JPH02281671A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02281671A JPH02281671A JP10268289A JP10268289A JPH02281671A JP H02281671 A JPH02281671 A JP H02281671A JP 10268289 A JP10268289 A JP 10268289A JP 10268289 A JP10268289 A JP 10268289A JP H02281671 A JPH02281671 A JP H02281671A
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- JP
- Japan
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- metal electrode
- laser
- gas
- metal
- insulator
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 29
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は放電管の軸方向と光軸方向が一致したガスレー
ザ発振装置に関するものであり、特に最も安定なレーザ
ビームを得られるようにしたガスレーザ発振装置に関す
るものである。
ザ発振装置に関するものであり、特に最も安定なレーザ
ビームを得られるようにしたガスレーザ発振装置に関す
るものである。
従来の技術
従来のガスレーザ発振装置を、第２図に示す。
この第３図に於て、１はガラスなどの誘電体よりなる放
電管であり、２，３は前記放電管１の内部に設けられた
金属電極である。４は前記電極２゜３に接続された高電
圧電源であり、たとえば３０ＫＶの電圧を画電極２，３
間に印加している。６は前記電極２，３間にはさまれた
放電管１内の放電空間である。６は全反射鏡、７は部分
反射鏡であり、この全反射鏡６１部分反射鏡７は前記放
電空間６の両端に固定配置され、光共振器を形成してい
る。８は前記部分反射鏡７より出力されるレーザビーム
である。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており
、第３図に示すような軸流型レーザ装置の中を循環して
いる。１ｏは送気管であり、１１．１２は前記放電空間
６にて放電及び送風機により温度上昇したレーザガスの
温度を下げるための熱交換器、１３はレーザガスを循環
させるための送風機である。
電管であり、２，３は前記放電管１の内部に設けられた
金属電極である。４は前記電極２゜３に接続された高電
圧電源であり、たとえば３０ＫＶの電圧を画電極２，３
間に印加している。６は前記電極２，３間にはさまれた
放電管１内の放電空間である。６は全反射鏡、７は部分
反射鏡であり、この全反射鏡６１部分反射鏡７は前記放
電空間６の両端に固定配置され、光共振器を形成してい
る。８は前記部分反射鏡７より出力されるレーザビーム
である。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており
、第３図に示すような軸流型レーザ装置の中を循環して
いる。１ｏは送気管であり、１１．１２は前記放電空間
６にて放電及び送風機により温度上昇したレーザガスの
温度を下げるための熱交換器、１３はレーザガスを循環
させるための送風機である。
なお、送風機１３によシ放電空間５にて約１００ｍ／ｅ
ｅ程度のガス流を得る必要がある。
ｅ程度のガス流を得る必要がある。
以上が従来の軸流型レーザ装置の構成であり、次にその
動作について説明する。
動作について説明する。
まず一対の金属電極２，３に高電圧電源４から高電圧を
印加し、放電空間５にグロー状の放電を発生させる。放
電空間５を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７により形成された光共振器で共振
状態となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
印加し、放電空間５にグロー状の放電を発生させる。放
電空間５を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７により形成された光共振器で共振
状態となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
第４図は、金属電極部の詳細図である。この第４図のよ
うに金属部ＦＭ２と放電管１とを金属ホルダ１４および
ｏリング１５により固定している。
うに金属部ＦＭ２と放電管１とを金属ホルダ１４および
ｏリング１５により固定している。
発明が解決しようとする課題
上記の構成では、金属ホルダ１４が放電管外壁に近接し
ており金属ホルダ１４の電界によってレーザガス中のイ
オンが力をうける。そのためにグロー放電がかたより、
レーザ出力が低下する。特にパルス出力を大きく低下さ
せるという問題があった。従って、安定したレーザビー
ムを得ることが非常に困難であった。
ており金属ホルダ１４の電界によってレーザガス中のイ
オンが力をうける。そのためにグロー放電がかたより、
レーザ出力が低下する。特にパルス出力を大きく低下さ
せるという問題があった。従って、安定したレーザビー
ムを得ることが非常に困難であった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、放電管内のグロー放電を均一に広げることにより
安定したレーザビームが得られるガスレーザ発振装置を
提供することを目的とする。
