JPH0322577A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH0322577A JPH0322577A JP15774589A JP15774589A JPH0322577A JP H0322577 A JPH0322577 A JP H0322577A JP 15774589 A JP15774589 A JP 15774589A JP 15774589 A JP15774589 A JP 15774589A JP H0322577 A JPH0322577 A JP H0322577A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は放電管の軸方向と光軸方向が一致した２ 八一
／゛ ガヌレーザ発振装置に関するものであシ、特に最モ安定
なレーザピームを得られるようにしたガヌレーザ発振装
置に関するものである。
／゛ ガヌレーザ発振装置に関するものであシ、特に最モ安定
なレーザピームを得られるようにしたガヌレーザ発振装
置に関するものである。
従来の技術
従来のガスレーザ発振装置は、第２図（ａ）に示すもの
であった。この図に於で、１はガラスなどの誘電体よシ
なる放電管であ９，２．３は前記放電管１の内部に設け
られた金属電極である。４は前記電極２，３に接続され
た高電圧電源であり、たとえば３ ０ ＫＶの電圧を両
電極２，３間に印加している。５は前記電極２，３間に
はさ１れた放電管１内の放電空間である。６は全反射鏡
、７は部分反射鏡であジ、この全反射鏡６、部分反射鏡
７は前記放電空間６の両端に固定配置され、光共振器を
形威している。８は前記部分反射鏡７より出力されるレ
ーザビームである。矢印９はレーザガスの流れる方向を
示しておジ、軸流型レーザ装置の中を循環している。１
０は送気管であｌ）、１１．１２は前記放電空間５にて
放電及び送風機によう温度上昇したレーザガヌの温度を
下げるための熱３ ，＜−ジ 交換器、１３はレーザガヌを循環させるための送風機で
ある。
であった。この図に於で、１はガラスなどの誘電体よシ
なる放電管であ９，２．３は前記放電管１の内部に設け
られた金属電極である。４は前記電極２，３に接続され
た高電圧電源であり、たとえば３ ０ ＫＶの電圧を両
電極２，３間に印加している。５は前記電極２，３間に
はさ１れた放電管１内の放電空間である。６は全反射鏡
、７は部分反射鏡であジ、この全反射鏡６、部分反射鏡
７は前記放電空間６の両端に固定配置され、光共振器を
形威している。８は前記部分反射鏡７より出力されるレ
ーザビームである。矢印９はレーザガスの流れる方向を
示しておジ、軸流型レーザ装置の中を循環している。１
０は送気管であｌ）、１１．１２は前記放電空間５にて
放電及び送風機によう温度上昇したレーザガヌの温度を
下げるための熱３ ，＜−ジ 交換器、１３はレーザガヌを循環させるための送風機で
ある。
なお、送風機１３によシ放電区間５にて約１００ｍ／ｓ
ｅｃ程度のガス流を得る必要がある。
ｅｃ程度のガス流を得る必要がある。
以上が従来の軸流型レーザ装置の構或であり、次にその
動作について説明する。
動作について説明する。
１ず一対の金属電極２，３に高電圧電源４から高電圧を
印加し、放電空間６にグロー状の放電を発生させる。放
電空間６を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７によシ形戒された光共振器で共振
状態となシ、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザピーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
印加し、放電空間６にグロー状の放電を発生させる。放
電空間６を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７によシ形戒された光共振器で共振
状態となシ、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザピーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
第２図（ｂ）は、金属電極部表面の詳細図である。金属
電極２の材料としては、タングステンと銅などの焼結合
金が用いられている。この焼結合金を用いる理由は、タ
ングヌテンと鈍の酸化皮膜の厚さの違いにより均一かつ
選択的に放電が分散されるので放電エネルギーを増加し
た時でも放電がアクに移行せず安定したグロー放電が得
られるためである。
電極２の材料としては、タングステンと銅などの焼結合
金が用いられている。この焼結合金を用いる理由は、タ
ングヌテンと鈍の酸化皮膜の厚さの違いにより均一かつ
選択的に放電が分散されるので放電エネルギーを増加し
た時でも放電がアクに移行せず安定したグロー放電が得
られるためである。
発明が解決しようとする課題
」二記の構或では、長時間電極を使用するとタングステ
ンの酸化物が或長し積層することによって銅表面を覆い
放電が困難になう、かつ酸化物が飛散し放電管内を汚染
したりすることによシ安定したグロー放電が得られない
という問題点があった。
ンの酸化物が或長し積層することによって銅表面を覆い
放電が困難になう、かつ酸化物が飛散し放電管内を汚染
したりすることによシ安定したグロー放電が得られない
という問題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、放電管内のグロー放電を長期に渡シ均一に広げる
ことにより安定したレーザビームが得られるガスレーザ
発振装置を提供することを目的とする。
ので、放電管内のグロー放電を長期に渡シ均一に広げる
ことにより安定したレーザビームが得られるガスレーザ
発振装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、上記課題を解決するために放電管内の金属電
