JPS63241975A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS63241975A JPS63241975A JP7696187A JP7696187A JPS63241975A JP S63241975 A JPS63241975 A JP S63241975A JP 7696187 A JP7696187 A JP 7696187A JP 7696187 A JP7696187 A JP 7696187A JP S63241975 A JPS63241975 A JP S63241975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- discharge tube
- insulating plate
- reflecting mirror
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 6
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 abstract 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 abstract 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 15
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 6
- 239000005340 laminated glass Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明はいわゆる軸流形のガスレーザ発振装置に関する
。
。
(従来の技術)
従来より、この種輔流形のガスレーザ発振装置は、石英
ガラス等から成る放電管の中間部に励起部を設け、両端
部に反射鏡を設けて構成され、その放電管内でガスを通
し励起させて、得られる光を反射鏡により反射共振させ
、レーザ光とじて取出すようにしている。
ガラス等から成る放電管の中間部に励起部を設け、両端
部に反射鏡を設けて構成され、その放電管内でガスを通
し励起させて、得られる光を反射鏡により反射共振させ
、レーザ光とじて取出すようにしている。
而して」二足放電管は一般に複数個の単位放電管を同軸
状に継いで構成されるもので、その連継には内壁面に励
起用のリング状電極を導通状態に当接させた第5図に示
す金属管1が用いられており、これの内部に単位放電管
2の連継すべき端部が挿入され固定されている。そして
上記金属管1は、エポキシガラス積層板やシリコンガラ
ス積層板等から成る絶縁板3に挿入されて、外部から通
した同ヰ」から成る絶縁ボルト4により締付けられるこ
とによって取付けられており、更に絶縁板3は、金属管
1を取付けた部分とは反対側の部分(図中−L端部)を
、前記反射鏡(図示せず)の支持に供した金属板5に同
反射鏡支持用の支持棒6とは別に固定して設けた低膨張
金属から成る曵数本の支持棒7に嵌着されて夫々固定ボ
ルト8により締付けられることにより取付けられ、斯く
して放電管(単位放電管2)の支持をしている。
状に継いで構成されるもので、その連継には内壁面に励
起用のリング状電極を導通状態に当接させた第5図に示
す金属管1が用いられており、これの内部に単位放電管
2の連継すべき端部が挿入され固定されている。そして
上記金属管1は、エポキシガラス積層板やシリコンガラ
ス積層板等から成る絶縁板3に挿入されて、外部から通
した同ヰ」から成る絶縁ボルト4により締付けられるこ
とによって取付けられており、更に絶縁板3は、金属管
1を取付けた部分とは反対側の部分(図中−L端部)を
、前記反射鏡(図示せず)の支持に供した金属板5に同
反射鏡支持用の支持棒6とは別に固定して設けた低膨張
金属から成る曵数本の支持棒7に嵌着されて夫々固定ボ
ルト8により締付けられることにより取付けられ、斯く
して放電管(単位放電管2)の支持をしている。
(発明が解決しようとする問題点)
然しなから上記従来のものに於いては、放電管の支持を
する絶縁板3がその放電管とは反対側の一方の端部での
み支Cj棒7に取付けられているため、放電管の支持を
した部分が自由端部となって、外力や振動等があったと
き、その絶縁板3が動き易く、それに伴い単位放電管2
が相互の同軸からずれてレーザ出力が不安定になるとい
う問題点かあり、又、極端な場合にはその不安定になっ
たレーザ光により放電管が破壊されるというような問題
点すらあった。
する絶縁板3がその放電管とは反対側の一方の端部での
み支Cj棒7に取付けられているため、放電管の支持を
した部分が自由端部となって、外力や振動等があったと
き、その絶縁板3が動き易く、それに伴い単位放電管2
が相互の同軸からずれてレーザ出力が不安定になるとい
う問題点かあり、又、極端な場合にはその不安定になっ
たレーザ光により放電管が破壊されるというような問題
点すらあった。
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、従っ
てその目的は、放電管の支持をより確実にして、レーザ
出力の安定化を図り得る優れたガスレーザ発振装置を提
供するにある。
てその目的は、放電管の支持をより確実にして、レーザ
出力の安定化を図り得る優れたガスレーザ発振装置を提
供するにある。
[発明の構成]
(問題点を解決するための手段)
