JPS62106676A - レ−ザ発生装置 - Google Patents
レ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS62106676A JPS62106676A JP24688885A JP24688885A JPS62106676A JP S62106676 A JPS62106676 A JP S62106676A JP 24688885 A JP24688885 A JP 24688885A JP 24688885 A JP24688885 A JP 24688885A JP S62106676 A JPS62106676 A JP S62106676A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- discharge
- linking
- discharge tube
- gas supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、放゛遡管内にレーザガスを均一に発生させる
に好適なレーザ発生装置を提供することにある。
に好適なレーザ発生装置を提供することにある。
従来のガスレーザ発生装置は、特開昭６０−７０７８６
号公報のように、イオン化手段と冷却手段との改良によ
り、高パワーの分子ガスレーザ装置藤＜＋１１ＶＩＭイ
ｌ−１ ＞Ｊ−’＋＜＋ ｆＱＩｔ！７１／９１
／１ＪＩｆ？ｈｎｄ明する。
号公報のように、イオン化手段と冷却手段との改良によ
り、高パワーの分子ガスレーザ装置藤＜＋１１ＶＩＭイ
ｌ−１ ＞Ｊ−’＋＜＋ ｆＱＩｔ！７１／９１
／１ＪＩｆ？ｈｎｄ明する。
５ｇ２図は従来例を示し、第２図（ａ）では元軸９に対
し１人口ガス流６は′成極１を介して、放電管４に押し
込んで、’４極２を通過して出口ガス流７となって排出
する。電；Ｍｌと２間に紙圧テ印加するとグロー放１５
を生じるっこの方式、（おいては１慣ｌの内径にグロー
放Ｋｋ一様につけるＡに、内周端部でガス流の渦流を行
Ｏしめている。この方式の場合、入口ガス流６側の窒１
５スペースが犬さく、ｉ軸方向の長さ寸法が縮少できな
い。
し１人口ガス流６は′成極１を介して、放電管４に押し
込んで、’４極２を通過して出口ガス流７となって排出
する。電；Ｍｌと２間に紙圧テ印加するとグロー放１５
を生じるっこの方式、（おいては１慣ｌの内径にグロー
放Ｋｋ一様につけるＡに、内周端部でガス流の渦流を行
Ｏしめている。この方式の場合、入口ガス流６側の窒１
５スペースが犬さく、ｉ軸方向の長さ寸法が縮少できな
い。
第２Ｊ（ｂ）では、光軸方向の炎さ寸εを砺少するため
に入口ガス流６を元軸９に対し垂直方向より入れて解決
している。
に入口ガス流６を元軸９に対し垂直方向より入れて解決
している。
しかし、入口ガス流６の方向は急激に９０度方向の光軸
９上の放電管４に流し込むため渦流を生じ、グロー放ｙ
ｔ５を不安定とする力を発生させている。
９上の放電管４に流し込むため渦流を生じ、グロー放ｙ
ｔ５を不安定とする力を発生させている。
本発明の目的は、その渦流となくす為に、放電管への面
積縮少が急激に行なわれるＲ形状化することで、ガス流
速を急激に増大せしめ、渦流をおしつぶす効果を得るこ
とを特長としている。
積縮少が急激に行なわれるＲ形状化することで、ガス流
速を急激に増大せしめ、渦流をおしつぶす効果を得るこ
とを特長としている。
上記問題点は連絡管端部と放電管端部とがＲ面を形成す
るように放！雷側に収った縮少部を介して放電管と連結
することにより、解決できる。
るように放！雷側に収った縮少部を介して放電管と連結
することにより、解決できる。
放と管の直径より連絡管の直径を大きくして。
Ｒ面で縮少形状で接続される超来、急激にガス流速が増
大し、渦流をおしつぶして、変速な一定ガス流速を得て
、均一なグロー放電を放゛框管内で発生し得るので、レ
ーザ出力も安定する。
大し、渦流をおしつぶして、変速な一定ガス流速を得て
、均一なグロー放電を放゛框管内で発生し得るので、レ
ーザ出力も安定する。
以下、本発明の一実施例を第１図によシ説明する。
即ち、光勤方向の長さを小形とする為に、入口ガス流６
は１元軸９に対し直角方向より内径φ人の円筒形状のガ
ス供給管８により与える。ガス供給管８の内部に電極ｌ
に設けて、入口ガス流６が吹くと同時にグロー放電の端
部トーチを点灯させる。この時、１甑１部はφＡと深さ
寸法αが重要で、端部トーチのグロー放゛直の点灯の良
否を決める。
は１元軸９に対し直角方向より内径φ人の円筒形状のガ
ス供給管８により与える。ガス供給管８の内部に電極ｌ
に設けて、入口ガス流６が吹くと同時にグロー放電の端
部トーチを点灯させる。この時、１甑１部はφＡと深さ
寸法αが重要で、端部トーチのグロー放゛直の点灯の良