ので、放電管内のグロー放電を均一に広げることにより
安定したレーザビームが得られるガスレーザ発振装置を
提供することを目的とする。
課題を解決するだめの手段
本発明は、上記課題を解決するために、金属電極を絶縁
物で覆ってなるものである。
物で覆ってなるものである。
作 用
この発明における金属電極を絶縁物で覆ったことにより
均一なグロー放電が得られ安定したレーザビームをつく
り出すことが可能となる。
均一なグロー放電が得られ安定したレーザビームをつく
り出すことが可能となる。
実施例
絶縁物製のホルダ１６とｏリング１５により固定してお
り、金属電極２はホルダ１６により覆われている。なお
、金属部Ｗｉ２の周辺に他の金属部を設ける場合、金属
電極２と他の金属部の距離はレーザガス中の電位と他の
金属部との電位との差をその距離で割った値（電位傾度
）に大きく依存しており、およそＩ ＫＶ／ａｓ以下に
なるとその悪影響は出てこなくなる。
り、金属電極２はホルダ１６により覆われている。なお
、金属部Ｗｉ２の周辺に他の金属部を設ける場合、金属
電極２と他の金属部の距離はレーザガス中の電位と他の
金属部との電位との差をその距離で割った値（電位傾度
）に大きく依存しており、およそＩ ＫＶ／ａｓ以下に
なるとその悪影響は出てこなくなる。
第２図ａ、ｂは、従来例と本発明の実施例の違いによる
パ）ｖヌレーザ出力の安定性を示したものであシ、第２
図ａは従来例を示し、第２図すは本発明の実施例の場合
を示す。この第２図ａ、ｂから明らかなように本発明の
実施例では、パルス出力の乱れがほとんどない。
パ）ｖヌレーザ出力の安定性を示したものであシ、第２
図ａは従来例を示し、第２図すは本発明の実施例の場合
を示す。この第２図ａ、ｂから明らかなように本発明の
実施例では、パルス出力の乱れがほとんどない。
発明の効果
以上のように、この発明によれば、金属電極を絶縁物で
覆ったことにより安定したレーザビーム（特にパルス出
力）を出すガスレーザ発振装置を提供でき、切断性能を
大幅に向上でき高品質なレーザ加工に優れた効果を発揮
する。
覆ったことにより安定したレーザビーム（特にパルス出
力）を出すガスレーザ発振装置を提供でき、切断性能を
大幅に向上でき高品質なレーザ加工に優れた効果を発揮
する。
第１図は本発明の一実施例を示すガスレーザ発振装置の
要部断面図、第２図ａ、ｂは従来例と本発明実施例にお
けるパルス出力波形図、第３図は従来のガスレーザ発振
装置のレーザガス回路図、第４図は同要部断面図である
。 １・・・・・・放電管、２，３・・・・・・金属電極、
６・・・・・・放電空間、１６・・・・・・絶縁物。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名宵 図 ＃１ 第 図 第 ４ 図
要部断面図、第２図ａ、ｂは従来例と本発明実施例にお
けるパルス出力波形図、第３図は従来のガスレーザ発振
装置のレーザガス回路図、第４図は同要部断面図である
。 １・・・・・・放電管、２，３・・・・・・金属電極、
６・・・・・・放電空間、１６・・・・・・絶縁物。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名宵 図 ＃１ 第 図 第 ４ 図
Claims (1)
- 絶縁体よりなる放電管内を光軸方向に送風機によりレ
ーザガスを流し、前記放電管内の両端に設けられた金属
電極間に高電圧を印加し、前記放電管内に放電を発生さ
せ、この放電をレーザ励起源として前記放電管の軸方向
にレーザビームを発するガスレーザ発振装置において、
前記金属電極を絶縁物で覆ったことを特徴とするガスレ
ーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10268289A JPH02281671A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10268289A JPH02281671A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02281671A true JPH02281671A (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=14334006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10268289A Pending JPH02281671A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02281671A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4428356A1 (de) * | 1994-08-10 | 1996-03-07 | Nwl Laser Tech Gmbh | Optimierter Wärmeübertragung bei einer Laserresonatoranordnung |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP10268289A patent/JPH02281671A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4428356A1 (de) * | 1994-08-10 | 1996-03-07 | Nwl Laser Tech Gmbh | Optimierter Wärmeübertragung bei einer Laserresonatoranordnung |
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