本発明のガスレーザ発振装置は、放電管の中間部に励起
部を設け両端部に反射鏡を設けたいわゆる軸流形のもの
にあって、その放電管を取付けた絶縁板を前記放電管を
挟んで位置する少なくとも2木の支持棒にわたり夫々弾
性体を介して取付け、これによって放電管の支持をする
ようにしたところに特徴を有する。
部を設け両端部に反射鏡を設けたいわゆる軸流形のもの
にあって、その放電管を取付けた絶縁板を前記放電管を
挟んで位置する少なくとも2木の支持棒にわたり夫々弾
性体を介して取付け、これによって放電管の支持をする
ようにしたところに特徴を有する。
(作用)
上記手段によれば、絶縁板は放電管を間にしてその両側
部分が固定され、外力や振動等に対して動きにくくなる
。又、その絶縁板の両数付部分に於いては、この絶縁板
の温度変化による伸縮みに弾性体が応動し、その伸縮み
による外的力が支持棒に及ぶことを防止する。
部分が固定され、外力や振動等に対して動きにくくなる
。又、その絶縁板の両数付部分に於いては、この絶縁板
の温度変化による伸縮みに弾性体が応動し、その伸縮み
による外的力が支持棒に及ぶことを防止する。
(実施例)
以下本発明の一実施例につき第1図乃至第3図を参照し
て説明する。
て説明する。
先ず第2図に於いて、11は放電管であり、これは図中
中央の石英ガラス等から成る第1の+1を位放電管12
と両側の夫々同村から成る第2のlj位放電管13とに
より構成したもので、それらを夫々内壁面に励起用のリ
ング状電極(図示せず)を導通状態に当接させた金属管
14により同軸状に継いでおり、これによって同時に放
電管11の中間部に励起部15を設けた構造としている
。16は第1の単位放電管12に設けたガス流出口、1
7は第2の単位放電管13に夫々設けたガス流入口で、
これらに図示しない循環管体を接続し、更に図示しない
メカニカルブースターポンプ等を接続して、ガスを供給
循環させるようにしている。
中央の石英ガラス等から成る第1の+1を位放電管12
と両側の夫々同村から成る第2のlj位放電管13とに
より構成したもので、それらを夫々内壁面に励起用のリ
ング状電極(図示せず)を導通状態に当接させた金属管
14により同軸状に継いでおり、これによって同時に放
電管11の中間部に励起部15を設けた構造としている
。16は第1の単位放電管12に設けたガス流出口、1
7は第2の単位放電管13に夫々設けたガス流入口で、
これらに図示しない循環管体を接続し、更に図示しない
メカニカルブースターポンプ等を接続して、ガスを供給
循環させるようにしている。
18は第2の単位放電管13の一方(図中左側)の端部
に設けたレーザ光取出し可能な第1の反射鏡、19は第
2の単位放電管13の他方(図中右側)の端部に設けた
反射専用の第2の反射鏡であり、そして20はその第1
の反射鏡18部分に1代石した一方の金属板、21は第
2の反射鏡19部分に1M4した他方の金属板で、更に
22はそれら両金属[20,21を第1図に示すように
その各四隅に通し連結して放電管11の支持をした4本
の低膨張金属から成る支持棒である。
に設けたレーザ光取出し可能な第1の反射鏡、19は第
2の単位放電管13の他方(図中右側)の端部に設けた
反射専用の第2の反射鏡であり、そして20はその第1
の反射鏡18部分に1代石した一方の金属板、21は第
2の反射鏡19部分に1M4した他方の金属板で、更に
22はそれら両金属[20,21を第1図に示すように
その各四隅に通し連結して放電管11の支持をした4本
の低膨張金属から成る支持棒である。
而して23はエポキシガラス積層板やシリコンガラス積
層板−9から成る絶縁板で、第1図に示すように比較的
長尺なものであり、その中央部に前記金属管14を第1
及び第2の単位放電管12゜13の各端部と共に挿入し
て、外部の上側及び下側の両側から絶縁板23と同村か
ら成る絶縁ボルト24を通し、これを締付けて、絶縁板
23に金属管14を介し放電管11を取付けている。そ
して25は絶縁板23の両端部に夫々設けた取付孔で、
いずれも第3図に示すような長孔状を成すものにて、こ
れをその内部にこの場合板ばねから成る弾性体26を収
めて、前記支持棒22の4本のうちの放電管11を挾ん
で同図中左上及び右下に位置する2本の支持棒22の夫
々に嵌合し、その」―で夫々固定ボルト27を通し締付
けることによって、絶縁板23を」二足2本の支持棒2
2に夫々弾性体26を介して取付けている。
層板−9から成る絶縁板で、第1図に示すように比較的
長尺なものであり、その中央部に前記金属管14を第1
及び第2の単位放電管12゜13の各端部と共に挿入し
て、外部の上側及び下側の両側から絶縁板23と同村か
ら成る絶縁ボルト24を通し、これを締付けて、絶縁板
23に金属管14を介し放電管11を取付けている。そ
して25は絶縁板23の両端部に夫々設けた取付孔で、
いずれも第3図に示すような長孔状を成すものにて、こ
れをその内部にこの場合板ばねから成る弾性体26を収
めて、前記支持棒22の4本のうちの放電管11を挾ん
で同図中左上及び右下に位置する2本の支持棒22の夫
々に嵌合し、その」―で夫々固定ボルト27を通し締付
けることによって、絶縁板23を」二足2本の支持棒2
2に夫々弾性体26を介して取付けている。
さて、」二連の如<(1カ成したものの場合、放電管1
1は絶縁板23により支持されるもので、その絶縁板2
3は放電管11を間にしてその両側部分を支持棒22に
取付けており、従って従来の一〕j側のみを支持棒7に
