JPS61198694A - 高周波エネルギの交差入力装置を有するガスレ−ザ - Google Patents
高周波エネルギの交差入力装置を有するガスレ−ザInfo
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- JPS61198694A JPS61198694A JP26272485A JP26272485A JPS61198694A JP S61198694 A JPS61198694 A JP S61198694A JP 26272485 A JP26272485 A JP 26272485A JP 26272485 A JP26272485 A JP 26272485A JP S61198694 A JPS61198694 A JP S61198694A
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- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
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- H01S3/076—Folded-path lasers
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- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
！！上皇五１１監
本発明は、レーザ光束に沿い流動するレーザガスを収容
する管状体を有し、その場合管状体に沿い、相互に対向
する、高周波エネルギを交差入力する電極が配置された
ガスレーザに関する。
する管状体を有し、その場合管状体に沿い、相互に対向
する、高周波エネルギを交差入力する電極が配置された
ガスレーザに関する。
従来の技術
このようなレーザの作動に際し熱が生じ、これができる
だけ完全かつ迅速に導出される必要がある。低出力レー
ザの場合、熱導出の難点は、例えば工業的に薄板等の切
断に使用されるような高出力レーザの場合よりも明白に
わずかである。熱が不十分に導出されるにすぎない場合
、このことが結果として無視しえない出力低減を
・生じる。
だけ完全かつ迅速に導出される必要がある。低出力レー
ザの場合、熱導出の難点は、例えば工業的に薄板等の切
断に使用されるような高出力レーザの場合よりも明白に
わずかである。熱が不十分に導出されるにすぎない場合
、このことが結果として無視しえない出力低減を
・生じる。
ガスレーザの場合、レーザ冷却が、レーザガスを冷却す
ることにより行なわれることがすでニ公知である。この
ことは、レー・テカスカ冷却循環系中を流動し、この循
環系が部分的に管状体により形成されかつ循環系中に相
応する冷却装置が配置されていることを表わす。
ることにより行なわれることがすでニ公知である。この
ことは、レー・テカスカ冷却循環系中を流動し、この循
環系が部分的に管状体により形成されかつ循環系中に相
応する冷却装置が配置されていることを表わす。
発明が解決しようとする問題点
ところで本発明の課題は、前記せる種類のガスレーザを
、これが高出力で使用可能であり、かつできるだけわず
かな出力損失で作動するように発展させることである。
、これが高出力で使用可能であり、かつできるだけわず
かな出力損失で作動するように発展させることである。
問題点を解決するための手段
本発明によれば、この課題を解決するため、前述のガス
レーザにおいて、レーザガス流を多数の連続する分流に
分割するため管状体に多数のガス入口および一出口が配
置され、その場合この管状体がこれら入口および出口に
より偶数の流動区間に分割されかつ最（＃に２つの流動
区間が配置され、かつこれら電極が、管状体の長手方向
に前後して配置された部分電極に分割され、その場合そ
れぞれの分流に１つの部分電極対が配置され、さらにそ
れぞれの分流がそれぞれ１つのまたは共通の冷却装置を
