JPH0437078A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH0437078A JPH0437078A JP14416890A JP14416890A JPH0437078A JP H0437078 A JPH0437078 A JP H0437078A JP 14416890 A JP14416890 A JP 14416890A JP 14416890 A JP14416890 A JP 14416890A JP H0437078 A JPH0437078 A JP H0437078A
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- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野〕
本発明は放電管を用いたガスレーザ発振装置に関し、特
に高圧電源を用いたガスレーザ発振装置に関するもので
ある。
に高圧電源を用いたガスレーザ発振装置に関するもので
ある。
ガスレーザ発振装置は例えば第４図に示すように、ガラ
ス等の放電管１には中央部分を挟んでその外周面に密着
して金属電極である陰極２及び陽極３が取付けられる。
ス等の放電管１には中央部分を挟んでその外周面に密着
して金属電極である陰極２及び陽極３が取付けられる。
そして高電圧電源４がこれらの電極２，３間に接続され
ている。高電圧電源４は電極２，３間に例えば３０ＫＶ
の高圧を印加するものである。電極２．３間は放電管１
内の放電空間５を形成している。放電管１の両端には全
反射鏡６及び部分反射鏡７が放電空間５の両端に固定さ
れて光共振器を構成している。そして放電管１内のレー
ザガスは送風機８及び送気管９によって循環するように
構成される。送風機８は放電空間５に約１０抛／ｓｅｃ
の速度でレーザガスを流通させるようにしている。送風
機８の吸込口及び排出口側には上昇したレーザガスの温
度を下げるために熱交換器１０．１１が設けられている
。そして送風機８．送気管９及び熱交換機１０．１１に
よって放電管内でレーザガスを流通させるレーザガス循
環装置１２が構成されている。
ている。高電圧電源４は電極２，３間に例えば３０ＫＶ
の高圧を印加するものである。電極２．３間は放電管１
内の放電空間５を形成している。放電管１の両端には全
反射鏡６及び部分反射鏡７が放電空間５の両端に固定さ
れて光共振器を構成している。そして放電管１内のレー
ザガスは送風機８及び送気管９によって循環するように
構成される。送風機８は放電空間５に約１０抛／ｓｅｃ
の速度でレーザガスを流通させるようにしている。送風
機８の吸込口及び排出口側には上昇したレーザガスの温
度を下げるために熱交換器１０．１１が設けられている
。そして送風機８．送気管９及び熱交換機１０．１１に
よって放電管内でレーザガスを流通させるレーザガス循
環装置１２が構成されている。
第５図は従来の金属電極の陰極部分の詳細な構成を示す
断面図である。本図において陰極部分には円筒形のキャ
ップ１３が設けられており、このキャップ１３に細いス
リット１４が図示のように設けられて送気管９からのレ
ーザガスを放電管ｌに導いている。そして陰極部分には
リング状の陰極電極２が絶縁物１５に保持されている。
断面図である。本図において陰極部分には円筒形のキャ
ップ１３が設けられており、このキャップ１３に細いス
リット１４が図示のように設けられて送気管９からのレ
ーザガスを放電管ｌに導いている。そして陰極部分には
リング状の陰極電極２が絶縁物１５に保持されている。
ここで陰極２と絶縁物１５とは図示のような段差が形成
されていた。
されていた。
しかるにこのような従来のガスレーザ発振装置では、絶
縁物１５とキャップ１３との段差の部分でランダムな渦
流が発生し放電が乱れる。従って安定したグロー放電が
得られないという欠点があった。
縁物１５とキャップ１３との段差の部分でランダムな渦
流が発生し放電が乱れる。従って安定したグロー放電が
得られないという欠点があった。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもの
であって、放電管内のグロー放電を均一にすることによ
って安定したレーザビームが得られるガスレーザ発振装
置を提供することを技術的課題とする。
であって、放電管内のグロー放電を均一にすることによ
って安定したレーザビームが得られるガスレーザ発振装
置を提供することを技術的課題とする。
本発明は放電管と、放電管の両端に設けられた光共振器
と、放電管内でレーザガスを流通させるレーザガス循環
装置と、放電管の外周面に設けられた対の電極と、陰極
電極に渦回流を発生するスリットを有するキャップと、
電極間に高圧電圧を与えて放電させる高圧電源とを有す
るガスレーザ発振装置であって、キャップと陰極とをそ
の内径が連続するようにテーパー状の絶縁物で接続した
ことを特徴とするものである。
と、放電管内でレーザガスを流通させるレーザガス循環
