JPS5956782A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5956782A JPS5956782A JP16806782A JP16806782A JPS5956782A JP S5956782 A JPS5956782 A JP S5956782A JP 16806782 A JP16806782 A JP 16806782A JP 16806782 A JP16806782 A JP 16806782A JP S5956782 A JPS5956782 A JP S5956782A
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- JP
- Japan
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- tube
- gas
- gas flow
- laser
- cylinder
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はガスレーザ装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
第１図に従来のガスレーザ装置を示す。図において、１
はレーサ゛管、２はガス流、入管、３は電極であり、レ
ーデ管工の部端はもつ一方の電極とがス排出管に接続さ
れている。４は共振器を構成ず ゛る一方のミラ
ーで、５は上記構成を連結する部ＦＡ（以下ミラー支持
筒と呼ぶ）である。旧し、５に更に別な部材を用いてミ
ラーを支持することも可能である。ところが、ガス流入
管２とレーデ犠・１の軸方向とがｔ目直交するため、ガ
ス媒質の流れは、図中矢印Ａのような状寒となってレー
リ′管１中で片寄った流れとなる。このため、ガス媒質
による放電の冷却状らが不均一となって、放電自身が片
寄った状等となり、レーザ管１に加んる放電の電気入力
を大きくしても、レーザの出力が増大しない＠吠があら
れれるという問題を有していた。
はレーサ゛管、２はガス流、入管、３は電極であり、レ
ーデ管工の部端はもつ一方の電極とがス排出管に接続さ
れている。４は共振器を構成ず ゛る一方のミラ
ーで、５は上記構成を連結する部ＦＡ（以下ミラー支持
筒と呼ぶ）である。旧し、５に更に別な部材を用いてミ
ラーを支持することも可能である。ところが、ガス流入
管２とレーデ犠・１の軸方向とがｔ目直交するため、ガ
ス媒質の流れは、図中矢印Ａのような状寒となってレー
リ′管１中で片寄った流れとなる。このため、ガス媒質
による放電の冷却状らが不均一となって、放電自身が片
寄った状等となり、レーザ管１に加んる放電の電気入力
を大きくしても、レーザの出力が増大しない＠吠があら
れれるという問題を有していた。
発明の目的
この発明の目的は、レーザ出力全回」−できるガスレー
ザ装置？’１．を）、１７供することである。
ザ装置？’１．を）、１７供することである。
発明の１７・Ｙ成
この発明のガスレーザ装置は、ミラー支持筒の一方の筒
端にミラーを密封連結するとともに周胴部にガス導入管
を直交連結し、このミラー支持筒内にガス流集束筒を同
心状に配置するとともに、その集束筒の周胴部に筒袖方
向へ延びて径方向に対し所定角度でＩ１１′Ｉ斜する複
数のガス流入スリットを形成し、上記ミラー支持筒の他
方の筒端にガス流拡散筒の一方の筒端を同心状に連結す
るとともに、そのガス流拡散筒の他方の筒端にレーザ管
の管端を同心状に惟結して、そのレーザ管管端に電極を
配したもので、ガス導入管からミラー支持筒内に送り込
んだガス流をガス流集束筒によりその中心へ向けて渦巻
状に集束させ、その渦１ノソ１５束ガス流をガス流拡散
筒により径方向へ均一に拡散してレーザ管内へ送り込む
ことにより、レーザ管内でのガスの流速を均一化してレ
ーザ出力の向上を図る。
端にミラーを密封連結するとともに周胴部にガス導入管
を直交連結し、このミラー支持筒内にガス流集束筒を同
心状に配置するとともに、その集束筒の周胴部に筒袖方
向へ延びて径方向に対し所定角度でＩ１１′Ｉ斜する複
数のガス流入スリットを形成し、上記ミラー支持筒の他
方の筒端にガス流拡散筒の一方の筒端を同心状に連結す
るとともに、そのガス流拡散筒の他方の筒端にレーザ管
の管端を同心状に惟結して、そのレーザ管管端に電極を
配したもので、ガス導入管からミラー支持筒内に送り込
んだガス流をガス流集束筒によりその中心へ向けて渦巻
状に集束させ、その渦１ノソ１５束ガス流をガス流拡散
筒により径方向へ均一に拡散してレーザ管内へ送り込む
ことにより、レーザ管内でのガスの流速を均一化してレ
ーザ出力の向上を図る。
実施例の説明
この発明の一実施例を第２図ないし第５図を用いて説明
する。第２図において、６はミラー支持筒、７はミラー
支持筒６の一方の筒端に密封連結してミラー而をミラー
支持筒６０筒軸に対し直交配置したミラー、８はミラー
支持筒６の周胴部に直交連結したガス導入管である。
する。第２図において、６はミラー支持筒、７はミラー
支持筒６の一方の筒端に密封連結してミラー而をミラー
支持筒６０筒軸に対し直交配置したミラー、８はミラー
支持筒６の周胴部に直交連結したガス導入管である。
９はガス流集束筒で、上記ミラー支持筒６内に同心状に
配置されるとともに、その周胴部に、第３図に示すよう
