JPS6127693A - 高速軸流形気体レ−ザ発振器 - Google Patents
高速軸流形気体レ−ザ発振器Info
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- JPS6127693A JPS6127693A JP27349584A JP27349584A JPS6127693A JP S6127693 A JPS6127693 A JP S6127693A JP 27349584 A JP27349584 A JP 27349584A JP 27349584 A JP27349584 A JP 27349584A JP S6127693 A JPS6127693 A JP S6127693A
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/705—Beam measuring device
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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- H—ELECTRICITY
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、気体レーザ発振器に係るものであり、ざらに
詳細には、レーザ気体の流れ方向とレーザビームの方向
とが同一な高速軸流形の気体レーザ発振器に関づるもの
である。
詳細には、レーザ気体の流れ方向とレーザビームの方向
とが同一な高速軸流形の気体レーザ発振器に関づるもの
である。
［発明の技術的背狽］
気体レーザ発振器において、レーザの増幅作用を行なう
部分はレーザ管内のプラズマの生じている部分であり、
この部分を多くするためにレーザ管の長さを増大するこ
とによってレーザ出力を大きくできることが知られてい
る。したがって、レーザ出力をより大きくり−るには、
気体レーザ発振器のレーザ管をより長くすれば良いこと
となる。
部分はレーザ管内のプラズマの生じている部分であり、
この部分を多くするためにレーザ管の長さを増大するこ
とによってレーザ出力を大きくできることが知られてい
る。したがって、レーザ出力をより大きくり−るには、
気体レーザ発振器のレーザ管をより長くすれば良いこと
となる。
しかし、レーザ管をあまり長大にすることはスペース的
にも技術的にも問題がある。故に、一般的には、複数本
のレーザ管をＨに平行に配設し、各レーザ管の接続部分
に反射鏡を配設した構成として、全体としてのレーザ管
を長くしている。
にも技術的にも問題がある。故に、一般的には、複数本
のレーザ管をＨに平行に配設し、各レーザ管の接続部分
に反射鏡を配設した構成として、全体としてのレーザ管
を長くしている。
また、気体レーザ発振器においては、レーザ気体を冷却
り”ることにより反転分布が促進され、レーザの発振効
率が白土することが知られている。
り”ることにより反転分布が促進され、レーザの発振効
率が白土することが知られている。
したがって、一般には、レーザ管を冷却したり、または
、熱交換器において冷却されたレーザ気体をレーザ管内
へ高速に流し、放電によって加熱されたレーザ気体を前
記熱交換器へ直ちに還流して再び冷却づることが行なわ
れている。さらに、気体レーザ発振器において効率をよ
くするには、注入電力の効率をよくすることも必要であ
る。
、熱交換器において冷却されたレーザ気体をレーザ管内
へ高速に流し、放電によって加熱されたレーザ気体を前
記熱交換器へ直ちに還流して再び冷却づることが行なわ
れている。さらに、気体レーザ発振器において効率をよ
くするには、注入電力の効率をよくすることも必要であ
る。
［背景技術の問題点］
従来の高速軸流形の気体レーザ発振器は、複数本のレー
ザ管内のレーザ気体を冷却し循環するために、冷却装置
まｌ〔は熱交換器およびブロワ−を備えており、熱交換
器等において冷ｕ１されたレーザ気体はブロワ−によっ
Ｃレーザ管内へ高速で流入され、レーザ管から熱交換器
等へ再び還流するように構成されＣいる。しかし、従来
の気体レーザ発振器においては、複数本のレーザ管から
熱交換器等ヘレーザ気体を還流する気体帰還路の長さが
一定でないので、気体帰還路の抵抗等のために、各レー
ザ管内を流れるレーザ気体の流量がそれぞれ異なり、各
レーザ管内においてレーザ気体の温度上昇が異なるとい
う問題があった。
ザ管内のレーザ気体を冷却し循環するために、冷却装置
まｌ〔は熱交換器およびブロワ−を備えており、熱交換
器等において冷ｕ１されたレーザ気体はブロワ−によっ
Ｃレーザ管内へ高速で流入され、レーザ管から熱交換器
等へ再び還流するように構成されＣいる。しかし、従来
の気体レーザ発振器においては、複数本のレーザ管から
熱交換器等ヘレーザ気体を還流する気体帰還路の長さが
一定でないので、気体帰還路の抵抗等のために、各レー
ザ管内を流れるレーザ気体の流量がそれぞれ異なり、各
レーザ管内においてレーザ気体の温度上昇が異なるとい
う問題があった。
すなわち、レーザ気体の流量が少ないレーザ管において
は、他のレーザ管に比してレーザ気体の温度が高くなり
、反転分布の割合が減少してレーザ出力が低下゛すると
共に、レーザビームのモードにも影響している。したが
って、複数本のレーザ管内を流れるレーザ気体の流量が
それぞれ異なる 、ことは、気体１ノ一ザ発振器の全体
的な出力の低下および出力変動をきたす原因となってい
る。
は、他のレーザ管に比してレーザ気体の温度が高くなり
、反転分布の割合が減少してレーザ出力が低下゛すると
共に、レーザビームのモードにも影響している。したが
って、複数本のレーザ管内を流れるレーザ気体の流量が
それぞれ異なる 、ことは、気体１ノ一ザ発振器の全体
的な出力の低下および出力変動をきたす原因となってい
る。
さらに、気体レーザ発振器にＡ３【）る複数本のレーザ
管から熱交換器等へ還流されるレーザ気体は、レーザ管
内の放電によって電離された状態にあって一種のプラズ
マ状態にある。ために上記レーザ気体は電気の導体とし
て作用することとなり、レーザ管の陰極ど熱交換器等と
の間で、レーザ気体のポンピングには全く寄与しない無
駄な放電が行なわれることがあり、注入電力の損失が大
きなものとなっている。ざらに、上記放電によりレーザ
気体の温度がＪ、り上昇して、熱交換器等へより大ぎな
負荷をかけることになっている。
管から熱交換器等へ還流されるレーザ気体は、レーザ管
内の放電によって電離された状態にあって一種のプラズ
マ状態にある。ために上記レーザ気体は電気の導体とし
て作用することとなり、レーザ管の陰極ど熱交換器等と
の間で、レーザ気体のポンピングには全く寄与しない無
駄な放電が行なわれることがあり、注入電力の損失が大
きなものとなっている。ざらに、上記放電によりレーザ
気体の温度がＪ、り上昇して、熱交換器等へより大ぎな
負荷をかけることになっている。
また、従来の気体レーザ発振器においては、複数本のレ
