JPS61279186A - 横流形ガスレ−ザ装置 - Google Patents
横流形ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61279186A JPS61279186A JP12171585A JP12171585A JPS61279186A JP S61279186 A JPS61279186 A JP S61279186A JP 12171585 A JP12171585 A JP 12171585A JP 12171585 A JP12171585 A JP 12171585A JP S61279186 A JPS61279186 A JP S61279186A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- gas
- gas flow
- support rods
- upstream side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は共振器を形成する一対の反射鏡を離間対向状
態で保持する支持部の構造を改良した横流形ガスレーザ
装置に関する。
態で保持する支持部の構造を改良した横流形ガスレーザ
装置に関する。
一般に、横流形ガスレーザ装置として第３図に示す構成
のものが知られている。第３図中で、１はガス循環風洞
である。このガス循環風洞１は上部に配置された上部ダ
ク］・２．下部に配置された下部ダクト３および両側部
に配置された一対の側部ダクト４．５によって形成され
ている。これらの上部ダクト２および下部ダクト３は両
側面が開口された略箱形形状のものである。また、側部
ダクｌ−４，５は上部ダクト２および下部ダク］へ３の
両開口面間を連結するもので、これらの上部ダク］〜２
．下部ダクト３および側部ダクｔ−４，５によってガス
を循環させるガス流路６が形成されている。ざらに、下
部ダウ１〜３内には送独１ｉ７が装着されており、この
送風機７の駆動にともないガス流路６内のガスが循環さ
れるようになっている。
のものが知られている。第３図中で、１はガス循環風洞
である。このガス循環風洞１は上部に配置された上部ダ
ク］・２．下部に配置された下部ダクト３および両側部
に配置された一対の側部ダクト４．５によって形成され
ている。これらの上部ダクト２および下部ダクト３は両
側面が開口された略箱形形状のものである。また、側部
ダクｌ−４，５は上部ダクト２および下部ダク］へ３の
両開口面間を連結するもので、これらの上部ダク］〜２
．下部ダクト３および側部ダクｔ−４，５によってガス
を循環させるガス流路６が形成されている。ざらに、下
部ダウ１〜３内には送独１ｉ７が装着されており、この
送風機７の駆動にともないガス流路６内のガスが循環さ
れるようになっている。
また、土部ダク１〜２の両端部には共振器を形成覆る一
対の反射鏡がそれぞれ配置されている。これらの反射鏡
はそれぞれ取付は板８，９の内面側に取付けられている
。さらに、これらの取付は板８゜９間に１ユ複数の支持
Ｄラド１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、ｉｏｄが架設されてお
り、これらの支持ロッド１０ａ〜１０ｄによって両取付
は板８，９を介して両反躬鏡が離間対向状態で保持され
ている。
対の反射鏡がそれぞれ配置されている。これらの反射鏡
はそれぞれ取付は板８，９の内面側に取付けられている
。さらに、これらの取付は板８゜９間に１ユ複数の支持
Ｄラド１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、ｉｏｄが架設されてお
り、これらの支持ロッド１０ａ〜１０ｄによって両取付
は板８，９を介して両反躬鏡が離間対向状態で保持され
ている。
これらの支持ロッド１０ａ〜１０ｄはゴムクッション等
の吸振、断熱部祠を介してガス循環州側１に固定されて
いる。また、上部ダク１−２の上、下面にはガス励起の
ためのｈり型部１１が配設されている。イして、両反則
鏡間を結ぶ方向に形成されるレーザ光軸り方向に対し、
反ｔＭＭ間のガス流路６の向きが略１交状態で配Ｈされ
ている。
の吸振、断熱部祠を介してガス循環州側１に固定されて
いる。また、上部ダク１−２の上、下面にはガス励起の
