JPS61142783A - レ−ザ発振器用電極管 - Google Patents
レ−ザ発振器用電極管Info
- Publication number
- JPS61142783A JPS61142783A JP26459284A JP26459284A JPS61142783A JP S61142783 A JPS61142783 A JP S61142783A JP 26459284 A JP26459284 A JP 26459284A JP 26459284 A JP26459284 A JP 26459284A JP S61142783 A JPS61142783 A JP S61142783A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode tube
- metal
- electrode
- tube
- metal electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
- H01S3/0387—Helical shape
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例λば軸流型ガスレーザ発振器の電極管、
％にその金属電極の取り付は構造の改良に関するもので
ある。
％にその金属電極の取り付は構造の改良に関するもので
ある。
第２図及び第６図は従来の電極管を示すものであシ、図
においてＣ１１け電極管、（２）は交流高圧高周波電源
、（３１はこの電源（２１から電極管ｒｌｌＫ電力を供
給する導線である。電極管ＣＩ＋はセラミックや゛ガラ
ス等の誘電体を円筒状に形成した電極素管（４）と、こ
の電極素管（４）の外周に対向させ喪状態で取り付けら
れたステンレス金網展又はパンチングメタル製の一対の
金属電極（５１、＋５１とからなる。
においてＣ１１け電極管、（２）は交流高圧高周波電源
、（３１はこの電源（２１から電極管ｒｌｌＫ電力を供
給する導線である。電極管ＣＩ＋はセラミックや゛ガラ
ス等の誘電体を円筒状に形成した電極素管（４）と、こ
の電極素管（４）の外周に対向させ喪状態で取り付けら
れたステンレス金網展又はパンチングメタル製の一対の
金属電極（５１、＋５１とからなる。
電極素管（４）内に矢印Ａで示すレーザ媒質ガスを流通
させ（例えば、よく知られている炭酸ガスレーザの場合
、ＣＯ＊＊ Ｎｕｔ Ｈｅの混合ガスを約８：５０：４
２ｖｏ１％ｏ混合比で、約８０〜１００Ｔｏｒｒの圧力
下、ガス流速２００ Ｉｎ／ｓｅａで流通させ）、一対
の金属電極（５）、（５１間に交流高圧高周波ｌｌｒ源
（２１より、６ｋｖ程度の電圧を印加すると、いわゆる
無声放電（６）Ｋよシ、ガス分子（Ｃｏ、分子）が励起
され、ガス流方向両端に設けられた図示しない光共振器
によって光が増幅され、波長１０．６μｍのレーザ光が
出力する。
させ（例えば、よく知られている炭酸ガスレーザの場合
、ＣＯ＊＊ Ｎｕｔ Ｈｅの混合ガスを約８：５０：４
２ｖｏ１％ｏ混合比で、約８０〜１００Ｔｏｒｒの圧力
下、ガス流速２００ Ｉｎ／ｓｅａで流通させ）、一対
の金属電極（５）、（５１間に交流高圧高周波ｌｌｒ源
（２１より、６ｋｖ程度の電圧を印加すると、いわゆる
無声放電（６）Ｋよシ、ガス分子（Ｃｏ、分子）が励起
され、ガス流方向両端に設けられた図示しない光共振器
によって光が増幅され、波長１０．６μｍのレーザ光が
出力する。
従来のレーザ発振器用電極管は、電極素管（４）の外側
に金属電極（５１、（５１を固定するのが困難で、かつ
電極素管（４）と金属電極（５１、（５１との間に空隙
が生ずるため、その間の放電によシミ力をロスしたシ、
又不拘−な空隙や不安定な製造方法のためレーザ特性が
バラツキ、均質なレーザ発振器が製作できない等の多く
の問題があった。
に金属電極（５１、（５１を固定するのが困難で、かつ
電極素管（４）と金属電極（５１、（５１との間に空隙
が生ずるため、その間の放電によシミ力をロスしたシ、
又不拘−な空隙や不安定な製造方法のためレーザ特性が
バラツキ、均質なレーザ発振器が製作できない等の多く
の問題があった。
この発明は上記問題を解決するためになされたもので、
製造方法が簡単で安価な、電力ロスの少ない省エネルギ
ーな、特性の安定（品質の安定）したレーザ発振器用電
極管を提供することを目的としている。
製造方法が簡単で安価な、電力ロスの少ない省エネルギ
ーな、特性の安定（品質の安定）したレーザ発振器用電
極管を提供することを目的としている。
この発明に係るレーザ発振器用電極管は、金属溶射によ
シミ極素管の外側に金属を固定させることにより電極素
管の外側に金属電極を密着形成した９ 〔作用〕 この発明におけるレーザ発振器用電極は金属溶射により
電極素管に金属電極を固定させるので、金属電極の電極
素管への密着度が高く、従って金属電極と電極素管との
間で放電ロスを生じない。
シミ極素管の外側に金属を固定させることにより電極素
管の外側に金属電極を密着形成した９ 〔作用〕 この発明におけるレーザ発振器用電極は金属溶射により
電極素管に金属電極を固定させるので、金属電極の電極
素管への密着度が高く、従って金属電極と電極素管との
間で放電ロスを生じない。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略説明図であシ、
〔１１は電極管、（２）は交流高圧高周波電源、（３）
はこの電源（２）から電極管（１）Ｋ電力を供給する導
線である。電極管（１）は電極素管（４）とこの電極素
管（４）の外周に対向して設けられたスパイラル状の金
属電極（５）、（５）とからなる。電極素管（４）は５
ｔｏｌｅＡｔ、０．又はＴｉｅ、等の誘電体からなル、
