JP2010045336A - ガスレーザ共振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ共振器10は、軸線方向へ整列する2つの放電管1a、2a、1b、2b、1c、2cをそれぞれに有する3つの放電管列3A、3B、3Cと、各放電管列の放電管を互いに連結して支持する放電管連結ホルダ5と、放電管1cの一端に配置される出力鏡11を備えるエンドプレート15と、放電管2aの一端に配置されるリア鏡12を備えるエンドプレート16と、両端がそれぞれエンドプレート15、16に固定された4本の支持棒21〜24とを備える。放電管連結ホルダ5は、クランプ(剛性部材)25を介して下側の支持棒21、22に固定され、クランプ(弾性部材)26、27を介して上側の支持棒23、24に連結される。
【選択図】図1
Description
3A、3B、3C、55A、55B、55C 放電管列
4 支持機構
5、61、62、63 放電管連結ホルダ
8 光学的連結部
9 光学部品
10 レーザ共振器
11 出力鏡
12 リア鏡
13、14 折返鏡
15、16 エンドプレート
21、22、23、24 支持棒
25 剛性部材(クランプ)
26、27 弾性部材(クランプ)
71、72 ばね
81、82、83、84、91、92、93、94 板金
Claims (5)
- 軸線方向へ整列する複数の放電管をそれぞれに有する複数の放電管列と、
前記複数の放電管列を、それら放電管列の軸線が互いに平行又は交差する方向へ延びるように支持する支持機構と、
前記複数の放電管列を、それら放電管列が有する前記複数の放電管の全てが光学的に直列に並ぶように互いに光学的に連結する光学部品とを具備し、
前記光学部品は、
前記支持機構に支持された前記複数の放電管列の全ての前記放電管のうちの、光学的直列配置の両端に位置する一対の前記放電管の、それぞれの一端部に設置される出力鏡及びリア鏡と、
前記支持機構に支持された前記複数の放電管列の、光学的連結部に設置される折返鏡とを備え、
前記支持機構は、
前記複数の放電管列の各々における前記複数の放電管を、前記軸線方向へ整列した状態で互いに連結して支持する放電管連結ホルダと、
前記複数の放電管列の各々の軸線方向両端に配置され、それら放電管列を、前記軸線が互いに平行又は交差する方向へ延びる状態で支持する一対のエンドプレートと、
両端で前記一対のエンドプレートに固定されて、それらエンドプレートの間に延設される支持棒と、
前記放電管連結ホルダを前記支持棒に連結する弾性部材とを備えること、
を特徴とするガスレーザ共振器。 - 前記支持機構は、前記一対のエンドプレートの間に延設される複数の前記支持棒と、前記放電管連結ホルダを少なくとも1つの前記支持棒に連結する前記弾性部材と、前記放電管連結ホルダを他の少なくとも1つの前記支持棒に固定する剛性部材とを備える、請求項1に記載のガスレーザ共振器。
- 前記弾性部材はばねである、請求項1又は2に記載のガスレーザ共振器。
- 前記弾性部材は板金である、請求項1又は2に記載のガスレーザ共振器。
- 前記支持機構は、前記複数の放電管列にレーザガスを供給する位置に配置される少なくとも1つの前記放電管連結ホルダと、前記複数の放電管列からレーザガスを回収する位置に配置される他の少なくとも1つの前記放電管連結ホルダと、前記レーザガスを供給する位置に配置される前記放電管連結ホルダを前記支持棒に固定する剛性部材と、前記レーザガスを回収する位置に配置される前記放電管連結ホルダを前記支持棒に連結する前記弾性部材とを備える、請求項1〜4のいずれか1項に記載のガスレーザ共振器。
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