ーザ管内に配設したそれぞれの陰極の着脱交換が極めて
厄介なものであった。すなわちレーザ管内の放電の安定
やレーザ気体の流れの状態などの条件により、陰極の形
状はリング状であることが要求されている。また陰極と
陰極ホルダーとの間の接触抵抗をより小さくするために
、陰極はレーザ管に嵌合した陰極ボルダ−に焼嵌めされ
ている。しｌζがって、陰極の交換時には陰極ホルダー
ごとレーザ管から取外さなければならないために、レー
ザ管を軸方向にり“らづ必要があるという問題があった
。
ーザ管内に配設したそれぞれの陰極の着脱交換が極めて
厄介なものであった。すなわちレーザ管内の放電の安定
やレーザ気体の流れの状態などの条件により、陰極の形
状はリング状であることが要求されている。また陰極と
陰極ホルダーとの間の接触抵抗をより小さくするために
、陰極はレーザ管に嵌合した陰極ボルダ−に焼嵌めされ
ている。しｌζがって、陰極の交換時には陰極ホルダー
ごとレーザ管から取外さなければならないために、レー
ザ管を軸方向にり“らづ必要があるという問題があった
。
さらに従来の気体レーザ発振器においては、レーザ管を
支持した支持プレートがベースに対して固定的であるた
めに、支持プレート等の熱変形に対して対応が困難であ
る等の問題があった。
支持した支持プレートがベースに対して固定的であるた
めに、支持プレート等の熱変形に対して対応が困難であ
る等の問題があった。
［発明の目的］
本発明の第１の目的は、複数本のレーザ管内のレーザ気
体の流形をほぼ均等にした高速軸流形の気体レーザ発振
器を提供づ−ることである。
体の流形をほぼ均等にした高速軸流形の気体レーザ発振
器を提供づ−ることである。
本発明の第２の目的は、複数本のレーザ管を増減した場
合に、各レーザ管から熱交換器等への気体帰還路の長さ
をほぼ均等に設けることのできる高速軸流形の気体レー
ザ発振器を提供することである。
合に、各レーザ管から熱交換器等への気体帰還路の長さ
をほぼ均等に設けることのできる高速軸流形の気体レー
ザ発振器を提供することである。
本発明の第３の［］的は、複数本のレーザ管の陰極と熱
交換器等との間における放電を抑制して、注入電力の損
失を少なくすると共にレーザ気体の余分な温度１譬を押
え、かつ熱交換器等の余分な負荷を押えることのできる
高速軸流形のレーザ発振器を促イバＪることＣ・ある。
交換器等との間における放電を抑制して、注入電力の損
失を少なくすると共にレーザ気体の余分な温度１譬を押
え、かつ熱交換器等の余分な負荷を押えることのできる
高速軸流形のレーザ発振器を促イバＪることＣ・ある。
本発明の第４の目的は、複数本のレーザ管内の各々の陰
極の着脱交換を、レーザ管を軸方向に移動することなし
に容易に行ない得る高速軸流形のレーザ発振器を提供す
ることである。
極の着脱交換を、レーザ管を軸方向に移動することなし
に容易に行ない得る高速軸流形のレーザ発振器を提供す
ることである。
本発明の第５の目的は、複数本のレーザ管内ヘレーザ気
体を送出Ｊるブロワ−の微動が各レーザ管へ伝達される
ことがなく、しかも各レーザ管とブロワ−どの接続部が
熱変形などに対応し得る高速軸流形の気体レーザ発振器
を提供することである。
体を送出Ｊるブロワ−の微動が各レーザ管へ伝達される
ことがなく、しかも各レーザ管とブロワ−どの接続部が
熱変形などに対応し得る高速軸流形の気体レーザ発振器
を提供することである。
本発明の第６の目的は、複数本のレーザ管の両端部を支
持した支持プレートが各支持プレートを連結したタイロ
ッド等の膨脹収縮に対応して微動し得る高速軸流形の気
体レーザ発振器を提供することである１゜ ［発明の概要コ 上記のごとき目的を達成するために、本発明に係るレー
ザ発振器においては、複数本のレーザ管から熱交換器等
への複数本の気体帰還路の長さをほぼ同一長に設けてあ
り、また各気体帰還路の途中に、電離した状態のレーザ
気体を中和する触媒が設けである。さらに、ブロワ−と
各レーザ管との接続部および各レーザ管と熱交換器との
接続部を、可撓性の継手部材を介して接続してあり、か
つ複数本のレーザ管を支承した支持プレートをタイロッ
ド等の膨脹収縮に対応して微動自在に設けである。また
、各レーザ管内の陰極はホルダによって両側から着脱自
在に挾持固定しである。
持した支持プレートが各支持プレートを連結したタイロ
ッド等の膨脹収縮に対応して微動し得る高速軸流形の気
体レーザ発振器を提供することである１゜ ［発明の概要コ 上記のごとき目的を達成するために、本発明に係るレー
ザ発振器においては、複数本のレーザ管から熱交換器等
への複数本の気体帰還路の長さをほぼ同一長に設けてあ
り、また各気体帰還路の途中に、電離した状態のレーザ
気体を中和する触媒が設けである。さらに、ブロワ−と
各レーザ管との接続部および各レーザ管と熱交換器との
接続部を、可撓性の継手部材を介して接続してあり、か
つ複数本のレーザ管を支承した支持プレートをタイロッ
ド等の膨脹収縮に対応して微動自在に設けである。また
、各レーザ管内の陰極はホルダによって両側から着脱自
在に挾持固定しである。
なお、本発明のその他の諸口的および効果等は、図面を
参照しつつ本発明の好ましい実施例を詳細に説明づるこ
とにより、より明白になるであろう。
参照しつつ本発明の好ましい実施例を詳細に説明づるこ
とにより、より明白になるであろう。
［発明の実施例］
第１図を参照するに、総括的に符号１で示すのは一般的
なレーザ加工機で、レーザ発振器３を備えている。この
レーザ発振器３はレーザ加工機１の方向へレーザじ−ム
ＬＢを発振するように構成してあって、し〜ザ加工機１
の後部側に装着しである。なお、第１図には、レーザ発
振器３をレーザ加工機１に装着した場合を例示するけれ
ども、レーザ発振器３はレーザ加工機に限ることなく、
その他の適宜の装置にも採用可能である。
なレーザ加工機で、レーザ発振器３を備えている。この
レーザ発振器３はレーザ加工機１の方向へレーザじ−ム
ＬＢを発振するように構成してあって、し〜ザ加工機１
の後部側に装着しである。なお、第１図には、レーザ発
振器３をレーザ加工機１に装着した場合を例示するけれ
ども、レーザ発振器３はレーザ加工機に限ることなく、
その他の適宜の装置にも採用可能である。
レーザ加二［装置１は、ベース５、ベース５がら垂直に
立設したボスト７およびベース５の上方に水平にかつ片
持式にボスト７に支承されたオーバーへラドビーム９よ
り慴成しである。ベース５上にはワークノー−プル１１
が備えられており、このワークテーブル１１の上面には
加工すべきシート状のワークピースＷを水平に支持する
多数のスライドボールが回転自在に装着しである。前記
オーバーへラドビーム９の先＠郡には加工ヘッド組立体
１３が装着してあり、この加工ヘッド組立体１３内には
ミラー組立体１５と集光レンズ１７が内装しである。」
−記ミラー組立体１５は、レーザ発振器３から発振され
たレーザビームＬＢをワークピースＷの方向へ反射する
ように構成しである。
立設したボスト７およびベース５の上方に水平にかつ片
持式にボスト７に支承されたオーバーへラドビーム９よ
