JP2706353B2 - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JP2706353B2 JP2706353B2 JP2144168A JP14416890A JP2706353B2 JP 2706353 B2 JP2706353 B2 JP 2706353B2 JP 2144168 A JP2144168 A JP 2144168A JP 14416890 A JP14416890 A JP 14416890A JP 2706353 B2 JP2706353 B2 JP 2706353B2
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- Japan
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- discharge tube
- gas
- oscillation device
- laser
- laser oscillation
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は放電管を用いたガスレーザ発振装置に関し、
特に高圧電源を用いたガスレーザ発振装置に関するもの
である。
特に高圧電源を用いたガスレーザ発振装置に関するもの
である。
ガスレーザ発振装置は例えば第４図に示すように、ガ
ラス等の放電管１には中央部分を挟んでその外周面に密
着して金属電極である陰極２及び陽極３が取付けられ
る。そして高電圧電源４がこれらの電極2,3間に接続さ
れている。高電圧電源４は電極2,3間に例えば30KVの高
圧を印加するものである。電極2,3間は放電管１内の放
電空間５を形成している。放電管１の両端には全反射鏡
６及び部分反射鏡７が放電空間５の両端に固定されて光
共振器を構成している。そして放電管１内のレーザガス
は送風機８及び送気管９によって循環するように構成さ
れる。送風機８は放電空間５に約100m/secの速度でレー
ザガスを流通させるようにしている。送風機８の吸込口
及び排出口側には上昇したレーザガスの温度を下げるた
めに熱交換器10,11が設けられている。そして送風機8,
送気管９及び熱交換器10,11によって放電管内でレーザ
ガスを流通させるレーザガス循環装置12が構成されてい
る。
ラス等の放電管１には中央部分を挟んでその外周面に密
着して金属電極である陰極２及び陽極３が取付けられ
る。そして高電圧電源４がこれらの電極2,3間に接続さ
れている。高電圧電源４は電極2,3間に例えば30KVの高
圧を印加するものである。電極2,3間は放電管１内の放
電空間５を形成している。放電管１の両端には全反射鏡
６及び部分反射鏡７が放電空間５の両端に固定されて光
共振器を構成している。そして放電管１内のレーザガス
は送風機８及び送気管９によって循環するように構成さ
れる。送風機８は放電空間５に約100m/secの速度でレー
ザガスを流通させるようにしている。送風機８の吸込口
及び排出口側には上昇したレーザガスの温度を下げるた
めに熱交換器10,11が設けられている。そして送風機8,
送気管９及び熱交換器10,11によって放電管内でレーザ
ガスを流通させるレーザガス循環装置12が構成されてい
る。
第５図は従来の金属電極の陰極部分の詳細な構成を示
す断面図である。本図において陰極部分には円筒形のキ
ャップ13が設けられており、このキャップ13に細いスリ
ット14が図示のように設けられて送気管９からのレーザ
ガスを放電管１に導いている。そして陰極部分にはリン
グ状の陰極電極２が絶縁物15に保持されている。ここで
陰極２と絶縁物15とは図示のような段差が形成されてい
た。
す断面図である。本図において陰極部分には円筒形のキ
ャップ13が設けられており、このキャップ13に細いスリ
ット14が図示のように設けられて送気管９からのレーザ
ガスを放電管１に導いている。そして陰極部分にはリン
グ状の陰極電極２が絶縁物15に保持されている。ここで
陰極２と絶縁物15とは図示のような段差が形成されてい
た。
しかるにこのような従来のガスレーザ発振装置では、
絶縁物15とキャップ13との段差の部分でランダムな渦流
が発生し放電が乱れる。従って安定したグロー放電が得
られないという欠点があった。
絶縁物15とキャップ13との段差の部分でランダムな渦流
が発生し放電が乱れる。従って安定したグロー放電が得
られないという欠点があった。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたも
のであって、放電管内のグロー放電を均一にすることに
よって安定したレーザビームが得られるガスレーザ発振
装置を提供することを技術的課題とする。
のであって、放電管内のグロー放電を均一にすることに
よって安定したレーザビームが得られるガスレーザ発振
装置を提供することを技術的課題とする。
本発明は放電管と、放電管の両端に設けられた光共振
器と、放電管内でレーザガスを流通させるレーザガス循
環装置と、放電管の外周面に設けられた対の電極と、陰
極電極に渦回流を発生するスリットを有するキャップ
と、電極間に高圧電圧を与えて放電させる高圧電源とを
有するガスレーザ発振装置であって、キャップと陰極と
をその内径が連続するようにテーパー状の絶縁物で接続
したことを特徴とするものである。
器と、放電管内でレーザガスを流通させるレーザガス循
環装置と、放電管の外周面に設けられた対の電極と、陰
極電極に渦回流を発生するスリットを有するキャップ
と、電極間に高圧電圧を与えて放電させる高圧電源とを
有するガスレーザ発振装置であって、キャップと陰極と
をその内径が連続するようにテーパー状の絶縁物で接続
したことを特徴とするものである。
このような特徴を有する本発明によれば、陰極部分に
は高い圧力のレーザガスが放電管に吸入されるが、接続
部分がテーパー状に形成されているためランダムな渦流
が発生することがなく、均一なグロー放電が得られる。
は高い圧力のレーザガスが放電管に吸入されるが、接続
部分がテーパー状に形成されているためランダムな渦流
が発生することがなく、均一なグロー放電が得られる。
〔実施例〕 第１図は本発明の一実施例によるガスレーザ発振装置
の陰極部分の拡大断面図である。このガスレーザ発振装
置においても基本的な構成は前述した従来例と同様であ
る。本実施例に用いられる陰極部分は第１図に示すよう
に、送気管９の端部に円筒形でスリット21を有するキャ
ップ22が形成される。そしてそのキャップには図示のよ
うにテーパー状に径が徐々に細くなった絶縁物23が取付
けられ、その中間にリング状の陰極２が設けられる。こ
こで絶縁物23はキャップ22の内径と陰極２の内径とが連
続して変化するように構成されているものとする。
の陰極部分の拡大断面図である。このガスレーザ発振装
置においても基本的な構成は前述した従来例と同様であ
