JP3399865B2 - 直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造 - Google Patents
直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造Info
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- JP3399865B2 JP3399865B2 JP35792498A JP35792498A JP3399865B2 JP 3399865 B2 JP3399865 B2 JP 3399865B2 JP 35792498 A JP35792498 A JP 35792498A JP 35792498 A JP35792498 A JP 35792498A JP 3399865 B2 JP3399865 B2 JP 3399865B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、直交励起型レー
ザ発振器の光学基部支持構造に関し、特に、直交励起型
レーザ発振器において光共振器を構成する光学基部の支
持構造に関するものである。
ザ発振器の光学基部支持構造に関し、特に、直交励起型
レーザ発振器において光共振器を構成する光学基部の支
持構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８〜図１０は、従来型の直交励起型レ
ーザ発振器を示している。直交励起型レーザ発振器はＣ
Ｏ2 ガス等のレーザ媒体ガスを封入された密閉構造の発
振器筺体１を有しており、発振器筺体１内に、レーザビ
ーム発生用の放電電極２ａ、２ｂとレーザ媒体ガスを冷
却する熱交換器３と、レーザ媒体ガスを循環させる送風
器４が設置されている。
ーザ発振器を示している。直交励起型レーザ発振器はＣ
Ｏ2 ガス等のレーザ媒体ガスを封入された密閉構造の発
振器筺体１を有しており、発振器筺体１内に、レーザビ
ーム発生用の放電電極２ａ、２ｂとレーザ媒体ガスを冷
却する熱交換器３と、レーザ媒体ガスを循環させる送風
器４が設置されている。
【０００３】発振器筺体１内には放電電極２ａ、２ｂ間
を通過したレーザ媒体ガスを熱交換器３に戻すダクト５
が設けられている。発振器筺体１の光軸方向の両側に
は、全反射鏡６を保持した後部光学基台７と、全反射鏡
６と同一光軸上に部分反射鏡８を保持した前部光学基台
９とが互いに平行に配置されており、全反射鏡６と部分
反射鏡８とが光共振器を構成している。
を通過したレーザ媒体ガスを熱交換器３に戻すダクト５
が設けられている。発振器筺体１の光軸方向の両側に
は、全反射鏡６を保持した後部光学基台７と、全反射鏡
６と同一光軸上に部分反射鏡８を保持した前部光学基台
９とが互いに平行に配置されており、全反射鏡６と部分
反射鏡８とが光共振器を構成している。
【０００４】発振器筺体１と後部光学基台７および発振
器筺体１と前部光学基台９は、それぞれ、レーザビーム
通過部分をベローズ１０、１１によって接続されてい
る。後部光学基台７と前部光学基台９とは、上部２本、
下部１本の合計３本の支持棒１２、１３、１４によって
互いに剛固に接続されている。支持棒１２、１３、１４
は、発振器筺体１の両側の端板１５、１６を貫通してレ
ーザビーム進行方向（光軸方向）に延在している。
器筺体１と前部光学基台９は、それぞれ、レーザビーム
通過部分をベローズ１０、１１によって接続されてい
る。後部光学基台７と前部光学基台９とは、上部２本、
下部１本の合計３本の支持棒１２、１３、１４によって
互いに剛固に接続されている。支持棒１２、１３、１４
は、発振器筺体１の両側の端板１５、１６を貫通してレ
ーザビーム進行方向（光軸方向）に延在している。
【０００５】下側の支持棒１２は、端板１５、１６を貫
通するだけで、発振器筺体１と連結されていないが、筺
体上側におけるガス流上流側の支持棒１３は、端板１
５、１６の部分、すなわち発振器筺体１の両側端部分に
て接続部材１７によって軸線方向移動を拘束された状態
で、中心軸線周りに回転可能に接続され、筺体上側にお
けるガス流下流側の支持棒１４は端板１５、１６の部
分、すなわち発振器筺体１の両側端部分にて球面継手式
の接続部材１８により、全方向に傾斜可能に接続されて
いる。