り慴成しである。ベース５上にはワークノー−プル１１
が備えられており、このワークテーブル１１の上面には
加工すべきシート状のワークピースＷを水平に支持する
多数のスライドボールが回転自在に装着しである。前記
オーバーへラドビーム９の先＠郡には加工ヘッド組立体
１３が装着してあり、この加工ヘッド組立体１３内には
ミラー組立体１５と集光レンズ１７が内装しである。」
−記ミラー組立体１５は、レーザ発振器３から発振され
たレーザビームＬＢをワークピースＷの方向へ反射する
ように構成しである。
集光レンズ１７はレーザビームＬ Ｂを集光し、かつ酸
素のごときアシストガスと共にワークピースＷヘレーザ
ビームＬＢを当てるように配設しである。したがって、
上記構成のレーザ加工機１は、レーザ発振器３からのレ
ーザビームＬＢを受け、加工ヘッド組立体１３内の集光
レンズ１７を介してワークピースＷヘレーザビームＬ
Ｂを当てるよう構成しである。
素のごときアシストガスと共にワークピースＷヘレーザ
ビームＬＢを当てるように配設しである。したがって、
上記構成のレーザ加工機１は、レーザ発振器３からのレ
ーザビームＬＢを受け、加工ヘッド組立体１３内の集光
レンズ１７を介してワークピースＷヘレーザビームＬ
Ｂを当てるよう構成しである。
加工づべきワークピースＷａ′）移動、位置決めを行な
うために、レーザ加工機１は第１キヤリツジ１９を水平
に移動自在に備えると共に、ワークピースＷをクランプ
するｌこめの複数のクランプ装置２３を保持した第２キ
ヤリツジ２１を備えている。
うために、レーザ加工機１は第１キヤリツジ１９を水平
に移動自在に備えると共に、ワークピースＷをクランプ
するｌこめの複数のクランプ装置２３を保持した第２キ
ヤリツジ２１を備えている。
第１キヤリツジ１９はベース５の上部両側に互に平行に
取（ｄりだ一対のレール２５に移動自在に支承されてお
り、駆動時における加工ヘッド組立体１３の直下の加工
領域に対し接近離反自在である。
取（ｄりだ一対のレール２５に移動自在に支承されてお
り、駆動時における加工ヘッド組立体１３の直下の加工
領域に対し接近離反自在である。
クランプ装置２３を保持した第２キヤリツジ２１は第１
キヤリツジ１９」−に摺動自在に支承されており、前記
レール２５に対し直交する方向へ駆動によって水イ］ｌ
に移動自在である。したがってクランプ装置２３に把持
されたワークピースＷは、第１、第２のキャリッジ１’
９．２１の移動によりワークテーブル１１上において加
工ヘッド組立体１３の下方へ移送できるものである。
キヤリツジ１９」−に摺動自在に支承されており、前記
レール２５に対し直交する方向へ駆動によって水イ］ｌ
に移動自在である。したがってクランプ装置２３に把持
されたワークピースＷは、第１、第２のキャリッジ１’
９．２１の移動によりワークテーブル１１上において加
工ヘッド組立体１３の下方へ移送できるものである。
上記構成において、第１、第２キヤリツジ１９゜２１に
よりワークピースＷをワークテーブル１１上において加
工ヘッド組立体１３の直下に位置することにより、ワー
クピースＷはレーザビームしＢによって加工される。勿
論、レーザ発振器３により発せられたレーザビームしＢ
は、加工ヘッド組立体１３へ与えられ、矢印で示すよう
にミラー組立体１５によって下方向へ指向される。そし
て、集光レンズ１７により集光された後にワークピース
Ｗへ酸素のごときアシストガスと共に当てられる。
よりワークピースＷをワークテーブル１１上において加
工ヘッド組立体１３の直下に位置することにより、ワー
クピースＷはレーザビームしＢによって加工される。勿
論、レーザ発振器３により発せられたレーザビームしＢ
は、加工ヘッド組立体１３へ与えられ、矢印で示すよう
にミラー組立体１５によって下方向へ指向される。そし
て、集光レンズ１７により集光された後にワークピース
Ｗへ酸素のごときアシストガスと共に当てられる。
第２図〜第５図を参照するに、前記レーザ発振器３は、
全体を支持する支持架台２７と、支持架台２７上に支持
されたレーザ発振部２９と、レーザ発振部２９における
ミラー調整や前記レーザ加工ｔｌ！１１の光学系の調整
に使用する調整アタッチメント部３１′８よりなる。”
ｌ−’＋ｉわら、上記支持架台２７は複数本の角バイブ
材を長方形状に枠組してなり、この支持架台２７の左右
両側部に立設した箱状の支持台３３Ａ、３３Ｂに前記レ
ーザ発振部２９が支持されている。前記調整アタッチメ
ン１〜部３１は、レーザ発振部２９の出力側におい゛Ｃ
適宜一方の支持台３３Ａに装着しである。
全体を支持する支持架台２７と、支持架台２７上に支持
されたレーザ発振部２９と、レーザ発振部２９における
ミラー調整や前記レーザ加工ｔｌ！１１の光学系の調整
に使用する調整アタッチメント部３１′８よりなる。”
ｌ−’＋ｉわら、上記支持架台２７は複数本の角バイブ
材を長方形状に枠組してなり、この支持架台２７の左右
両側部に立設した箱状の支持台３３Ａ、３３Ｂに前記レ
ーザ発振部２９が支持されている。前記調整アタッチメ
ン１〜部３１は、レーザ発振部２９の出力側におい゛Ｃ
適宜一方の支持台３３Ａに装着しである。
特に第５図より理解されるように、レーザ発振器３全体
を保護するために、前記支持架台２７にはレーザ発振部
２９や調整アタッチメント部３１等の全体を覆う保護カ
バー３５が設けである。前記レーザ発振部２９や調整ア
タッチメント部３１等の保守管理を容易に行ない得るよ
うに、保護カバー３５におけるフロントカバー３５Ｆと
リアカバー３５Ｒは、ヒンジ部３７を介して上部カバー
３５Ｕに開閉自在に枢支しである。また、保護カバ−３
５内部を冷却するために、上記フロントカバー３５Ｆと
リアカバー３５Ｒの複数箇所には送風ファンを備えた補
助熱交換器３９が装着してあり、さらに適数箇所にはア
クリル板等を設【プた透明窓４１が設（）である。した
がって保護カバー３５内の空気は複数の補助熱交換器３
９によって常に冷却循環されており、かつ透明窓４１か
ら内部を観察し得る一ｂのである。
を保護するために、前記支持架台２７にはレーザ発振部
２９や調整アタッチメント部３１等の全体を覆う保護カ
バー３５が設けである。前記レーザ発振部２９や調整ア
タッチメント部３１等の保守管理を容易に行ない得るよ
うに、保護カバー３５におけるフロントカバー３５Ｆと
リアカバー３５Ｒは、ヒンジ部３７を介して上部カバー
３５Ｕに開閉自在に枢支しである。また、保護カバ−３
５内部を冷却するために、上記フロントカバー３５Ｆと
リアカバー３５Ｒの複数箇所には送風ファンを備えた補
助熱交換器３９が装着してあり、さらに適数箇所にはア
クリル板等を設【プた透明窓４１が設（）である。した
がって保護カバー３５内の空気は複数の補助熱交換器３
９によって常に冷却循環されており、かつ透明窓４１か
ら内部を観察し得る一ｂのである。
第２図より明らかなように、前記レーザ発振部２９から
還流される１−１ｅ、Ｎ２ 、ＣＯ２の混合気体よりな
るレーザ気体を冷却するために、前記支持架台２７の中