る。本実施例に用いられる陰極部分は第１図に示すよう
に、送気管９の端部に円筒形でスリット21を有するキャ
ップ22が形成される。そしてそのキャップには図示のよ
うにテーパー状に径が徐々に細くなった絶縁物23が取付
けられ、その中間にリング状の陰極２が設けられる。こ
こで絶縁物23はキャップ22の内径と陰極２の内径とが連
続して変化するように構成されているものとする。
第２図及び第３図は夫々テーパー長Ｌ及びテーパー角
θとレーザ出力との安定性を示すグラフである。これら
の図から明らかなように、テーパー長Ｌを30mm以内，テ
ーパー角θを５°〜20°の範囲とすればレーザ出力を安
定にすることができる。従って放電管１の内径を定める
ことによって自動的にスリットの寸法も定められる。こ
のような値に設定することによって送気管９と放電管１
が接続される陰極部分との間で渦流が発生することがな
く、安定したグロー放電が得られレーザ出力を安定化す
ることができる。
θとレーザ出力との安定性を示すグラフである。これら
の図から明らかなように、テーパー長Ｌを30mm以内，テ
ーパー角θを５°〜20°の範囲とすればレーザ出力を安
定にすることができる。従って放電管１の内径を定める
ことによって自動的にスリットの寸法も定められる。こ
のような値に設定することによって送気管９と放電管１
が接続される陰極部分との間で渦流が発生することがな
く、安定したグロー放電が得られレーザ出力を安定化す
ることができる。
以上詳細に説明したように本発明によれば、スリット
と陰極との間をテーパー状の絶縁物で接続することによ
って放電管内の渦流の発生が抑制できる。従って安定し
たレーザビームを出力するガスレーザ発振装置を提供す
ることが可能となる。
と陰極との間をテーパー状の絶縁物で接続することによ
って放電管内の渦流の発生が抑制できる。従って安定し
たレーザビームを出力するガスレーザ発振装置を提供す
ることが可能となる。
第１図は本発明の一実施例による陰極部分の構成を示す
断面図、第２図はテーパー長とレーザ出力の安定性との
関係を示すグラフ、第３図はテーパー角とレーザ出力の
安定性との関係を示すグラフ、第４図はガスレーザ発振
装置の主要部の構成を示すブロック図、第５図は従来の
ガスレーザ発振装置の陰極部分の構造を示す断面図であ
る。 １……放電管、２……陰極、４……高電圧電源、６……
全反射鏡、７……部分反射鏡、８……送風機、９……送
気管、12……レーザガス循環装置、21……スリット、22
……キャップ、23……絶縁物。
断面図、第２図はテーパー長とレーザ出力の安定性との
関係を示すグラフ、第３図はテーパー角とレーザ出力の
安定性との関係を示すグラフ、第４図はガスレーザ発振
装置の主要部の構成を示すブロック図、第５図は従来の
ガスレーザ発振装置の陰極部分の構造を示す断面図であ
る。 １……放電管、２……陰極、４……高電圧電源、６……
全反射鏡、７……部分反射鏡、８……送風機、９……送
気管、12……レーザガス循環装置、21……スリット、22
……キャップ、23……絶縁物。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山根 茂樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 杉山 勤 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 唐崎 秀彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 大西 正史 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−56782（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−42886（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−28978（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−302583（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】放電管と、 前記放電管の両端に設けられた光共振器と、 前記放電管内でレーザガスを流通させるレーザガス循環
装置と、 前記放電管の外周面に設けられた対の電極と、 陰極電極に渦回流を発生するスリットを有するキャップ
と、 前記電極間に高圧電圧を与えて放電させる高圧電源とを
有するガスレーザ発振装置において、 前記キャップと陰極とをその内径が連続するようにテー
パー状の絶縁物で接続したことを特徴とするガスレーザ
発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2144168A JP2706353B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2144168A JP2706353B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0437078A JPH0437078A (ja) | 1992-02-07 |
| JP2706353B2 true JP2706353B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=15355784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2144168A Expired - Lifetime JP2706353B2 (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2706353B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1976912B (zh) | 2004-06-28 | 2012-07-04 | 三菱化学株式会社 | 联苯四甲酸二酐及其制造方法、以及使用该联苯四甲酸二酐的聚酰亚胺及其制造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5956782A (ja) * | 1982-09-25 | 1984-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP2144168A patent/JP2706353B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0437078A (ja) | 1992-02-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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