通するだけで、発振器筺体１と連結されていないが、筺
体上側におけるガス流上流側の支持棒１３は、端板１
５、１６の部分、すなわち発振器筺体１の両側端部分に
て接続部材１７によって軸線方向移動を拘束された状態
で、中心軸線周りに回転可能に接続され、筺体上側にお
けるガス流下流側の支持棒１４は端板１５、１６の部
分、すなわち発振器筺体１の両側端部分にて球面継手式
の接続部材１８により、全方向に傾斜可能に接続されて
いる。
【０００６】上述のような光学基部支持構造による直交
励起型レーザ発振器は、特開昭６０−８１８８３号公報
や特開平７―３０７５０６号公報に開示されている。
励起型レーザ発振器は、特開昭６０−８１８８３号公報
や特開平７―３０７５０６号公報に開示されている。
【０００７】また、後部光学基台と前部光学基台とを連
結する支持棒が、発振器筺体の両側端部分に加えて発振
器筺体の光軸方向中央部でも発振器筺体に固定接続され
た光学基部支持構造のものが、特開昭５９−１２５６８
３号公報に示されている。
結する支持棒が、発振器筺体の両側端部分に加えて発振
器筺体の光軸方向中央部でも発振器筺体に固定接続され
た光学基部支持構造のものが、特開昭５９−１２５６８
３号公報に示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】直交励起型レーザ発振
器では、放電電極２ａ、２ｂによるレーザ発生部の放電
により高温となったレーザ媒質ガスは、ダクト５を通っ
て熱交換器３に至り、熱交換器３を通過することで冷却
されたレーザ媒質ガスは送風器４側に運ばれ、送風器４
より放電電極２ａ、２ｂによるレーザ発生部へ送られ
る。
器では、放電電極２ａ、２ｂによるレーザ発生部の放電
により高温となったレーザ媒質ガスは、ダクト５を通っ
て熱交換器３に至り、熱交換器３を通過することで冷却
されたレーザ媒質ガスは送風器４側に運ばれ、送風器４
より放電電極２ａ、２ｂによるレーザ発生部へ送られ
る。
【０００９】このため、レーザ発生部通過前後で、筺体
上側におけるガス流上流側とガス流下流側とでレーザ媒
質ガス温度が異なり、ガス温度が発振器筺体１に伝導す
ることにより、発振器筺体１に温度分布が生じ、この温
度分布によって発振器筺体１は、図１１に示されている
ように、湾曲状に熱変形を起こす。
上側におけるガス流上流側とガス流下流側とでレーザ媒
質ガス温度が異なり、ガス温度が発振器筺体１に伝導す
ることにより、発振器筺体１に温度分布が生じ、この温
度分布によって発振器筺体１は、図１１に示されている
ように、湾曲状に熱変形を起こす。
【００１０】発振器筺体１が熱変形を起こすと、支持棒
１３、１４と発振器筺体１との合計４箇所の接続位置が
変位し、これに応じて後部光学基台７と前部光学基台９
がレーザビームの光軸に対して傾き、レーザビームの進
行方向およびレーザビーム位置の経時安定性が変動す
る。
１３、１４と発振器筺体１との合計４箇所の接続位置が
変位し、これに応じて後部光学基台７と前部光学基台９
がレーザビームの光軸に対して傾き、レーザビームの進
行方向およびレーザビーム位置の経時安定性が変動す
る。
【００１１】発振器筺体１の熱変形形状は、発振器筺体
１内におけるレーザ媒質ガスの循環状態によってほぼ決
められ、図１１に示されているような熱変形を生じる場
合が多い。このことに対して、従来の直交励起型レーザ
発振器では、支持棒１３、１４は熱変形が大きい側端部
にて発振器筺体１と連結されているため、支持棒１３、
１４および光学基台７、９の傾きは増大する傾向にある
という問題がある。
１内におけるレーザ媒質ガスの循環状態によってほぼ決
められ、図１１に示されているような熱変形を生じる場
合が多い。このことに対して、従来の直交励起型レーザ
発振器では、支持棒１３、１４は熱変形が大きい側端部
にて発振器筺体１と連結されているため、支持棒１３、
１４および光学基台７、９の傾きは増大する傾向にある
という問題がある。
【００１２】レーザビームの出射方向の経時安定性を左
右する光学基台７、９の傾き（レーザ反射鏡の設定角
度）と発振器筺体１の傾き（レーザビームの進行方向）
との差異を決定するのは、支持棒１３、１４の支持固定
点における支持棒（レーザ進行方向）と発振器筺体（レ
ーザ目標到達方向）との傾き量の差異である。
右する光学基台７、９の傾き（レーザ反射鏡の設定角