否を決める。
実験値によればφＡユ３ｄでろった。
次に、４絡ｆｌｏはφＤ＋の内径で長さｔのガラス管で
受ける。この述４ｆｌＯの中心軸は光軸９に合致し、同
様に内径φＤ２で長さＬの放電管４も同軸上に配ｒｉｔ
ｔする。
受ける。この述４ｆｌＯの中心軸は光軸９に合致し、同
様に内径φＤ２で長さＬの放電管４も同軸上に配ｒｉｔ
ｔする。
連絡管ｌＯの端部と放電Ｗ４との端部は図示の如く外側
に中心点ＯのあるＲ形状で通続する。
に中心点ＯのあるＲ形状で通続する。
したがって、φＡくφＤ２ ＜φＯ！の条件となる。そ
の結東、入ロガスＲ，６は連絡管１０内で断熱膨張して
乱流となシ渦流を生ずる。その后、放電管４ヘガス流は
φＤｚ＞φＤ１の条件よシ急激に面積の小さいところを
通過するため流速は加速される。
の結東、入ロガスＲ，６は連絡管１０内で断熱膨張して
乱流となシ渦流を生ずる。その后、放電管４ヘガス流は
φＤｚ＞φＤ１の条件よシ急激に面積の小さいところを
通過するため流速は加速される。
その時に面積変化は１＜、形状で接続′舊れているので
、連続的に流速が加速される結果、渦流におしつぶされ
て小さくなり、ガス流速のゆらぎが減少する。その臨界
条件は、実験的に次の通りであつた。
、連続的に流速が加速される結果、渦流におしつぶされ
て小さくなり、ガス流速のゆらぎが減少する。その臨界
条件は、実験的に次の通りであつた。
すなわち、連絡管１０と放電ｆ４との断面積比は
内容積比は。
υ１ゝＤ２
凡ユ□
でめった。
以上１本発明によれば、従来、−小型形状で高速にガス
ｙ＆：ｉすとグロー放電が短時間内で変化しその結果、
レーザ光が変化するという欠点を除去することができた
ので、レーザ光を加工中に一定値に継続できるので質の
よいレーザ加工が可能となった。
ｙ＆：ｉすとグロー放電が短時間内で変化しその結果、
レーザ光が変化するという欠点を除去することができた
ので、レーザ光を加工中に一定値に継続できるので質の
よいレーザ加工が可能となった。
しかも、製作上φＤＩとφＤ２はガラス管などはグロー
放電があるため絶縁物でつくる必要があり、Ｒ形状は滑
らかにつくることができ、製作上の問題はなかった。
放電があるため絶縁物でつくる必要があり、Ｒ形状は滑
らかにつくることができ、製作上の問題はなかった。
５ｇ１図は本発明の実施例でるるガスレーザ発生装置の
放ば管の要部側断面図、第２図（ａ）およびΦ）は従来
例の放心管の要部側断面図でるる。 ４・・・）！Ｌｌｅ、５・・・グロー放電、６・・・人
口ガス流。 ８・・・ガス供給管、１０・・・遅Ｎ！ｔ′！？。
放ば管の要部側断面図、第２図（ａ）およびΦ）は従来
例の放心管の要部側断面図でるる。 ４・・・）！Ｌｌｅ、５・・・グロー放電、６・・・人
口ガス流。 ８・・・ガス供給管、１０・・・遅Ｎ！ｔ′！？。
Claims (1)
- １、グロー放電を行う放電管と、放電管の一端部と連絡
している連絡管と、連絡管にガス供給管を設けて混合ガ
スを連絡管を介して放電管内に供給するものにおいて、
放電管の直径より連絡管の直径を大きくして、連絡管端
部はＲ面を形成するように放電管側に絞つた縮少部を介
して放電管と連結することを特徴とするレーザ発生装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24688885A JPS62106676A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | レ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24688885A JPS62106676A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | レ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62106676A true JPS62106676A (ja) | 1987-05-18 |
Family
ID=17155238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24688885A Pending JPS62106676A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | レ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62106676A (ja) |
-
1985
- 1985-11-01 JP JP24688885A patent/JPS62106676A/ja active Pending
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