に、筒袖方向へ延びて径方向Ｂに列して所定角度θで傾
斜する複数のガス流入スリット１０を並列形成する。こ
のガス流集束筒９は、ガス導入管８からミラー支持筒６
内へ送り込まれてきだガスを、ガス流スリット１０にＪ
山すことにより回転運動金与えて、筒軸１１の回りに渦
巻状に集束させる作用をもつ。
配置されるとともに、その周胴部に、第３図に示すよう
に、筒袖方向へ延びて径方向Ｂに列して所定角度θで傾
斜する複数のガス流入スリット１０を並列形成する。こ
のガス流集束筒９は、ガス導入管８からミラー支持筒６
内へ送り込まれてきだガスを、ガス流スリット１０にＪ
山すことにより回転運動金与えて、筒軸１１の回りに渦
巻状に集束させる作用をもつ。
１２ば、ガス流集束筒９の他方の筒端に同心状に連結し
たガス流拡散筒、１３はガス流拡散筒１２の筒端疋同心
状に連結したレーザ管、１４はレーザ管１３の管端に配
置面シた電極である。
たガス流拡散筒、１３はガス流拡散筒１２の筒端疋同心
状に連結したレーザ管、１４はレーザ管１３の管端に配
置面シた電極である。
このように（１４咬した結果、ガス導入管８がらミラー
支持筒６内に送り込まれたガスは、ガス流集束筒９のガ
ス流入スリッ）１０を通って筒軸１１の回りに・１笥巻
状に１５束し、この集束ガス流がガス流拡散筒１２内を
進む間に径方向へ均等に拡散されて、レーザ管１３内に
送り込まれる。すなゎ耘し−ザｖｆ１３内においては、
第４図に示すように、周辺の流速が中央部の流速よりも
やや大きい略均−な流速分布が得らｉ］るだめ、レーザ
管１３内において均一な広がった放電が得られる。なお
、ガス流拡散筒１２を設けない場合には、放電による影
響のため、レーザ管１３内における中心部でのガス流の
回転がそのまま持続されて中心部での流速が大きくなり
、すなわち放電の拡がりが小さい領域がレーザ管１３内
に存在してレーザ出力を増大できなくなる。このような
ガス流拡散筒１２は、その筒長を３０咽以−ＬＶＣ設定
すると、効果的である。
支持筒６内に送り込まれたガスは、ガス流集束筒９のガ
ス流入スリッ）１０を通って筒軸１１の回りに・１笥巻
状に１５束し、この集束ガス流がガス流拡散筒１２内を
進む間に径方向へ均等に拡散されて、レーザ管１３内に
送り込まれる。すなゎ耘し−ザｖｆ１３内においては、
第４図に示すように、周辺の流速が中央部の流速よりも
やや大きい略均−な流速分布が得らｉ］るだめ、レーザ
管１３内において均一な広がった放電が得られる。なお
、ガス流拡散筒１２を設けない場合には、放電による影
響のため、レーザ管１３内における中心部でのガス流の
回転がそのまま持続されて中心部での流速が大きくなり
、すなわち放電の拡がりが小さい領域がレーザ管１３内
に存在してレーザ出力を増大できなくなる。このような
ガス流拡散筒１２は、その筒長を３０咽以−ＬＶＣ設定
すると、効果的である。
実際に、上記実施例（ｇ（’； ２図）と従来例（第１
図）を用いて、′電極３および１４への電気入力を徐々
に増大していったところ、それらのレーザ出力は、第５
図に示すように、従来例の場合が曲線Ｃで示すよって早
期に飽和現象をおこしてレーザ出力の大幅な増大が得ら
れなかったのに対し、上記実施例を用いた場合は曲線り
で示すように吻和現象を起こしにくく、レーザ出力の大
幅な増大が得られた。
図）を用いて、′電極３および１４への電気入力を徐々
に増大していったところ、それらのレーザ出力は、第５
図に示すように、従来例の場合が曲線Ｃで示すよって早
期に飽和現象をおこしてレーザ出力の大幅な増大が得ら
れなかったのに対し、上記実施例を用いた場合は曲線り
で示すように吻和現象を起こしにくく、レーザ出力の大
幅な増大が得られた。
第６図はガスレーザ装置の他の実施例であって、上記実
施例と異なる点は、ガス流拡散筒１２′の内径を、レー
ザ管１３に近づくにつれて順次減少させた点だけであり
、ガス流拡散筒１２′によりレーザー管１３内での流速
分布を上記実施例よりも一層均一にして、レーザ出力を
一層回上することができる。
施例と異なる点は、ガス流拡散筒１２′の内径を、レー
ザ管１３に近づくにつれて順次減少させた点だけであり
、ガス流拡散筒１２′によりレーザー管１３内での流速
分布を上記実施例よりも一層均一にして、レーザ出力を
一層回上することができる。
第１図は従来例の断面図、第２図はこの発明の一実施例
の断面図、第３図はガス流集束筒の断面図、第４図はレ
ーザ管内における流速分布表示図、第５図は°ｒｆ＋：
代入力とレーザ出力のＩＶ−ｌ ｆ糸特性図、第６図は
他の実１市例の要部断面図である。 ６・・・ミラー支持筒、７・・・ミラー、８・・・ガス
漕、入管、９゛・・・ガス／ハ１ミ集束筒、１０・・・
ガス流入スリット、］、 ２ 、１２’・・・ガスメ＋
＋ａ拡散筒、１３・・・レーザ管、１４・・・□；ｌｉ
１；仮 （よヱＬ囚屯 第１図 第２図 第４白 第６図 −を勇４入力（ＫＷ） 第５図
の断面図、第３図はガス流集束筒の断面図、第４図はレ
ーザ管内における流速分布表示図、第５図は°ｒｆ＋：
代入力とレーザ出力のＩＶ−ｌ ｆ糸特性図、第６図は
他の実１市例の要部断面図である。 ６・・・ミラー支持筒、７・・・ミラー、８・・・ガス
漕、入管、９゛・・・ガス／ハ１ミ集束筒、１０・・・
ガス流入スリット、］、 ２ 、１２’・・・ガスメ＋
＋ａ拡散筒、１３・・・レーザ管、１４・・・□；ｌｉ