度）と発振器筺体１の傾き（レーザビームの進行方向）
との差異を決定するのは、支持棒１３、１４の支持固定
点における支持棒（レーザ進行方向）と発振器筺体（レ
ーザ目標到達方向）との傾き量の差異である。
【００１３】従来の場合、上述のように、支持棒１３、
１４を支持する箇所の固定点を発振器筺体１の側端部の
４箇所のいずれかに設定しており、支持棒１３、１４と
光学基台７、９は、発振器筺体１の熱変形量の多い部分
の変形の影響を受けているため、支持棒１３、１４およ
び光学基台７、９と発振器筺体１の傾き量の差異が増加
し、レーザビーム位置の出射方向の経時安定性の変動が
大きい。
１４を支持する箇所の固定点を発振器筺体１の側端部の
４箇所のいずれかに設定しており、支持棒１３、１４と
光学基台７、９は、発振器筺体１の熱変形量の多い部分
の変形の影響を受けているため、支持棒１３、１４およ
び光学基台７、９と発振器筺体１の傾き量の差異が増加
し、レーザビーム位置の出射方向の経時安定性の変動が
大きい。
【００１４】この発明は、上述の如き問題点を解消する
ためになされたもので、発振器筺体の熱変形に拘わら
ず、光共振器用の光学基台の傾き変動を抑制し、レーザ
ビームの出射方向の経時安定性を向上できる直交励起型
レーザ発振器の光学基部支持構造を得ることを目的とし
ている。
ためになされたもので、発振器筺体の熱変形に拘わら
ず、光共振器用の光学基台の傾き変動を抑制し、レーザ
ビームの出射方向の経時安定性を向上できる直交励起型
レーザ発振器の光学基部支持構造を得ることを目的とし
ている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明による直交励起型レーザ発振器の光学基
部支持構造は、発振器筺体の両側にそれぞれ光学基台が
設置され、その２個の光学基台が光軸方向に延在する少
なくとも３本以上の支持棒によって互いに平行接続され
た光共振器を構成する直交励起型レーザ発振器の光学基
部支持構造において、少なくとも３本のうちの２本の支
持棒は筺体上部を経由して光軸方向に延在しており、当
該２本の支持棒はそれぞれ軸線方向中央部を筺体上面の
光軸方向中央部分に接続されているものである。
めに、この発明による直交励起型レーザ発振器の光学基
部支持構造は、発振器筺体の両側にそれぞれ光学基台が
設置され、その２個の光学基台が光軸方向に延在する少
なくとも３本以上の支持棒によって互いに平行接続され
た光共振器を構成する直交励起型レーザ発振器の光学基
部支持構造において、少なくとも３本のうちの２本の支
持棒は筺体上部を経由して光軸方向に延在しており、当
該２本の支持棒はそれぞれ軸線方向中央部を筺体上面の
光軸方向中央部分に接続されているものである。
【００１６】つぎの発明による直交励起型レーザ発振器
の光学基部支持構造は、前記２本の支持棒のうちの筺体
上面で送風器側の熱変形が少ない側に位置する支持棒の
発振器筺体に対する中央部接続は固定接続とされ、他方
の支持棒の発振器筺体に対する中央部接続は軸線方向の
動きのみを拘束した可動接続とされているものである。
の光学基部支持構造は、前記２本の支持棒のうちの筺体
上面で送風器側の熱変形が少ない側に位置する支持棒の
発振器筺体に対する中央部接続は固定接続とされ、他方
の支持棒の発振器筺体に対する中央部接続は軸線方向の
動きのみを拘束した可動接続とされているものである。
【００１７】つぎの発明による直交励起型レーザ発振器
の光学基部支持構造は、前記２本の支持棒は、それぞれ
中央部に加えて、他の１箇所以上の位置にて筺体上面に
面内方向の自由度を有する形態で接続されているもので
ある。
の光学基部支持構造は、前記２本の支持棒は、それぞれ
中央部に加えて、他の１箇所以上の位置にて筺体上面に
面内方向の自由度を有する形態で接続されているもので
ある。
【００１８】つぎの発明による直交励起型レーザ発振器
の光学基部支持構造は、前記他の１箇所以上の位置での
接続は、球面継手と前後左右に変位可能な可動台との組
合せにより行われているものである。
の光学基部支持構造は、前記他の１箇所以上の位置での
接続は、球面継手と前後左右に変位可能な可動台との組
合せにより行われているものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下に添付の図を参照して、この
