JPH0747889Y2 - レーザ発振器のミラー固定装置 - Google Patents

レーザ発振器のミラー固定装置

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JPH0747889Y2
JPH0747889Y2 JP1988168618U JP16861888U JPH0747889Y2 JP H0747889 Y2 JPH0747889 Y2 JP H0747889Y2 JP 1988168618 U JP1988168618 U JP 1988168618U JP 16861888 U JP16861888 U JP 16861888U JP H0747889 Y2 JPH0747889 Y2 JP H0747889Y2
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JP
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mirror
mounter
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laser oscillator
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宏一 清水
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Amada Co Ltd
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【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はレーザ発振器の共振ミラーの傾き調整及び固定
手段を改良したレーザ発振器のミラー固定装置に関す
る。
従来の技術 従来知られているCO2レーザ発振器は例えば発振器は全
反射ミラーにより光路を折り曲げ、部分反射ミラーで共
振器内のレーザビームを外部に放射させている。これ等
の反射ミラーは互いに所定の位置関係を保って共振する
ための光路を形成しており、第4図のように反射ミラー
1はL字形ミラーマウンタ2の一辺の途中に設けられ屈
曲部と両端の3個所において発振器本体3に取付けられ
ている。
考案が解決しようとする課題 この取付は発振器本体3に植設固定されたねじ4a,4b,4c
にそぞれミラーマウンタ2の穴を挿通して両側をナット
7,8で挟んで固定している。反射ミラーの傾きの調整を
するには、ねじ4bのナット7,8をゆるめて水平方向の傾
きを調整し、ねじ4cのナット7,8をゆるめて垂直方向の
角度を調整する。
このようにミラーマウンタ2の端を変位させるためねじ
4a,4b,4cは撓み易くする寸法形状に作られている。レー
ザ発振器の動作中はレーザ発振用混合ガスを発振器内で
循環させるのに、送風機を駆動させるため、振動が発生
する。この振動が撓み易いねじから反射ミラー1に伝わ
ると反射ミラーの傾きが微少変位し、レーザ出力の変動
を引き起こして切断等においては切断面の粗さが悪化す
るなどの問題がある。
本考案は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みな
されたもので、その目的とするところは調整が容易で確
実な固定ができるレーザ発振器のミラー固定装置を提供
しようとするものである。
課題を解決するための手段 上述の目的を達成するために本考案は、発振器本体に屈
曲部位を固定し一辺の途中に共振器のミラーを取付けた
L字形ミラーマウンタの腕端を変位させて前記ミラーの
傾きを調整するレーザ発振器において、前記本体に植設
され前記ミラーマウンタの腕端を隙間を有して貫通して
突出したねじ棒と、該ねじ棒の突出部に隙間を有して挿
通した凹・凸座金一対でなる少なくとも1組の球面座金
と、前記ねじ棒端に螺装貫通され前記ミラーマウンタの
保持圧調整用ナットと、前記球面座金を押さえるように
前記保持圧調整用ナットとの間に介挿した圧縮ばねと、
前記ミラーマウンタに前記ねじ棒と平行して螺装され先
端を前記本体に当接させ前記本体と前記ミラーマウンタ
の距離の調整用ボルトとを含んでなり、ミラーの傾き調
整後はばねを密着させてミラーマウンタを固定するもの
である。
