JPS63241975A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はいわゆる軸流形のガスレーザ発振装置に関する
。

（従来の技術） 従来より、この種輔流形のガスレーザ発振装置は、石英
ガラス等から成る放電管の中間部に励起部を設け、両端
部に反射鏡を設けて構成され、その放電管内でガスを通
し励起させて、得られる光を反射鏡により反射共振させ
、レーザ光とじて取出すようにしている。

而して」二足放電管は一般に複数個の単位放電管を同軸
状に継いで構成されるもので、その連継には内壁面に励
起用のリング状電極を導通状態に当接させた第５図に示
す金属管１が用いられており、これの内部に単位放電管
２の連継すべき端部が挿入され固定されている。そして
上記金属管１は、エポキシガラス積層板やシリコンガラ
ス積層板等から成る絶縁板３に挿入されて、外部から通
した同ヰ」から成る絶縁ボルト４により締付けられるこ
とによって取付けられており、更に絶縁板３は、金属管
１を取付けた部分とは反対側の部分（図中−Ｌ端部）を
、前記反射鏡（図示せず）の支持に供した金属板５に同
反射鏡支持用の支持棒６とは別に固定して設けた低膨張
金属から成る曵数本の支持棒７に嵌着されて夫々固定ボ
ルト８により締付けられることにより取付けられ、斯く
して放電管（単位放電管２）の支持をしている。

（発明が解決しようとする問題点） 然しなから上記従来のものに於いては、放電管の支持を
する絶縁板３がその放電管とは反対側の一方の端部での
み支Ｃｊ棒７に取付けられているため、放電管の支持を
した部分が自由端部となって、外力や振動等があったと
き、その絶縁板３が動き易く、それに伴い単位放電管２
が相互の同軸からずれてレーザ出力が不安定になるとい
う問題点かあり、又、極端な場合にはその不安定になっ
たレーザ光により放電管が破壊されるというような問題
点すらあった。

本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、従っ
てその目的は、放電管の支持をより確実にして、レーザ
出力の安定化を図り得る優れたガスレーザ発振装置を提
供するにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明のガスレーザ発振装置は、放電管の中間部に励起
部を設け両端部に反射鏡を設けたいわゆる軸流形のもの
にあって、その放電管を取付けた絶縁板を前記放電管を
挟んで位置する少なくとも２木の支持棒にわたり夫々弾
性体を介して取付け、これによって放電管の支持をする
ようにしたところに特徴を有する。

（作用） 上記手段によれば、絶縁板は放電管を間にしてその両側
部分が固定され、外力や振動等に対して動きにくくなる
。又、その絶縁板の両数付部分に於いては、この絶縁板
の温度変化による伸縮みに弾性体が応動し、その伸縮み
による外的力が支持棒に及ぶことを防止する。

（実施例） 以下本発明の一実施例につき第１図乃至第３図を参照し
て説明する。

先ず第２図に於いて、１１は放電管であり、これは図中
中央の石英ガラス等から成る第１の＋１を位放電管１２
と両側の夫々同村から成る第２のｌｊ位放電管１３とに
より構成したもので、それらを夫々内壁面に励起用のリ
ング状電極（図示せず）を導通状態に当接させた金属管
１４により同軸状に継いでおり、これによって同時に放
電管１１の中間部に励起部１５を設けた構造としている
。１６は第１の単位放電管１２に設けたガス流出口、１
７は第２の単位放電管１３に夫々設けたガス流入口で、
これらに図示しない循環管体を接続し、更に図示しない
メカニカルブースターポンプ等を接続して、ガスを供給
循環させるようにしている。

１８は第２の単位放電管１３の一方（図中左側）の端部
に設けたレーザ光取出し可能な第１の反射鏡、１９は第
２の単位放電管１３の他方（図中右側）の端部に設けた
反射専用の第２の反射鏡であり、そして２０はその第１
の反射鏡１８部分に１代石した一方の金属板、２１は第
２の反射鏡１９部分に１Ｍ４した他方の金属板で、更に
２２はそれら両金属［２０，２１を第１図に示すように
その各四隅に通し連結して放電管１１の支持をした４本
の低膨張金属から成る支持棒である。