発明にかかる直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構
造の実施の形態を詳細に説明する。なお、以下に説明す
るこの発明の実施の形態において上述の従来例と同一構
成の部分は、上述の従来例に付した符号と同一の符号を
付してその説明を省略する。
発明にかかる直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構
造の実施の形態を詳細に説明する。なお、以下に説明す
るこの発明の実施の形態において上述の従来例と同一構
成の部分は、上述の従来例に付した符号と同一の符号を
付してその説明を省略する。
【００２０】実施の形態１．図１〜図３は、この発明に
よる直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造の実施
の形態１を示している。筺体上部を経由して光軸方向に
延在する支持棒１３、１４は、それぞれ、軸線方向中央
部をブラケット２０、２１によって筺体上面の光軸方向
中央部分に接続されている。
よる直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造の実施
の形態１を示している。筺体上部を経由して光軸方向に
延在する支持棒１３、１４は、それぞれ、軸線方向中央
部をブラケット２０、２１によって筺体上面の光軸方向
中央部分に接続されている。
【００２１】２本の支持棒１３、１４のうちの筺体上面
で送風器４側の熱変形が少ない側に位置する支持棒１３
の発振器筺体１に対する中央部接続は完全な固定接続と
され、他方、すなわち高温側の支持棒１４の発振器筺体
１に対する中央部接続は軸線方向の動きのみを拘束した
可動接続とされている。このことを実現するために、支
持棒１３のブラケット２０は支持棒１３と固定された状
態で筺体上面に図示されていないボルト等により締結固
定され、支持棒１４のブラケット２１は支持棒１４と固
定された状態で、筺体上面に固定されたスライド台２２
にスライド可能に係合している。このブラケット２１の
スライド方向は、筺体上面に平行な面において光軸方向
と直交する方向（図２では上下方向）である。
で送風器４側の熱変形が少ない側に位置する支持棒１３
の発振器筺体１に対する中央部接続は完全な固定接続と
され、他方、すなわち高温側の支持棒１４の発振器筺体
１に対する中央部接続は軸線方向の動きのみを拘束した
可動接続とされている。このことを実現するために、支
持棒１３のブラケット２０は支持棒１３と固定された状
態で筺体上面に図示されていないボルト等により締結固
定され、支持棒１４のブラケット２１は支持棒１４と固
定された状態で、筺体上面に固定されたスライド台２２
にスライド可能に係合している。このブラケット２１の
スライド方向は、筺体上面に平行な面において光軸方向
と直交する方向（図２では上下方向）である。
【００２２】なお、スライド台２２のスライド構造は、
リニアボールベアリング等により、ブラケット２１のス
ライドが低摩擦抵抗で行われるようなスライド構造が取
られていることが好ましい。
リニアボールベアリング等により、ブラケット２１のス
ライドが低摩擦抵抗で行われるようなスライド構造が取
られていることが好ましい。
【００２３】上述の構成によれば、支持棒の固定点、こ
の場合、支持棒１３のブラケット２０の位置が発振器筺
体１の変形量の少ない箇所に設定されるから、支持棒１
３や光学基台７、９の変位量が従来のものより減少し、
レーザビームの出射方向の経時安定性が向上する。
の場合、支持棒１３のブラケット２０の位置が発振器筺
体１の変形量の少ない箇所に設定されるから、支持棒１
３や光学基台７、９の変位量が従来のものより減少し、
レーザビームの出射方向の経時安定性が向上する。
【００２４】また、高温側の支持棒１４のブラケット２
１は筺体上面に平行な面において光軸方向と直交する方
向にスライド可能であるから、図４に示されているよう
に、発振器筺体１の熱変形に支持棒１４が追随すること
がなく、支持棒１４は発振器筺体１の熱変形前の位置関
係を維持し易いので、支持棒１４の変形量は従来のもの
に比べ減少する。このことによっても、光学基台７、９
の変位量が従来のものより減少し、レーザビームの出射
方向の経時安定性が向上し、レーザビーム位置の経時安
