JPS6337679A - 空冷形レ−ザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、空冷形レーサ発振器に関する。より詳細には
、本発明は、特にそのレーサ゛ビームの光輔傾きが安定
している新規な空冷形レーザ発振装置に関する。

従来の技術 第２図は、従来の空冷形アルゴンレーザ発振装置の斗既
略的な構成を示すものである。

第２図に示す従来の空冷形アルゴンレーザ発振装置は、
無調整型アルゴンレーザ管１を有し、このアルゴンレー
ザ管１の細管部分には冷却フィン２が設けられ、その両
側が、細管ホルダ３ａおよび３ｂを介してベースプレー
ト４に支持されている。それらレーザ管１と細管ホルダ
３ａおよび３ｂとを少なくとも収容するようにカバー５
がベースプレート４に取り付けられている。そして、そ
のカバー５には、冷却手段としての冷却ファン６が設け
られ、冷却フィン２を介してレーザ管１を強制冷却する
ようになされている。

発明が解決しようとする問題点 ところで、アルゴンレーザ管１は、主に管内での放電の
ために、その稼働中は数百Ｗに及ぶ熱を発生する。この
熱により、たとえ冷却ファン６により強制空冷されてい
ても、−船釣なアルゴンレーザ管のｈ■造では、熱陰極
に近い方の細管ホルダ、即ち第２図に示したアルゴンレ
ーザ管１では細管ホルダ３ａの方が細管ホルダ３ｂより
温度が高くなる。また、レーザ管１の放電電流を様々に
変化した場合も、細管ホルダ３ａ側の方が温度の変化が
大きい。

一方、この細管ホルダ３ａおよび３ｂは、例えば黄銅の
ような同一の金属材料で作製されていた。

従って、従来のアルゴンレーザ発振装置においては、レ
ーザ管１の動作による温度上昇、あるいは放電電流に変
更に対応する部材の温度変動により、細管ホルダ３ａと
３ｂとは、異なる熱膨張量を呈する。

その結果、ベースプレート３に対するレーザ管１の角度
が変化し、出力ビーム７の光軸の傾きが変化してしまう
という問題点があった。

そこで、本発明は、自己の温度変化によって出力するレ
ーザビームの傾きの変動することない空冷形レーザ発振
装置を提供せんとするものである。

問題点を解決するための手段 即ち、本発明によれば、レーザ管と、ベースプレートと
、該ベースプレートに支持されて前記レーザ管の細管部
の異なる位置をそれぞれ保持する一対の細管ホルダと、
前記レーザ管と前記細管ホルダとを少なくとも収容する
ように前記ベースプレートに対して取りつけられたカバ
ーと、前記レーザ管を冷却する冷却ファンとを備える空
冷形レーザ発振装置でおいて、前記一対の細管ホルダの
、前記レーザ管の発生する熱の影響をより強く受ける位
置にある一方の細管ホルダは、他方の細管ホルダより熱
膨張率の小さい材料によって構成される。

作用 以上の本発明に従う空冷形レーザ発振装置においては、
レーザ管の支持に与かる一対の細管ホルダが互いに異な
る熱膨張率を有する材料によって作製されて、レーザ管
の発熱の影響をより大きく受ける側の細管ホルダを熱膨
張率の低いもので構成されている。このことによって、
レーザ管の発熱あるいは温度変動によって生じる細管ホ
ルダの熱膨張ｌを等しいものとすることができる。

かくして、本発明に従う空冷形レーザ発振装置において
は、レーザ管の発熱による細管ホルダの熱膨張の差が、
細管ホルダ自体によって補償されるので、出力レーザビ
ームの光軸の傾きが変化することがない。

実施例 以下に、添付の図面を参照して本発明をより具体的に詳
述するが、以下に示されるものは本発明の一実施例にす
ぎず、本発明の技術的範囲を何らｉｔｉ’ｌ限するもの
ではない。