またミラーマウンタの腕端を挟持するように設けた凹・
凸座金一対でなる球面座金及びばね部材と、前記ミラー
マウンタとは隙間を有し球面座金及びばね部材を貫通し
中心にねじ穴を穿設したボルト及びナットでなる保持圧
調整部材と、前記本体に固定され該調整する部材のボル
トに螺合して軸方向に変位させるモータ部材とを含んで
なるものである。
作用 請求項1のレーザ発振器のミラー固定装置では、先ず水
平方向の調整で球面座金の間のばね力をミラーマウンタ
を保持する力に調整したあとボルトによりミラーマウン
タの発振器本体よりの距離を変更し、調整終了でナット
で球面座金の間のばねを密着させミラーマウンタを固定
する。
また請求項2のレーザ発振器のミラー固定装置では、ナ
ットを調整してばね圧がミラーマウンタの重量を支える
圧縮量として組付けておきモータを回転して調整部材の
発振器本体からの距離を変えミラーマウンタの傾きを決
める。
請求項3のレーザ発振器のミラー固定装置ではダブルナ
ットを調整してミラーマウンタを支えるばね圧とし固定
したあとボルトを回転して発振器本体とミラーマウンタ
との距離を決める。
実施例 以下本考案の第1実施例のL字形ミラーマウンタ13の両
端部のミラー傾き調整手段を示す第1図において、発振
器本体11に植設固着したねじ棒12がミラーマウンタ13の
穴13aと大きな隙間を有して貫通している。凹・凸座金
一対でなる球面座金14,15の2組をねじ棒12に隙間を有
して挿通し、球面座金14,15の間にばね16を介在させ
る。そしてばねの圧縮量を調整するナット17がねじ棒12
に螺合されている。またミラーマウンタ13の穴13aの近
くにねじ穴13bが穿設されており、ボルト18が螺合され
ていて、発振器本体11の端面のねじ受11aに当接されて
いる。なお、球面座金14,15の一方を省略することも可
能である。
このように構成されたものにおいて、ミラーの傾きを調
整するには、先ず水平方向の傾き調整のためナット17を
調整してミラーマウンタ13の重量を支えるに充分な押付
け力をうるようにばね圧縮量を決める。次いでボルト18
で傾きが所望の値となるようにミラーマウンタ13の発振
器本体11よりの距離を調整する。調整が終了したらナッ
ト17を締め込んでばね16を密着させてミラーマウンタ13
の光軸方向の動きを封じ固定する。この調整によってミ
ラーマウンタ13は発振器本体に対してある角度(通常は
0.5°〜3°)を持つことになるが、穴13aの隙間と球面
座金により充分に吸収される。さらに同様にして垂直方
向の傾きを調整するものである。
第2の実施例を第2図にもとづいき説明する。ミラーマ
ウンタ22の穴22aに発振器本体と反対側に削設したざぐ
り部に凹・凸座金一対でなる球面座金23を当接させこの
球面座金の穴に中心にねじを刻設しミラーマウンタ22の
穴22aに相当の隙間を有するボルト24を挿通する。そし
て皿ばね25をボルトに挿通してミラーマウンタ22の発振
器本体側に当接させる。さらに皿ばね25端面に相当する
段付座金26をボルトに挿通してナット27をボルト24に螺
合させミラーマウンタ22を弾性的に保持させる。発振器
本体21にはボルト24と同心位置にモータ28を固定し、そ
の出力軸と一体のねじ29をボルト24のねじ穴に螺合させ
る。
このような構成において傾きの調整は、調整に先立ち組
立時にミラーマウンタ22の重量を支え且送風機などの振
動力により変位しない保持圧となるように皿ばね25の圧
縮量をナット27で調整しておく、水平方向の傾きの調整
にはモータ28に指令を与えてねじ29を回転させ、ボルト
24即ちミラーマウンタ22の発振器本体21よりの距離を変
更させる。モータ28の制御は図示しないレーザ出力セン
サの出力が最大となるように行うのが好ましい。同様に
して垂直方向の傾きの調整を行うものである。
第3実施例を第3図にもとづき説明する。ミラーマウン
タ32の穴32aの発振器本体31と反対側のさぐり部に凹・
凸座金一対でなる球面座金33を当接させ、その穴及びミ
ラーマウンタの穴に隙間を有してボルト34を挿通する。
平座金35をボルト34に挿通してミラーマウンタに当接さ
せその上に皿ばね36を挿通して段付ナット37を螺合させ
る。さらに止ナット38をボルトに螺合させてロックす
る。そしてボルト34が発振器本体31のねじ穴に螺装され
ている。