定性に対する変動量が減少する。
１は筺体上面に平行な面において光軸方向と直交する方
向にスライド可能であるから、図４に示されているよう
に、発振器筺体１の熱変形に支持棒１４が追随すること
がなく、支持棒１４は発振器筺体１の熱変形前の位置関
係を維持し易いので、支持棒１４の変形量は従来のもの
に比べ減少する。このことによっても、光学基台７、９
の変位量が従来のものより減少し、レーザビームの出射
方向の経時安定性が向上し、レーザビーム位置の経時安
定性に対する変動量が減少する。
【００２５】実施の形態２．図５〜図７は、この発明に
よる直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造の実施
の形態２を示している。なお、図５、図６において、図
１〜図３に示されているもの同等あるいは同一の構成要
件には、図１〜図３に付けた符号と同一の符号を付けて
その説明を省略する。
よる直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造の実施
の形態２を示している。なお、図５、図６において、図
１〜図３に示されているもの同等あるいは同一の構成要
件には、図１〜図３に付けた符号と同一の符号を付けて
その説明を省略する。
【００２６】この実施の形態では、上側の２本の支持棒
１３、１４は、それぞれ、実施の形態１における中央部
での接続支持に加えて、他の１箇所以上の位置、図示例
では、筺体上面の両側端位置に対応する位置にて筺体上
面に面内方向の自由度を有する形態で接続されている。
１３、１４は、それぞれ、実施の形態１における中央部
での接続支持に加えて、他の１箇所以上の位置、図示例
では、筺体上面の両側端位置に対応する位置にて筺体上
面に面内方向の自由度を有する形態で接続されている。
【００２７】この支持棒１３、１４の両側端位置での発
振器筺体１との接続は、球面継手２３と、２重のスライ
ド台２４、２５による前後左右に変位可能な直交可動台
により行われている。この支持構造では、発振器筺体１
と支持棒１３、１４との接続支持強度が向上する。
振器筺体１との接続は、球面継手２３と、２重のスライ
ド台２４、２５による前後左右に変位可能な直交可動台
により行われている。この支持構造では、発振器筺体１
と支持棒１３、１４との接続支持強度が向上する。
【００２８】支持棒１３、１４の端部近傍での発振器筺
体１との接続は、発振器筺体１の熱変形による支持棒１
３、１４の変形に影響を及ぼすが、この接続は、筺体上
面に面内方向の自由度を有する形態で、すなわち、球面
継手２３による球面継手運動により支持棒１３、１４が
筺体上面に対して全方向に傾斜変位可能で、２重のスラ
イド台２４、２５による前後左右に変位可能な直交可動
台によるスライド運動によって筺体上面に対して前後左
右に変位可能に行われているから、発振器筺体１の熱変
形に支持棒１３、１４が追随する度合いが少なく、支持
棒１３、１４は発振器筺体１の熱変形前の位置関係を維
持し易いので、変形量は従来のものに比べ減少する。
体１との接続は、発振器筺体１の熱変形による支持棒１
３、１４の変形に影響を及ぼすが、この接続は、筺体上
面に面内方向の自由度を有する形態で、すなわち、球面
継手２３による球面継手運動により支持棒１３、１４が
筺体上面に対して全方向に傾斜変位可能で、２重のスラ
イド台２４、２５による前後左右に変位可能な直交可動
台によるスライド運動によって筺体上面に対して前後左
右に変位可能に行われているから、発振器筺体１の熱変
形に支持棒１３、１４が追随する度合いが少なく、支持
棒１３、１４は発振器筺体１の熱変形前の位置関係を維
持し易いので、変形量は従来のものに比べ減少する。
【００２９】このため、支持棒１３、１４の軸方向と発
振器筺体１（レーザ目標到達方向）との傾き量の差異が
減少し、レーザビーム位置の経時安定性に対する変動量
が減少すること、発振器筺体１と支持棒１３、１４との
接続支持強度が向上することとが折衷的に両立する。
振器筺体１（レーザ目標到達方向）との傾き量の差異が
減少し、レーザビーム位置の経時安定性に対する変動量
が減少すること、発振器筺体１と支持棒１３、１４との
接続支持強度が向上することとが折衷的に両立する。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明から理解される如く、この発