第１図は、本発明に従うアルゴンレーザ発振装置の概略
的な構成を示す断面図である。

本発明に従うアルゴンレーザ発振装置は、その機械的な
構成においては、第２図に示した従来のアルゴンレーザ
発振装置と同様のものである。そこで、第２図に示すア
ルゴンレーザ発振装置の構成部材と同様の部材には同じ
参照番号を付して示しである。

すなわち、本発明によるアルゴンレーザ発振装置は、無
調整型アルゴンレーザ管１を有し、このアルゴンレーザ
管ｌの細管部分には冷却フィン２が設けられ、その両側
が、細管ホルダ８ａおよび８ｂを介してベースプレート
４に支持されている。

それらレーザ管１と細管ホルダ８ａおよび８ｂとを少な
くとも収容するようにカバー５がベースプレート４に取
り付けられている。そして、そのカバー５には、冷却手
段としての冷却ファン６が設けられ、冷却フィン２を介
してレーザ管１を強制冷却するようになされている。

かかる構成において、細管ホルダ８ａと８ｂとは、互い
に熱膨張率の異なる材料で作製されている。本実施例に
おいては、熱陰極に近く、レーザ管１の発熱の影響をよ
り強く受ける細管ホルダ８ａを、比較的熱膨張率の小さ
い金属材料、アンバーを用いて作製し、熱陰極から遠く
、レーザ管１の発熱の影響がより小さい細管ホルダ８ｂ
を比較的高い熱膨張率を有する金属材料、黄銅によって
作製した。

レーザ管１を動作させると、細管ホルダはレーザ管１か
ら伝達される熱によって温度が上昇し、細管ホルダ８ａ
は細管ホルダ８ｂよりも温度が高くなる。

しかし、本発明に従うアルゴンレーザ発振装置において
は、細管ホルダ８ａは、低膨張率の金属でできているの
で、その熱膨張による伸びは、細管ホルダ８ｂと同程度
になる。更に、レーザ管１の放電々流が変化し、細管ホ
ルダ部の温度が変化した場合も、その温度変化量は細管
ホルダ８ａが細管ホルダ８ｂより大きいが、細管ホルダ
８ａの熱膨張率は細管ホルダ８ｂより小さいので、細管
ホルダ８ａ１８ｂは同程度に伸びあるいは縮む。

従って、レーザ管自体の傾き変化は、極めて小さく、略
無視し得るまでになった。

発明の効果 以上詳述したように、本発明に従うアルゴンレーザ発振
装置においては、レーザ管を支持する一対の細管ホルダ
ーを、熱膨張率の異なる材料を用いて構成したことによ
り、レーザ管の発熱あるいは放電電流の変化によって、
その出力ビームの角度が変化することがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のアルゴンレーザ発振器の構成を概略的
に示す図であり、 第２図は、従来のアルゴンレーザ管の構成を概略的に示
す図面である。 （主な参照番号） １・・無調整型アルゴンレーザ管 ２・・冷却フィン ３ａ、３ｂ、８ａ、８ｂ・・細管ホルダ４・・ベースプ
レート ５・・カバー ６・・冷却ファン 特許出願人　　日本電気株式会社 代　理　人　　弁理士新居正彦

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ管と、ベースプレートと、該ベースプレートに支
   持されて前記レーザ管の細管部の異なる位置をそれぞれ
   保持する一対の細管ホルダと、前記レーザ管と前記細管
   ホルダとを少なくとも収容するように前記ベースプレー
   トに対して取りつけられたカバーと、前記レーザ管を冷
   却する冷却ファンとを備える空冷形レーザ発振装置でお
   いて、前記一対の細管ホルダの、前記レーザ管の発生す
   る熱の影響をより強く受ける位置にある一方の細管ホル
   ダは、他方の細管ホルダより熱膨張率の小さい材料によ
   って構成されていることを特徴とする空冷形レーザ発振
   装置。