取付けた絶縁板3と違って、外力や振動を受けても放電
管11部分は動きにくく、よって41位放電管12.1
3にずれを生じず、レーザ出力を安定して得ることがで
きる。
1は絶縁板23により支持されるもので、その絶縁板2
3は放電管11を間にしてその両側部分を支持棒22に
取付けており、従って従来の一〕j側のみを支持棒7に
取付けた絶縁板3と違って、外力や振動を受けても放電
管11部分は動きにくく、よって41位放電管12.1
3にずれを生じず、レーザ出力を安定して得ることがで
きる。
又、絶縁板23の」二足両取付部分に於いては、この絶
縁板23の温度変化による伸縮みに対して弾性体26か
応動し、即ち、絶縁板23が伸びれば弾性体2Bが縮み
、そしてその伸びた状態から絶縁板23か縮めば弾性体
26が伸びるもので、それによってその伸縮みによる外
的力が支持棒22に及ぶことを防止でき、更にはその支
持棒22から金属E20.21ひいては反射鏡18.1
9部分に及ぶことを防1Fできて、それら反射鏡18゜
19の対向角度、距離を狂わさず、これにてレーザ出力
の安定化を一層図ることができる。
縁板23の温度変化による伸縮みに対して弾性体26か
応動し、即ち、絶縁板23が伸びれば弾性体2Bが縮み
、そしてその伸びた状態から絶縁板23か縮めば弾性体
26が伸びるもので、それによってその伸縮みによる外
的力が支持棒22に及ぶことを防止でき、更にはその支
持棒22から金属E20.21ひいては反射鏡18.1
9部分に及ぶことを防1Fできて、それら反射鏡18゜
19の対向角度、距離を狂わさず、これにてレーザ出力
の安定化を一層図ることができる。
そして特に本実施例の場合、絶縁板23を取付けた支持
棒22は、本来、金属板20.21を介して反射鏡18
.19部分の支持をしているところのものであり、斯様
な支持棒22を放電管11の支持にfll用できること
になるから、放電管11支持用として従来の支持棒7の
ような専用の支持棒を別途必要とすることがなく、斯く
して放電管11の」二連の確実な支持を合理的な構造で
実現し得、価格の低廉化を達成することができる。
棒22は、本来、金属板20.21を介して反射鏡18
.19部分の支持をしているところのものであり、斯様
な支持棒22を放電管11の支持にfll用できること
になるから、放電管11支持用として従来の支持棒7の
ような専用の支持棒を別途必要とすることがなく、斯く
して放電管11の」二連の確実な支持を合理的な構造で
実現し得、価格の低廉化を達成することができる。
ここて、第4図は本発明の異なる実施例を示したもので
、絶縁板23の支持棒22に対する取付部分に介する弾
性体として、前述の板ばねから成る弾性体26に代え、
コイルばねから成る弾性体28を使用するようにしたも
のであり、このようにしても絶縁板23の伸縮みに対し
前述同様の作用効果を得ることができる。
、絶縁板23の支持棒22に対する取付部分に介する弾
性体として、前述の板ばねから成る弾性体26に代え、
コイルばねから成る弾性体28を使用するようにしたも
のであり、このようにしても絶縁板23の伸縮みに対し
前述同様の作用効果を得ることができる。
この他、本発明は1−記しI’Lつ図面に示した実施例
にのみ限定されるものではなく、殊に絶縁板は前述の2
本の支持棒以外の支持棒にも取付けるようにしても良い
など、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得
る。
にのみ限定されるものではなく、殊に絶縁板は前述の2
本の支持棒以外の支持棒にも取付けるようにしても良い
など、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施し得
る。
[発明の効果]
以」−の記述にて明らかなように本発明のガスレーザ発
振装置によれば、放電管を取付けた絶縁板を族1−h管
を挟んで位置する少なくとも2本の支持棒にわたり夫々
弾性体を介して取付け、これによって放電管の支持をす
るようにしたことから、放電管の支持を、外力や振動そ
して絶縁板の温度安住による伸縮み等に対し、より確実
にし得て、レーザ出力の安定化を達成し得るという優れ
た効果を奏する。
振装置によれば、放電管を取付けた絶縁板を族1−h管
を挟んで位置する少なくとも2本の支持棒にわたり夫々
弾性体を介して取付け、これによって放電管の支持をす
るようにしたことから、放電管の支持を、外力や振動そ
して絶縁板の温度安住による伸縮み等に対し、より確実
にし得て、レーザ出力の安定化を達成し得るという優れ
た効果を奏する。
第1図乃至第3図は本発明の一実施例を示したものにて
、第1図は第2図のI−I線に沿う断面図、第2図は第
1図の■−■線に沿う断面図、第3図は第1図の■部分
の拡人破断図である。又、第4図は本発明の異なる実施
例を示した第3図相当図であり、そして第5図は従来例
の第1図相当図である。 図面中、11は放電管、12は第1の単位放電管、13
は第2の単位放電管、15は励起部、18は第1の反射
鏡、19は第2の反射鏡、20は一方の金属板、21は
他方の金属板、22は支持棒、23は絶縁板、26及び
28はともに弾性体を示す〇 出願人 株式会社 東 芝 第1図 第2図
、第1図は第2図のI−I線に沿う断面図、第2図は第
1図の■−■線に沿う断面図、第3図は第1図の■部分
の拡人破断図である。又、第4図は本発明の異なる実施
例を示した第3図相当図であり、そして第5図は従来例
