JPS6196784A - ガスレ−ザ - Google Patents
ガスレ−ザInfo
- Publication number
- JPS6196784A JPS6196784A JP21812684A JP21812684A JPS6196784A JP S6196784 A JPS6196784 A JP S6196784A JP 21812684 A JP21812684 A JP 21812684A JP 21812684 A JP21812684 A JP 21812684A JP S6196784 A JPS6196784 A JP S6196784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- chamber
- laser
- gas
- mirrors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、ガスレーデとくにその共振器の改良に関する
。
。
（従来の技術）
従来の内部鏡式ガスレーザを概念的に示した第３図にお
いて、全反射鏡であるリアミラー１と部分透過鏡（出力
鏡）であるフロントミ′７−２は、光共振器を構成する
とともに、チャンバ３の封止手段として機能する。
いて、全反射鏡であるリアミラー１と部分透過鏡（出力
鏡）であるフロントミ′７−２は、光共振器を構成する
とともに、チャンバ３の封止手段として機能する。
このガスレーデにおいて、チャンバ３内に配設された一
対の放′Ｆ！Ｌ１電極４＃５間でグロー放電が行なわれ
ると、該チャンバ３の内のレーデ媒質ガスが励起される
。これにより上記ミラー１，２間でレーデ発振が生起さ
れ、そのさい発振光の一部がレーザ光とし、てフロント
ミラー２から取出される。
対の放′Ｆ！Ｌ１電極４＃５間でグロー放電が行なわれ
ると、該チャンバ３の内のレーデ媒質ガスが励起される
。これにより上記ミラー１，２間でレーデ発振が生起さ
れ、そのさい発振光の一部がレーザ光とし、てフロント
ミラー２から取出される。
（発明が解決しようとする問題点）
一般にがスレーブにおいては、上記電極４，５間で形成
された放電領域が発振波長の光に対する高利得増幅器と
して機能するが、非放電領域では上記発振波長の光に対
し大きな吸収作ｔをもつ減衰器として機能する。しかも
、上記非放電領域の吸収作用はガスの温度を上昇させる
ので、ガス温度の上昇→吸収係数増加→損失増大による
出力低下→ガス温度の低下→レーデ出力増大というサイ
クルで出力の周期的変動を引き起こす。
された放電領域が発振波長の光に対する高利得増幅器と
して機能するが、非放電領域では上記発振波長の光に対
し大きな吸収作ｔをもつ減衰器として機能する。しかも
、上記非放電領域の吸収作用はガスの温度を上昇させる
ので、ガス温度の上昇→吸収係数増加→損失増大による
出力低下→ガス温度の低下→レーデ出力増大というサイ
クルで出力の周期的変動を引き起こす。
なお、上記出力変動の大きさは次式により評価ここで
Ｗ；レーデパワー ｔ；フロントミラー透過率 Ａ；ビーム断面積 ｇｏ；小信号ゲイン Ｌ；励起長 ａ；吸収率 工 ；飽和パワー 上記従来のガスレーデは、ミラー１，２に位置角度等の
自由度を持たせるべく、骸各ミラーが各々ベローズ６．
７を介してチャンバ３の外側方に突出して配置されてお
り、した示りて、電極４゜５とミラー１，２間に非放電
領域である大きな空間８，９が存在している。このため
この従来のガスレーデでは、上記空間８，９によるレー
ザ出力の減衰作用が大きくかつ上記した出力の変動を伴
なうことが多かった。
Ｗ；レーデパワー ｔ；フロントミラー透過率 Ａ；ビーム断面積 ｇｏ；小信号ゲイン Ｌ；励起長 ａ；吸収率 工 ；飽和パワー 上記従来のガスレーデは、ミラー１，２に位置角度等の
自由度を持たせるべく、骸各ミラーが各々ベローズ６．
７を介してチャンバ３の外側方に突出して配置されてお
り、した示りて、電極４゜５とミラー１，２間に非放電
領域である大きな空間８，９が存在している。このため
この従来のガスレーデでは、上記空間８，９によるレー
ザ出力の減衰作用が大きくかつ上記した出力の変動を伴
なうことが多かった。
（問題点を解決するための手段）
本発明はかかる従来の問題点に鑑み、共振器を： 構
成するフロントミラーとりアミ２−とを各々ガス封入用
のチャンバ内に突き出した態様で保持する各別なミラー
ホルダを設け、これらのミラーホルダおよび上記各ミラ
ーによって上記チャンノ櫂を封止するように構成してい
る。
成するフロントミラーとりアミ２−とを各々ガス封入用