例えば内径２０鵡φ、外径２４Ｉ６φ、長さ２００．程
度の大きさの管状体を構成している。金属電極（５１、
（５１は０．３〜０．５ ａｓ程度の厚さを有しておシ
、Ｎｉ−Ａｔ合金、ＳＵＳ等の金属材料からなる。金属
電極（５）、（５）からは導線（３）がハンダ付は等の
手段によシ引き出されており、この導線（３）は交流高
圧高周波電源（２）Ｋ接続させられている。
〔１１は電極管、（２）は交流高圧高周波電源、（３）
はこの電源（２）から電極管（１）Ｋ電力を供給する導
線である。電極管（１）は電極素管（４）とこの電極素
管（４）の外周に対向して設けられたスパイラル状の金
属電極（５）、（５）とからなる。電極素管（４）は５
ｔｏｌｅＡｔ、０．又はＴｉｅ、等の誘電体からなル、
例えば内径２０鵡φ、外径２４Ｉ６φ、長さ２００．程
度の大きさの管状体を構成している。金属電極（５１、
（５１は０．３〜０．５ ａｓ程度の厚さを有しておシ
、Ｎｉ−Ａｔ合金、ＳＵＳ等の金属材料からなる。金属
電極（５）、（５）からは導線（３）がハンダ付は等の
手段によシ引き出されており、この導線（３）は交流高
圧高周波電源（２）Ｋ接続させられている。
金属電極ｆ５１、＋５１のための金属材料は以下のよう
にして電極素管（４）に設ける。まず、Ｗ極素管（４）
の外周面〈金属電極（５１、＋５１を設けるべき箇所を
残して金属マスクを被覆し、サンドブラスト等で電極素
管（４）の外周面の金属電極１５１、’ｆ５１を設ける
べき箇所を粗面什する。その後、Ｎ１−Ａｊ合金、ＳＵ
Ｓ等の金属材料を、プラズマジェット、ガスジェット等
の方法により、電極素ｗ（４）の前記粗面化した箇Ｐｆ
ｒＫ吹き付けて、厚さ０．６〜０．５■程度の金属電極
（５）、（５）を形成する。
にして電極素管（４）に設ける。まず、Ｗ極素管（４）
の外周面〈金属電極（５１、＋５１を設けるべき箇所を
残して金属マスクを被覆し、サンドブラスト等で電極素
管（４）の外周面の金属電極１５１、’ｆ５１を設ける
べき箇所を粗面什する。その後、Ｎ１−Ａｊ合金、ＳＵ
Ｓ等の金属材料を、プラズマジェット、ガスジェット等
の方法により、電極素ｗ（４）の前記粗面化した箇Ｐｆ
ｒＫ吹き付けて、厚さ０．６〜０．５■程度の金属電極
（５）、（５）を形成する。
上記のように構成されたレーザ発振器用電極管５におい
ては、電極管（１１内ｉＣＸＣｏｗ ： Ｎ＠ ： Ｈ
ｅが約８：５０：４２ ｖｏｌ ％の混合比のレーザ媒
質ガスを、約８０〜１００ Ｔｏｒｒの圧力下で、ガス
流速２００ｍ／ヮで流通させながら、金属電極（５１、
＋５１間に交流高圧高周波電源を印加すると、金属電極
（５１、（５）は溶射により電極素管（４）に密着して
いるので、金属電極ｆ５１、（５１と電極素！（４）と
の間で放電を生じることなく、電極管（１）内の金属電
極＋５１．１５１間に対応した部分で放電（６）を生じ
、この放電（６）Ｋよってレーザ媒質ガス中のＣＯ２分
子が励起し、波長１０．６μｍの光子を放出し、図示し
ないが、ガス流方向両端に設けた光共振器により増幅さ
れ、レーザ光として出力される。
ては、電極管（１１内ｉＣＸＣｏｗ ： Ｎ＠ ： Ｈ
ｅが約８：５０：４２ ｖｏｌ ％の混合比のレーザ媒
質ガスを、約８０〜１００ Ｔｏｒｒの圧力下で、ガス
流速２００ｍ／ヮで流通させながら、金属電極（５１、
＋５１間に交流高圧高周波電源を印加すると、金属電極
（５１、（５）は溶射により電極素管（４）に密着して
いるので、金属電極ｆ５１、（５１と電極素！（４）と
の間で放電を生じることなく、電極管（１）内の金属電
極＋５１．１５１間に対応した部分で放電（６）を生じ
、この放電（６）Ｋよってレーザ媒質ガス中のＣＯ２分
子が励起し、波長１０．６μｍの光子を放出し、図示し
ないが、ガス流方向両端に設けた光共振器により増幅さ
れ、レーザ光として出力される。
この発明は以上説明したとおり、金属電極を溶射により
電極素管に固着させ、金属電極と′１１ｊ極素管との間
の隙間をなくシ、金属電極と電極素管との間の密着度を
良好ならしめたので、金属電極と電極素管との間の放電
を防止し、印加した電力のロスを抑えることができると
いう効果がある。また、この発明は治具等を用いて金属
電極を形成するので、バラツキが少なく、精度の良い金
属電極を得ることができ、従って、電極管の品質を向上
させることができる効果がある。更に、この発明によれ
ば電極管を安価に製造できるという効果もある。
電極素管に固着させ、金属電極と′１１ｊ極素管との間
の隙間をなくシ、金属電極と電極素管との間の密着度を
良好ならしめたので、金属電極と電極素管との間の放電
を防止し、印加した電力のロスを抑えることができると
いう効果がある。また、この発明は治具等を用いて金属
電極を形成するので、バラツキが少なく、精度の良い金
属電極を得ることができ、従って、電極管の品質を向上
させることができる効果がある。更に、この発明によれ
ば電極管を安価に製造できるという効果もある。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略説明図、第２図
は従来のレーザ発振器用電極管の概略説明図、第６図は
従来のレーザ発振器用電極管の断面図である。 図において、（１１は放電管、（２）は電源、（３）は
導線、（４１は電極素管、（５）は金属電極、（６）は
放電である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すものと
する。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第２図 第３ 図
は従来のレーザ発振器用電極管の概略説明図、第６図は
