JPH05299722A - 空冷式ガスレーザ発振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 動作時のガスレーザ管の熱膨張に対応するガ
スレーザ管の固定方法を確立し、放電開始時のレーザ出
力の改善を図る。 【構成】 ガスレーザ管１１の２箇所以上の支持部のう
ち、少なくとも１箇所をマウントベース１７から移動で
きないように支持する。また他方を、ホルダ１２、１
３、１４と、絶縁材を使用した前後スライド式ホルダ３
１と、スライド用マウントベース３２で支持する。 【効果】 動作時のガスレーザ管自身の熱膨張による前
後の伸びに対応して、スライド式ホルダ３１が前後に移
動する。これによって、ガスレーザ管の熱膨張による応
力と、その応力によるミラー角度のずれを防止できる。
よって、放電開始直後と熱的安定時のミラー角度はほぼ
同じになり、放電開始時のレーザ出力を大きく改善する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、空冷式ガスレーザ発振
器に関し、特に、放電開始時のレーザ出力の増加に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の空冷式ガスレーザ発振器は、例え
ば図４に示すような構造を有し、ガスレーザ管１１は、
図５に示すように、少なくとも２箇所以上でホルダ（＃
１）１２とホルダ（＃２）１３の間に固定され、ホルダ
（＃３）１４とホルダ（＃４）１５を介して、マウント
ベース１６に取付けられている。なおマウントベース１
６は、ベースプレート１７に固定されている。

【０００３】また、ガスレーザ管１１は、その両端に出
力ミラー１８と全反射ミラー１９を有し、さらにガスタ
ンクを兼ねる陰極バルブ２０も有しており、動作時に
は、ファン２１、２１′で、レーザ管１１を冷却する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来の空冷式ガス
レーザ発振器では、ガスレーザ管自身が放電開始時から
熱的安定時までの間、熱膨張によって主に前後方向に伸
びるが、ホルダとマウントベースを介してガスレーザ管
を固定しているベースプレートは、ほとんど温度は上が
らないので熱膨張による伸びはない。

【０００５】このために、ガスレーザ管には、両端に取
付けられたミラーの角度がずれる方向に応力が加わる。

【０００６】一方、ミラー角度は、熱的安定時にレーザ
出力が最大になるように調整されているので、非動作で
ガスレーザ管が冷えている時には、熱的安定時と比較し
てミラー角度のずれが大きい。

【０００７】よって、放電開始直後は、ガスレーザ管が
冷えているために、ミラー角度のずれが大きく、熱的安
定時と比較してレーザ出力が小さく、すぐには使えない
という欠点があった。

【０００８】本発明は従来の上記実情に鑑みてなされた
ものであり、従って本発明の目的は、従来の技術に内在
する上記欠点を解消することを可能とした新規なガスレ
ーザ発振器を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明に係る空冷式ガスレーザ発振器は、動作時の
ガスレーザ管自身の熱膨張に対応して少なくとも１箇所
または１点はベースプレートに対して動かないようにホ
ルダおよびマウントベースで支持され、他方は前後に移
動可能なスライド式ホルダおよびスライド式マウントベ
ースで支持され機能を備えて構成される。

【００１０】

【実施例】次に本発明をその好ましい各実施例について
図面を参照して具体的に説明する。

【００１１】図１は本発明による第１の実施例を示す全
体の構成図、図２と図５はガスレーザ管固定部分の構成
図である。

【００１２】図１、図２を参照するに、本発明に係る空
冷式ガスレーザ発振器の第１の実施例は、例えば図１に
示すような構造を有し、両端に出力ミラー１８と全反射
ミラー１９を有するガスレーザ管１１を内蔵し、動作時
にはファン２１、２１′が回転して、レーザ管１１を冷
却する。

【００１３】この時、ガスレーザ管１１は、放電開始時
から熱的安定時までの間、熱膨張によって、主に前後方
向に伸びる。

【００１４】一方、レーザ管１１の出力ミラー１８側
は、図５に示す構造を有し、ホルダ１２、１３、１４、
１５とマウントベース１６で支持され、ベースプレート
１７に固定されている。

