JPS62128579A - ガス・レ−ザ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産！、上の１ 本発明は、特に、その励゛発空間を軸方向に境界してい
る、それぞれ、放射方向フランジにより連結されている
２１１１Ｊの鏡及び励発空間と、放射方向フランジとの
間のベロー・シールを有している放射方向の励光器を有
しており、この場合、放射方向フランジはスペーサ棒を
介して相互に連結されているガス・レーザに関するもの
である。

従３１０支止− このようなレーザは、ドイツ特許公開第３００９６１１
号公報から公知となっている。このレーザにおいては、
端部フランジに配置された共鳴鏡が、金灰袋を介してレ
ーザ管と連結され、中心状めされている。特に、ベロー
配置により、レーザ体の不可避の長さ膨張が可能でなけ
ればならない、この公開公報の図面から、個々の＋１４
成部分、特に、レーザ嬬部鏡が、ねじリングを介してシ
ールされて緊締されていることが分かる。このために、
端部フランジには、雄ねじが、示されている。このよう
な鏡の配置は、このような緊張リングを介して、鏡の上
に圧力が加えられ、これにより、張力の無い、変位の無
い軸受けが保証されないと（°λ・う欠点がある。

口が　２しよ゛と　る、Ｊ題」 本発明は、今や、鏡が移転自在に保持され、その鏡は、
その上、圧力無しに軸受けされ、また、簡単な鏡の予調
節及び万一の鏡の後からの調節を可能とし、最後に、鏡
をレーザの運転の場合にも、また、移転自在に保持する
という可能性が与えんれるレーザを得るという課題に基
礎を薗くものである。

１１′″　　を”１７ための− この課題は、当初に記載された種類のレーザにおいて、
鏡がそれぞれ放射方向のフランジと共に一つの構成ユニ
ットを形成していること、各放射方向フランジがその励
発空間と反対側の上において溶接されたベローを介して
、レーザ内部空間念外部環境から隔離している端部部分
に溶接され・ること、放射方向フランジがスペーサ棒に
旋回自在に軸受けされることにより解決される。

この配直により、共鳴鏡は、それぞれ、２個のベローの
間に軸受けされ、これにより、鏡ないしは鏡体の両側に
おいて、共鳴内部空間の圧力が作用するようになる。更
に、この構成は、鏡が、構成ユニットとしてあらかじめ
仕上げられている放射方向フランジ及びそれに溶接され
ているベローと共に熱影響により鏡体の変位の現れるこ
と無しに、レーザの内部に溶接されることができる。鏡
及び所属される放射方向フランジが、材料ブロックから
作られることができ、あるいは、組み立ての前に、相互
に連結される２個の構成部分から、ろう付け、あるいは
、溶接されることができる。

上記のレーザ構造は、多経路を有するレーザに対して特
に有効である。なぜならば、このようなレーザ輪郭にお
いては、鏡のわずかな変形が、非１１ｉとなるからであ
る。

上記のレーザの組み立てに対しては、次ぎの方法が有利
であることが分かった。まず、鏡体を形成している材料
ブロックが、鏡面とされる前に、フランジにろう付は又
は溶接される。あるいは、鏡体及びフランジが材料ブロ
ックから加工される。続いて、この鏡体は、なまされる
０時間及び温度は、それらが、加工されるべき本体の内
部の機械的応力を解消させるのに十分であるよ・うに選
択されるが、この応力は、特に、２個の溶接された部分
から成り立っている本体において、生ずることがあるも
のである。銅材料ブロックの場合においては、２５０℃
と４００°Ｃとの間の温度において、１時間と５時間と
の間の焼鈍時間である９次ぎに、又は、他の機械的に負
荷を加えない中間段階の陵に、鏡が、材料ブロックのそ
のために考慮されている領域内において加工される。こ
の方法段階は、好適には、ダイアモンド工具によって行
われる。フランジを有するこの鏡本体に、今や、ベロー
がろう付けされ、又は、好適には、レーザにより溶接さ
れる。このベローにおいては、薄い、柔らかい要素を問
題としているので、そのフランジにおける溶接ないしは
鏡本体　フランジ構成ユニットにおける溶接は、きわど
いものでは無い。

フランジの両側においてベローにより、レーザの調節の
ための鏡の簡単な旋回が、可能である。

鏡本体の加工のために、作り出されるべき鏡面の領域内
への良好な近けき性を保証するために、各鏡本体が、励
発室に向いている放射方向フランジの放射方向平面を越
えて突出することが有利であることが分かった。