装置と、放電管の外周面に設けられた対の電極と、陰極
電極に渦回流を発生するスリットを有するキャップと、
電極間に高圧電圧を与えて放電させる高圧電源とを有す
るガスレーザ発振装置であって、キャップと陰極とをそ
の内径が連続するようにテーパー状の絶縁物で接続した
ことを特徴とするものである。
このような特徴を有する本発明によれば、陰極部分には
高い圧力のレーザガスが放電管に吸入されるが、接続部
分がテーパー状に形成されているためランダムな渦流が
発生することがなく、均一なグロー放電が得られる。
高い圧力のレーザガスが放電管に吸入されるが、接続部
分がテーパー状に形成されているためランダムな渦流が
発生することがなく、均一なグロー放電が得られる。
第１図は本発明の一実施例によるガスレーザ発振装置の
陰極部分の拡大断面図である。このガスレーザ発振装置
においても基本的な構成は前述した従来例と同様である
。本実施例に用いられる陰極部分は第１図に示すように
、送気管９の端部に円筒形でスリット２１を有するキャ
ップ２２が形成される。そしてそのキャップには図示の
ようにテーパー状に径が徐々に細くなった絶縁物２３が
取付けられ、その中間にリング状の陰極２が設けられる
。ここで絶縁物２３はキャップ２２の内径と陰極２の内
径とが連続して変化するように構成されているものとす
る。
陰極部分の拡大断面図である。このガスレーザ発振装置
においても基本的な構成は前述した従来例と同様である
。本実施例に用いられる陰極部分は第１図に示すように
、送気管９の端部に円筒形でスリット２１を有するキャ
ップ２２が形成される。そしてそのキャップには図示の
ようにテーパー状に径が徐々に細くなった絶縁物２３が
取付けられ、その中間にリング状の陰極２が設けられる
。ここで絶縁物２３はキャップ２２の内径と陰極２の内
径とが連続して変化するように構成されているものとす
る。
第２図及び第３図は夫々テーパー長し及びテーパー角θ
とレーザ出力との安定性を示すグラフである。これらの
図から明らかなように、テーパー長りを３０＋ｏ＋＋＋
以内、テーパー角θを５°〜２０°の範囲とすればレー
ザ出力を安定にすることができる。
とレーザ出力との安定性を示すグラフである。これらの
図から明らかなように、テーパー長りを３０＋ｏ＋＋＋
以内、テーパー角θを５°〜２０°の範囲とすればレー
ザ出力を安定にすることができる。
従って放電管工の内径を定める二をによって自動的にス
リットの寸法も定められる。このような値に設定するこ
とによって送気管９と放電管１が接続される陰極部分と
の間で渦流が発生することがなく、安定したグロー放電
が得られレーザ出力を安定化することができる。
リットの寸法も定められる。このような値に設定するこ
とによって送気管９と放電管１が接続される陰極部分と
の間で渦流が発生することがなく、安定したグロー放電
が得られレーザ出力を安定化することができる。
〔発明の効果］
以上詳細に説明したように本発明によれば、スリットと
陰極との間をテーパー状の絶縁物で接続することによっ
て放電管内の渦流の発生が抑制できる。従って安定した
レーザビームを出力するガスレーザ発振装置を提供する
ことが可能となる。
陰極との間をテーパー状の絶縁物で接続することによっ
て放電管内の渦流の発生が抑制できる。従って安定した
レーザビームを出力するガスレーザ発振装置を提供する
ことが可能となる。
第１図は本発明の一実施例による陰極部分の構成を示す
断面図、第２図はテーパー長とレーザ出力の安定性との
関係を示すグラフ、第３図はテーパー角とレーザ出力の
安定性との関係を示すグラフ、第４図はガスレーザ発振
装置の主要部の構成を示すブロック図、第５図は従来の
′ガスレーザ発振装置の陰極部分の構造を示す断面図で
ある。 ｉ −ｍ−・−・−放電管、 ２−・−−−−一陰極、
４−−−−−一高電圧電源、 ６−−−ｍ−・−全反
射鏡、 ７・−・一部分反射鏡、８−−−−−一送風機
、 ９−−−−一・送気管、 １２・・−レーザガス
循環装置、 ２１−−−−−−−スリット、 ２２・・
−・・・キャップ、 ２３−・・−絶縁物。 特許出願人 松下電器産業株式会社
断面図、第２図はテーパー長とレーザ出力の安定性との
関係を示すグラフ、第３図はテーパー角とレーザ出力の
安定性との関係を示すグラフ、第４図はガスレーザ発振
装置の主要部の構成を示すブロック図、第５図は従来の
′ガスレーザ発振装置の陰極部分の構造を示す断面図で
ある。 ｉ −ｍ−・−・−放電管、 ２−・−−−−一陰極、
４−−−−−一高電圧電源、 ６−−−ｍ−・−全反
射鏡、 ７・−・一部分反射鏡、８−−−−−一送風機
、 ９−−−−一・送気管、 １２・・−レーザガス
循環装置、 ２１−−−−−−−スリット、 ２２・・
−・・・キャップ、 ２３−・・−絶縁物。 特許出願人 松下電器産業株式会社
Claims (3)
- （１）放電管と、 前記放電管の両端に設けられた光共振器と、前記放電管