貫流することが提案される。
レーザにおいて、レーザガス流を多数の連続する分流に
分割するため管状体に多数のガス入口および一出口が配
置され、その場合この管状体がこれら入口および出口に
より偶数の流動区間に分割されかつ最（＃に２つの流動
区間が配置され、かつこれら電極が、管状体の長手方向
に前後して配置された部分電極に分割され、その場合そ
れぞれの分流に１つの部分電極対が配置され、さらにそ
れぞれの分流がそれぞれ１つのまたは共通の冷却装置を
貫流することが提案される。
従って、このガスレーザの場合、レーザがスが、他の種
類のレーザから公知の方法で冷却装置を使用し冷却され
るが、但しガス導管が特別な方法で形成される。大体に
おいて、管状体中のがス流が分流に分割され、これら分
流が、それぞれ管状体から導出されかつ再び供給されか
つ連続的に全ての管状体を満たす。もはやガスが管状体
のわずかに１部分の距離を貫流するにすぎないので、ガ
スがそのわずかな滞留時間により１方で著るしく昇温せ
ず、かつこれにより他方で１つの位置だけでなく、多数
の位置にそれぞれ冷却されたレーザガスが供給される。
類のレーザから公知の方法で冷却装置を使用し冷却され
るが、但しガス導管が特別な方法で形成される。大体に
おいて、管状体中のがス流が分流に分割され、これら分
流が、それぞれ管状体から導出されかつ再び供給されか
つ連続的に全ての管状体を満たす。もはやガスが管状体
のわずかに１部分の距離を貫流するにすぎないので、ガ
スがそのわずかな滞留時間により１方で著るしく昇温せ
ず、かつこれにより他方で１つの位置だけでなく、多数
の位置にそれぞれ冷却されたレーザガスが供給される。
総じてこのことが、管状体中の温度を低く維持しかつ目
的とする出力増大を惹起する。レーザガスの入口および
出口を有利に配置し並びに流動技術的に有利に形成し５
るため、管状体の全長にわたって延びる、高周波エネル
ギ入力用の２つの電極の代りに、管状体の長手方向に距
離をおいて連続的に取付けられた部分電極ないしは、と
くに同じ長さの部分電極を有する部分雷雨対を使用する
。部分電極の対向距離は、レーザガス用入口および出口
の占有面積に応じ、かつ少くとも、直線状に長手方向に
延びる管状体の場合はできるだけ小さくなければならな
い。 。
的とする出力増大を惹起する。レーザガスの入口および
出口を有利に配置し並びに流動技術的に有利に形成し５
るため、管状体の全長にわたって延びる、高周波エネル
ギ入力用の２つの電極の代りに、管状体の長手方向に距
離をおいて連続的に取付けられた部分電極ないしは、と
くに同じ長さの部分電極を有する部分雷雨対を使用する
。部分電極の対向距離は、レーザガス用入口および出口
の占有面積に応じ、かつ少くとも、直線状に長手方向に
延びる管状体の場合はできるだけ小さくなければならな
い。 。
理論的には、レーザガスの分流をそれぞれ冷却すること
ができるが、但しこのことが比較的大きい装置費用およ
び所要面積を生じる。従って有利な解決は、遅くとも共
通の冷却装置の入口でガス分流を統合することである。
ができるが、但しこのことが比較的大きい装置費用およ
び所要面積を生じる。従って有利な解決は、遅くとも共
通の冷却装置の入口でガス分流を統合することである。
同じこと ゞが、返流すべき冷却された分流にも該当
する。
する。
本発明の殊に有利な実施例は、管状体のそれぞれの終端
部にガス入口が配置されていることである。前記せるよ
うに、流入するガスは流出するガスよりも低温であり、
かつ従って管状体の２つの終端部範囲内での低温空気分
流の導入が管路端部の低温維持をもたらす。この位置に
、公知の方法で７−）ｌ′ミラー、すなわち終端部ミラ
ー、および部分的に透過性のいわゆる出力ミラーが配置
される。ミラーの取付は部材が感熱性であるので、管状
体は、これら範囲内の低温空気分流により冷却するのが
極めて有利である。
部にガス入口が配置されていることである。前記せるよ
うに、流入するガスは流出するガスよりも低温であり、