ためのｈり型部１１が配設されている。イして、両反則
鏡間を結ぶ方向に形成されるレーザ光軸り方向に対し、
反ｔＭＭ間のガス流路６の向きが略１交状態で配Ｈされ
ている。
ところで、この種のものにあってはレーザの発振出力お
よび発振モードを安定に保つためにはレーザ光軸りに対
する反射鏡の取付【Ｊ角度および両反射鏡間の間隔をそ
れぞれ一定に保つ必要がある。
よび発振モードを安定に保つためにはレーザ光軸りに対
する反射鏡の取付【Ｊ角度および両反射鏡間の間隔をそ
れぞれ一定に保つ必要がある。
そのため、従来構成のものにあっては各支持Ｏラド１０
ａ〜１０ｄを例えばインバー等の熱膨張係数が小さい月
利によって形成するとともに、これらの各支持ロッド１
０ａ〜１０ｄをレーザ光軸りと平行に配置して両反口４
鏡の取付は板８，９の取付は角度および両取付（プ板８
．９間の間隔をそれぞれ一定状態で固定する構成になっ
ていた。
ａ〜１０ｄを例えばインバー等の熱膨張係数が小さい月
利によって形成するとともに、これらの各支持ロッド１
０ａ〜１０ｄをレーザ光軸りと平行に配置して両反口４
鏡の取付は板８，９の取付は角度および両取付（プ板８
．９間の間隔をそれぞれ一定状態で固定する構成になっ
ていた。
一般に、この種の横流形ガスレーザ装置ではガス励起時
の放電にＪ−ってガス流路６内を流れるガスが高温状態
に加熱されるので、ガス流路６内における放電部１１の
一ト流側と下流側とではガス流路６内を流れるガスの温
度に大きな温度差が生じる問題があった。そのため、ガ
ス循環風洞１の壁面温度も放電部１１の上流側と下流側
とでは大きな温度差が生じるので、ガス循環州側１に固
定されている各支持ロッド１０ａ〜１０ｄのうち、放電
部１１の上流側に配置されている支持ロッド１０８．１
０Ｃに比べて放電部１１の下流側に配置されている支持
ロッドｉＱｂ、１０ｄの方が熱膨張し易（なっていた。
の放電にＪ−ってガス流路６内を流れるガスが高温状態
に加熱されるので、ガス流路６内における放電部１１の
一ト流側と下流側とではガス流路６内を流れるガスの温
度に大きな温度差が生じる問題があった。そのため、ガ
ス循環風洞１の壁面温度も放電部１１の上流側と下流側
とでは大きな温度差が生じるので、ガス循環州側１に固
定されている各支持ロッド１０ａ〜１０ｄのうち、放電
部１１の上流側に配置されている支持ロッド１０８．１
０Ｃに比べて放電部１１の下流側に配置されている支持
ロッドｉＱｂ、１０ｄの方が熱膨張し易（なっていた。
このように放電部１１の下流側に配置されている支持ロ
ッド１０１′）、１０ｄが熱膨張した場合には第４図中
に仮想線で示Ｊように放電部１１の上流側に配置されて
いる支持【」ラド１０ａ、ＩＯＣの艮ざ寸法へよりも放
電部１１の下流側に配置されている支持ロッド１０ｂ。
ッド１０１′）、１０ｄが熱膨張した場合には第４図中
に仮想線で示Ｊように放電部１１の上流側に配置されて
いる支持【」ラド１０ａ、ＩＯＣの艮ざ寸法へよりも放
電部１１の下流側に配置されている支持ロッド１０ｂ。
１０ｄの長さ寸法Ｂの方が若干良くなるので、共振器を
形成する両反射鏡の取付は板８，９の取付は角度が正常
状態（第４図中に実線で示す）から若干傾く問題があっ
た。この場合、例えば取付は板８．９間の間隔が２ｍ、
各支持ロッド１０ａ〜１０ｄを形成しているインバーの
熱膨張係数が１０逼、放電部１１の上流側に配置されて
いる支持ロッド１０ａ、ＩＯＣと放電部１１の下流側に
配置されている支持ロッド１０ｂ、１０ｄとの間の間隔
が３０ｃｔｔ＋であり、放電部１１の上流側と下流側と
の間の温度差が平均５℃であるとすると、放電部１１の
上流側に配置されている支持ロッド１０ａ、１０ｃと放
電部１１の下流側に配置されている支持ロッド１０ｂ、
１０ｄとの間の長さ寸法の差Δ１は ΔＩ ＝２Ｘ Ｉ Ｑ” ｘ５Ｘ １０″６−１０′２
（＃ｌｌｌ＋）両反躬鏡の取付は板８，９の傾き角度θ
はθ−０，０３ｍｒａｄ 程度になる。そのため、この場合はレーザの発振出力が
３％程度低下するとともに、発振モードが不安定になる
問題があった。
形成する両反射鏡の取付は板８，９の取付は角度が正常
状態（第４図中に実線で示す）から若干傾く問題があっ
た。この場合、例えば取付は板８．９間の間隔が２ｍ、
各支持ロッド１０ａ〜１０ｄを形成しているインバーの
熱膨張係数が１０逼、放電部１１の上流側に配置されて