のチャンバ内に突き出した態様で保持する各別なミラー
ホルダを設け、これらのミラーホルダおよび上記各ミラ
ーによって上記チャンノ櫂を封止するように構成してい
る。
（作 用）
上記構成によれば、各ミラーが電極に近接するので、非
放電領域（吸収領域）が可及的罠縮小される。
放電領域（吸収領域）が可及的罠縮小される。
（実施例）
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明に係るガスレーザの一実施例を概念的
に示している。
に示している。
この実施例に係るガスレーデは、レーデ媒質ガスが封入
されるチャンバ１０、該チャンバ１００両側に配置され
たミラーホルダ１工と１２、これらのミラーホルダ１１
．１２に、各々支持されたりアミラー（全反射鏡）１３
とフロントミラー（部分透過鏡）１４、チャンバ１０内
に平行配置された一対の放１１極１５と１６、ミラーホ
ルダ１１゜１２を支持すべくチャンバ１０の外方に平行
配置された複数の支持口、ド１７等からなっている。
されるチャンバ１０、該チャンバ１００両側に配置され
たミラーホルダ１工と１２、これらのミラーホルダ１１
．１２に、各々支持されたりアミラー（全反射鏡）１３
とフロントミラー（部分透過鏡）１４、チャンバ１０内
に平行配置された一対の放１１極１５と１６、ミラーホ
ルダ１１゜１２を支持すべくチャンバ１０の外方に平行
配置された複数の支持口、ド１７等からなっている。
上記ミラーホルダ１１．１２は、各々筒状部１１ｍ、１
２ｍとそれらの筒状部の基部に形成したフランジ部１１
ｂ、１２ｂとを備え、筒状部１１ａ、ｌｌｂがチャンバ
１０の開口１０ａ。
２ｍとそれらの筒状部の基部に形成したフランジ部１１
ｂ、１２ｂとを備え、筒状部１１ａ、ｌｌｂがチャンバ
１０の開口１０ａ。
１０ｂを介して該チャンバ内に突出するように、つまり
それらの先端が電極１５．１６に近接する態様で対向配
置されている。そして、ミラーホルダ１１のフランジ部
ｆｌｂとチャンバ１０の開口１０ａ間にはベローズ１８
が、またミラーホルダ１２の７ランジ１２ｂとチャンバ
１０の開口１０ｂ間にはベローズ１９が各々介在されて
いる。なお、各ミラーホルダ１１．１２はセラミック等
の耐熱および電気絶縁性の材料で形成されている。
それらの先端が電極１５．１６に近接する態様で対向配
置されている。そして、ミラーホルダ１１のフランジ部
ｆｌｂとチャンバ１０の開口１０ａ間にはベローズ１８
が、またミラーホルダ１２の７ランジ１２ｂとチャンバ
１０の開口１０ｂ間にはベローズ１９が各々介在されて
いる。なお、各ミラーホルダ１１．１２はセラミック等
の耐熱および電気絶縁性の材料で形成されている。
一方、上記リアミラー１３およびフロントミラー１４は
、各々上記ホルダの筒状部１１＆および１２ｂの先端部
に咎＃嵌合固定されており、したがって電極１５．１６
に近接して位置されている。
、各々上記ホルダの筒状部１１＆および１２ｂの先端部
に咎＃嵌合固定されており、したがって電極１５．１６
に近接して位置されている。
この結果、上記チャンバ１０はミラーホルダ１１゜１２
、ミラー１３，１４およびベローズ１８゜１９によりて
封止されている。
、ミラー１３，１４およびベローズ１８゜１９によりて
封止されている。
上記ミラーホル／１１は、そのフランジ部１１ｂが上記
支持ロッド１７に直接固定され℃いるが１他方のミラホ
ルダ１２は角度調整機構２ｏを介して上記支持ロッド１
７に支持されている。この角度調整機構２０は、上下端
部を反発バネ２１を介して上記ロッド１７に？ルト締め
した支持板２０ａと、この支持板２０ｍに螺着された角
度調整用のネジ２０ ｂ ｚ ２０ ｅと、支持板２０
＆に対しホルダー１２を前後動可能に吊荷する板バネ２
０ｄ。
支持ロッド１７に直接固定され℃いるが１他方のミラホ
ルダ１２は角度調整機構２ｏを介して上記支持ロッド１
７に支持されている。この角度調整機構２０は、上下端
部を反発バネ２１を介して上記ロッド１７に？ルト締め
した支持板２０ａと、この支持板２０ｍに螺着された角
度調整用のネジ２０ ｂ ｚ ２０ ｅと、支持板２０
＆に対しホルダー１２を前後動可能に吊荷する板バネ２
０ｄ。
２０・と、上記ホルダ１２のフランジ部１２ｂを右方向
に付勢するコイルバネ２０ ｆ ＃ ２０ ｇとを備え
た構成を有する。
に付勢するコイルバネ２０ ｆ ＃ ２０ ｇとを備え
た構成を有する。
上記角度調整機構２０のネジ２０ｂ＊２０ｅを調整する
と、ミラー１４の垂直方向の角度が変化され、これによ
ってミラー１３．１４間の垂直方向の平行度が調整され