かつ従って管状体の２つの終端部範囲内での低温空気分
流の導入が管路端部の低温維持をもたらす。この位置に
、公知の方法で７−）ｌ′ミラー、すなわち終端部ミラ
ー、および部分的に透過性のいわゆる出力ミラーが配置
される。ミラーの取付は部材が感熱性であるので、管状
体は、これら範囲内の低温空気分流により冷却するのが
極めて有利である。
他方でこのことは、管状体の長手方向に見て全ての出口
が前記入口間に配置されることを表わす。管状体を最低
２つの流動区間に分割することＫより２つのガス分流が
得られるのである力ζ但しそのためにまた必然的に相応
に４つの入口および出口が配置される必要はない。例え
ば、２つのガス分流の場合、２つの入口および１つの出
口で十分である。同じことが、多数の流動区間ないしは
分流にも通用される。
が前記入口間に配置されることを表わす。管状体を最低
２つの流動区間に分割することＫより２つのガス分流が
得られるのである力ζ但しそのためにまた必然的に相応
に４つの入口および出口が配置される必要はない。例え
ば、２つのガス分流の場合、２つの入口および１つの出
口で十分である。同じことが、多数の流動区間ないしは
分流にも通用される。
大きいレーザ出力が、結果的に長い管状体となる。それ
にもかかわらずこのガスレーザを取扱いにくい長さとし
ないため、本発明をさらに発展させ、管状体がＵ字形の
形状を有することが提案される。いわゆる”折たたまれ
た”（ｇｅｆａｌｔｅｔｅ ）レーザが、種々の種類の
実施形態ですでに公知である。このものは、前記せる２
つの終端部ミラーのほかに付加的な偏向ミラーを有する
。Ｕ字形の場合、Ｕ牢固の長手軸て対し４５°下に傾斜
せる２つの偏向ミラーが必要である。これらミラーが、
Ｕ牢固からＵ字横桁への移行部に配置される。
にもかかわらずこのガスレーザを取扱いにくい長さとし
ないため、本発明をさらに発展させ、管状体がＵ字形の
形状を有することが提案される。いわゆる”折たたまれ
た”（ｇｅｆａｌｔｅｔｅ ）レーザが、種々の種類の
実施形態ですでに公知である。このものは、前記せる２
つの終端部ミラーのほかに付加的な偏向ミラーを有する
。Ｕ字形の場合、Ｕ牢固の長手軸て対し４５°下に傾斜
せる２つの偏向ミラーが必要である。これらミラーが、
Ｕ牢固からＵ字横桁への移行部に配置される。
本発明の１実施例は、自由なＵ字脚終端部の範囲内にも
、またＵ字横桁に接続するＵ字脚終端部の範囲内にもそ
れぞれ１つの入口が配置され、かつＵ牢固の中央範囲内
にそれぞれ１つの出口が配置されることである。このこ
とは、そら ｒ力；共通の出口を１経て管状体から導出されること金
表わす。従ってこの実施例の場合、４つの入口および、
大体において２重出口として形成された２つの出口で十
分である。また明白に、できるだけ付近に隣接する２つ
の個々の出口を備えることも考慮可能であるが、但し″
′２重出口”を有する構造が有利である。それぞれのＵ
牢固が２つの区間ではなく、６つまたはそれ以上の区間
に分割されている場合、前記実施例がこの実施形態にも
同じく適用される。
、またＵ字横桁に接続するＵ字脚終端部の範囲内にもそ
れぞれ１つの入口が配置され、かつＵ牢固の中央範囲内
にそれぞれ１つの出口が配置されることである。このこ
とは、そら ｒ力；共通の出口を１経て管状体から導出されること金
表わす。従ってこの実施例の場合、４つの入口および、
大体において２重出口として形成された２つの出口で十
分である。また明白に、できるだけ付近に隣接する２つ
の個々の出口を備えることも考慮可能であるが、但し″
′２重出口”を有する構造が有利である。それぞれのＵ
牢固が２つの区間ではなく、６つまたはそれ以上の区間
に分割されている場合、前記実施例がこの実施形態にも
同じく適用される。
本発明のもう１つの実施例によれば、自由Ｕ字脚終端部
の入口、およびＵ字横桁に接続するＵ字脚終端部の入口
、並びに２つの出口ないしは２重出口が、流動状態に応
じ統合されるかまたはそれぞれ相互に１例えば短管を経
て結合されることが提案される。この方法で、４つの流