而して２３はエポキシガラス積層板やシリコンガラス積
層板−９から成る絶縁板で、第１図に示すように比較的
長尺なものであり、その中央部に前記金属管１４を第１
及び第２の単位放電管１２゜１３の各端部と共に挿入し
て、外部の上側及び下側の両側から絶縁板２３と同村か
ら成る絶縁ボルト２４を通し、これを締付けて、絶縁板
２３に金属管１４を介し放電管１１を取付けている。そ
して２５は絶縁板２３の両端部に夫々設けた取付孔で、
いずれも第３図に示すような長孔状を成すものにて、こ
れをその内部にこの場合板ばねから成る弾性体２６を収
めて、前記支持棒２２の４本のうちの放電管１１を挾ん
で同図中左上及び右下に位置する２本の支持棒２２の夫
々に嵌合し、その」―で夫々固定ボルト２７を通し締付
けることによって、絶縁板２３を」二足２本の支持棒２
２に夫々弾性体２６を介して取付けている。

さて、」二連の如＜（１カ成したものの場合、放電管１
１は絶縁板２３により支持されるもので、その絶縁板２
３は放電管１１を間にしてその両側部分を支持棒２２に
取付けており、従って従来の一〕ｊ側のみを支持棒７に
取付けた絶縁板３と違って、外力や振動を受けても放電
管１１部分は動きにくく、よって４１位放電管１２．１
３にずれを生じず、レーザ出力を安定して得ることがで
きる。

又、絶縁板２３の」二足両取付部分に於いては、この絶
縁板２３の温度変化による伸縮みに対して弾性体２６か
応動し、即ち、絶縁板２３が伸びれば弾性体２Ｂが縮み
、そしてその伸びた状態から絶縁板２３か縮めば弾性体
２６が伸びるもので、それによってその伸縮みによる外
的力が支持棒２２に及ぶことを防止でき、更にはその支
持棒２２から金属Ｅ２０．２１ひいては反射鏡１８．１
９部分に及ぶことを防１Ｆできて、それら反射鏡１８゜
１９の対向角度、距離を狂わさず、これにてレーザ出力
の安定化を一層図ることができる。

そして特に本実施例の場合、絶縁板２３を取付けた支持
棒２２は、本来、金属板２０．２１を介して反射鏡１８
．１９部分の支持をしているところのものであり、斯様
な支持棒２２を放電管１１の支持にｆｌｌ用できること
になるから、放電管１１支持用として従来の支持棒７の
ような専用の支持棒を別途必要とすることがなく、斯く
して放電管１１の」二連の確実な支持を合理的な構造で
実現し得、価格の低廉化を達成することができる。

ここて、第４図は本発明の異なる実施例を示したもので
、絶縁板２３の支持棒２２に対する取付部分に介する弾
性体として、前述の板ばねから成る弾性体２６に代え、
コイルばねから成る弾性体２８を使用するようにしたも
のであり、このようにしても絶縁板２３の伸縮みに対し
前述同様の作用効果を得ることができる。

この他、本発明は１−記しＩ’Ｌつ図面に示した実施例
にのみ限定されるものではなく、殊に絶縁板は前述の２
本の支持棒以外の支持棒にも取付けるようにしても良い
など、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得
る。

［発明の効果］ 以」−の記述にて明らかなように本発明のガスレーザ発
振装置によれば、放電管を取付けた絶縁板を族１−ｈ管
を挟んで位置する少なくとも２本の支持棒にわたり夫々
弾性体を介して取付け、これによって放電管の支持をす
るようにしたことから、放電管の支持を、外力や振動そ
して絶縁板の温度安住による伸縮み等に対し、より確実
にし得て、レーザ出力の安定化を達成し得るという優れ
た効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の一実施例を示したものにて
、第１図は第２図のＩ−Ｉ線に沿う断面図、第２図は第
１図の■−■線に沿う断面図、第３図は第１図の■部分
の拡人破断図である。又、第４図は本発明の異なる実施
例を示した第３図相当図であり、そして第５図は従来例
の第１図相当図である。 図面中、１１は放電管、１２は第１の単位放電管、１３
は第２の単位放電管、１５は励起部、１８は第１の反射
鏡、１９は第２の反射鏡、２０は一方の金属板、２１は
他方の金属板、２２は支持棒、２３は絶縁板、２６及び
２８はともに弾性体を示す〇 出願人　　株式会社　　東　　芝 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、放電管の中間部に励起部を設け両端部に反射鏡を設
   けて成るものであって、その放電管を、絶縁板に取付け
   て、この絶縁板を前記放電管を挟んで位置する少なくと
   も２本の支持棒にわたり夫々弾性体を介して取付けるこ
   とにより、支持するようにしたことを特徴とするガスレ
   ーザ発振装置。