いる支持ロッド１０ａ、ＩＯＣと放電部１１の下流側に
配置されている支持ロッド１０ｂ、１０ｄとの間の間隔
が３０ｃｔｔ＋であり、放電部１１の上流側と下流側と
の間の温度差が平均５℃であるとすると、放電部１１の
上流側に配置されている支持ロッド１０ａ、１０ｃと放
電部１１の下流側に配置されている支持ロッド１０ｂ、
１０ｄとの間の長さ寸法の差Δ１は ΔＩ ＝２Ｘ Ｉ Ｑ” ｘ５Ｘ １０″６−１０′２
（＃ｌｌｌ＋）両反躬鏡の取付は板８，９の傾き角度θ
はθ−０，０３ｍｒａｄ 程度になる。そのため、この場合はレーザの発振出力が
３％程度低下するとともに、発振モードが不安定になる
問題があった。
この発明はガス励起時の放電電力の大ぎさにかかわらず
レーザの発振出力および発振モードを安定に保持するこ
とができる横流形ガスレーザ装置を提供することを目的
とするものである。
レーザの発振出力および発振モードを安定に保持するこ
とができる横流形ガスレーザ装置を提供することを目的
とするものである。
この発明は共振器を形成する一対の反射鏡を離間対向状
態で保持する複数の支持ロッドの一端側をレーザ光軸方
向に対し略直交状態で配置されたガス流路の上流側に配
置するとともに、前記各支持ロッドの他端側を前記ガス
流路の下流側に配置し、かつ前記各支持ロッドを互いに
交差状態で配置したことを特徴と（るものである。
態で保持する複数の支持ロッドの一端側をレーザ光軸方
向に対し略直交状態で配置されたガス流路の上流側に配
置するとともに、前記各支持ロッドの他端側を前記ガス
流路の下流側に配置し、かつ前記各支持ロッドを互いに
交差状態で配置したことを特徴と（るものである。
以下、この発明の一実施例を第１図および第２図を参照
して説明する。なお、第１図は横流形ガスレーザ装置の
要部の概略構成を示すもので、第１図および第２図中で
、第３図および第４図と同一〇− 一部分には同一の符号を付してその説明を省略する。寸
なわら、この発明は共振器を形成する一対の反射鏡を離
間対向状態で保持する複数の支持ロッド２１ ａ 、
２１ ｈ 、 ２１ ｃ 、 ２１ ｄの一端側をレー
ザ光軸り方向に対し略直交状態で配置されたガス流路６
（カス流路６の流路方向を第１図および第２図中に矢印
で示−リ）の上流側に配置するとともに、前記各支持ロ
ッド２１ａ、２１ｂ、２１Ｇ、２１ｄの他端側を前記ガ
ス流路６の下流側に配置し、かつ前記各支持［］ツラド
２１ａ、２１．２１ｃ、２１ｄを勾いに交差状態で配置
したことを特徴とＪるものである。この場合、取付は板
８゜９の−１一部側に配置された一対の支持ロッド２１
ａ。
して説明する。なお、第１図は横流形ガスレーザ装置の
要部の概略構成を示すもので、第１図および第２図中で
、第３図および第４図と同一〇− 一部分には同一の符号を付してその説明を省略する。寸
なわら、この発明は共振器を形成する一対の反射鏡を離
間対向状態で保持する複数の支持ロッド２１ ａ 、
２１ ｈ 、 ２１ ｃ 、 ２１ ｄの一端側をレー
ザ光軸り方向に対し略直交状態で配置されたガス流路６
（カス流路６の流路方向を第１図および第２図中に矢印
で示−リ）の上流側に配置するとともに、前記各支持ロ
ッド２１ａ、２１ｂ、２１Ｇ、２１ｄの他端側を前記ガ
ス流路６の下流側に配置し、かつ前記各支持［］ツラド
２１ａ、２１．２１ｃ、２１ｄを勾いに交差状態で配置
したことを特徴とＪるものである。この場合、取付は板
８゜９の−１一部側に配置された一対の支持ロッド２１
ａ。
２１Ｆ）のうち一方の支持ロッド２１ｂと取付は板８．
９との連結部位は他りの支持ロッド２１ａと取付（）板
８，９との連結部位よりも下方に配置されているととも
に、取付１プ板８，９の下部側に配置された一対の支持
ロッド２１ｃ、２１ｄのうち一方の支持ロッド２１ｃと
取付は板８，９との連結部位は他方の支持ロッド２１ｄ
と取付ＩＪ板８゜９との連結部位よりも上方に配置され
ており、取付は板８．９の上部側に配置された一対の支
持ロッド２１ａ、２１ｂおよび取付は根８，９の下部側
に配置された一対の支持ロッド２１ｃ、２１ｄが第２図
に示すように互いに交差状態でそれぞれ設置されるよう
になっている。
９との連結部位は他りの支持ロッド２１ａと取付（）板
８，９との連結部位よりも下方に配置されているととも
に、取付１プ板８，９の下部側に配置された一対の支持