る。なお、図示していないがこの角度調整機構２０には
ミラー１４の水平方向の角度を変化させるネジも設けら
れており、これによってミラー１３．１４間の水平方向
の平行度が調整される。
と、ミラー１４の垂直方向の角度が変化され、これによ
ってミラー１３．１４間の垂直方向の平行度が調整され
る。なお、図示していないがこの角度調整機構２０には
ミラー１４の水平方向の角度を変化させるネジも設けら
れており、これによってミラー１３．１４間の水平方向
の平行度が調整される。
上記ミラー１３，１４の硯面間距離は、支持ロッド１７
の右端ネジ部１７ｍに螺着された？ルト２２を回動させ
ることにより調整される。すなわち、ゲルト２２をバネ
２１に抗して締めれば、角度調整機構２０を介してミラ
ーホルダ１２が左行されるので、上記鏡面間距離が短か
くなり、逆にボルト２２を緩めればバネの反撥力でホル
ダ１２が右行されて鏡面間距離が長くなる。
の右端ネジ部１７ｍに螺着された？ルト２２を回動させ
ることにより調整される。すなわち、ゲルト２２をバネ
２１に抗して締めれば、角度調整機構２０を介してミラ
ーホルダ１２が左行されるので、上記鏡面間距離が短か
くなり、逆にボルト２２を緩めればバネの反撥力でホル
ダ１２が右行されて鏡面間距離が長くなる。
この実施例において、上記放電電極１５．１６間でグロ
ー放電を行なわせると、チャンバ１０内に封入されたレ
ーザ媒質ガスが上記放電によって励起され、これによっ
てミラー１３．１４間にレーザ発振が生起される。そし
て、その発振光の一部がフロントミラー１４、ホルダ１
２の筒状部１２ａ内および上記角度調整機構２０の支持
板２０ｍに形成された孔２０ｈを介して取出される。
ー放電を行なわせると、チャンバ１０内に封入されたレ
ーザ媒質ガスが上記放電によって励起され、これによっ
てミラー１３．１４間にレーザ発振が生起される。そし
て、その発振光の一部がフロントミラー１４、ホルダ１
２の筒状部１２ａ内および上記角度調整機構２０の支持
板２０ｍに形成された孔２０ｈを介して取出される。
この実施例によれば、ミラー１３．１４がチャンバ１０
内に突出する態様で配設されているので１、 非放電領
域が少ない。それ故、非放電領域のガスのよどみによる
レーザ出力の減衰および変動が可及的に低減される。
内に突出する態様で配設されているので１、 非放電領
域が少ない。それ故、非放電領域のガスのよどみによる
レーザ出力の減衰および変動が可及的に低減される。
なお、上記ミラーホルダ１１，１２のうち沙なくともホ
ルダ１２には第２図に示す如く冷却媒体を循環させる通
路２３が形成され、かつその先端部にレーデ光の端面反
射を防止する環状の反射防止部材２４が嵌着されている
。
ルダ１２には第２図に示す如く冷却媒体を循環させる通
路２３が形成され、かつその先端部にレーデ光の端面反
射を防止する環状の反射防止部材２４が嵌着されている
。
上記反射防止部材２４は、銅等の熱伝導率の高い材料か
らなりている舊して、その端面に断面三角状の環状溝２
４＆が複数条形成され、かつこれらの溝の表面における
レーデ光の反射を防止するため、該表面が酸化銅等で黒
化されている。この反射防止部材２４を設ければ、ミラ
ーホルダ１２の先端面におけるレーデ光の反射が防止さ
れるので、質の高いレーザ光が得られる。この反射防止
部材２４を設けた場合、その中央部に形成された孔２４
ｂの部分でガスのよどみが生じる虞れがあるが、これは
ガスの流れ方向つまり同図の紙面に垂直な方向に沿う貫
通孔２４ｅを形成することＫより防止されろ。
らなりている舊して、その端面に断面三角状の環状溝２
４＆が複数条形成され、かつこれらの溝の表面における
レーデ光の反射を防止するため、該表面が酸化銅等で黒
化されている。この反射防止部材２４を設ければ、ミラ
ーホルダ１２の先端面におけるレーデ光の反射が防止さ
れるので、質の高いレーザ光が得られる。この反射防止
部材２４を設けた場合、その中央部に形成された孔２４
ｂの部分でガスのよどみが生じる虞れがあるが、これは
ガスの流れ方向つまり同図の紙面に垂直な方向に沿う貫
通孔２４ｅを形成することＫより防止されろ。
上記実施例では、チャンバ１０の各開口１０ｍ。
１０ｂにベローズ１８．１９を各々設けているが、いず
れか一方のベローズを省略しても実用上問題は生じない
。すなわち、たとえばチャンバ１０の開口１０ａを＠接
ミラーホルダ１１の７ランジ１１ｂＫ連結するようにし
てもよい。
れか一方のベローズを省略しても実用上問題は生じない
。すなわち、たとえばチャンバ１０の開口１０ａを＠接
ミラーホルダ１１の７ランジ１１ｂＫ連結するようにし
