JPS603170A - 無声放電式ガスレ−ザ装置 - Google Patents
無声放電式ガスレ−ザ装置Info
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- JPS603170A JPS603170A JP11139683A JP11139683A JPS603170A JP S603170 A JPS603170 A JP S603170A JP 11139683 A JP11139683 A JP 11139683A JP 11139683 A JP11139683 A JP 11139683A JP S603170 A JPS603170 A JP S603170A
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- discharge
- electrodes
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- laser device
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
- H01S3/0387—Helical shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は無声放電式ガスレーザ装置、とくにそのレー
ザビームのモードの良質化に関するものである。
ザビームのモードの良質化に関するものである。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。
第１図伸）は従来の無声放電式ガスレーザ装置の正面図
、第１図（１））は第１図（ａ）の八−Ａ′線に沿った
断面図、第１図（Ｃ）は放電管内の電１子密度の分布図
である。図において、（Ｉ）は誘電体よシなる管状の放
電管、 （２）、＋３１は放電管（１）の外壁に密着し
、放電管（１）の径方向に相対向する電極対、（４）は
高周波電源で電極対（２＋、 （３１に接続される。（
５）は全反射鏡、（６）は部分反射鏡で放電管（１）の
長手方向の両対向端に取り付けられ、矢印（ｌηで示さ
れる方向にレーザ光を発振させる。
、第１図（１））は第１図（ａ）の八−Ａ′線に沿った
断面図、第１図（Ｃ）は放電管内の電１子密度の分布図
である。図において、（Ｉ）は誘電体よシなる管状の放
電管、 （２）、＋３１は放電管（１）の外壁に密着し
、放電管（１）の径方向に相対向する電極対、（４）は
高周波電源で電極対（２＋、 （３１に接続される。（
５）は全反射鏡、（６）は部分反射鏡で放電管（１）の
長手方向の両対向端に取り付けられ、矢印（ｌηで示さ
れる方向にレーザ光を発振させる。
そして、この放電管（１１は内部に送風機（９）及び熱
交換器顛を備えた送気管（７）、、 （８１に接続され
て循環的に連通されている。第１図（ｂ）は電極対（２
）。
交換器顛を備えた送気管（７）、、 （８１に接続され
て循環的に連通されている。第１図（ｂ）は電極対（２
）。
（３）に交流電圧を印加した時の放電の様子を示し、
（Ａ）は放電部、（Ｂ）は非放電部を示す。
（Ａ）は放電部、（Ｂ）は非放電部を示す。
次に無声放電式のＣＯ２レーザ装置を例九とり動作を説
明する。放電管（１）内には、（ｉｏ２．）（ｅ。
明する。放電管（１）内には、（ｉｏ２．）（ｅ。
Ｎ２の混合ガスが数１０’１’ｏｒｒの圧力で充填され
ている。この放電管（１）において、電極対ｆ２１．
（３）に高周波電源（４）より電圧が印加されると放電
管（１）内に無声放電が起り、その結果、放電により（
１０□分子が励起され、全反射＠（５）と部分反射鏡（
６）で構成される光共振器内でレーザ発振が起る。レー
ザ光の一部は矢印αυで示されるように部分反射鏡（６
）より外部に取り出される。放電によりガス温度が上昇
するとレーザ出力が低下するので、送風機（９）により
ガスを循環させて熱交換器００で冷却し、これにより放
電管（１１内のガス温度は所定値以下に保持される。
ている。この放電管（１）において、電極対ｆ２１．
（３）に高周波電源（４）より電圧が印加されると放電
管（１）内に無声放電が起り、その結果、放電により（
１０□分子が励起され、全反射＠（５）と部分反射鏡（
６）で構成される光共振器内でレーザ発振が起る。レー
ザ光の一部は矢印αυで示されるように部分反射鏡（６
）より外部に取り出される。放電によりガス温度が上昇
するとレーザ出力が低下するので、送風機（９）により
ガスを循環させて熱交換器００で冷却し、これにより放
電管（１１内のガス温度は所定値以下に保持される。
しかし、上記のような従来の電極溝造では。