【００１５】他方、全反射ミラー１９側は、図２に示す
構造を有し、ホルダ（＃１）１２、（＃２）１３、（＃
３）１４と絶縁材を使用した前後スライド式ホルダ３１
と、このホルダ３１を前後にスライドさせるためのスラ
イド用マウントベース３２で支持されている。

【００１６】よって、レーザ管１１が動作時に熱膨張に
よって前後方向に伸びる時には、全反射ミラー１９側の
スライド式ホルダ３１が前後にスライドするので、レー
ザ管１１の熱膨張による応力は、ほとんど加わらなくな
り、応力によるミラー角度ずれを防止することができ
る。

【００１７】これより、レーザ管１１の非動作時と熱的
安定時のミラー角度は、ほぼ同じになり、放電開始時の
レーザ出力を大きく改善し、熱的安定時とほぼ同等のレ
ーザ出力を得ることができる。

【００１８】なお、レーザ管１１の出力ミラー１８側は
陽極、全反射ミラー１９側は陰極になるが、スライド式
ホルダ３１は絶縁材を使用しているので、スライド式ホ
ルダ３１とスライド用マウントベース３２との接触部分
は、電気的に何ら問題はない。

【００１９】また輸送による衝撃、振動についても、ガ
スレーザ管１１の少なくとも１箇所または１点はベース
プレート１７に対して動かないように固定されているの
で、これも問題はない。

【００２０】図３は本発明による第２の実施例を示す全
反射ミラー側レーザ管固定部分の構造図である。図１は
全体の構造図、図５は出力ミラー側レーザ管固定部分の
構造図である。なお、図１と出力ミラー１８側の固定部
分の構造図である図５は、前記第１の実施例で説明して
おり、また部品１１〜２１も説明済みであり、省略す
る。

【００２１】図１、図３を参照するに、レーザ管１１の
全反射ミラー１９側は、図３に示す構造を有し、ホルダ
（＃１、＃２、＃３、＃４）１２、１３、１４、１５と
前後にスライドするために分割されたスライド式マウン
トベース３３、３４で固定されている。

【００２２】よって、動作時には、レーザ管１１の熱膨
張による前後方向の伸びに対応して、スライド式マウン
トベース３３がスライドするので、前記第１の実施例と
同様に、放電開始時のレーザ出力を大きく改善し、熱的
安定時とほぼ同等のレーザ出力を得ることができる。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
動作時のガスレーザ管自身の熱膨張による主に前後方向
の伸びに対して、少なくとも１箇所または１点は、ベー
スブレートに対して動かないようにホルダおよびマウン
トベースで支持され、他方は前後に移動可能なスライド
式ホルドおよびスライド式マウントベースで支持され構
成したので、ガスレーザ管の熱膨張による応力および応
力によるミラー角度のずれを防止し、放電開始時のレー
ザ出力を改善して、熱的安定時と同等のレーザ出力を得
ることができるという大きな利点が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による第１、第２の実施例を示す全体の
構成図である。

【図２】本発明による第１の実施例におけるレーザ管固
定部分の構造図である。

【図３】本発明による第２の実施例におけるレーザ管固
定部分の構造図である。

【図４】従来技術の全体の構造図である。

【図５】従来技術のレーザ管固定部分の構造図である。

【符号の説明】

１１…ガスレーザ管 １２…ホルダ＃１ １３…ホルダ＃２ １４…ホルダ＃３ １５…ホルダ＃４ １６…マウントベース １７…ベースプレート １８…出力ミラー １９…全反射ミラー ２０…陰極バルブ ２１、２１′…ファン ３１…スライド式ホルダ ３２…スライド用マウントベース ３３、３４…スライド式マウントベース

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガスレーザ管と、該ガスレーザ管を少な
   くとも２箇所以上で支持しベースプレートに固定するた
   めのホルダおよびマウントベースと、前記ガスレーザ管
   を冷却するためのファンとを有する空冷式ガスレーザ発
   振器において、動作時の前記ガスレーザ管自身の熱膨張
   に対して少なくとも１箇所または１点を前記ベースプレ
   ートに対して動かないように前記ホルダおよびマウント
   ベースで支持し、他方を前後に移動可能なスライド式ホ
   ルダおよびスライド式マウントベースで支持する機能を
   備えることを特徴とする空冷式ガスレーザ発振器。