動区間を有する実施形態の場合、冷却装置へのないしは
この装置からの供給−および排出管の数が１つの供給管
および２つの返流管ないしは１つの分岐返流管に低減さ
れる。これら導管の数は、６，８およびそれ以上の流動
区間への分割が行なわれた場合明白に増大する。しかし
同じくこのような実施形態の場合も、入口および出口が
本発明の前記構造により統合される。さらに、Ｕ字横桁
に接続する区間に対する冷却されたガス流の同時の供給
がＵ字横桁自体でも行なわれることができる。
の入口、およびＵ字横桁に接続するＵ字脚終端部の入口
、並びに２つの出口ないしは２重出口が、流動状態に応
じ統合されるかまたはそれぞれ相互に１例えば短管を経
て結合されることが提案される。この方法で、４つの流
動区間を有する実施形態の場合、冷却装置へのないしは
この装置からの供給−および排出管の数が１つの供給管
および２つの返流管ないしは１つの分岐返流管に低減さ
れる。これら導管の数は、６，８およびそれ以上の流動
区間への分割が行なわれた場合明白に増大する。しかし
同じくこのような実施形態の場合も、入口および出口が
本発明の前記構造により統合される。さらに、Ｕ字横桁
に接続する区間に対する冷却されたガス流の同時の供給
がＵ字横桁自体でも行なわれることができる。
本発明の他の変法は、全ての部分電極が共通の高周波発
生装置に接続されていることを特徴とする。従ってまた
部分的気流と同じく、部分電極の回路が、電極の部分電
極への分割にもかかわらず不断に１つの発生装置を必要
とするにすぎないように統合される。さらに殊に有利な
のは、レーザガスの分流が管状体を最低５０ｍ／秒の高
速度で貫流し、すなわち高速流レーザが挙げられること
である。すでに前記に詳説したように、管状体中のガス
の加熱を最低に制限しかつ吸収された熱をできるだけ迅
速に除去する必要がある。これら分流により、一定の流
速で管状体中のわずかな滞留時間が達成され、かつこの
滞留時間が、流速を殊に大きく選択した場合に最小とな
る。
生装置に接続されていることを特徴とする。従ってまた
部分的気流と同じく、部分電極の回路が、電極の部分電
極への分割にもかかわらず不断に１つの発生装置を必要
とするにすぎないように統合される。さらに殊に有利な
のは、レーザガスの分流が管状体を最低５０ｍ／秒の高
速度で貫流し、すなわち高速流レーザが挙げられること
である。すでに前記に詳説したように、管状体中のガス
の加熱を最低に制限しかつ吸収された熱をできるだけ迅
速に除去する必要がある。これら分流により、一定の流
速で管状体中のわずかな滞留時間が達成され、かつこの
滞留時間が、流速を殊に大きく選択した場合に最小とな
る。
電極対をそれぞれ同じ方向に普通に配列した場合、光束
中の不均質なエネルギ分布が得ら瓢このことが１方で収
束性に不利に作用しかつ他方で効率を低減させる。
中の不均質なエネルギ分布が得ら瓢このことが１方で収
束性に不利に作用しかつ他方で効率を低減させる。
本発明のもう１つの課題は、ガス噴流中のできるだけ均
質なエネルギ分布を有するガスレーザをつくり出すこと
である。このことは、電極対ないしはその区間が管状体
の円周方向に食違いに相互に配置されていることにより
達成される。
質なエネルギ分布を有するガスレーザをつくり出すこと
である。このことは、電極対ないしはその区間が管状体
の円周方向に食違いに相互に配置されていることにより
達成される。
ガス噴流中のエネルギ分布の形を左右することができか
つ例えばピーク形の代りに楔形を得るため、本発明のも
う１つの特徴によれば、最低１つの電極対またはその区
間がガス流ないしはレーザ光束に対し旋回可能に配置さ
れる。この場合、所望のエネルギ分布に応じ、旋回を小
さいかまたは大きい角度で実施することができる。殊に
簡単な種類の旋回装置が、電極対またはそれらの区間を
ガス管に固定結合しかつこれを多数の区間に分割し、そ
の最低１つの区間を旋回可能に取付けた場合に得られる
。この場合有利なのが、旋回可能な電極ないしは管区間