第４図（ｂ）に示すように、放電管（１）内において。
（Ａ）で示される領域でしか放電が発生せず、（Ｂ）で
示される非放電部が生じる。このため第１図（Ｃ）（ｄ
）に示されるように、放電管内の電子密度は軸対称とな
らず、均一励起が困難となシ、良質のレーザビームモ’
、、２Ｊｂ”が得にくいという欠点があった。（なお９
図中ａは放電管の半径を示す。
示される非放電部が生じる。このため第１図（Ｃ）（ｄ
）に示されるように、放電管内の電子密度は軸対称とな
らず、均一励起が困難となシ、良質のレーザビームモ’
、、２Ｊｂ”が得にくいという欠点があった。（なお９
図中ａは放電管の半径を示す。
）
この発明は上記のよりな従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、電極対の位置が、放電管の外周方
向で変化するように設けることにより、均一な励起が可
能で、良質なレーザビームモードの無声数＋、２を式ガ
スレーザ装’￥全提供することを目的としている。
めになされたもので、電極対の位置が、放電管の外周方
向で変化するように設けることにより、均一な励起が可
能で、良質なレーザビームモードの無声数＋、２を式ガ
スレーザ装’￥全提供することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第２
図（ａ）は、この発明の一実価例１・てよろ無声放電式
ガスレーザ装置の正面図、第２図（１））は第２図（ａ
）のＢ−Ｂ′線に沿った断面図、第２図（Ｃ）は第２図
（ａ）の（１−Ｏ’線に治ったＭ ｔ＋’ｆｉ図、第２
図（ｄ）は放電管内の電子密度の分蒲図である。
図（ａ）は、この発明の一実価例１・てよろ無声放電式
ガスレーザ装置の正面図、第２図（１））は第２図（ａ
）のＢ−Ｂ′線に沿った断面図、第２図（Ｃ）は第２図
（ａ）の（１−Ｏ’線に治ったＭ ｔ＋’ｆｉ図、第２
図（ｄ）は放電管内の電子密度の分蒲図である。
この実施例におけるガスレーザ装置に寂いては、誘電体
よりなる放電管（１）の外周に？Ｈって。
よりなる放電管（１）の外周に？Ｈって。
相対向する電極対！２＋、 （３）が螺線状に配置構成
をれている。このような電極ｔ２＋、（３＋は連成放出
；・ｔで（１）の外壁にアルミを溶射して形成される。
をれている。このような電極ｔ２＋、（３＋は連成放出
；・ｔで（１）の外壁にアルミを溶射して形成される。
この実施例におげ刺ガスレーザ装置の動作について第１
図に示された従来装置のそれと異なる点は放電部のみで
あるので、その点にっしての動作を説明する。
図に示された従来装置のそれと異なる点は放電部のみで
あるので、その点にっしての動作を説明する。
電極対（２）、 ＋３１には畠周波電源（４）より数１
０〜数１００ ＫＨｚ 、数ＫＶの高周波電圧が印加さ
れる。
０〜数１００ ＫＨｚ 、数ＫＶの高周波電圧が印加さ
れる。
すると放電管（１）内に無声放電が発生し、０２分子を
励起せしめる。この発明の一実施例においては、電極対
（２）、 （３）は放電管（りの外周にそって螺線上に
対向配置されているので、第２図（ｂ）。
励起せしめる。この発明の一実施例においては、電極対
（２）、 （３）は放電管（りの外周にそって螺線上に
対向配置されているので、第２図（ｂ）。
（Ｃ）に示すように、放電管（１）を径方向で切った断
面でみると、切る位置によって放電部（Ａ）及び非放電
部（Ｂ）の位置が変化する。そのため、放電管（１）の
長手方向即ち、光軸方向に平均化すると。
面でみると、切る位置によって放電部（Ａ）及び非放電
部（Ｂ）の位置が変化する。そのため、放電管（１）の
長手方向即ち、光軸方向に平均化すると。
放電管（１）内の電子密朋分布は第２図（ｄ）、 （ｅ
）に示す如く、放電管＋１）中央を中心に点対称な均一
励起が得られ、良質なレーザビームモードラ生ミ出すこ
とが可能となる。
）に示す如く、放電管＋１）中央を中心に点対称な均一
励起が得られ、良質なレーザビームモードラ生ミ出すこ
とが可能となる。
なお、上記実施例では、電極対（２）、 ＋３）は螺線
状に設けたが、電極対は必らずしも連続してｂる必要は
８、なく９例えば第３図に示すように、互いの対向面が
９０’となるような、二組の電極対を放電管長手方向に
交互に配置して構成しても同様の効果を奏する。
状に設けたが、電極対は必らずしも連続してｂる必要は
８、なく９例えば第３図に示すように、互いの対向面が
９０’となるような、二組の電極対を放電管長手方向に
交互に配置して構成しても同様の効果を奏する。
第３図（ａ）は、この発明の他の実施例にかかわる放電
管を示す部分正面図、第３図（ｂ）は第３図（ａ）のＤ
−ＩＦ線に？’ｉつだ断面図９（ｃ）は第３図（ａ）ノ