ロッド２１ｃ、２１ｄのうち一方の支持ロッド２１ｃと
取付は板８，９との連結部位は他方の支持ロッド２１ｄ
と取付ＩＪ板８゜９との連結部位よりも上方に配置され
ており、取付は板８．９の上部側に配置された一対の支
持ロッド２１ａ、２１ｂおよび取付は根８，９の下部側
に配置された一対の支持ロッド２１ｃ、２１ｄが第２図
に示すように互いに交差状態でそれぞれ設置されるよう
になっている。
そこで、上記構成のものにあっては共振器を形成する一
対の反ｌ）１鏡を離間対向状態で保持する複数の支持ロ
ッド２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの一端側をレーザ
光軸り方向に対し略直交状態で配置されたカス流路６の
上流側に配置Ｊるとともに、前記各支持ロッド２１ａ、
２１ｂ、２１ｃ。
対の反ｌ）１鏡を離間対向状態で保持する複数の支持ロ
ッド２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの一端側をレーザ
光軸り方向に対し略直交状態で配置されたカス流路６の
上流側に配置Ｊるとともに、前記各支持ロッド２１ａ、
２１ｂ、２１ｃ。
２１ｄの他端側を前記ガス流路６の下流側に配置し、か
つ前記各支持ロッド２１ａ、２１ｂ、２１Ｇ、２１ｄを
互いに交差状態で配置したので、ガス励起時の放電によ
ってガス流路６内における放電部１１の上流側と下流側
とでガスの温度に大ぎな温度差が生じ、ガス循環風洞１
の壁面温度が放電部１１の上流側と下流側とで大きな温
度差が生じた場合に支持ロッド２１ａ、２１ｂ、２１ｃ
。
つ前記各支持ロッド２１ａ、２１ｂ、２１Ｇ、２１ｄを
互いに交差状態で配置したので、ガス励起時の放電によ
ってガス流路６内における放電部１１の上流側と下流側
とでガスの温度に大ぎな温度差が生じ、ガス循環風洞１
の壁面温度が放電部１１の上流側と下流側とで大きな温
度差が生じた場合に支持ロッド２１ａ、２１ｂ、２１ｃ
。
２１ｄを全て均一に熱膨張させることができる。
そのため、これらの支持ロッド２１ａ、２１ｂ。
２１Ｃ，２１ｄが熱膨張した場合には第２図中に仮想線
で示１ように共振器を形成する両反ｑ１鏡の取付は板８
．９を正常状態（同図中に実線で示す）から外方向に向
けて略平行移動させることができるので、従来のように
両反射鏡の取付は板８，９の取付１ノ角度が正常状態か
ら傾くことを確実に防止することができ、ガス励起時の
放電電力の大きさにかかわらずレーザの発振出力および
発振モードを安定に保持することができる。
で示１ように共振器を形成する両反ｑ１鏡の取付は板８
．９を正常状態（同図中に実線で示す）から外方向に向
けて略平行移動させることができるので、従来のように
両反射鏡の取付は板８，９の取付１ノ角度が正常状態か
ら傾くことを確実に防止することができ、ガス励起時の
放電電力の大きさにかかわらずレーザの発振出力および
発振モードを安定に保持することができる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば、ガス流路６の流路方向と放電方向とが平行と
なるように配置された２軸直交形の横流形ガスレーザ装
置、或いはガス流路６の流路方向と放電方向とが直交状
態となるように配置された３軸直交形の横流形ガスレー
ザ装置に適用してもよい。さらに、その他この発明の要
旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できることは勿論で
ある。
。例えば、ガス流路６の流路方向と放電方向とが平行と
なるように配置された２軸直交形の横流形ガスレーザ装
置、或いはガス流路６の流路方向と放電方向とが直交状
態となるように配置された３軸直交形の横流形ガスレー
ザ装置に適用してもよい。さらに、その他この発明の要
旨を逸脱しない範囲で種々変形実施できることは勿論で
ある。
この発明によれば共振器を形成する一対の反射鏡を離間
対向状態で保持する複数の支持ロッドの一端側をレーザ
光軸方向に対し略直交状態で配置されたガス流路の上流
側に配置するとともに、前記各支持ロッドの他端側を前
記ガス流路の下、流側に配置し、かつ前記各支持ロッド
を互いに交差状態で配置したので、ガス励起時の放電電
力の大きさにかかわらずレーザの発振出力および発振モ
ードを安定に保持することができる。