を調節装置に接続し、その結果調節が制御装置またはプ
ログラム制御により実施されうろことである。さらにま
た、作動工程中に意図せざる旋回を阻止するため、ロッ
ク装置が備えられる。
つ例えばピーク形の代りに楔形を得るため、本発明のも
う１つの特徴によれば、最低１つの電極対またはその区
間がガス流ないしはレーザ光束に対し旋回可能に配置さ
れる。この場合、所望のエネルギ分布に応じ、旋回を小
さいかまたは大きい角度で実施することができる。殊に
簡単な種類の旋回装置が、電極対またはそれらの区間を
ガス管に固定結合しかつこれを多数の区間に分割し、そ
の最低１つの区間を旋回可能に取付けた場合に得られる
。この場合有利なのが、旋回可能な電極ないしは管区間
を調節装置に接続し、その結果調節が制御装置またはプ
ログラム制御により実施されうろことである。さらにま
た、作動工程中に意図せざる旋回を阻止するため、ロッ
ク装置が備えられる。
実施例
以下に１本発明を図面実施例につき詳説する。
このガスレーザは、有利に円形の内径−および外径断面
を有する管状体１を有し、この管状体中にレーザガス、
有利にｃｏ２ガスもまたレーザ光束も配置される。２つ
の終端部に、ミラーユニット３ないしは４が取付けられ
ている。ミラーユニット４に終端ミラーが取付けられる
とともに、ミラーユニット３に部分的に透過性のいわゆ
る出力ミラーが配置される。この出力ミラーを経て、形
成されたレーザ光束が射出し、かつこの光束がレーザ供
給Ｗ５を経て作業位置等に達する。有利に、管状体１が
Ｕ字形に形成され、それによりその長さが半分に低減さ
れる。
を有する管状体１を有し、この管状体中にレーザガス、
有利にｃｏ２ガスもまたレーザ光束も配置される。２つ
の終端部に、ミラーユニット３ないしは４が取付けられ
ている。ミラーユニット４に終端ミラーが取付けられる
とともに、ミラーユニット３に部分的に透過性のいわゆ
る出力ミラーが配置される。この出力ミラーを経て、形
成されたレーザ光束が射出し、かつこの光束がレーザ供
給Ｗ５を経て作業位置等に達する。有利に、管状体１が
Ｕ字形に形成され、それによりその長さが半分に低減さ
れる。
とりわけこのことが、レーザ光束用の２つの偏向ミラー
６および７の取付けを必要とする。
６および７の取付けを必要とする。
レーザ光束の形成に所要のエネルギが、管状体に、相対
向する２つの電極を経て供給され、従って交差入力を有
するガスレーザが挙げられじ る。このレーザは、高周波発生装置８がら生へる高周波
エネルギで作動される。
向する２つの電極を経て供給され、従って交差入力を有
するガスレーザが挙げられじ る。このレーザは、高周波発生装置８がら生へる高周波
エネルギで作動される。
本発明の特徴によれば、前記せるように管状体の長手方
向に延びかつ管状体のそれぞれ部分的外周を包囲する２
つの電極が、部分電極９゜１０：’１１，１２；１３，
１４；１５，１６に分割されている。この場合、それぞ
れ同じ長さ、同じ大きさ並び忙同じ形状の部分電極９お
よび１０ないしは１丁および１２ないしは１３および１
４ないしは１５および１６が１つの部分電極対を形成す
る。全ての部分電極ないしは部分電極対が、１点鎖線に
より示した導線を経て共通の唯一の高周波発生装置８に
接続されている。
向に延びかつ管状体のそれぞれ部分的外周を包囲する２
つの電極が、部分電極９゜１０：’１１，１２；１３，
１４；１５，１６に分割されている。この場合、それぞ
れ同じ長さ、同じ大きさ並び忙同じ形状の部分電極９お
よび１０ないしは１丁および１２ないしは１３および１
４ないしは１５および１６が１つの部分電極対を形成す
る。全ての部分電極ないしは部分電極対が、１点鎖線に
より示した導線を経て共通の唯一の高周波発生装置８に
接続されている。
電極だけでなく、公知の方法で管状体から導出されかつ
外部で冷却されるレーザガス流も分割され、それも詳し
くは連続する部分流１７゜１８．１９および２０に分割
されている。このことは、レーザガスがそれぞれ管状体