央部には比較的大きな主熱交換器４３が設けられている
。この主熱交換器４３は、冷却水等の冷媒を流入する屈
曲管を備えると共に多数の冷７Ｊ］フイン等を備えてな
るものである。上記主熱交換器４３の保守が容易に行な
い得るように、主熱交換器４３における底板４５はヒン
ジビン４７を介して支持架台２７に下方向へ開閉可能に
枢着しである。したがって、主熱交換器４３の保守管理
が容易なものである。
還流される１−１ｅ、Ｎ２ 、ＣＯ２の混合気体よりな
るレーザ気体を冷却するために、前記支持架台２７の中
央部には比較的大きな主熱交換器４３が設けられている
。この主熱交換器４３は、冷却水等の冷媒を流入する屈
曲管を備えると共に多数の冷７Ｊ］フイン等を備えてな
るものである。上記主熱交換器４３の保守が容易に行な
い得るように、主熱交換器４３における底板４５はヒン
ジビン４７を介して支持架台２７に下方向へ開閉可能に
枢着しである。したがって、主熱交換器４３の保守管理
が容易なものである。
前記レーザ発振部２９は、励起光の共振、増幅を行なう
ための複数本のレーザ管４９Ａ、４９Ｂを並設してなり
、各レーザ管４９Ａ、４９Ｂは左右方向に延伸しており
、その両端部は前記支持台３３Ａ、３３Ｂに支持された
垂直な支持プレート５１Ａ、５１Ｂに支持されている。
ための複数本のレーザ管４９Ａ、４９Ｂを並設してなり
、各レーザ管４９Ａ、４９Ｂは左右方向に延伸しており
、その両端部は前記支持台３３Ａ、３３Ｂに支持された
垂直な支持プレート５１Ａ、５１Ｂに支持されている。
上記支持プレート５１Ａ、５１Ｂはレーザ管４９Ａ、４
９Ｂの延伸方向に対して直交する前後方向に延伸してあ
り、各支持プレート５１Ａ、５１Ｂは上下にそれぞれ配
設した複数本のタイロッド５３によって一体的に連結し
である。
９Ｂの延伸方向に対して直交する前後方向に延伸してあ
り、各支持プレート５１Ａ、５１Ｂは上下にそれぞれ配
設した複数本のタイロッド５３によって一体的に連結し
である。
前記保護カバー３５内の温度変化による支持プレート５
１Ａ、５１Ｂやタイロッド５３等の熱変形に対応するた
めに、支持プレート５１Ａ、５１Ｂは支持台３３Δ、３
３Ｂに対して微動できるようになっている。すなわら、
第６図に最も良く示されるように、一方の支持プレート
５１Ａの一端部付近に螺着垂設した調節螺子５５は球面
座装置５７を介して支持台３３Δに回動傾斜自在に支承
されている。また、支持プレート５１Ａの他端部付近は
、支持台３３Ａに設けたガイド部材５９にスライドブロ
ック６１を介して支持プレー１−５１Ａの長手方向へ移
動可能に支承されている。そして支持プレート５１Ａの
中部付近と支持台３３Ａとは可撓性を有する細いスタッ
ドボルト６３によって連結しである。また、他方の支持
プレート５１Ｂは、第２図に示されるように、支持台３
３Ｂ上に固定したガイド部材６５にスライドブロック６
７を介して左右方向へ移動可能に支承されている。
１Ａ、５１Ｂやタイロッド５３等の熱変形に対応するた
めに、支持プレート５１Ａ、５１Ｂは支持台３３Δ、３
３Ｂに対して微動できるようになっている。すなわら、
第６図に最も良く示されるように、一方の支持プレート
５１Ａの一端部付近に螺着垂設した調節螺子５５は球面
座装置５７を介して支持台３３Δに回動傾斜自在に支承
されている。また、支持プレート５１Ａの他端部付近は
、支持台３３Ａに設けたガイド部材５９にスライドブロ
ック６１を介して支持プレー１−５１Ａの長手方向へ移
動可能に支承されている。そして支持プレート５１Ａの
中部付近と支持台３３Ａとは可撓性を有する細いスタッ
ドボルト６３によって連結しである。また、他方の支持
プレート５１Ｂは、第２図に示されるように、支持台３
３Ｂ上に固定したガイド部材６５にスライドブロック６
７を介して左右方向へ移動可能に支承されている。
上記構成により、タイロッド５３の長手方向の熱変形に
対しては支持プレート５１Ｂが同方向へ微動することに
より吸収し、また、支持プレート５１Ａの長手方向への
熱変形や全体としての微少な回動等は、球面座装置５７
やガイド部材５９等の部分で吸収できる。したがって、
レーザ管４９Ａ、４９Ｂの両端部を支持した支持プレー
ト５１Ａ、５１Ｂが大きな熱変形を生じるようなことが
なく、精度維持がより向−卜する。
対しては支持プレート５１Ｂが同方向へ微動することに
より吸収し、また、支持プレート５１Ａの長手方向への
熱変形や全体としての微少な回動等は、球面座装置５７
やガイド部材５９等の部分で吸収できる。したがって、
レーザ管４９Ａ、４９Ｂの両端部を支持した支持プレー
ト５１Ａ、５１Ｂが大きな熱変形を生じるようなことが
なく、精度維持がより向−卜する。
再び第２図〜第５図を参照″りるに、各レーザ管４９Ａ
、４９Ｂ内ヘレーザ気体を供給するために、各レーザ管
４９Ａ、４９Ｂは気体循環駆動装置６９と接続してあり
、かつレーザ管４９Ａ、４９Ｂ内の放電によって加熱さ
れたレーザ気体を冷却するために、各レーザ管４９Ａ、
４９Ｂは前記主熱交換器４３と接続しである。づ“なわ
ち、気体循環駆動装置６９は、主熱交換器４３内の冷却
されたレーザ気体を吸引して各レーザ管４９Ａ、４９Ｂ
へ供給するもので、例えばルーツブロワ等よりなるもの
で、複数の防振ゴム７１を介して主熱交換器４３の上面
に支承されている。
、４９Ｂ内ヘレーザ気体を供給するために、各レーザ管
４９Ａ、４９Ｂは気体循環駆動装置６９と接続してあり
、かつレーザ管４９Ａ、４９Ｂ内の放電によって加熱さ
れたレーザ気体を冷却するために、各レーザ管４９Ａ、
４９Ｂは前記主熱交換器４３と接続しである。づ“なわ
ち、気体循環駆動装置６９は、主熱交換器４３内の冷却
されたレーザ気体を吸引して各レーザ管４９Ａ、４９Ｂ
へ供給するもので、例えばルーツブロワ等よりなるもの
で、複数の防振ゴム７１を介して主熱交換器４３の上面
に支承されている。
上記気体循環駆動装置６９の上部には、気体循環駆動装
置６９によりレーザ気体に受与された熱を除去して、レ
ーザ管４９Ａ、４９．Ｂへ供給するレーザ気体をより確
実に冷却するための回熱交換器７３が設けである。回熱
交換器７３は、例えば水冷式の熱交換器よりなるもので
箱状に形成してあり、その上面には複数の接続管７５が
垂直に取付けであると共に、レーザ管を増加した場合に
対応し得るように設けた複数の孔に円板状の蓋７７がし
である。また、回熱交換器７３の両側面には複数の連通
管７９０基部が水平に接続しであると共に、レーザ管の
増加に対応し得るように複数の孔に蓋８１が取イ］けで
ある。上記各連通管７９の先端部は各レーデ管４９Ａ、
４９Ｂの両端部付近へ延伸しており、その先端部付近は
防振ゴム８３を介して前記支持台３３．Ａ、３３Ｂに取
付【プた支持ブロック８５に支持されている。したがっ
て、気体循環駆動装置６９の振動が支持架台２７や支持
台３３Ａ、３３Ｂへ伝達されるようなことがない。
置６９によりレーザ気体に受与された熱を除去して、レ
ーザ管４９Ａ、４９．Ｂへ供給するレーザ気体をより確
実に冷却するための回熱交換器７３が設けである。回熱