明による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造に
よれば、筺体上部を経由して光軸方向に延在する２本の
支持棒がそれぞれ軸線方向中央部を筺体上面の光軸方向
中央部分に接続されているから、発振器筺体の熱変形が
少なく、変形の影響を受け難い部位で、支持棒と発振器
筺体とが接続されることになり、発振器筺体が熱変形を
しても、支持棒の軸方向（レーザ進行方向）と発振器筺
体（レーザ目標到達方向）との位置関係（傾きの差異）
の誤差が従来のものより減少し、レーザビーム位置の経
時安定性が向上する。
明による直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造に
よれば、筺体上部を経由して光軸方向に延在する２本の
支持棒がそれぞれ軸線方向中央部を筺体上面の光軸方向
中央部分に接続されているから、発振器筺体の熱変形が
少なく、変形の影響を受け難い部位で、支持棒と発振器
筺体とが接続されることになり、発振器筺体が熱変形を
しても、支持棒の軸方向（レーザ進行方向）と発振器筺
体（レーザ目標到達方向）との位置関係（傾きの差異）
の誤差が従来のものより減少し、レーザビーム位置の経
時安定性が向上する。
【００３１】つぎの発明による直交励起型レーザ発振器
の光学基部支持構造によれば、２本の支持棒のうちの筺
体上面で送風器側の熱変形が少ない側に位置する支持棒
の発振器筺体に対する中央部接続は固定接続とされ、他
方の支持棒の発振器筺体に対する中央部接続は軸線方向
の動きのみを拘束した可動接続とされているから、支持
棒の発振器筺体に対する固定点は、発振器筺体の熱変形
が少なく、変形の影響を受け難い部位になり、もう一つ
の支持棒の発振器筺体に対する接続部では、光軸方向と
直交する方向にスライドすることで、発振器筺体の熱変
形に支持棒が追随することがない。
の光学基部支持構造によれば、２本の支持棒のうちの筺
体上面で送風器側の熱変形が少ない側に位置する支持棒
の発振器筺体に対する中央部接続は固定接続とされ、他
方の支持棒の発振器筺体に対する中央部接続は軸線方向
の動きのみを拘束した可動接続とされているから、支持
棒の発振器筺体に対する固定点は、発振器筺体の熱変形
が少なく、変形の影響を受け難い部位になり、もう一つ
の支持棒の発振器筺体に対する接続部では、光軸方向と
直交する方向にスライドすることで、発振器筺体の熱変
形に支持棒が追随することがない。
【００３２】発振器筺体中央部の支持点２箇所を結ぶ直
線を考えるとすると、発振器筺体が熱変形をしても、直
線は支持棒の軸方向に対して垂直および発振器筺体の長
辺方向を２分割する平面に対して平行な状態を維持でき
るから、支持棒の軸方向（レーザ進行方向）と、熱変形
状態の発振器筺体（レーザ目標到達方向）との位置関係
（傾きの差異）の誤差は、従来のものより減少し、レー
ザビーム位置の経時安定性が更に向上する。
線を考えるとすると、発振器筺体が熱変形をしても、直
線は支持棒の軸方向に対して垂直および発振器筺体の長
辺方向を２分割する平面に対して平行な状態を維持でき
るから、支持棒の軸方向（レーザ進行方向）と、熱変形
状態の発振器筺体（レーザ目標到達方向）との位置関係
（傾きの差異）の誤差は、従来のものより減少し、レー
ザビーム位置の経時安定性が更に向上する。
【００３３】つぎの発明による直交励起型レーザ発振器
の光学基部支持構造によれば、２本の支持棒は、それぞ
れ中央部に加えて、他の１箇所以上の位置にて筺体上面
に面内方向の自由度を有する形態で接続されているか
ら、各支持棒を中央部分の１点で支持する場合に比べ、
光学基台の支持力と安定性が増加し、しかも発振器筺体
の熱変形に支持棒が追随する度合いが少なく、レーザビ
ーム位置の経時安定性が確保される。
の光学基部支持構造によれば、２本の支持棒は、それぞ
れ中央部に加えて、他の１箇所以上の位置にて筺体上面
に面内方向の自由度を有する形態で接続されているか
ら、各支持棒を中央部分の１点で支持する場合に比べ、
光学基台の支持力と安定性が増加し、しかも発振器筺体
の熱変形に支持棒が追随する度合いが少なく、レーザビ
ーム位置の経時安定性が確保される。
【００３４】つぎの発明による直交励起型レーザ発振器