てもよい。
（発明の効果）
本発明に係るガスレーザは、共振器を構成するフロント
ミラーとリアミラーとを各々チャンバ内に突き出して配
置した構成を有するので、上記各ミラーと放ｌｉ！極間
における非放電領域（光吸収領域）を可及的に低減する
ことができ、これにより″ｃ）振動率を従来のガスレー
デに比して著しく向上することができる。
ミラーとリアミラーとを各々チャンバ内に突き出して配
置した構成を有するので、上記各ミラーと放ｌｉ！極間
における非放電領域（光吸収領域）を可及的に低減する
ことができ、これにより″ｃ）振動率を従来のガスレー
デに比して著しく向上することができる。
第１図は本発明に係るガスレーデの一実施例を示した概
念図、第２図は第１図に示したミラーホルダの拡大図、
第３図は従来のガスレーザの構成を例示した概念図であ
る。 １０・・・チャンバ、１１．１２・・・ミラーホルダ、
１３・・・リアミラー、１４・・・フロントミラー、１
５゜１６・・・放［電極、１７・・・支持ロッド、１８
，１９・・・ベローズ、２０・・・角度調整機構、２４
・・・端面反射；防止部材。
念図、第２図は第１図に示したミラーホルダの拡大図、
第３図は従来のガスレーザの構成を例示した概念図であ
る。 １０・・・チャンバ、１１．１２・・・ミラーホルダ、
１３・・・リアミラー、１４・・・フロントミラー、１
５゜１６・・・放［電極、１７・・・支持ロッド、１８
，１９・・・ベローズ、２０・・・角度調整機構、２４
・・・端面反射；防止部材。
Claims (1)
- 共振器を構成するフロントミラーとリアミラーとを各々
ガス封入用のチャンバ内に突き出した態様で保持する各
別なミラーホルダを備え、これらのミラーホルダおよび
上記各ミラーによって上記チャンバを封止したことを特
徴とするガスレーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21812684A JPS6196784A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ガスレ−ザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21812684A JPS6196784A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ガスレ−ザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196784A true JPS6196784A (ja) | 1986-05-15 |
Family
ID=16715039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21812684A Pending JPS6196784A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | ガスレ−ザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6196784A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62128579A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-10 | エチコン、インコーポレイテツド | ガス・レ−ザ |
| JP2008177607A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 調整式鏡保持機構とスラブレーザ |
-
1984
- 1984-10-17 JP JP21812684A patent/JPS6196784A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62128579A (ja) * | 1985-11-26 | 1987-06-10 | エチコン、インコーポレイテツド | ガス・レ−ザ |
| JPH0477473B2 (ja) * | 1985-11-26 | 1992-12-08 | Hereusu Insutsurumentsu Gmbh | |
| JP2008177607A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 調整式鏡保持機構とスラブレーザ |
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