の１部分の距離を流動するにすぎず、かつその後に冷却
のため導出されることを表わす。このレーザガス流の分
割を実施しうるため、管状体が多数のガス入口および一
出口を有する。それぞれの分流自体に１つの入口および
１つの出口が付属するが、但しこれらを少くとも部分的
に統合することもできる。ミラ一部分、それも詳しくは
ミラーユニット３および４の範囲内でもまた偏向ミラー
６および７の範囲内でも加熱されたレーザガスが有害で
ある、それというのもこれがミラーおよび／またはその
調節に不利に作用するので、実施例によれば、ミラーユ
ニット３および４の範囲内にもまた偏向ミラー６および
７の範囲内にもそれぞれ１つの入口２１，２２，２３゜
２４を配置することが提案される。この場合有利に、１
方で入口２１および２２、他方で入口 ゞ２３およ
び２４が、管路２５ないしは２６等を経て流動状態に相
応に相互に接続される。それぞれの管路に供給管２７な
いしは２８が導かへこれら供給管がプロワ２９の１つの
あるいはまた２つの別々の出口に接続され、このプロワ
が冷却せるガスを場合忙より導管３ｏを経てレーザガス
冷却装置３１から吸入する。加熱されたレーザガスが、
この冷却装置に、有利に共通の供給管３２を経て流入す
る。
外部で冷却されるレーザガス流も分割され、それも詳し
くは連続する部分流１７゜１８．１９および２０に分割
されている。このことは、レーザガスがそれぞれ管状体
の１部分の距離を流動するにすぎず、かつその後に冷却
のため導出されることを表わす。このレーザガス流の分
割を実施しうるため、管状体が多数のガス入口および一
出口を有する。それぞれの分流自体に１つの入口および
１つの出口が付属するが、但しこれらを少くとも部分的
に統合することもできる。ミラ一部分、それも詳しくは
ミラーユニット３および４の範囲内でもまた偏向ミラー
６および７の範囲内でも加熱されたレーザガスが有害で
ある、それというのもこれがミラーおよび／またはその
調節に不利に作用するので、実施例によれば、ミラーユ
ニット３および４の範囲内にもまた偏向ミラー６および
７の範囲内にもそれぞれ１つの入口２１，２２，２３゜
２４を配置することが提案される。この場合有利に、１
方で入口２１および２２、他方で入口 ゞ２３およ
び２４が、管路２５ないしは２６等を経て流動状態に相
応に相互に接続される。それぞれの管路に供給管２７な
いしは２８が導かへこれら供給管がプロワ２９の１つの
あるいはまた２つの別々の出口に接続され、このプロワ
が冷却せるガスを場合忙より導管３ｏを経てレーザガス
冷却装置３１から吸入する。加熱されたレーザガスが、
この冷却装置に、有利に共通の供給管３２を経て流入す
る。
分流１７および１８の出口が、共通の出口に統合されて
いる。類似に、共通の出口３４が分流１９および２０に
備えられる。排出装置３５中で、２つの″２重゛出口”
３３および３４が、概念的に示した管路３６を経て相互
に接続さ瓢この管路自体が共通の供給管３２に接続され
ている。有利に、この供給管が、図面において例えば円
形３７により表わされた位置に接続する。
いる。類似に、共通の出口３４が分流１９および２０に
備えられる。排出装置３５中で、２つの″２重゛出口”
３３および３４が、概念的に示した管路３６を経て相互
に接続さ瓢この管路自体が共通の供給管３２に接続され
ている。有利に、この供給管が、図面において例えば円
形３７により表わされた位置に接続する。
同じことが、管路２５および２６にも該当する。
管路２５および２６の範囲内に有利に同じに形成された
供給装置３８および３９が、排出装置３５に相応する。
供給装置３８および３９が、排出装置３５に相応する。
第２図による実施例において、電極対４０〜４３が、ガ
ス流中のできるだけ均質なエネルギ分布を得るため、第
３図から明白なように管状体１の円周方向に食違いに配
置されている。電極対の角度位置を相互に任意に調節し
５るため、図示されていないが、電極対の配置された管
部材が他の管部材に対し旋回可能に配置され、その場合