交換器７３は、例えば水冷式の熱交換器よりなるもので
箱状に形成してあり、その上面には複数の接続管７５が
垂直に取付けであると共に、レーザ管を増加した場合に
対応し得るように設けた複数の孔に円板状の蓋７７がし
である。また、回熱交換器７３の両側面には複数の連通
管７９０基部が水平に接続しであると共に、レーザ管の
増加に対応し得るように複数の孔に蓋８１が取イ］けで
ある。上記各連通管７９の先端部は各レーデ管４９Ａ、
４９Ｂの両端部付近へ延伸しており、その先端部付近は
防振ゴム８３を介して前記支持台３３．Ａ、３３Ｂに取
付【プた支持ブロック８５に支持されている。したがっ
て、気体循環駆動装置６９の振動が支持架台２７や支持
台３３Ａ、３３Ｂへ伝達されるようなことがない。
前記気体循環駆動装置６９から送出されるレーザ気体を
レーザ管４９Ａ、４９Ｂへ供給するために、前記各接続
管７５はレーザ管４９Ａ、４９Ｂの中央部付近に接続し
てあり、各連通管７９の先端部は垂直に設けた接続管８
７を介してレーザ管４９Ａ、４９Ｂの両端部付近に接続
しである。より詳細には、前記各レーザ管４９Ａ、４９
Ｂは、中央管体８９と両側の端部管体９１．９ａとに３
分割してあり、接続管７５は中央管体８９に、また連通
管７９はそれぞれ端部管体９１’、９３にシリコンゴム
等よりなる円筒形状の可撓性の継手部材９５を介してそ
れぞれ接続しである。したがって、気体循環駆動装置６
９の振動がレーザ管４９Ａ、４９Ｂに伝達されるような
ことがないと共に各接続管７５．８７とレーザ管４９Ａ
、４９Ｂとのあらゆる方向への微小な位置ずれを吸収し
得るものである。
レーザ管４９Ａ、４９Ｂへ供給するために、前記各接続
管７５はレーザ管４９Ａ、４９Ｂの中央部付近に接続し
てあり、各連通管７９の先端部は垂直に設けた接続管８
７を介してレーザ管４９Ａ、４９Ｂの両端部付近に接続
しである。より詳細には、前記各レーザ管４９Ａ、４９
Ｂは、中央管体８９と両側の端部管体９１．９ａとに３
分割してあり、接続管７５は中央管体８９に、また連通
管７９はそれぞれ端部管体９１’、９３にシリコンゴム
等よりなる円筒形状の可撓性の継手部材９５を介してそ
れぞれ接続しである。したがって、気体循環駆動装置６
９の振動がレーザ管４９Ａ、４９Ｂに伝達されるような
ことがないと共に各接続管７５．８７とレーザ管４９Ａ
、４９Ｂとのあらゆる方向への微小な位置ずれを吸収し
得るものである。
レーザ管４９Ａ、４９Ｂ内において放電を生じせしめる
ために、レーザ管４９Ａ、４９Ｂの複数箇所には対をな
す陽極と陰極が配設してあり、かつ放電によって加熱さ
れＩζレーザ管４９Ａ、４９Ｂ内のレーザ気体を冷７Ｊ
］づ−るために、各レーザ管４９Ａ、４９Ｂは前記主熱
交換器４３と接続しである。づ”なりら、前記各継手部
材９５内には、後述するようにそれぞれ陽極が配設して
あり、レーザ管４９Ａ、４９Ｂにおりる中央管体８９と
両側の端部管体９１．９３との間には、下端部を蛇腹を
介して主熱交換器４３に接続し上端部を丁字形に形成し
た気体帰還路９７が複数の陰極組立体９９を介して接続
しである。したがって、気体循環駆動装置６９から側熱
交換器７３を経てレーザ管４９Ａ、４９Ｂへ供給された
レーザ気体は、気体帰還路９７を経て主熱交換器４３へ
流入し、眼部において冷却された後、気体循環駆動装置
６９へ吸入され、側熱交換器７３においてより確実に冷
却されて再びレーザ管／１９Ａ、−４９Ｂへ供給される
ものである。
ために、レーザ管４９Ａ、４９Ｂの複数箇所には対をな
す陽極と陰極が配設してあり、かつ放電によって加熱さ
れＩζレーザ管４９Ａ、４９Ｂ内のレーザ気体を冷７Ｊ
］づ−るために、各レーザ管４９Ａ、４９Ｂは前記主熱
交換器４３と接続しである。づ”なりら、前記各継手部
材９５内には、後述するようにそれぞれ陽極が配設して
あり、レーザ管４９Ａ、４９Ｂにおりる中央管体８９と
両側の端部管体９１．９３との間には、下端部を蛇腹を
介して主熱交換器４３に接続し上端部を丁字形に形成し
た気体帰還路９７が複数の陰極組立体９９を介して接続
しである。したがって、気体循環駆動装置６９から側熱
交換器７３を経てレーザ管４９Ａ、４９Ｂへ供給された
レーザ気体は、気体帰還路９７を経て主熱交換器４３へ
流入し、眼部において冷却された後、気体循環駆動装置
６９へ吸入され、側熱交換器７３においてより確実に冷
却されて再びレーザ管／１９Ａ、−４９Ｂへ供給される
ものである。
第７図を参照するに、レーザ管４９Ａ、４９Ｂにおける
端部管体９１の端部は円筒形状の端部ホルダ１０１を介
して支持プレート５１Ａに支持されており、端部イ」近
には下方向へ突出した円筒形状の突出部９１Ｐが形成し
である。この突出部９１Ｐに前記継手部材９５が嵌合し
てあり、この突出部９１Ｐの内部には釘状の陽極１０３
を保持した円筒状の陽極ボルダ１０５が嵌入しである。
端部管体９１の端部は円筒形状の端部ホルダ１０１を介
して支持プレート５１Ａに支持されており、端部イ」近
には下方向へ突出した円筒形状の突出部９１Ｐが形成し
である。この突出部９１Ｐに前記継手部材９５が嵌合し
てあり、この突出部９１Ｐの内部には釘状の陽極１０３
を保持した円筒状の陽極ボルダ１０５が嵌入しである。
陽極ホルダ１０５には陽極１０３を囲繞した絶縁性の保
護筒１０７が螺着してあり、陽極１０３の上端部は保ｙ
！簡１０７の上端部に臨ませである。上記突出部９１Ｐ
と対向して継手部材９５に下方から嵌入した接続管８７
の上端部には環状のスプリング座１０９が取付けてあり
、このスプリング座１０９と陽極ボルダ１０５どの間に
は導電性のコイル１１１が弾装しである。
護筒１０７が螺着してあり、陽極１０３の上端部は保ｙ
！簡１０７の上端部に臨ませである。上記突出部９１Ｐ
と対向して継手部材９５に下方から嵌入した接続管８７
の上端部には環状のスプリング座１０９が取付けてあり
、このスプリング座１０９と陽極ボルダ１０５どの間に
は導電性のコイル１１１が弾装しである。
上記構成により、端部管体９１と接続＠８７との位置ず
れ等を吸収ザることができ、かつ気体循環駆動装置６９
の振動をレー］ア管４９Ａ、４９Ｂに伝達するようなこ
とがないものである。
れ等を吸収ザることができ、かつ気体循環駆動装置６９
の振動をレー］ア管４９Ａ、４９Ｂに伝達するようなこ
とがないものである。
なお、レーザ管４９Δ、４９Ｂにおける端部管体９３は
、端部管体９１と同様の構成によって支持プレート５１
Ｂに支持されているものであり、また各継手部材９５の
部分の接続構造は前述の構造と同様であるから、各部の
説明は省略する。
、端部管体９１と同様の構成によって支持プレート５１
Ｂに支持されているものであり、また各継手部材９５の
部分の接続構造は前述の構造と同様であるから、各部の
説明は省略する。
再び参照する第２図〜第５図より明らかなように、前記
陰極組立体９９は、左右の支持プレート５１Ａ、５１Ｂ
を連結したタイロッド５３に支承されたホルダプレート
１１３に支持されている。
陰極組立体９９は、左右の支持プレート５１Ａ、５１Ｂ
を連結したタイロッド５３に支承されたホルダプレート
１１３に支持されている。
すなわち、７１＼ルダプレート１１３にはレーザ管の増
加に対応Ｊべく複数の支持孔１１３Ｈが穿設してあり、
陰極組立体９９は必要なだけ支持孔１１３Ｈに嵌入支持
されているものである。
加に対応Ｊべく複数の支持孔１１３Ｈが穿設してあり、
陰極組立体９９は必要なだけ支持孔１１３Ｈに嵌入支持
されているものである。
第８図に最もよく示されているように、陰極組立体９９
は、リング状の陰極１１５の着脱交換を極めて容易に行
ない得るように構成しである。すなわち、陰極１１５の
両側には、レーザ管４９Ａ。
は、リング状の陰極１１５の着脱交換を極めて容易に行
ない得るように構成しである。すなわち、陰極１１５の
両側には、レーザ管４９Ａ。
４９Ｂにお１ノる端部管体９１を嵌入した第１ホルダリ
ング１１７と気体帰還路９７の上部一端を嵌入した第２
小ルダリング１１９が配置してあり、陰極１１５ど両ホ
ルダリング１１７，１１９は、接触抵抗を小さくするた
めに、複数のボルト１２１によって互に強固に密着しで
ある。また両ホルダリング１１’７．１１９の側部には
０リング１２３を保持づ°るシールリング１２５がそれ
ぞれ複数のポル１〜１２７によって取付【ノである。し
たがって、ポル１〜１２７，１２１を取り外すことによ
り陰極１１５の着脱交換を容易に行なわれ得る。
ング１１７と気体帰還路９７の上部一端を嵌入した第２
小ルダリング１１９が配置してあり、陰極１１５ど両ホ
ルダリング１１７，１１９は、接触抵抗を小さくするた
めに、複数のボルト１２１によって互に強固に密着しで
ある。また両ホルダリング１１’７．１１９の側部には
０リング１２３を保持づ°るシールリング１２５がそれ
ぞれ複数のポル１〜１２７によって取付【ノである。し
たがって、ポル１〜１２７，１２１を取り外すことによ
り陰極１１５の着脱交換を容易に行なわれ得る。
既に明らかなように、レーザ管４９Ａ、４９Ｂ内には、
りＪ ／！：＜’ｒリー陽極１０３と陰極１１５による
放電区域が複数箇所設（プてあり、放電によって加熱さ
れたレーザ管４９Ａ、４９Ｂ内のレーザ気体は前述の各
気体帰）至路９７を経て主熱交換器４３へ還流される。
りＪ ／！：＜’ｒリー陽極１０３と陰極１１５による
放電区域が複数箇所設（プてあり、放電によって加熱さ
れたレーザ管４９Ａ、４９Ｂ内のレーザ気体は前述の各
気体帰）至路９７を経て主熱交換器４３へ還流される。
レーザ管を増加した場合であっても、各レーザ管４９Ａ
、４９Ｂ内のレーザ気体の流量がほぼ均一であるように
、各気体帰還路９７の長さはそれぞれほぼ同長に設（プ
である。さらに、レーザ管４９Ａ、４．９Ｂ内の放電に
より電離した状態のレーザ気体を中和するために、各気
体帰還路９７の途中には適宜の触媒が設けである。す」
蒙わち、各気体帰還路９７の途中には拡大部１２９が形
成してあり、この拡大部１２９内には、例えば白金を担
持したハニカム形状の活性アルミナ触媒が内装しである
。
、４９Ｂ内のレーザ気体の流量がほぼ均一であるように
、各気体帰還路９７の長さはそれぞれほぼ同長に設（プ
である。さらに、レーザ管４９Ａ、４．９Ｂ内の放電に
より電離した状態のレーザ気体を中和するために、各気
体帰還路９７の途中には適宜の触媒が設けである。す」
蒙わち、各気体帰還路９７の途中には拡大部１２９が形
成してあり、この拡大部１２９内には、例えば白金を担
持したハニカム形状の活性アルミナ触媒が内装しである
。
上記構成により、各気体帰還路９７内の触媒はレーザ気
体によって加温されて触媒作用の効率が向上し、かつ触
媒の部分を通過するレーナ気体は触媒の作用によって中
和され、中性となって主熱交換器４３へ流入する。した
がって、陰極１１５と主熱交換器４３との間において生
じる傾向にある無駄な放電が抑制され、注入電力の効率
がより向上する。
体によって加温されて触媒作用の効率が向上し、かつ触
媒の部分を通過するレーナ気体は触媒の作用によって中
和され、中性となって主熱交換器４３へ流入する。した
がって、陰極１１５と主熱交換器４３との間において生
じる傾向にある無駄な放電が抑制され、注入電力の効率
がより向上する。
前記レーザ管４９Ａ、４９Ｂ内の放電により励起された
励起光を共振増幅するために、出力ミラー組立体１３１
とリアミラー組立体１３５が設けである。ψなわち、レ
ーザ管４９Ａの一端部側には出力ミラーを内装した出力
ミラー組立体１３１が設りてあり、レーザ恒４９ Ｂの
一端部側には適宜の出力検出用センサー１３３を備えか
つ反射鏡を内装しＩこりアミラー組立体１３５が設けで
ある。
励起光を共振増幅するために、出力ミラー組立体１３１
とリアミラー組立体１３５が設けである。ψなわち、レ
ーザ管４９Ａの一端部側には出力ミラーを内装した出力
ミラー組立体１３１が設りてあり、レーザ恒４９ Ｂの
一端部側には適宜の出力検出用センサー１３３を備えか
つ反射鏡を内装しＩこりアミラー組立体１３５が設けで
ある。
そして、レーザ管４９△、４９Ｂの他端部には励起光を
９０’屈曲ザるペンドミラー組立体１３７がそれぞれ対
向して設けである。上記出力ミラー組立体１３１とリア
ミラー組立体１３５はそれぞれ蛇腹を介して支持プレー
ト５１Ａに姿勢調節自在に装置してあり、各ベントミラ
ー組立体１３７は蛇腹を介して支持プレート５１Ｂに姿
勢調節自在に装置１）であると共に、蛇腹を介して互に
接続しである。
９０’屈曲ザるペンドミラー組立体１３７がそれぞれ対
向して設けである。上記出力ミラー組立体１３１とリア
ミラー組立体１３５はそれぞれ蛇腹を介して支持プレー
ト５１Ａに姿勢調節自在に装置してあり、各ベントミラ
ー組立体１３７は蛇腹を介して支持プレート５１Ｂに姿
勢調節自在に装置１）であると共に、蛇腹を介して互に
接続しである。
再び第７図を参照するに、出力ミラー組立体１３１の姿
勢を制御づ”るために、出力ミラー組立体１３１には適
宜の７ランジ１３１Ｆが設けてあり、このフランジ１３
１Ｆの複数箇所を貫通した複数の調節螺子１３９と支持
プレート５１Ａを肖通した複数の調節螺子１４１との間
にはテンションスプリング１４３がそれぞれ張設しであ
る。さらに前記７ランジ１３１の複数箇所にはマイクロ
メータ１４５が装着してあり、各マイクロメータ１４５
の各スピンドル１４５Ｓは支持プレート５１Ａに螺着固
定した複数の台座ブロック１４７に当接しである。
勢を制御づ”るために、出力ミラー組立体１３１には適
宜の７ランジ１３１Ｆが設けてあり、このフランジ１３
１Ｆの複数箇所を貫通した複数の調節螺子１３９と支持
プレート５１Ａを肖通した複数の調節螺子１４１との間
にはテンションスプリング１４３がそれぞれ張設しであ
る。さらに前記７ランジ１３１の複数箇所にはマイクロ
メータ１４５が装着してあり、各マイクロメータ１４５
の各スピンドル１４５Ｓは支持プレート５１Ａに螺着固
定した複数の台座ブロック１４７に当接しである。
上記構成により、出力ミラー組立体１３１は複数のテン
ションスプリング１４３の作用によって常に支持プレー
ト５１Ａ側へ付勢された状態にあって、各マイクロメー
タ１４５の各スピンドル１４５８が各台座ブロック１４
７に当接しているので、各マイクロメータ１４５を適宜
に操作することにより、出力ミラー組立体１３１の姿勢
を調節でき、内部に備えたミラーの角度を微調整できる
。
ションスプリング１４３の作用によって常に支持プレー
ト５１Ａ側へ付勢された状態にあって、各マイクロメー
タ１４５の各スピンドル１４５８が各台座ブロック１４
７に当接しているので、各マイクロメータ１４５を適宜
に操作することにより、出力ミラー組立体１３１の姿勢
を調節でき、内部に備えたミラーの角度を微調整できる
。
前記リアミラー組立体１３５およびペンドミラー組立体
１３７は、出力ミラー組立体１３１の取付構造と同一の
構成でもって支持プレート５１Ａ。
１３７は、出力ミラー組立体１３１の取付構造と同一の
構成でもって支持プレート５１Ａ。
５１Ｂに取付けてあり、レーザ管を増加するような場合
には、レーザ管の増加に応じてそれぞれ取付は位置を任
意に変えることができるように互換性を有するしのであ
る。
には、レーザ管の増加に応じてそれぞれ取付は位置を任
意に変えることができるように互換性を有するしのであ
る。
再度第２図〜第４図を参照するに、前記アタッチメント
部３１はＨｅ−Ｎｅレーザ発振器１４９゛とプリズム［
１１５１とビームダンパー１５３等より構成しである。
部３１はＨｅ−Ｎｅレーザ発振器１４９゛とプリズム［
１１５１とビームダンパー１５３等より構成しである。
Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器１４９は、前記レーザ発振部２
９における出力ミラー組立体１３１ 、リアミラー組立
体１３５およびペンドミラー組立体１３７等のミラー調
整や前記レーザ加工機１における光学系の調整時に使用
するもので、第２図より明らかなように、支持台３３Ａ
に取イｄＩすた支持ブラケット１５５に垂直に装着しで
ある。プリズム装置１５１は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器
１４９からのレーザビームを前記レーザ発振部２９にお
けるレーナ管４９Ａ、４９Ｂ内へ或いはレーザ如月１方
向へ選択的に屈曲する作用をなりもので、本実施例にお
いてはＨｅ −Ｎｅレーザ光振器１４９からのレーザビ
ームとレーザ発振部２９からのレーザビームＬＢとの交
点位置に対して進退自在に配置しである。前記ビームダ
ンパー１５３はレーザ発振部２９における出力ミラー組
立体１３１から出力されるレーザビームＬＢを遮断自在
なものであり、出力ミラー組立体１３１とプリズム装置
１５１との間においてレーザビームＬＢの通路に対して
進退自在に設けである。
９における出力ミラー組立体１３１ 、リアミラー組立
体１３５およびペンドミラー組立体１３７等のミラー調
整や前記レーザ加工機１における光学系の調整時に使用
するもので、第２図より明らかなように、支持台３３Ａ
に取イｄＩすた支持ブラケット１５５に垂直に装着しで
ある。プリズム装置１５１は、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器
１４９からのレーザビームを前記レーザ発振部２９にお
けるレーナ管４９Ａ、４９Ｂ内へ或いはレーザ如月１方
向へ選択的に屈曲する作用をなりもので、本実施例にお
いてはＨｅ −Ｎｅレーザ光振器１４９からのレーザビ
ームとレーザ発振部２９からのレーザビームＬＢとの交
点位置に対して進退自在に配置しである。前記ビームダ
ンパー１５３はレーザ発振部２９における出力ミラー組
立体１３１から出力されるレーザビームＬＢを遮断自在
なものであり、出力ミラー組立体１３１とプリズム装置
１５１との間においてレーザビームＬＢの通路に対して
進退自在に設けである。
［発明の効果１
以上のごどき説明により既に明らかなように、本発明に
よれば平行に設けた複数本のレーザ管から主熱交換器へ
の各気体帰還路の長さがそれぞれほぼ等しいものである
から、各レーザ管内のレーザ気体の流量をほぼ′８量に
維持゛することかでき、各レーザ管内におけるレーザ気
体の温度上昇をほぼ均一に保持して、安定したレーザ出
力を得ることができる。
よれば平行に設けた複数本のレーザ管から主熱交換器へ
の各気体帰還路の長さがそれぞれほぼ等しいものである
から、各レーザ管内のレーザ気体の流量をほぼ′８量に
維持゛することかでき、各レーザ管内におけるレーザ気
体の温度上昇をほぼ均一に保持して、安定したレーザ出
力を得ることができる。
また、各気体帰還路には放電によって電離した状態のレ
ーザ気体を中和するだめの触媒が設けられているので、
主熱交換器へ還流されるレーザ気体は中和されることな
り、陰極と主熱交換器との間で放電を生じるようなこと
がなく、注入電力の効率がより向上する。
ーザ気体を中和するだめの触媒が設けられているので、
主熱交換器へ還流されるレーザ気体は中和されることな
り、陰極と主熱交換器との間で放電を生じるようなこと
がなく、注入電力の効率がより向上する。
さらに、本発明によれば、前述したように陰極の着脱交
換が容易に行なわれ得るとともに、レーザ管を支持した
支持プレート等の膨脹収縮等に対しても対応でさ、かつ
ブロワ等の振動がレーザ管へ伝達されるようなことがな
く、精度維持が良好に行なわれ１５する。
換が容易に行なわれ得るとともに、レーザ管を支持した
支持プレート等の膨脹収縮等に対しても対応でさ、かつ
ブロワ等の振動がレーザ管へ伝達されるようなことがな
く、精度維持が良好に行なわれ１５する。
第１図は本発明に係るレーザ発振器を備えてなるレーザ
加工機を示す正面図である。 第２図は本発明に係るレーザ発振器の正面図、第３図は
同上の平面図、 第４図は第２図の右側面図、 第５図は第２図におけるｖ−ｖ線に沿った拡大断面図、 第６図は第２図におけるＶｌ −ＶＨ線に沿った拡大断
面図、 第７図は第３図におけるＶＨ−■線に沿った拡大断面図
、 第８図は第３図における■−■線に沿った拡大断面図で
ある。 ４３・・・主熱交換器 ４９Ａ、４９Ｂ・・・レーザ
管６９・・・気体循環駆動装置 ９７・・・気体帰還路 ＦＩＧ、５ ＦＩＧ、８
加工機を示す正面図である。 第２図は本発明に係るレーザ発振器の正面図、第３図は
同上の平面図、 第４図は第２図の右側面図、 第５図は第２図におけるｖ−ｖ線に沿った拡大断面図、 第６図は第２図におけるＶｌ −ＶＨ線に沿った拡大断
面図、 第７図は第３図におけるＶＨ−■線に沿った拡大断面図
、 第８図は第３図における■−■線に沿った拡大断面図で
ある。 ４３・・・主熱交換器 ４９Ａ、４９Ｂ・・・レーザ
管６９・・・気体循環駆動装置 ９７・・・気体帰還路 ＦＩＧ、５ ＦＩＧ、８
Claims (6)
- （１）レーザ気体を冷却するための主熱交換器の上部に
装着した気体循環駆動装置の上方に複数本のレーザ管を
互に平行状に配置して設け、上記気体循環駆動装置と主
熱交換器および複数本のレーザ管とを接続して設けると
共に複数本のレーザ管と主熱交換器とを複数の気体帰還
路を介して接続して設け、上記各気体帰還路の長さをそ
れぞれほぼ同一長さに設けてなることを特徴とする高速
軸流形気体レーザ発振器。 - （２）レーザ気体を冷却するための主熱交換器の上部に
装着した気体循環駆動装置の上方に複数本のレーザ管を
互に平行状に配置して設け、上記気体循環駆動装置と主
熱交換器および複数本のレーザ管とを接続して設けると
共に複数本のレーザ管と主熱交換器とを複数本の気体帰
還路を介して接続して設け、上記各気体帰還路の途中に
、レーザ管からの電離した状態の気体を中和するための
触媒を配設してなることを特徴とする高速軸流形気体レ
ーザ発振器。 - （３）各気体帰還路の長さをほぼ同一長に設けてなるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の高速軸流
形気体レーザ発振器。 - （４）レーザ気体を冷却するための主熱交換器の上部に
装着した気体循環駆動装置の上方に複数本のレーザ管を
互に平行状に配置して設け、上記気体循環駆動装置と主
熱交換器および複数本のレーザ管とを接続して設けると
共に複数本のレーザ管と主熱交換器とを複数の気体帰還
路を介して接続して設け、前記気体循環駆動装置と各レ
ーザ管との接続部および各レーザ管と主熱交換器との接
続部を可撓性継手部材を介して接続してなることを特徴
とする高速軸流形気体レーザ発振器。 - （５）互に平行状に配設した複数本のレーザ管からのレ
ーザ気体を冷却するための熱交換器を備えると共に熱交
換器からのレーザ気体を各レーザ管に循環するための気
体循環駆動装置を備えてなるレーザ発振器にして、前記
各レーザ管を支承したレーザ管ホルダを、各レーザホル
ダ等管の膨脹収縮に対応して微動自在に設けてなること
を特徴とする高速軸流形気体レーザ発振器。 - （６）レーザ管からのレーザ気体を冷却するための熱交
換器を備えると共に熱交換器からのレーザ気体をレーザ
管に循環するための気体循環駆動装置を備えてなるレー
ザ発振器にして、レーザ管に配設した電極をリング状に
形成して設けると共に、レーザ管に支承された一対の電
極ホルダの間に上記電極を着脱交換自在に挾持固定して
なることを特徴とする高速軸流形気体レーザ発振器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US56679383A | 1983-12-29 | 1983-12-29 | |
| US566793 | 1983-12-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6127693A true JPS6127693A (ja) | 1986-02-07 |
| JPH0626263B2 JPH0626263B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=24264400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59273495A Expired - Lifetime JPH0626263B2 (ja) | 1983-12-29 | 1984-12-26 | 高速軸流形気体レ−ザ発振器 |
Country Status (11)
| Country | Link |
|---|---|
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| KR (1) | KR920010604B1 (ja) |
| AU (2) | AU577342B2 (ja) |
| CA (1) | CA1267963A (ja) |
| CH (1) | CH667556A5 (ja) |
| DE (1) | DE3446640C2 (ja) |
| FR (2) | FR2557742B1 (ja) |
| GB (1) | GB2158635B (ja) |
| IL (1) | IL73939A (ja) |
| IT (1) | IT1177494B (ja) |
| SE (1) | SE457491B (ja) |
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| JPH0288262U (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-12 |
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-
1984
- 1984-12-20 DE DE3446640A patent/DE3446640C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1984-12-20 CA CA000470614A patent/CA1267963A/en not_active Expired
- 1984-12-20 CH CH6085/84A patent/CH667556A5/de not_active IP Right Cessation
- 1984-12-21 IT IT8424169A patent/IT1177494B/it active
- 1984-12-24 AU AU37179/84A patent/AU577342B2/en not_active Ceased
- 1984-12-25 IL IL73939A patent/IL73939A/xx not_active IP Right Cessation
- 1984-12-26 JP JP59273495A patent/JPH0626263B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1984-12-27 SE SE8406631A patent/SE457491B/sv unknown
- 1984-12-28 FR FR8420081A patent/FR2557742B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1984-12-28 KR KR1019840008459A patent/KR920010604B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1984-12-28 GB GB08432724A patent/GB2158635B/en not_active Expired
-
1988
- 1988-06-27 FR FR8808615A patent/FR2614476B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1988-12-23 AU AU27544/88A patent/AU603497B2/en not_active Ceased
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