従来のレーザ発振器用電極管の断面図である。 図において、（１１は放電管、（２）は電源、（３）は
導線、（４１は電極素管、（５）は金属電極、（６）は
放電である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すものと
する。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第２図 第３ 図
Claims (1)
- 誘電体で管状に形成した電極素管の外側に一対の金属電
極を対向させた状態で取り付け、該電極素管内にレーザ
媒質ガスを流通させ、該一対の金属電極に高電圧高周波
電源から電圧を印加し、放電により該レーザ媒質ガスを
励起させ、レーザ光を出力させるレーザ発振器用電極管
において、金属溶射によって前記電極素管に前記一対の
金属電極を形成したことを特徴とするレーザ発振器用電
極管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26459284A JPS61142783A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | レ−ザ発振器用電極管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26459284A JPS61142783A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | レ−ザ発振器用電極管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61142783A true JPS61142783A (ja) | 1986-06-30 |
Family
ID=17405439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26459284A Pending JPS61142783A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | レ−ザ発振器用電極管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61142783A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62174990A (ja) * | 1986-01-29 | 1987-07-31 | Fanuc Ltd | 高周波励起同軸型ｃｏ２レ−ザ− |
| WO1988002562A1 (en) * | 1986-09-30 | 1988-04-07 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Gas laser device and a method of fabricating the same |
| WO1988009577A1 (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
| DE3817145A1 (de) * | 1987-06-03 | 1988-12-22 | Lambda Physik Forschung | Elektrode fuer gepulste gas-laser |
| JPH01274878A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動子の製造法 |
-
1984
- 1984-12-17 JP JP26459284A patent/JPS61142783A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62174990A (ja) * | 1986-01-29 | 1987-07-31 | Fanuc Ltd | 高周波励起同軸型ｃｏ２レ−ザ− |
| WO1987004869A1 (en) * | 1986-01-29 | 1987-08-13 | Fanuc Ltd | Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation |
| US4802184A (en) * | 1986-01-29 | 1989-01-31 | Fanuc Ltd | High frequency discharge excited coaxial type CO2 laser |
| WO1988002562A1 (en) * | 1986-09-30 | 1988-04-07 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Gas laser device and a method of fabricating the same |
| WO1988009577A1 (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
| DE3817145A1 (de) * | 1987-06-03 | 1988-12-22 | Lambda Physik Forschung | Elektrode fuer gepulste gas-laser |
| JPH01274878A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-11-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動子の製造法 |
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