Ｂ−ｇ線に沿った断面図である。
管を示す部分正面図、第３図（ｂ）は第３図（ａ）のＤ
−ＩＦ線に？’ｉつだ断面図９（ｃ）は第３図（ａ）ノ
Ｂ−ｇ線に沿った断面図である。
以上のように、この発明によれば、電極対の位置が放電
管の外周方向で変化するように設けたので、光軸方向に
均一な励起を得ることができ、良質なレーザビームモー
ドの無声放電式ガスレーザ装置が得られる効果がある。
管の外周方向で変化するように設けたので、光軸方向に
均一な励起を得ることができ、良質なレーザビームモー
ドの無声放電式ガスレーザ装置が得られる効果がある。
第１図（ａ）は従来の無声放電式ガスレーザ装置の正面
図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ′線に沿った
断面図、第１図（Ｃ）、 （ｄ）は放電管内の電子密度
分布図、第２図（ａ）はこの発明の一実施例による無声
放電式ガスレーザ装置の正面図、第２図（ｂ）は第２図
（ａ）のＢ −Ｂ’に沿った断面図、第２図（Ｃ）は第
２図−（そ）の０−０’線に沿った断面図、第２図（ｄ
）、 （ｅ）は放電管内の電子密度分布図、第３図（ａ
）はこの発明の他の実施例にかかわる放電管を示す部分
正面図、第３図（ｂ）は第３図（ａ）のＤ−１）’線に
沿った断面図、第３図（Ｃ）は第３図（ａ）のＥ−Ｒ線
に溢った断面図である。図において、（１）は放電管、
（２）、 （ａ）は電極対である。 なお９図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 ｒ
図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ′線に沿った
断面図、第１図（Ｃ）、 （ｄ）は放電管内の電子密度
分布図、第２図（ａ）はこの発明の一実施例による無声
放電式ガスレーザ装置の正面図、第２図（ｂ）は第２図
（ａ）のＢ −Ｂ’に沿った断面図、第２図（Ｃ）は第
２図−（そ）の０−０’線に沿った断面図、第２図（ｄ
）、 （ｅ）は放電管内の電子密度分布図、第３図（ａ
）はこの発明の他の実施例にかかわる放電管を示す部分
正面図、第３図（ｂ）は第３図（ａ）のＤ−１）’線に
沿った断面図、第３図（Ｃ）は第３図（ａ）のＥ−Ｒ線
に溢った断面図である。図において、（１）は放電管、
（２）、 （ａ）は電極対である。 なお９図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 ｒ
Claims (3)
- （１） 誘電体よりなる管状の放電管、この放電管。 の外壁に密着し、上記放電管の径方向に相対向する電極
対、この電極対の各電極間に交流電圧を印加してレーザ
光を発振させるものにおいて、上記電極対の位置が上記
放電管の外周方向で変化するように設けたことを特徴と
する無声放電式ガスレーザ装置。 - （２）電極対は放電管の外周にそって′螺線上に設けた
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無声放電
式ガスレーザ装置。 - （３）電極対は互いの対向面が９０”となるような二組
の電極対を、放電管の長手方向に交互に配置して構成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の無声放
１Ｅ式ガスレーザ装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11139683A JPS603170A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11139683A JPS603170A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS603170A true JPS603170A (ja) | 1985-01-09 |
Family
ID=14560088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11139683A Pending JPS603170A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS603170A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1983
- 1983-06-21 JP JP11139683A patent/JPS603170A/ja active Pending
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