の光学基部支持構造によれば、２本の支持棒の他の１箇
所以上の位置での接続は、球面継手と前後左右に変位可
能な可動台との組合せにより行われているから、発振器
筺体の熱変形時に、発振器筺体の水平方向への変形によ
る影響を受けず、熱変形前の支持棒の位置関係を安定し
て維持することができ、支持棒の軸方向（レーザ進行方
向）と熱変形状態の発振器筺体（レーザ目標到達方向）
との位置関係（傾きの差異）の誤差が従来のものより減
少し、レーザビーム位置の経時安定性が向上すること
と、光学基台の支持力と安定性が増加することとが折衷
的に両立する。
の光学基部支持構造によれば、２本の支持棒の他の１箇
所以上の位置での接続は、球面継手と前後左右に変位可
能な可動台との組合せにより行われているから、発振器
筺体の熱変形時に、発振器筺体の水平方向への変形によ
る影響を受けず、熱変形前の支持棒の位置関係を安定し
て維持することができ、支持棒の軸方向（レーザ進行方
向）と熱変形状態の発振器筺体（レーザ目標到達方向）
との位置関係（傾きの差異）の誤差が従来のものより減
少し、レーザビーム位置の経時安定性が向上すること
と、光学基台の支持力と安定性が増加することとが折衷
的に両立する。
【図１】 この発明による直交励起型レーザ発振器の光
学基部支持構造の実施の形態１を示す斜視図である。
学基部支持構造の実施の形態１を示す斜視図である。
【図２】 この発明による直交励起型レーザ発振器の光
学基部支持構造の実施の形態１を示す平面図である。
学基部支持構造の実施の形態１を示す平面図である。
【図３】 この発明による直交励起型レーザ発振器の光
学基部支持構造の実施の形態１を示す側面図である。
学基部支持構造の実施の形態１を示す側面図である。
【図４】 この発明による直交励起型レーザ発振器の光
学基部支持構造における熱変形状態を示す平面図であ
る。
学基部支持構造における熱変形状態を示す平面図であ
る。
【図５】 この発明による直交励起型レーザ発振器の光
学基部支持構造の実施の形態２を示す斜視図である。
学基部支持構造の実施の形態２を示す斜視図である。
【図６】 この発明による直交励起型レーザ発振器の光
学基部支持構造の実施の形態２を示す平面図である。
学基部支持構造の実施の形態２を示す平面図である。
【図７】 実施の形態２による光学基部支持構造で使用
される支持棒接続構造を示す断面図である。
される支持棒接続構造を示す断面図である。
【図８】 直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造
の従来例を示す側面図である。
の従来例を示す側面図である。
【図９】 直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造
の従来例を示す平面図である。
の従来例を示す平面図である。
【図１０】 一般的な直交励起型レーザ発振器の内部構
造を示す斜視図である。
造を示す斜視図である。
【図１１】 従来例の光学基部支持構造における熱変形
状態を示す平面図である。
状態を示す平面図である。
１ 発振器筺体、２ａ、２ｂ 放電電極、３ 熱交換
器、４ 送風器、５ ダクト、６ 全反射鏡、７ 後部
光学基台、８ 部分反射鏡、９ 前部光学基台、１０、
１１ ベローズ、１２、１３、１４ 支持棒、２０、２
１ ブラケット、２２ スライド台、２３ 球面継手、
２４、２５ スライド台。
器、４ 送風器、５ ダクト、６ 全反射鏡、７ 後部
光学基台、８ 部分反射鏡、９ 前部光学基台、１０、
１１ ベローズ、１２、１３、１４ 支持棒、２０、２
１ ブラケット、２２ スライド台、２３ 球面継手、
２４、２５ スライド台。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−307506（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−53573（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−214179（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−111352（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−199685（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−81883（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−116983（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01S 3/00 - 3/30