極をセラミックスと金属との焼結合金としたガスレーザ
発振装置としたものであり、前記セラミックスとしてア
ルミナまたは二酸化けい素、前記金属として銅１たは銀
を用いる。
極をセラミックスと金属との焼結合金としたガスレーザ
発振装置としたものであり、前記セラミックスとしてア
ルミナまたは二酸化けい素、前記金属として銅１たは銀
を用いる。
６ ベーノ
作 用
この発明における金属電極をセラミックスと金属との焼
結合金とすることによシ長時間に渡シ均一なグロー放電
が得られ安定したレーザビームをつく９出すことが可能
となる。
結合金とすることによシ長時間に渡シ均一なグロー放電
が得られ安定したレーザビームをつく９出すことが可能
となる。
実施例
第１図（ａ）は、本発明の実施例である金属電極表面の
詳細図である。セラミックスとしてアノレミナ，二酸化
けい素などの絶縁物が、金属として銅，銀などが焼結性
がよ〈かつ放電が容易であるので組み合わせて用いる。
詳細図である。セラミックスとしてアノレミナ，二酸化
けい素などの絶縁物が、金属として銅，銀などが焼結性
がよ〈かつ放電が容易であるので組み合わせて用いる。
従って、セラミックス表面からは、放電しないので酸化
膜が積層しにくく放電を長時間続けても放電は安定する
。
膜が積層しにくく放電を長時間続けても放電は安定する
。
第１図（ｂ）は、従来例と本発明の実施例の違いによる
レーザ出力の長時間安定性を示したものである。この図
から明らかなように本発明の実施例では、１つたく出力
の低下がみられない。
レーザ出力の長時間安定性を示したものである。この図
から明らかなように本発明の実施例では、１つたく出力
の低下がみられない。
兄明の効果
以上のように、この発明によれば金属電極をセラミック
スと金属の焼結合金とすることにより長６ ・−／ 時間にわたって金属電極の劣化がないことにより安定し
たレーザピームを出すガヌレーザ発振装置を提供でき、
信頼性向上に優れた効果を発揮する。
スと金属の焼結合金とすることにより長６ ・−／ 時間にわたって金属電極の劣化がないことにより安定し
たレーザピームを出すガヌレーザ発振装置を提供でき、
信頼性向上に優れた効果を発揮する。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示すガヌレーザ発振
装置の電極表面を示す模式断面図、第１図（ｂ）は同ガ
ヌレーザ発振装置および従来例のレーザ出力の時間特性
図、第２図（ａ）は一般的なガヌレーザ発振装置の回路
図、第２図（ｂ）は従来例の電極表面を示す模式断面図
である。
装置の電極表面を示す模式断面図、第１図（ｂ）は同ガ
ヌレーザ発振装置および従来例のレーザ出力の時間特性
図、第２図（ａ）は一般的なガヌレーザ発振装置の回路
図、第２図（ｂ）は従来例の電極表面を示す模式断面図
である。
Claims (3)
- （１）絶縁体よりなる放電管内を光軸方向に送風機によ
りレーザガスを流し、前記放電管内の両端に設けられた
金属電極間に高電圧を印加し、前記放電管内に放電を発
生させ、この放電をレーザ励起源として前記放電管の軸
方向にレーザビームを発するものにおいて、前記金属電
極を、セラミックスと金属から成る焼結合金としたガス
レーザ発振装置。 - （２）前記セラミックスをアルミナまたは二酸化けい素
とした特許請求の範囲第（１）項記載のガスレーザ発振
装置。 - （３）前記金属を銅または銀とした特許請求の範囲第（
１）項記載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15774589A JPH0322577A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15774589A JPH0322577A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0322577A true JPH0322577A (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=15656424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15774589A Pending JPH0322577A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322577A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010040298A1 (de) * | 2010-06-08 | 2011-12-08 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Bandleiterlaser |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP15774589A patent/JPH0322577A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010040298A1 (de) * | 2010-06-08 | 2011-12-08 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Bandleiterlaser |
| DE102010040298B4 (de) * | 2010-06-08 | 2012-09-13 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Bandleiterlaser |
| US8331416B2 (en) | 2010-06-08 | 2012-12-11 | Rofin Sinar Laser Gmbh | Stripline laser |
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