内でレーザガスを流通させるレーザガス循環装置と、 前記放電管の外周面に設けられた対の電極と、陰極電極
に渦回流を発生するスリットを有するキャップと、 前記電極間に高圧電圧を与えて放電させる高圧電源とを
有するガスレーザ発振装置において、前記キャップと陰
極とをその内径が連続するようにテーパー状の絶縁物で
接続したことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - （２）前記絶縁物のテーパー角は５゜〜２０゜の範囲内
であることを特徴とする請求項１記載のガスレーザ発振
装置。 - （３）前記絶縁物はテーパー状の長さが３０ｍｍ以内で
あることを特徴とする請求項１記載のガスレーザ発振装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2144168A JP2706353B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2144168A JP2706353B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0437078A true JPH0437078A (ja) | 1992-02-07 |
| JP2706353B2 JP2706353B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=15355784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2144168A Expired - Lifetime JP2706353B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2706353B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7842824B2 (en) | 2004-06-28 | 2010-11-30 | Mitsubishi Chemical Corporation | Biphenyltetracarboxylic acid dianhydride and process for producing the same, and polyimide formed from the same and process for producing the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956782A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP2144168A patent/JP2706353B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956782A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7842824B2 (en) | 2004-06-28 | 2010-11-30 | Mitsubishi Chemical Corporation | Biphenyltetracarboxylic acid dianhydride and process for producing the same, and polyimide formed from the same and process for producing the same |
| US8299273B2 (en) | 2004-06-28 | 2012-10-30 | Mitsubishi Chemical Corporation | Biphenyltetracarboxylic acid dianhydride and process for producing the same, and polyimide formed from the same and process for producing the same |
| US8492565B2 (en) | 2004-06-28 | 2013-07-23 | Mitsubishi Chemical Corporation | Biphenyltetracarboxylic acid dianhydride and process for producing the same, and polyimide formed from the same and process for producing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2706353B2 (ja) | 1998-01-28 |
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Legal Events
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