPS61199685A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3889385A JPS61199685A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61199685A true JPS61199685A (ja) | 1986-09-04 |
Family
ID=12537878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3889385A Pending JPS61199685A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61199685A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198591A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
| US6792014B2 (en) | 2002-04-24 | 2004-09-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Orthogonal excitation-type laser oscillator |
| US6920170B2 (en) | 2002-04-11 | 2005-07-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Orthogonally excited-type laser oscillator |
| US7064908B2 (en) | 2004-04-21 | 2006-06-20 | The Boeing Company | Laser beam jitter reduction device on a laser optical bench |
| JP2019134122A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ発振器 |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP3889385A patent/JPS61199685A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002198591A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Miyachi Technos Corp | レーザ発振装置 |
| US6920170B2 (en) | 2002-04-11 | 2005-07-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Orthogonally excited-type laser oscillator |
| US6792014B2 (en) | 2002-04-24 | 2004-09-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Orthogonal excitation-type laser oscillator |
| US7064908B2 (en) | 2004-04-21 | 2006-06-20 | The Boeing Company | Laser beam jitter reduction device on a laser optical bench |
| JP2019134122A (ja) * | 2018-02-02 | 2019-08-08 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ発振器 |
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