JPH0341785A - Ｃｏ↓２ガスレーザ発振装置 - Google Patents
Ｃｏ↓２ガスレーザ発振装置Info
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- JPH0341785A JPH0341785A JP17752789A JP17752789A JPH0341785A JP H0341785 A JPH0341785 A JP H0341785A JP 17752789 A JP17752789 A JP 17752789A JP 17752789 A JP17752789 A JP 17752789A JP H0341785 A JPH0341785 A JP H0341785A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は放電管の軸方向と光軸方向が一致したＣＯ２ガ
スンーザ発振装置に関するものであり、特に最も安定な
レーザビームを得られるようにしたＣＯ２ガスレーザ発
振装置に関するものである。
スンーザ発振装置に関するものであり、特に最も安定な
レーザビームを得られるようにしたＣＯ２ガスレーザ発
振装置に関するものである。
従来の技術
従来のＣＯ２ガスレーザ発振装置は、第２図（ａ）に示
すものであった。この図に於いて、１はガラスなどの誘
電体よりなる放電管であり、２，３は前記放電管１の内
部に設けられた金属電極である。
すものであった。この図に於いて、１はガラスなどの誘
電体よりなる放電管であり、２，３は前記放電管１の内
部に設けられた金属電極である。
４は前記電極２，３に接続された高電圧電源であり、た
とえば３０ ＫＶの電圧を画電極２，３間に印加してい
る。５は前記電極２，３間にはさ１れた放電管１内の放
電空間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡であう、
この全反射鏡６、部分反射鏡７は前記放電空間６の両端
に固定配置され、光共振器を形成している。８は前記部
分反射鏡７より出力されるレーザビームである。矢印９
はレーザガスの流れる方向を示してフ・シ、第２図に示
すような軸流型レーザ装置の中を循環している。
とえば３０ ＫＶの電圧を画電極２，３間に印加してい
る。５は前記電極２，３間にはさ１れた放電管１内の放
電空間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡であう、
この全反射鏡６、部分反射鏡７は前記放電空間６の両端
に固定配置され、光共振器を形成している。８は前記部
分反射鏡７より出力されるレーザビームである。矢印９
はレーザガスの流れる方向を示してフ・シ、第２図に示
すような軸流型レーザ装置の中を循環している。
１０は送気管であシ、１１．１２は前記放電空間６にて
放電及び送風機により温度上昇したレーザガスの温度を
下げるためのが交換器、１３はレーザガスを循環させる
ための送風機である。
放電及び送風機により温度上昇したレーザガスの温度を
下げるためのが交換器、１３はレーザガスを循環させる
ための送風機である。
なか、送風機１３により放電区間６にて約１００ｍ／ｓ
ｅｅ程度のガス流を得る必要がある。
ｅｅ程度のガス流を得る必要がある。
以上が従来の軸流型レーザ装置の構成であシ、次にその
動作について説明する。
動作について説明する。
壕ず一対の金属電極２，３に高電圧電源４から高電圧を
印加し、放電空間６にグロー状の放電を発生させる。放
電空間６を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７により形成された光共振器で共振
状態となう、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
印加し、放電空間６にグロー状の放電を発生させる。放
電空間６を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７により形成された光共振器で共振
状態となう、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
第２図（ｂ）は、金属電極部表面の詳細図である。金属
電極２の材料としては、タングステンと銅などの焼結合
金が用いられている。この焼結合金を用いる理由は、タ
ングステンと銅の酸化皮膜の厚さの違いによう均一かつ
選択的に放電が分散されるので放電エネルギーを増加し
た時でも放電がアークに移行せず、安定したグロー放電
が得られるためである。
電極２の材料としては、タングステンと銅などの焼結合
金が用いられている。この焼結合金を用いる理由は、タ
ングステンと銅の酸化皮膜の厚さの違いによう均一かつ
選択的に放電が分散されるので放電エネルギーを増加し
た時でも放電がアークに移行せず、安定したグロー放電
が得られるためである。
発明が解決しようとする課題
上記の構成では、長時間、電極を使用するとタングステ
ンの酸化物が成長し積層することによって銅表面を覆い
、放電が困難になり、かつ酸化物が飛散し放電管内を汚
染することによう、安定したグロー放電が得られないと
いう課題点があった。
ンの酸化物が成長し積層することによって銅表面を覆い
、放電が困難になり、かつ酸化物が飛散し放電管内を汚
染することによう、安定したグロー放電が得られないと