鏡本体の中に鏡面が加工される前に、両方のベローが放
射方向フランジに溶接又はろう付けされることが有利で
ある。この場合、放射方向平面を越えて突出する鏡本体
の軸方向長さが、励発室に向いているベローないしは溶
接突起の軸方向長さよりも、より大きく、これにより、
加工されるべき鏡面が自由に近付き可能であるようにす
る０本発明によるレーザないしはその鏡保持のｔＲｍに
より、鏡をレーザの運転の場合にも、また、変位自在に
保持する手段を取る可能性を与える。このために、鏡本
体は、鏡面に近い鏡本体の領域内に少なくとも１個の冷
却導溝を有している放射方向フランジに連結される。こ
の冷却導溝は、問題無しに、放射方向フランジの中に、
溝の形状で、それから、放射方向フランジが、鏡本体と
、例えば、溶接又はろう付けされる前に、切削されるこ
とができる。レーザの運転の間に、この冷却導溝は、ガ
ス又は流体を貫流され、鏡本体を、ある一定の、低い温
度に保持し、これにより、鏡の温度に関係する変形が締
め出されるようにする。場合によっては、レーザの運転
の間に現れる、鏡の変形及びそれによる鏡の変調に導く
温度こう配が、鏡本体の領域内において抑制される。鏡
の調節のために、特に、鏡の後調節のために。

放射方向フランジは、スペーサ棒に対して旋回可能に軸
受けされており、また、スペーサ棒に取り付けられたね
じ要素により、調節可能となっている。

このために、好適には、３個が挿入され且つ長さの不変
の材料（アンバー、石英など）から成り立っているスペ
ーサ棒は、精密雄ねじを有しており、その上に、それぞ
れ、２個の調節ナツトが置かれ、それらのナツトの間に
おいて、放射方向フランジが固定可能であるようになっ
ている。

ベローの放射方向のフランジとの容易な溶接を可能とす
るために、連結箇所の領域内において、放射方向フラン
ジの両側に突起を設けることが有利である。

火−」［−躬一 本発明の他の詳細及び特徴は、その実施例を示す添付図
面に基づく以下の説明から、明瞭となるものと信じられ
る。

第１図に示されたレーザは、２個の鏡本体１及び２を有
しているが、それらの鏡面３及び４は、レーザ室（励発
室）５を軸方向において境界している。放射方向におい
て、レーザ室５は、内部型ｒ！ｆ１６及び外部電極７に
より境界されているが、それらの電ｉ６．７は、環状空
間を形成して相互に間隔を置いて配置されている。

第２図が示すように、鏡本体１．２は、厚壁の円筒部材
であり、その間口８を貫いて内部電極６が導かれる。こ
の鏡本体１．２の外側には、それぞれ、１個の放り、こ
れらのフランジ９．１０は、それ自体、例えば、アンバ
又は石英製の保持棒（スペーサ棒）１１の形状の外部支
持構造物に導かれている。放射方向フランジ９．１０は
、環状溝１２を設けられており、これは、一方の側を鏡
本体１．２の外面により境界されている。

この環状溝１２を介して、冷却媒体、例えば、水が流入
管ないしは流出管１３を介して供給ないしは排出され、
鏡本体１．２が、運転の間に冷却され、これにより、温
度変動による鏡本体、従って、鏡面の変形が締め出され
るようにする。若しも、このような冷却手段が必要では
ないならば、鏡本体１．２及びそれに所属される放射方
向フランジ９．１０は、一つの材料ブロックから仕上げ
られることができる０両方の放射方向のフランジ９．１
０のそれぞれは、その両方の放射方向の平面に、それぞ
れ、１個の環状状突起１４を有しており、この突起１４
には、それぞれ、ベロー１５の形状の機械的に軟らかい
中間要素が、例えば、レーザ溶接により、溶接されてい
る。このベロー１５を介して、鏡　放射方向フランジの
ｔＲ造ユニッレーザ励発室５と反対側のベロー１５が、
閉塞板１６．１７（端部部材）に連結されている。この
閉塞板１６，１７は、保持棒１１に動かないように連結
されている。第１図において、符号１７で示されている
一つの閉塞板は、窓１８を有しており、この窓１８から
、レーザ光線は、ベロー鏡として役立っている鏡面３．
４の間において環状空間５を走行した後、出る。この窓
１８の位置に対応して、鏡本体１の中には、鏡本体を貫
いて導かれた穴の形状の出口開口１９が、設けられてい
る。