１；仮 （よヱＬ囚屯 第１図 第２図 第４白 第６図 −を勇４入力（ＫＷ） 第５図
Claims (3)
- （１）ミラー、レーザ管、ガス流入管などを連結するた
めの支持筒であってその支持筒の周胴部に直交連結した
ガス導入管と、前記支持筒内に同心状に配置するととも
にその周胴部に筒軸方向へ延びて径方向に対し所定角度
で傾斜する複数のガス流入スリットを並列形成したガス
流集束筒と、ｎａ記ミラー支持筒の（＋１方の筒端に同
心状に連結して前記ガス流集束筒から送り出されてくる
渦巻状集束ガス流を径方向へ均一拡散しながら筒軸方向
へ送り出すガス流拡散筒と、管端を前記ガス流拡散筒の
筒端へ同心状に連結したレーザ管と、このレーザ′、 管の￥ｆ端に配した電極とを備えたガスレーザ装置。 - （２）前記ガス流拡散筒は、前記レーザ管に近づくにつ
れて内径が漸次減少する特許請求の範囲第（１）項記載
のガスレーザ装Ｎ。 - （３）前記ガス流拡散筒は、筒長が３０犀以上である特
許請求の範囲第（１）項または第（２）項記載のがスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16806782A JPS5956782A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16806782A JPS5956782A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956782A true JPS5956782A (ja) | 1984-04-02 |
| JPH0451993B2 JPH0451993B2 (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=15861215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16806782A Granted JPS5956782A (ja) | 1982-09-25 | 1982-09-25 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956782A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0437078A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ発振装置 |
| JPH0693526B2 (ja) * | 1984-10-10 | 1994-11-16 | ピーアールシー コーポレーション | 軸方向ガス流励起管からなるガスレーザ |
| JP2009038225A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Icom Inc | 電子機器の取り付け構造 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3646475A (en) * | 1969-09-16 | 1972-02-29 | Systems Res Labor | Vortex tube laser |
| JPS5610989A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser oscillator |
| JPS57159076A (en) * | 1981-02-25 | 1982-10-01 | Rekuseru Corp | Laser device |
-
1982
- 1982-09-25 JP JP16806782A patent/JPS5956782A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3646475A (en) * | 1969-09-16 | 1972-02-29 | Systems Res Labor | Vortex tube laser |
| JPS5610989A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser oscillator |
| JPS57159076A (en) * | 1981-02-25 | 1982-10-01 | Rekuseru Corp | Laser device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0693526B2 (ja) * | 1984-10-10 | 1994-11-16 | ピーアールシー コーポレーション | 軸方向ガス流励起管からなるガスレーザ |
| JPH0437078A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレーザ発振装置 |
| JP2009038225A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Icom Inc | 電子機器の取り付け構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0451993B2 (ja) | 1992-08-20 |
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