Claims (4)
- 【請求項１】 発振器筺体の両側にそれぞれ光学基台が
設置され、その２個の光学基台が光軸方向に延在する少
なくとも３本以上の支持棒によって互いに平行接続され
た光共振器を構成する直交励起型レーザ発振器の光学基
部支持構造において、 少なくとも３本のうちの２本の支持棒は筺体上部を経由
して光軸方向に延在しており、当該２本の支持棒はそれ
ぞれ軸線方向中央部を筺体上面の光軸方向中央部分に接
続されていることを特徴とする直交励起型レーザ発振器
の光学基部支持構造。 - 【請求項２】 前記２本の支持棒のうちの筺体上面で送
風器側の熱変形が少ない側に位置する支持棒の発振器筺
体に対する中央部接続は固定接続とされ、他方の支持棒
の発振器筺体に対する中央部接続は軸線方向の動きのみ
を拘束した可動接続とされていることを特徴とする請求
項１に記載の直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構
造。 - 【請求項３】 前記２本の支持棒は、それぞれ中央部に
加えて、他の１箇所以上の位置にて筺体上面に面内方向
の自由度を有する形態で接続されていることを特徴とす
る請求項１または２に記載の直交励起型レーザ発振器の
光学基部支持構造。 - 【請求項４】 前記他の１箇所以上の位置での接続は、
球面継手と前後左右に変位可能な可動台との組合せによ
り行われていることを特徴とする請求項３に記載の直交
励起型レーザ発振器の光学基部支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35792498A JP3399865B2 (ja) | 1998-12-16 | 1998-12-16 | 直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35792498A JP3399865B2 (ja) | 1998-12-16 | 1998-12-16 | 直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000183425A JP2000183425A (ja) | 2000-06-30 |
| JP3399865B2 true JP3399865B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=18456640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35792498A Expired - Fee Related JP3399865B2 (ja) | 1998-12-16 | 1998-12-16 | 直交励起型レーザ発振器の光学基部支持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3399865B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3768455B2 (ja) | 2002-04-11 | 2006-04-19 | 三菱電機株式会社 | 直交励起型レーザ発振器 |
| JP3665039B2 (ja) | 2002-04-24 | 2005-06-29 | 三菱電機株式会社 | 直交励起型レーザ発振器 |
| CN101606285B (zh) | 2007-04-20 | 2011-04-13 | 三菱电机株式会社 | 激光振荡器 |
-
1998
- 1998-12-16 JP JP35792498A patent/JP3399865B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000183425A (ja) | 2000-06-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |