KR920010604B1 - 고속축 유동 방식의 가스레이저 발진기 - Google Patents

고속축 유동 방식의 가스레이저 발진기 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

고속축 유동 방식의 가스레이저 발진기
제1도는 본 발명이 설치된 레이저 가공기의 정면도.
제2도는 본 발명의 레이저 발진기의 정면도.
제3도는 본 발명의 레이저 발진기의 평면도.
제4도는 제2도의 우측면도.
제5도는 제2도의 V-V선 단면도.
제6도는 제2도의 VI-VI선 확대 단면도.
제7도는 제3도의 VII-VII선 단면도.
제8도는 제3도의 VIII-VIII선 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 레이저 가공기 3 : 레이저 발진기
15 : 반사경 17 : 집광렌즈
29 : 레이저 발진증폭부 43 : 주열교환기
49A,49B : 레이저 튜브 69 : 가스순환구동장치
73 : 보조열교환기
본 바렴은 가스레이저 발진기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레이저가스가 레이저광 방향으로 흐르른 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기에 관한 것이다.
가스레이저 발진기에 있어서, 레이저 증폭 효과는 플라스마가 생성되는 레이저 튜브 내부에서 발생하게 되고 레이저 튜브의 길이가 증대함에 따라 플라스마에 의하여 점유되는 부피가 증가하여 출력이 커지는 결과를 나타냄은 주지된 사실이다.
따라서 레이저의 출력을 증가시키기 위하여 가스레이저 발진기의 레이저 튜브의 길이는 늘어나야만 한다. 그러나, 레이저 튜브의 길이를 증대시킴에 있어서는 기술적으로나, 설치하기 위한 공간상에 많은 문제점이 있으므로 일반적으로 여러개의 레이저 튜브를 각각 평행으로 배치하고 튜브사이의 연결부위에 반사경을 설치하여 전체적인 길이를 증대시키는 효과를 얻고 있는 것이 사용된다.
또한, 가스레이저 발진기에 있어서 레이저가스 냉각에 의한 전체적인 반전이 가속화되고, 레이저 발진 효과가 증가하게 됨도 주지의 살실이다. 따라서, 일반적으로 레이저 튜브가 냉각되어지나 레이저가스가 열교환기내에서 냉각되어져 고속으로 레이저 튜브내로 분사되고 방전에 의하여 가열되된 레이저 가스는 즉시 열교환기로 재순환되어 다시 냉각되게 되는 것이다. 또한, 레이저 가스 발진기의 효능을 개선하기 위하여 분사에 이용되는 전력의 이용 효율을 개선하는 것이 필요하다.
종래 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기는 레이저 튜브내에서 레이저 가스를 냉각시켜 주기 위한 냉각기나 열교환기를 가지고 있으며, 고속으로 튜브내로 가스를 분사시키기 위한 송풍기를 구비하고 있어 가스를 레이저 튜브로부터 열교환기로 재순환시키고 있다.
그러나, 종래의 가스레이저 발진기에 있어서는 레이저 튜브로부터 열교환기나 냉각기까지의 재순환 통로가 일정하지 않아 레이저 튜브에서의 레이저 가스의 온도나 흐름이 일정하지 못한 결과를 초래하였다. 즉, 다른 레이저 튜브로 들어가는 레이저 가스보다 낮은 유동을 상태에서 순환되는 레이저가스를 받은 튜브는 온도가 더 높아지고 전체적인 반전이 감소하게 되어 레이저 출력의 감소로 인하여 레이저 빔의 형태에 영향을 주게 된다.
따라서, 다른 레이저 튜브로 유입되는 레이저 가스의 유동율은 저출력과 모든 레이저 발진기의 출력 변동의 원인이 되며, 또한 가스레이저 발진기에서 레이저 튜브로부터 열교환기로 순환되는 가스는 일종의 플라스마로서 이는 레이저 튜브내에서 전기적 방전에 의하여 이온화되기 때문에 가스는 전기적으로 전도되어 레이저 튜브의 케소오드와 열교환기 사이에서 레이저 가스 송출에 아무런 영향을 주지 못하는 불필요한 방전을 발생케하므로서 가스 분사에 많은 전력의 손실이 초래되는 현상이 나타나고 있었으며, 이러한 전기적 방전 현상은 더욱 가스를 가열시키게 되어 열교환기나 냉각기상에 부하를 가중시키는 원인이 된다.
또한, 종래 가스레이저 발진기에 있어서는 전기적 방전의 안정성과 레이저 튜브내에서 레이저 가스의 유동상태를 안정시키기 위하여 전극이 링상으로 구성됨을 요구되어져 왔고, 또한 전극과 전극 홀더 사이의 접속사항을 감소시키기 위하여 전극은 레이저 튜브에 연결되어 있는 전극 홀더에 꼭 들어맞게 고정되어야 함으로 전극을 교체하기 위하여서는 각각의 전극 홀더를 레이저 튜브로부터 해체하여야만 되며, 레이저 튜브를 축방향으로 변위시켜야 하는 불편이 있는 등 전극의 교체나 이동이 많은 문제점을 지니고 있었다. 또한, 종래의 가스레이저 발진기는 레이져 튜브를 지지하는 지지판이 기대에 고정되어 있으므로 지지판과 지지판 주위의 열변형을 보상하기가 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 근본적인 목적은 레이저 튜브내에서 레이저가스의 유동율이 다소 균일한 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기를 제공함에 있으며, 본 발명의 많은 튜브의 증설이나 감소에 구애받지 않고 레이저 튜브로부터 열교환기 또는 냉각기까지의 재순환통로의 길이를 거의 일정하게 유지시킬 수 있는 가스레이저 발진기를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 레이저 튜브의 전극과 열교환기 사이에서의 전기적 방전을 방지하여 분사에 소요되는 전력을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 레이저 가스의 지나친 과열을 방지할 수 있게 하고 동시에 열교환기나 냉각기의 부하를 감소시킬 수 있는 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기를 제공함에 있으며, 또한 본 발명은 축방향으로 튜브를 변위없이 레이저 튜브내의 전극의 이동이나 교체를 용이하게 실시할 수 있음과 동시에 레이저 튜브에 레이저 가스를 순환시키기 위하여 사용되는 송풍기의 진동이 각각의 튜브로 전달되지 않으며, 더우기 송풍기와 레이저 튜브 사이의 연결부에서의 열변형에 대하여 보상이 가능한 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기를 제공함에 또 다른 목적이 있는 것이다.
또한, 본 발명은 레이저 튜브의 양단을 지지하는 지지판이 각각의 지지판에 연결되어 있는 체결로드의 수축과 팽창을 보상할 수 있도록 약간 움직일 수 있게 한 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기를 제공하는데 목적이 있는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 발진기는 레이저 튜부로부터 열교환기 또는 냉각기까지의 가스재순환통로의 길이가 거의 일정하고, 재순환통로에는 이온화된 레이저 가스를 중화시키기 위한 촉매가 존재하고 있으며, 송풍기와 각 레이저 튜브 사이의 각 레이저 튜브와 열교환기 사이에는 가요성이 있는 재료로 만들어진 연결부재를 채택하고 있는 것이다.
또한, 레이저 튜브의 지지판은 체결로드의 신축에 대응하여 조금씩 자유로히 이동할 수 있도록 설치되어 있으며, 각각의 레이저 튜브 내측의 전극은 용이하게 이동할 수 있거나 교체할 수 있도록 홀더의 갈래 사이에 고정되어 있는 것으로, 이하 본 발명은 첨부도면에 따라 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
제1도에 있어서 부호(1)은 레이저 가공기로써 레이저 발진기(3)를 구비하고 있다. 레이저 발진기(3)는 레이저 가공기(1)를 향하여 레이저 빔(LB)를 발생시키며 레이저 가공기(1)의 후측에 배치되어 있다. 레이저 발진기(3)가 레이저 가공기(1)상에 설치된 것을 제1도에 예시하고 있으나, 레이저 발진기(3)은 레이저 가공기(1) 뿐만 아니라, 다른 장치에도 사용할 수 있음은 물론이다.
레이저 가공기(1)는 기대(5)와 기대(5)로부터 수직으로 돌출된 지주(7) 및 기대(5)상에 평행하게 설치된 지주(7)에 의하여 일단이 지지된 상부빔(9)를 구성하고 있으며, 기대(5)상에는 작업대(11)가 있고 작업대(11)에는 수평위치에서 작업되어질 판상의 피가공물을 지지하기 위한 여러개의 슬라이딩 볼이 회전자재하게 장착되어 있다. 작업 헤드 본체(13)는 상기한 상부빔(9)의 개방단 상에 설치되어 있고, 반사경(15)과 집광렌즈(17)가 작업헤드본체(13)내에 설치되어 있다.
상기한 반사경(15)은 레이저 발진기(3)에 의하여 발진된 레이저 빔(LB)을 피가공물(W)방향으로 반사시켜 주고, 집광렌즈(17)은 레이저 빔(LB)의 광선을 집중시켜 주되, 집광렌즈(17)은 산소와 같은 보조 가스와 같이 레이저 빔(LB)을 피가공물(W)에 겨냥하여 발사하게 한다.
따라서, 상기와 같이 구성된 레이저 가공기(1)는 레이저 발진기(3)로부터 레이저 빔(LB)를 받게 되고 이에 따라 작업 헤드본체(13)내부에 설치된 집광렌즈(17)를 통하여 피가공물(W)에 레이저 빔(LB)을 발사하게 된다. 가공되어질 피가공물(W)을 이동시키고 피가공물(W)을 정확한 위치에 고정시키기 위하여 레이저 공작기계(1)는 수평으로 이동자재한 제1운반대(19)와 피가공물(W)을 고정시켜 주기 위한 여러개의 고정기구(23)을 갖는 제2운반대(21)를 구비하고 있다.
제1운반대(19)는 기대(5)의 상부에 각각 평행하게 설치된 한쌍의 레일(25)에 의하여 이동자재하게 지지되어 있고, 동력에 의하여 구동될 때 작업 헤드본체(13)의 직하방에서 작업이 행해지는 영역으로부터 근접하거나 떨어질 수 있도록 이동자재하게 설치되어 있다.
고정기구(23)를 구비한 제2운반대(21)은 제1운반대(19)의 상단에 미끄럼자재하게 지지되어 있으며, 상기 레일(25)에서 수직방향으로 구동될 때 수평으로 이동하게 된다. 따라서, 고정기수(23)에 의하여 평면상으로 고정된 피가공물(W)은 작업헤드본체(13)의 직하방에서 제1,2운반대(19)(21)의 작동에 의하여 작업대(12)상을 이동하게 된다.
상기에서와 같이 제1,제2운반대(19)(21)의 작동에 의하여 작업대(11)상에서 작업 헤드본체(13) 하방으로 피가공물(W)을 위치시킴에 의하여 피가공물(W)은 레이저 빔(LB)에 의하여 가공되어진다.
물론 레이저 발진기(3)에 의하여 발진된 레이저 빔(LB)은 작업헤드본체(13)으로 향하고 화살표로 나타나는 바와 같이 반사경(15)에 의하여 하향된 다음, 집광렌즈(17)에 의하여 집광되어 산소와 같은 보조가스와 함께 피가공물(W)로 향하게 된다.
상기에서 언급한 레이저 발진기(3)는 제2도 내지 제5도에 도시된 바와 같이 모든 발진기를 지지하는 지지판(27)과, 지지판(27) 상부에 있는 레이저 발진증폭부(29) 및 상기 레이저 가공기(1)의 광학시스템과 레이저 발진 및 증폭부(29)내의 반사경을 조절하기 위한 조절부(31)로 구성되어 있다.
또한, 지지판(27)은 여러개의 4각 파이프로 정방형상으로 구성되어 있으며, 지지판(27)의 좌, 우 양측에는 상자형태의 지지대(33A)(33B)가 입설되어 상기한 레이저 발진증폭부(29)를 지지하고 있으며, 상기 조절부(31)는 레이저 발진 및 증폭부(29)외측으로 지지대(33A)상에 설치되어 있다.
제5도에 도시된 바와같이 모든 레이저 발진기(3)를 보호하기 위하여 레이저 발진 및 증폭부(29)와 조절부(31) 전체를 복개하는 보호덮게(35)가 지지판(27) 상부에 설치되어 있다. 보호덮게(35)의 전,후덮게(35F)(35R)은 개폐할 수 있도록 힌지(37)에 의해 상부덮개(35U)에 착설되어 있어 레이저 발진증폭부(29), 조절부(31)의 관찰이나 유지를 용이하게 수행할 수 있다.
또한, 보호덮개(35)의 내부를 냉각시키기 위하여 전,후덮개(35F)(35R)상의 여러곳에 환기팬을 설치한 보조열교환기와 투명한 아크릴창(41)이 적당한 위치에 설치되어 있다. 따라서, 보호덮개(35)내의 공기는 보조열교환기에 의하여 항상 냉각되게 되고, 투명한 창(41)을 통하여 내부를 관찰할 수 있게 되는 것이다.
상기 레이저 발진증폭부(29)로부터 순환되는 헬륨가스, 질수(N2), 이산화탄소(CO2)가 혼합된 레이저가스를 냉각시키기 위하여 비교적 대형의 주열교환기(43)가 지지판(27)의 중앙에 설치되어 있으며, 주열교환기(43)는 냉각수와 같은 냉각체가 유통되는 다수의 냉각관과 절곡된 파이프가 있다. 주열교환기(43)내의 기판(45)은 아래로 개폐할 수 있도록 힌지핀(47)에 의하여 지지판(27)에 고정되어 주열교환기(43)의 유지와 관찰점을 용이하게 수행할 수 있도록 한다.
상기 레이저 발진증폭부는 각각 발진, 증폭하는 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)를 평행하게 배치시켜 구성되고 있으며, 레이저 튜브(49A)(49B)는 좌,우로 연장설치되어 있고, 레이저 튜브(49A)(49B)단부에는 상기한 지지대(33A)(33B)에 의하여 지지되는 수직지지판(51A)(51B)이 있다.
상기 지지판(51A)(51B)은 전,후 방향으로 연장되고 레이저 튜브(49A)(49B)의 방향과는 수직방향으로 연장되어 있으며, 지지판(51A)(51B)은 지지판(51A)(51B) 상하에 구비된 체결로드(53)에 의하여 일체로 연결되어 있다. 보호덮개(35)내의 온도 변화에 따르는 지지판(51A)(51B), 체결로드(53)등의 열변형에 대응하게 하기 위하여 지지판(51A)(51B)이 지지대(33A)(33B)에 약간씩 이동할 수 있도록 설치한다.
즉, 제6도에 도시된 바와같이 지지판(51A)의 일단은 구면 시이트부재(57)를 통하여 지지대(33A)에 연결된 지지조절나사(55)로 나착되어 있어 지지판(51A)이 구명시이트부재(57)에 의하여 약간씩 회전함과 동시에 기울어지게 된다. 또한, 지지판(51A)의 타단과 지지판(51A)과 가이드(59)가 슬라이드블럭(61)을 통하여 지지대(33A)에 연결되어 있어 지지판(51A)의 열확장에 따라 길이방향으로 대처하게 되며, 지지판(51A)의 중간부는 지지판(51A)이 얇고 가요성이 풍부한 스터드 보울트(63)에 의해 지지대(33A)에 고정되어 있어 지지판(51A)이 열변형에 대처하게 되는 것이다.
또다른 지지판(51B)는 제2도에 도시된 바와같이 고정가이드(65)와 슬라이드블럭(67)을 통하여 지지대(33B)에 연결되어 있으므로 지지판(51B)는 좌,우 방향으로 지지대(33B)를 따라 미끄러질 수 있게 되어 있다.
상기에서 설명된 바와같이 만약 체결로드(53)이 장축길이방향으로 열변형하게 되면 지지판(51B)은 동일한 방향으로 약간씩 움직이게 되어 그 변형에 대응할 수 있으며, 장축길이방향으로 지지판(51)이 열변형하는 동안에는 모든 유니트가 구면체시이트(57), 가이드(59)등의 동작에 의해 약간씩 회전하게 되어 대응하게 된다. 따라서, 레이저 튜브(49A)(49B)의 양단을 지지하고 있는 지지판(51A)(51B)은 열변형에 의하여 큰변화가 발생됨이 없이 그들의 정확한 위치를 유지하게 되는 것이다.
제2도 내지 제5도에 도시된 바와 같이, 레이저 튜브(49A)(49B)에 레이저 가스를 공급하기 위하여 레이저 튜브(49A)(49B)는 가스순환구동장치(69)에 연결되어 있고, 또한 레이저 튜브(49A)(49B)내에서 일어나는 방전현상에 의하여 가열되는 레이저 가스를 냉각시켜 주기 위하여 레이저 튜브(49A)(49B)는 상기한 주열교환기(43)와 접속되어 있다.
즉, 가스순환구동장치(69)는 주열교환기(49)내에서 냉각된 레이저 가스를 공급받아 레이저 튜브(49A)(49B)로 공급하게 되며, 이의 구동은 예로서 루으츠송풍기(Root′s Blower)등에 의하여 행할 수 있으며, 가스순환구동장치(69)는 여러개의 진동흡수고무 즉, 방진고무(71)에 의하여 주열교환기(43)의 상부에 지지되도록 한다.
가스순환구동장치(69)의 상부에는 가스순환구동장치(69)에 의하여 발생된 열을 제거하여 레이저 튜브(49A)(49B)로 공급하는 레이저 가스의 냉각을 확실히 수행하기 위하여 보조열교환기(73)이 설치되어 있다.
이 보조열교환기(73)는 예로서 냉각수를 사용하는 열교환기이며, 상자 형태로 되어진다. 여러개의 연결관(75)은 보조열교환기(73)의 상부에 수직상으로 설치되어 있고 레이저 튜브의 추가설치에 대응하여 원형 덮개(77)에 의하여 막혀진 구멍이 부가적으로 형성되어 있다. 또한 연결관(79)의 베이스는 보조열교환기(73)의 양측 표면에 수평으로 연결되어 있으며, 추가 설치되는 레이저 튜브에 대응할 수 있도록 덮개(81)에 의하여 막혀진 구멍이 부가적으로 형성되어 있다.
상기 연결관(79)의 타단은 레이저 튜브(49A)(49B)의 양단가까이 연장되어 있고, 상기 지지판(33A)(33B)상에 설치된 지지블럭(85)에 의하여 방진고무가 지지되어 있으므로 가스순환구동장치(69)의 진동은 지지판(27)이나 지지대(33A)(33B)에 전달되지 않게 된다.
상기 가스순환구동장치(69)로부터 레이저 튜브(49A)(49B)로 분사되는 레이저 가스를 공급하기 위하여 연결관(75)는 중앙부 근처의 레이저 튜브(49A)(49B)에 연결되어 있다. 연결관(79)의 선단은 수직상으로 설치된 연결관(87)을 통하여 레이저 튜브(49A)(49B)의 양단에 연결되어 있다. 더욱 구체적으로 설명하기 위해 상기 레이저 튜브(49A)(49B)를 가운데의 튜브(89)와 양단의 튜브(91)(3) 세부분으로 나누어 설명하면 연결관(79)은 중앙의 튜브(89)와 연결되고, 연결관(79)은 가요성이 풍부한 실리콘고무로 된 조인트(95)에 의해 양단의 튜브(91)(93)에 연결되어 있다.
따라서, 가스순환구동장치(69)의 진동은 레이저 튜브(49A)(49B)에 전달되지 않게 되며, 연결관(75)과 레이저 튜브(49A)(49B)가 관련된 위치에서 어느 방향으로의 미세이동은 후렉시블한 조인트에 의하여 흡수제거될 수 있다.
레이저 튜브(49A)(49B)내에서 방전을 일으키기 위하여 여러쌍의 양, 음 전극이 레이저 튜브(49A)(49B)내에 설치되어 있고, 레이저 튜브(49A)(49B)내의 방전현상에 의하여 가열되어진 레이저 가스를 냉각시키기 위하여 레이저 튜브(49A)(49B)는 상기한 열교환기(43)와 연결되어 있다.
즉, 상기한 조인트(95)내에는 양극선이 삽입되어 있다. 레이저 튜브(49A)(49B)의 중앙튜브(89)와 양단의 튜브(91)(93)사이에는 상단이 “T”자형으로 구성되고 하단은 이음매를 통하여 주열교환기(43)와 연결된 가스재순환 귀환로(97)가 설치되어 있으며, 전극 조립체(99)를 통해 중앙의 튜브(89)와 양단의 튜브(91)(93)로 연결되어 있다.
따라서 보조열교환기(73)를 통해 가스순환구동장치(69)로부터 레이저 튜브(49A)(49B)로 공급되는 레이저 가스는 가스귀환로(97)를 거쳐 주열교환기(43)으로 재순환되고 주열교환기(43)내에서 냉각된 다음, 가스순환구동장치(69)로 공급되어 보조열교환기(73)에 의하여 더욱더 냉각되고, 레이저 튜브(49A)(49B)로 다시 공급되는 것이다.
제7도에 도시된 바와 같이 레이저 튜브(49A)(49B) 단부의 튜브(91)는 원통형홀더(101)에 의해 지지판(51A)에 지지되고, 이 근방에는 하향 돌출된 원통형 돌출부(91B)가 있다. 상기 조인트(95)는 이 원통형 돌출부(91B)와 연결되어 있으며, 바늘 모양의 양극(103)을 포함하고 있는 실린더형 양극홀더(105)가 원통형 돌출부(91B)내부에 들어 있다. 양극(103)의 주위에는 전기적으로 절연된 보호튜브(107)이 양극홀더(105)내에 있으며, 양극(103)의 상단은 보호튜브(107)의 상단에 비해 그 위에 위치하고 있으며, 하부로부터 조인트(95) 내부로 삽입된 연결 튜브(87)의 상단에 삽입된 환형 스프링 와샤(109)가 있어서, 스프링은 조인트(95)내부에 연결튜브(87)와 돌출부(91P)에 의하여 반대편 단부로부터 압력을 받게 되고, 전기적 도체인 코일(111)이 양극홀더(105)와 스프링 와샤(109)사이에 탄설되어 있다.
상기와 같은 구성은 단부의 튜브(91)와 연결튜브(87) 사이의 상대 변위를 허용하여, 가스순환구동장치(69)의 진동이 레이저 튜브(49A)(49B)로 전달되는 것을 방지한다. 레이저 튜브(49A)(49B)의 단부의 튜브(93)은 다른 단부의 튜브(91)와 마찬가지로 지지판(51B)에 의하여 지지되어 있다. 또한 조인트(95)의 연결구조는 상기에서 설명한 바와 같으므로 중복 설명은 생략한다.
제2도 내지 제5도에 도시된 바와 같이 음극 조립체(99)는 좌,우 지지판(51A)(51B)와 함께 연결되어 있는 체결로드(53)에 의하여 고정판(113)에 지지되어 있고, 여러개의 레이저 튜브를 설치할 수 있도록 고정판(113)내에 여러개의 지지공(113H)가 있어, 최소한으로 필요로 되는 수는 음극조립체(99)를 지지공(113H)내에 갖게 된다.
제8도에 도시된 바와 같이 음극조립체(99)는 링모양의 음극(115)가 극히 용이하게 제거, 이동되거나 교체될 수 있도록 되어 있다.
즉, 각각의 음극(115) 양측에는 두개의 고정링이 있고, 제1고정링(117)에는 레이저 튜브(49A)(49B) 단부에 돌출부(91)가 있고, 제2고정링(119)에는 가스귀환로(97)의 상단부가 연설되어 있다. 음극(115)과 고정링(117)(119)은 여러개의 보울트(121)에 의해 견고하게 일체로 고정되어 있어 접촉 저항이 감소되게 된다.
또한, 0링(123)을 고정하고 있는 밀폐링(125)은 보울트(127)에 의하여 고정링(117) 양측에 체결되어 있다. 따라서 음극(115)의 이동, 제거 및 교체는 보울트(121)(127)에 의하여 극히 용이하게 수행할 수 있는 것이다.
또한 위에서 이미 상술한 바와 같이 레이져 튜브(49A)(49B)의 안쪽에는 여러쌍의 음극(115)과 양극(103)에 의해 여러 위치에서 방전을 할 수 있게 되어 있으며, 레이저 튜브(49A)(49B) 내부에서의 방전에 의하여 가열되어진 레이저 가스는 상기한 가스귀환로(97)를 통하여 주열교환기(43)로 재순환한다.
가스귀환로(97)의 길이는 항상 균일하므로 레이저 튜브(49A)(49B)내의 레이저 가스 유동율을 레이저 튜브(49A)(49B)가 증가하더라도 항상 일정한 상태를 유지하게 된다. 또한 레이저 튜브(49A)(49B)내에서 방전에 의하여 이온화된 레이저 가스를 중화시키기 위하여 적당한 촉매가 각 가스귀환로(97)에 따라 배치되어 있다. 다시말하면 각각의 가스 귀환로(97)에는 확대부(129)가 형성되어 있고, 이 확대부(129)내에는 예로서, 백금을 담지한 벌집모양의 활성알루미나촉매가 내장되어 있다.
상기 구성에 의해 각각의 가스귀환로(97)내에 있는 촉매는 레이저 가스에 의하여 가열되어 촉매가능이 향상되게 된다. 또한 촉매의 부분을 통과한 레이저 가스는 촉매작용에 의하여 중화된 다음, 중성가스 상태로 주열교환기(43)로 다시 유입하게 된다. 따라서 음극(115)와 주열교환기(43)사이에서 일어날 수 있는 비경제적인 방전의 발생은 억제되게 되고, 이 결과 발진기의 전체적인 효율이 증가하게 된다.
상기한 레이저 튜브(49A)(49B)내에서의 방전에 의하여 생성되는 빛을 공진증폭하기 위하여 레이저 튜브(49A)의 일단에 설치한 한개의 출력반사경을 가진 출력 반사경조립체(131)와 레이저 튜브(49A)의 일단에 설치한 한개의 반사경과 출력검출센서(133)를 구비한 후측반사경 조립체(135)를 구비하고 있으며, 레이저 튜브(49A)(49B)의 타단에는 반대로 빛을 90°정도 굴절시키는 굴절경조립체(137)가 구비되어 있다.
출력반사경조립체(131)과 후측반사경조립체(135)는 주름진 이음매에 의하여 지지판(51A)에 조절 가능하게 설치되어 있어, 자유자재로 방향이 조절되는 한편, 각각의 굴절경조립체(137)은 주름진 이음매에 의하여 지지판(51B)상에 조절가능하게 설치되어 있다.
또한, 제7도에 의하여 출력반사경조립체(131)의 방향을 조절하기 위하여 출력반사경조립체(131)에는 적당한 후렌지(131F)가 설치되어 있어 이 후렌지(131F)의 여러개소를 관통하는 여러개의 조절나사(139)와 지지판(51A)을 관통하는 여러개의 조절나사(141) 사이에는 인장 스프링(143)이 각각 장설되어 있다.
도한, 마이크로메타(145)가 상기한 후렌지(131)상에 설치되어 있으며, 각각의 마이크로메타(145)의 스핀들(145S)이 지지판(51A)에 체결된 블럭(147)에 대하여 접하여 있다. 따라서 출력반사경조립체(131)은 블럭(147)에 대하여 인접해 있는 마이크로메타(145)의 스핀들(145)에 구비된 스프링(143)에 의하여 항상 지지판(51A)를 향하여 있게 되므로서 적당한 위치로 각각이 마이크로메타(145)를 조정함에 의하여 출력반사경조립체(131)의 방향은 조절될 수 있게 되어 내부에 설치된 반사경의 각도 조절도 양호한 상태로 수행할 수 있는 것이다.
상기한 후측반사경조립체(135)와 굴절반사경조립체(137)은 지지판(51A)(51B)상에 출력반사경조립체(131)의 배치와 동일하게 설치되고, 이들의 설치위치는 호환성으로서 레이저 튜브수의 증가에 따라 반사경조립체도 자유자재로 교환할 수 있게 되어 있다.
다시 제2도 내지 제4도에 도시된 바와 같이, 상기한 부속부(31)는 헬륨-네온 레이저발진기(149)와 프리즘기구(151) 및 빈댐퍼(153)등으로 구성되어 있으며, 헬륨-네온 레이저발진기(149)는 상기한 레이저 발진증폭부(29)내의 출력반사경조립체(131)와 후측반사경조립체(135) 및 굴절반사경조립체(137)등의 반사경조정이나 레이저 가공기(1)의 공학계의 조정시에 사용되어지는 것으로 제2도에서 알 수 있는 바와 같이 헬륨-네온 레이저발진기(149)는 지지대(33A)상에 설치된 지지 브라켓(155)에 수직으로 설치되어 있으며, 프리즘기구(51)는 헬륨-네온 레이저발진기(149)로부터 레이저빔을 레이저발진증폭기(29)의 레이저 튜브(49A)(49B)내에로나 또는 레이저 가공기(1) 방향으로 선택적으로 굴곡시키는 것용을 하는 것으로, 특히 프리즘기구(51)는 레이저 발진증폭부(29)로부터의 레이저빔(LB)과 헬륨-네온 레이저발진기(149)로부터의 레이저빔이 교차하는 지점을 고려하여 이동할 수 있도록 설치되어 있다.
상기한 빔댐퍼(153)은 레이저 발진증폭부(29)의 출력반사경조립체(131)로부터 레이저빔(LB)을 차단할 수 있고, 빔댐퍼(153)은 출력반사경조립체(131)과 프리즘기구(51) 사이의 레이저빔(LB) 통로에 대해서 자유로이 이동할 수 있게 되어 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 각각 평행하게 설치된 여러개의 레이저튜브로부터 주열교환기까지의 각 가스귀환로의 길이가 거의 같게 함으로서 동일량으로 유지할 수 있고, 각 레이저튜브내에 있는 레이저가스의 운동상승을 거의 균일하게 유지시켜 안정된 레이저출력을 얻을 수 있는 것이다.
또한 전기적 방전에 의하여 이온화된 레이저 가스를 중화시키기 위한 촉매가 각 가스귀환로에 충전되어 있으며 레이저가스는 천연 가스상태로 중화되어 주열교환기로 재순환되며, 주열교환기와 음극 사이의 전기적 방전에 의한 손실이 없으므로 입력전원의 효율을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.
또한 본 발명은 음극을 극히 용이하게 이동, 제거 또는 교체시킬 수 있으며, 레이저튜브를 지지하는 지지판과 그의 지지부재들이 열팽창이나 수축에 대응하여 이동할 수 있으며, 또한 불로워 등이 진동이 레이저튜브에 미치지 않게 되어 고도의 정밀성을 유지할 수 있게 되는 것이다.

Claims (6)

  1. 레이저 가스를 냉각하기 위한 주열교환기(43)의 상부에 설치한 가스순환구동장치(69)위에 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)를 서로 평행하게 배치시켜 연결하고, 상기 가스순환구동장치(69)와 주열교환기(43) 및 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)들과 주열교환기(43)를 여러개의 가스귀환로(97)에 의해 접속시킨 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기로써 가스순환구동장치(69)로부터 각각의 레이저 튜브(49A)(49B)에 공급되는 레이저 가스를 냉각시키기 위한 보조열교환기(73)를 상기 가스순환구동장치(69)와 레이저 튜브(49A)(49B)사이에 설치함을 특징으로 하는 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기.
  2. 레이저 가스를 냉각하기 위한 주열교환기(43)의 상부에 설치한 가스순환구동장치(69)위에 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)를 서로 평행하게 배치시켜 연결하고, 상기 가스순환구동장치(69)와 주열교환기(43) 및 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)들을 접속시킴과 동시에 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)들과 주열교환기(43) 및 여러개의 가스귀환로(97)에 의해 접속시킨 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기로써 가스귀환로(97) 중간부에 확대부(129)를 형성하고 이 확대부(129)내에 전리된 가스를 중화시키기 위한 촉매를 내장시킴을 특징으로 하는 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기.
  3. 제2항에 있어서, 각 가스귀환로(97)의 길이를 거의 동일하게 함을 특징으로 하는 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기.
  4. 레이저 가스를 냉각하기 위한 주열교환기(43)의 상부에 설치한 가스순환구동장치(69)위에 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)를 서로 평행하게 배치시켜 연결하고, 상기 가스순환구동장치(69)와 주열교환기(43) 및 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)들을 접속시킴과 동시에 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)들과 주열교환기(43)를 여러개의 가스귀환로(97)에 의해 접속시킨 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기로써, 가스순환구동장치(69)와 각각의 레이저 튜브(49A)(49B)와의 접속부는 가요성 조인트(95)로 접속시킴을 특징으로 하는 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기.
  5. 서로 평행하게 배설한 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)로부터 레이저 가스를 냉각시켜 주기 위한 주열교환기(43)와 주열교환기(43)로부터 여러개의 레이저 튜브(49A)(49B)로 레이저 가스를 순환시켜주기 위한 가스순환구동장치(69)를 갖는 레이저 발진기로써, 각각의 레이저 튜브(49A)(49B)를 지지하는 레이저 튜브 홀더(101)를 튜브의 팽창 수축에 대응하여 약간씩 변동자재하게 됨을 특징으로 하는 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기.
  6. 레이저 튜브(49A)(49B)로부터의 레이저 가스를 냉각시켜주기 위한 주열교환기(43)와 주열교환기(43)로부터 레이저 가스를 순환시켜 주기 위한 가스순환구동장치(69)를 갖는 레이저 발진기로써 레이저 튜브(49A)(49B) 주위에 링모양으로 음극을 형성함과 동시에 상기 전극을 착탈 자재하게 고정시키기 위하여 레이저 튜브(49A)(49B)에 의하여 지지된 한쌍의 전극홀더를 구비함을 특징으로 하는 고속축 유동방식의 가스레이저 발진기.
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SE (1) SE457491B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015076584A1 (ko) * 2013-11-21 2015-05-28 연세대학교 원주산학협력단 레이저 치료 장치, 레이저 치료 장치의 제어 방법 및 레이저 치료 장치를 위한 핸드피스 장치

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3446640C2 (de) * 1983-12-29 2001-08-09 Amada Eng & Service Hochgeschwindigkeits-Axialstrom-Gaslaseroszillator
JPH0747883Y2 (ja) * 1986-06-19 1995-11-01 渋谷工業株式会社 レ−ザ発振器
US4696010A (en) * 1986-07-16 1987-09-22 Thermacore, Inc. Thermally stabilized laser cavity
US4794603A (en) * 1986-07-22 1988-12-27 Amanda Engineering & Service Co., Inc. Power source for an axial-flow CO2 laser tube
DE3702411A1 (de) * 1987-01-28 1988-08-18 Messer Griesheim Gmbh Verfahren zur herstellung von rundnahtgeschweissten scheibenraedern
US4799231A (en) * 1987-09-24 1989-01-17 Coherent General Laser gas orifice injection system
SE461758B (sv) * 1987-10-13 1990-03-19 Trumpf Gmbh & Co Co -effektlaser
AT394645B (de) * 1988-07-04 1992-05-25 Trumpf Gmbh & Co Laengsgestroemter co2-leistungslaser
DE3826979A1 (de) * 1988-08-09 1990-02-15 Messer Griesheim Gmbh Resonator-struktur fuer gaslaser
JPH0747889Y2 (ja) * 1988-12-27 1995-11-01 オ−クマ株式会社 レーザ発振器のミラー固定装置
JP3884213B2 (ja) * 2000-03-31 2007-02-21 三菱電機株式会社 レーザ発振器
WO2017130806A1 (ja) * 2016-01-26 2017-08-03 富士フイルム株式会社 レーザ装置

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1256398A (en) * 1969-09-26 1971-12-08 Elliott Brothers London Ltd Improvements in or relating to gas lasers
GB1462360A (en) * 1973-10-23 1977-01-26 Boc International Ltd Lasers
DE2714798A1 (de) * 1977-04-02 1978-10-12 Messer Griesheim Gmbh Gastransportlaser
DE2740222A1 (de) * 1977-09-07 1979-03-08 Messer Griesheim Gmbh Gaslaser, insbesondere gastransportlaser, mit mindestens einer laserentladungsroehre
DE2741737A1 (de) * 1977-09-16 1979-03-22 Messer Griesheim Gmbh Einrichtung zum bearbeiten, insbesondere schneiden von werkstuecken mittels eines laserstrahles
JPS5917869B2 (ja) * 1977-12-05 1984-04-24 株式会社日立製作所 ガス流形レ−ザ装置
JPS5811110B2 (ja) * 1978-06-28 1983-03-01 株式会社日立製作所 ガスレ−ザ発生装置
JPS5562790A (en) * 1978-11-02 1980-05-12 Hitachi Ltd Carbon dioxide laser
JPS55113391A (en) * 1979-02-21 1980-09-01 Hitachi Ltd Gas flow type laser device
DE2925829A1 (de) * 1979-06-27 1981-01-15 Messer Griesheim Gmbh Gastransportlaser, insbesondere axialstrom-co tief 2 gastransportlaser
JPS5651885A (en) * 1979-10-05 1981-05-09 Hitachi Ltd Laser device
JPS5681988A (en) * 1979-12-07 1981-07-04 Hitachi Ltd Laser oscillator
JPS6028152B2 (ja) * 1980-10-08 1985-07-03 株式会社日立製作所 ガスレ−ザ発振装置
JPS58102582A (ja) * 1981-12-14 1983-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザ発振器
DE3446640C2 (de) * 1983-12-29 2001-08-09 Amada Eng & Service Hochgeschwindigkeits-Axialstrom-Gaslaseroszillator

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015076584A1 (ko) * 2013-11-21 2015-05-28 연세대학교 원주산학협력단 레이저 치료 장치, 레이저 치료 장치의 제어 방법 및 레이저 치료 장치를 위한 핸드피스 장치

Also Published As

Publication number Publication date
GB8432724D0 (en) 1985-02-06
CA1267963A (en) 1990-04-17
JPH0626263B2 (ja) 1994-04-06
FR2557742A1 (fr) 1985-07-05
AU3717984A (en) 1985-07-04
FR2614476A1 (fr) 1988-10-28
SE8406631L (sv) 1985-06-30
IT1177494B (it) 1987-08-26
DE3446640A1 (de) 1985-07-11
FR2614476B1 (fr) 1994-05-13
IL73939A (en) 1988-10-31
GB2158635A (en) 1985-11-13
IL73939A0 (en) 1985-03-31
SE457491B (sv) 1988-12-27
CH667556A5 (de) 1988-10-14
GB2158635B (en) 1988-09-21
DE3446640C2 (de) 2001-08-09
IT8424169A0 (it) 1984-12-21
AU2754488A (en) 1989-04-20
SE8406631D0 (sv) 1984-12-27
FR2557742B1 (fr) 1994-03-25
AU603497B2 (en) 1990-11-15
JPS6127693A (ja) 1986-02-07
KR850005033A (ko) 1985-08-19
AU577342B2 (en) 1988-09-22

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