このような構成において、ミラーマウンタ32の重量を支
え且送風器の振動で変位しないばね圧に段付ナット37を
調整する。そして止ナット38で段付ナット37をゆるまな
いようにロックする。次いでボルト34を回転してミラー
マウンタ32の水平方向の傾きを調整する。この調整時ボ
ルト34の回転で段付ナット37はロックされているので皿
ばね36との間で滑りばね圧の変動は起こらない。同様に
して垂直方向の傾きを調整するものである。
効果 上述のように構成されているので本考案は以下の効果を
奏する。
請求項1のレーザ発振器のミラー固定装置はミラーマウ
ンタが弾性的に保持され球面座金を介しているので調整
はこじれがなく容易であり、調整後ばねの密着によって
確実に固定され振動による発振出力の変動がなく安定し
た発振器をうることができる。
請求項2のレーザ発振器のミラー固定装置はモータの回
転を遠隔操作で行え発振器内部を大気にさらすことなく
位置調整が可能である。
請求項3のレーザ発振器のミラー固定装置はこじれがな
く確実に固定されるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の第1実施例のミラー傾き調整部の説明
図、第2図は同第2実施例のミラー傾き調整部の説明
図、第3図は同第3実施例のミラー傾き調整部の説明
図、第4図はミラーマウンタ取付状況を示す図、第5図
はミラーマウンタの従来の支え状態を示す図である。 13,22,32……ミラーマウンタ 12……ねじ棒 11,21,31……発振器本体 14,15,23,33……球面座金 16……ばね、17,27……ナット 18,24,34……ボルト 25,36……皿ばね、37……段付ナット 38……止ナット

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】発振器本体に屈曲部位を固定し一辺の途中
    に共振器のミラーを取付けたL字形ミラーマウンタの腕
    端を変位させて前記ミラーの傾きを調整するレーザ発振
    器において、前記本体(11)に植設され前記ミラーマウ
    ンタ(13)の腕端を隙間を有して貫通して突出したねじ
    棒(12)と、該ねじ棒(12)の突出部に隙間を有して挿
    通した凹・凸座金一対でなる少なくとも1組の球面座金
    (14)と、前記ねじ棒(12)端に螺装貫通され前記ミラ
    ーマウンタ(13)の保持圧調整用ナット(17)と、前記
    球面座金(14)を押さえるように前記保持圧調整用ナッ
    トとの間に介挿した圧縮ばね(16)と、前記ミラーマウ
    ンタ(13)に前記ねじ棒(12)と平行して螺装され先端
    を前記本体(11)に当接させ前記本体と前記ミラーマウ
    ンタの距離の調整用ボルト(18)とを含んでなり、ミラ
    ーの傾き調整後はばねを密着させてミラーマウンタを固
    定することを特徴とするレーザ発振器のミラー固定装
    置。
  2. 【請求項2】発振器本体に屈曲部位を固定し一辺の途中
    に共振器のミラーを取付けたL字形ミラーマウンタの腕
    端を変位させて前記ミラーの傾きを調整するレーザ発振
    器において、前記ミラーマウンタ(22)の腕端を挟持す
    るように設けた凹・凸座金一対でなる球面座金(23)及
    びばね部材(25)と、前記ミラーマウンタ(22)とは隙
    間を有し球面座金及びばね部材を貫通し中心にねじ穴を
    穿設したボルト及びナットでなる保持圧調整部材(24,2
    7)と、前記本体(21)に固定され該調整する部材(24,
    27)のボルトに螺合して軸方向に変位させるモータ部材
    (28,29)とを含んでなることを特徴とするレーザ発振
    器のミラー固定装置。
JP1988168618U 1988-12-27 1988-12-27 レーザ発振器のミラー固定装置 Expired - Lifetime JPH0747889Y2 (ja)

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JPH0288262U JPH0288262U (ja) 1990-07-12
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