の第1図相当図である。 図面中、11は放電管、12は第1の単位放電管、13
は第2の単位放電管、15は励起部、18は第1の反射
鏡、19は第2の反射鏡、20は一方の金属板、21は
他方の金属板、22は支持棒、23は絶縁板、26及び
28はともに弾性体を示す〇 出願人 株式会社 東 芝 第1図 第2図
Claims (1)
- 1、放電管の中間部に励起部を設け両端部に反射鏡を設
けて成るものであって、その放電管を、絶縁板に取付け
て、この絶縁板を前記放電管を挟んで位置する少なくと
も2本の支持棒にわたり夫々弾性体を介して取付けるこ
とにより、支持するようにしたことを特徴とするガスレ
ーザ発振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7696187A JPS63241975A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7696187A JPS63241975A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63241975A true JPS63241975A (ja) | 1988-10-07 |
Family
ID=13620383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7696187A Pending JPS63241975A (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63241975A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7064908B2 (en) | 2004-04-21 | 2006-06-20 | The Boeing Company | Laser beam jitter reduction device on a laser optical bench |
US8135051B2 (en) * | 2008-07-17 | 2012-03-13 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP7696187A patent/JPS63241975A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7064908B2 (en) | 2004-04-21 | 2006-06-20 | The Boeing Company | Laser beam jitter reduction device on a laser optical bench |
US8135051B2 (en) * | 2008-07-17 | 2012-03-13 | Fanuc Ltd | Gas laser oscillator |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS62128579A (ja) | ガス・レ−ザ | |
JPH0732275B2 (ja) | 折り重ね光線路炭酸ガス・レーザー | |
JP3858695B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
JPS63241975A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
US4044283A (en) | Electromechanical resonator | |
US4897851A (en) | Water cooled laser housing and assembly | |
US5233406A (en) | Recessed center post mounted dither system | |
JPS6232634B2 (ja) | ||
JPS61199685A (ja) | レ−ザ発振器 | |
JPS6366435B2 (ja) | ||
JPH06188484A (ja) | ストリップ導波路レーザ | |
JPH08505228A (ja) | 静電光路長制御用変換器 | |
JPS62152190A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
JPS64829B2 (ja) | ||
JPH02219289A (ja) | レーザー共振器 | |
JPH0221678A (ja) | 軸流形ガスレーザ装置 | |
JPH0587034B2 (ja) | ||
US4342117A (en) | Mirror mounting arrangement for a laser | |
JP2937441B2 (ja) | He―Neガスレーザ装置 | |
JPH10174469A (ja) | 超音波振動子 | |
JP2006295226A (ja) | レーザ発振装置 | |
JPS59207676A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
GB2228361A (en) | Laser tube with adjustable internal mirrors | |
JPH05315672A (ja) | レーザ発振器のフレーム | |
SU1319121A1 (ru) | Зеркальна антенна |