対向状態で保持する複数の支持ロッドの一端側をレーザ
光軸方向に対し略直交状態で配置されたガス流路の上流
側に配置するとともに、前記各支持ロッドの他端側を前
記ガス流路の下、流側に配置し、かつ前記各支持ロッド
を互いに交差状態で配置したので、ガス励起時の放電電
力の大きさにかかわらずレーザの発振出力および発振モ
ードを安定に保持することができる。
第１図および第２図はこの発明の一実施例を示すもので
、第１図は横流形ガスレーザ装置の要部の概略構成を示
す斜視図、第２図は支持ロッドが熱膨張した状態を説明
するための概略構成図、第３図および第４図は従来例を
示すもので、第３図は横流形ガスレーザ装置全体の概略
構成を示す斜視側、第４図は支持ロッドが熱膨張した状
態を説明するための概略構成図である。 ６・・・ガス流路、し・・・レーザ光軸、２１ａ、２１
ｂ、２ＩＣ，２１ｄ・・・支持ロッド。 第４図
、第１図は横流形ガスレーザ装置の要部の概略構成を示
す斜視図、第２図は支持ロッドが熱膨張した状態を説明
するための概略構成図、第３図および第４図は従来例を
示すもので、第３図は横流形ガスレーザ装置全体の概略
構成を示す斜視側、第４図は支持ロッドが熱膨張した状
態を説明するための概略構成図である。 ６・・・ガス流路、し・・・レーザ光軸、２１ａ、２１
ｂ、２ＩＣ，２１ｄ・・・支持ロッド。 第４図
Claims (1)
- 共振器を形成する一対の反射鏡が複数の支持ロッドによ
つて離間対向状態で保持されるとともに、これらの反射
鏡間にガス流路が形成され、前記両反射鏡間を結ぶ方向
に形成されるレーザ光軸方向に対し、前記ガス流路の向
きが略直交状態で配置された横流形ガスレーザ装置にお
いて、前記各支持ロッドの一端側を前記ガス流路の上流
側に配置するとともに、前記各支持ロッドの他端側を前
記ガス流路の下流側に配置し、かつ前記各支持ロッドを
互いに交差状態で配置したことを特徴とする横流形ガス
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12171585A JPS61279186A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | 横流形ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12171585A JPS61279186A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | 横流形ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61279186A true JPS61279186A (ja) | 1986-12-09 |
Family
ID=14818083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12171585A Pending JPS61279186A (ja) | 1985-06-05 | 1985-06-05 | 横流形ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61279186A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010045336A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Fanuc Ltd | ガスレーザ共振器 |
-
1985
- 1985-06-05 JP JP12171585A patent/JPS61279186A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010045336A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Fanuc Ltd | ガスレーザ共振器 |
| JP4565045B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2010-10-20 | ファナック株式会社 | ガスレーザ共振器 |
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