いう課題点があった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、放電管内のグロー放電を長期に渡り均一に広げる
ことにより安定したレーザビームが得られるＣＯ２ガヌ
レーザ発振装置を提供することを目的とする。
ので、放電管内のグロー放電を長期に渡り均一に広げる
ことにより安定したレーザビームが得られるＣＯ２ガヌ
レーザ発振装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、上記課題を解決するために放電管内の金属電
極をＣｒ３Ｃ２主成分の焼結合金としたＣＯ２ガスレー
ザ発振装置としたものである。
極をＣｒ３Ｃ２主成分の焼結合金としたＣＯ２ガスレー
ザ発振装置としたものである。
作 用
この発明に釦ける金属電極をＣｒ３Ｃ２主成分の焼結合
金とすることにより、長時間に渡り均一なグロー放電が
得られ安定したレーザビームをつくシ出すことが可能と
なる。
金とすることにより、長時間に渡り均一なグロー放電が
得られ安定したレーザビームをつくシ出すことが可能と
なる。
実施例
第１図（＆）は、本発明の実施例である金属電極表面の
詳細図である。電極が焼結合金であるため電極表面はＣ
ｒ３Ｃ２が粒子状に並んでおシ、電極表面からの電子放
出は均一に分散される。さらにＣｒ３Ｃ２中のＣの触媒
釦よび吸着作用により放電によってＣＯと○ に分解さ
れたＣＯ２ガスを再生する働きをする。従ってＣｒ３Ｃ
２の酸化ばほとんど成長せず放電を長時間続けても放電
は安定する。
詳細図である。電極が焼結合金であるため電極表面はＣ
ｒ３Ｃ２が粒子状に並んでおシ、電極表面からの電子放
出は均一に分散される。さらにＣｒ３Ｃ２中のＣの触媒
釦よび吸着作用により放電によってＣＯと○ に分解さ
れたＣＯ２ガスを再生する働きをする。従ってＣｒ３Ｃ
２の酸化ばほとんど成長せず放電を長時間続けても放電
は安定する。
第１図（ｂ）は、従来例と本発明の実施例の違いによる
レーザ出力の長時間安定性を示したものである。この図
から明らかなように本発明の実施例では、１つたく出力
の低下がみられない。
レーザ出力の長時間安定性を示したものである。この図
から明らかなように本発明の実施例では、１つたく出力
の低下がみられない。
主成分の焼結合金とすることにより、長時間にわたって
金属電極の劣化がないことにより安定したレーザビーム
を出すＣＯ２ガスレーザ発振装置を提供でき、信頼性向
上に優れた効果を発揮する。
金属電極の劣化がないことにより安定したレーザビーム
を出すＣＯ２ガスレーザ発振装置を提供でき、信頼性向
上に優れた効果を発揮する。
第１図（−）は本発明の一実施例を示すＣＯ２ガスレー
ザ発振装置の金属電極の要部模式断面図、第１図中）は
本実施例と従来例のレーザ出力時間特性図、第２図（ａ
）は−膜内なＣＯ。ガスレーザ発振装置の回路図、第２
図中）は従来例の金属電極の要部模式断面図である。 １・・・・・・放電管、２，３・・・・・・金属電極、
４・・・・・−高電圧電源、８・・・・・・レーザビー
ム。
ザ発振装置の金属電極の要部模式断面図、第１図中）は
本実施例と従来例のレーザ出力時間特性図、第２図（ａ
）は−膜内なＣＯ。ガスレーザ発振装置の回路図、第２
図中）は従来例の金属電極の要部模式断面図である。 １・・・・・・放電管、２，３・・・・・・金属電極、
４・・・・・−高電圧電源、８・・・・・・レーザビー
ム。
Claims (1)
- 絶縁体よりなる放電管内を光軸方向に送風機によりレー
ザガスを流し、前記放電管内の両端に設けられた金属電
極間に高電圧を印加し、前記放電管内に放電を発生させ
、この放電をレーザ励起源として前記放電管の軸方向に
レーザビームを発するＣＯ＿２ガスレーザ発振装置にお
いて、前記金属電極を、Ｃｒ＿３Ｃ＿２主成分の焼結合
金としたＣＯ＿２ガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17752789A JPH0341785A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | Ｃｏ↓２ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17752789A JPH0341785A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | Ｃｏ↓２ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341785A true JPH0341785A (ja) | 1991-02-22 |
Family
ID=16032484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17752789A Pending JPH0341785A (ja) | 1989-07-10 | 1989-07-10 | Ｃｏ↓２ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341785A (ja) |
-
1989
- 1989-07-10 JP JP17752789A patent/JPH0341785A/ja active Pending
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