内部電極６が、参照符号１７を付けられた閉塞板の中に
、対応する穴の中に差し込まれたビン２０を介して軸受
けされるが、内部電［６は、他のＶＡ立板１６を貫いて
外部へ導かれ、また、他のベロー２１を介して外部へ導
かれ、このベロー２１は、一方では、この閉塞板１６と
、また、他方では、内部電極６の上に置かれた閉塞リン
グ２７と、それぞれ、連結されている。

レーザの電気供給は、第１図には、略図風に高周波発生
器２２及びインピーダンス整合要素２３の形式％式％ 鏡面３．４ｆ！−有している鏡本体１．２の調節のため
には、保持棒１１の上に、それぞれ、放射方向フランジ
９．１０の両側において、ねじ要素２５（調節ねじ）が
支持棒１１の精密ねじ２４の上にねじ込まれており、そ
れらの回転により、保持棒１１に沿って放射方向フラン
ジ９．１０が、鏡面と共に傾動されることができる。

好適には、これらのねじ要素２５は、突起２６を有し、
これにより、点状の軸承が形成されるようにすること望
ましい、各放射方向フランジ９．１０は、存在する保持
ｐＪ１１のそれぞれに、このようなねじ要素により固定
されるので、傾動、従って、鏡面のすべての方向におけ
る調節が可能である。

これらのねじ要素２５は、良好に近ｆすき可能であり、
従って、レーザの運転の後に、後からの調節が問題無く
可能であるようにする。

几３目と肱逮一 本発明は、上記のような構成及び作用を有しているので
、鏡が変位不能に且つ圧力焦しに保持され、その上、簡
単に鏡の調節が可能であるガス・レーザを提供するもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ベロー鏡をとして本発明により形成された鏡
が装備されている多経路を有するレーザの略図、第２［
］は、第１図に示す両方のベロー鏡の内の一方を示す拡
大断面図である。 １．２・・・鏡本体、５・・・励発室、９、ｌＯ・・・
放射方向フランジ、１１・・・スペーサ捧−１２・・・
冷却溝、１４・・・突起、１５・・・ベロー、１６Ｊ７
・・・端部部分、２５・・・ねじ要素、２８・・・放射
方向面。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、その励発室を軸方向に境界している２個の、それぞ
   れ、放射方向フランジによって連結されている２個の鏡
   及び励発室と放射方向フランジとの間のベロー・シール
   を有しており、この場合、放射方向のフランジはスペー
   サ棒を介して相互に連結されているガス・レーザ、特に
   、放射方向励発を有しているガス・レーザにおいて、鏡
   ないしは鏡体（１、２）が、それぞれ、放射方向フラン
   ジ（９、１０）と共に一つの構成ユニットを形成してい
   ることと、各放射方向フランジ（９、１０）が、その励
   発室（５）と反対側の上にシールされて溶接されたベロ
   ー（１５）を介してレーザ内部空間を外気に対してシー
   ルされている端部分（１６、１７）に溶接されているこ
   とと、放射方向フランジ（９、１０）が、スペーサ棒（
   １１）に傾動自在に軸受けされていることとを特徴とす
   るガス・レーザ。 ２、鏡体（１、２）が、励発室（５）の方に向いている
   放射方向フランジ（９、１０）の放射面（２８）を越え
   て突出している特許請求の範囲第１項記載のガス・レー
   ザ。 ３、放射方向面（２８）を越えて突出している鏡体（１
   、２）の軸方向長さが、励発室（５）の方に向いている
   ベロー（１５）の軸方向長さよりも、より大きい特許請
   求の範囲第２項記載のガス・レーザ。 ４、各放射方向フランジ（９、１０）が、鏡体（１、２
   ）に近い領域内において少なくとも１個の冷却溝（１２
   ）を有している特許請求の範囲第１、２又は３項記載の
   ガス・レーザ。 ５、放射方向フランジ（９、１０）の傾動性が、スペー
   サ棒（１１）に取り付けられたねじ要素（２５）により
   調節可能である特許請求の範囲第１、２、３又は４項記
   載のガス・レーザ。 ６、放射方向フランジ（９、１０）が、両側に突起（１
   ４）を有しており、これらの突起にベロー（１５）が、
   溶接されている特許請求の範囲第１〜５項のいずれかに
   記載のガス・レーザ。 ７、放射方向面を越えて突出している鏡体（１、２）の
   軸方向長さが、励発室（５）の方に向いている突起（１
   ４）の軸方向の延長よりも、より大きい特許請求の範囲
   第６項記載のガス・レーザ。