これら電極対が所属の管部材に固定されている。第４図
は、管部材に歯車４４が取付げられ、この歯車にｆニオ
ン４５が嵌まることを示す。このピニオンが図示せざる
調節装置に接続され、調節装置自体がプログラム制御装
置等に接続されていることができる。
ス流中のできるだけ均質なエネルギ分布を得るため、第
３図から明白なように管状体１の円周方向に食違いに配
置されている。電極対の角度位置を相互に任意に調節し
５るため、図示されていないが、電極対の配置された管
部材が他の管部材に対し旋回可能に配置され、その場合
これら電極対が所属の管部材に固定されている。第４図
は、管部材に歯車４４が取付げられ、この歯車にｆニオ
ン４５が嵌まることを示す。このピニオンが図示せざる
調節装置に接続され、調節装置自体がプログラム制御装
置等に接続されていることができる。
第１図および第２図は本発明による装置のそれぞれ１実
施例を示す略示縦断面図、第３図はそれぞれの電極対の
角度位置を例示する横断面図、および第４図は管部材の
旋回駆動装置の１実施例を略示する横断面図である。
施例を示す略示縦断面図、第３図はそれぞれの電極対の
角度位置を例示する横断面図、および第４図は管部材の
旋回駆動装置の１実施例を略示する横断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ光束に沿い流動するレーザガスを収容する管
状体を有し、その場合管状体に沿い、相対向する、高周
波エネルギを交差入力する電極が配置されているガスレ
ーザにおいて、レーザガス流を多数の連続する分流（１
７、１８、１９、２０）に分割するため管状体（１）に
多数のガス入口および−出口（２１〜２４；３３、３４
）が配置され、その場合管状体（１）がこれら入口およ
び出口により偶数の流動区間に分割されかつ最低２つの
流動区間が配置され、かつこれら電極が、管状体（１）
の長手方向に前後して配置された部分電極 （９〜１６）に分割され、その場合それぞれの分流（１
７〜２０）に１つの部分電極対 （９、１０；１１、１２；１３、１４；１５、１６）が
配置され、さらにそれぞれの分流がそれぞれ１つのまた
は共通の冷却装置（３１）を貫流することを特徴とする
高周波エネルギの交差入力装置を有するガスレーザ。 ２、管状体（１）のそれぞれの終端部にガス入口（２１
、２２）が配置されていることを特徴とする、特許請求
の範囲第１項記載の高周波エネルギの交差入力装置を有
するガスレーザ。 ３、管状体（１）がＵ字形の形状を有することを特徴と
する、特許請求の範囲第１項または第２項のいずれかに
記載の高周波エネルギの交差入力装置を有するガスレー
ザ。 ４、自由Ｕ字脚終端部の範囲内にもまたＵ字横桁に接続
するＵ字脚終端部の範囲内にもそれぞれ１つの入口（２
１、２２；２３、２４）が配置され、かつＵ字脚の中央
範囲内にそれぞれ１つの出口（３３、３４）が配置され
ていることを特徴とする、特許請求の範囲第２項または
第３項のいずれかに記載の高周波エネルギの交差入力装
置を有するガスレーザ。 ５、自由Ｕ字脚終端部の入口（２１、２２）、およびＵ
字横桁に接続するＵ字脚終端部の入口（２３、２４）、
並びに２つの出口（３３、３４）が、流動状態に相応に
統合されるかまたはそれぞれ相互に接続されていること
を特徴とする、特許請求の範囲第４項記載の高周波エネ
ルギの交差入力装置を有するガスレーザ。 ６、全ての部分電極（９〜１６）が共通の高周波発生装
置（８）に接続されていることを特徴とする、特許請求
の範囲第１項から第５項までのいずれか１項に記載の高
周波エネルギの交差入力装置を有するガスレーザ。 ７、レーザガスの分流（１７〜２０）が、管状体（１）
を最低約５０ｍ／秒の高速度で貫流することを特徴とす
る、特許請求の範囲第１項から第６項までのいずれか１
項に記載の高周波エネルギの交差入力装置を有するガス
レーザ。 ８、電極対（４０、４１、４２、４３）ないしはそれら
の区間が、管状体（１）の円周方向に食違いに相互に配
置されていることを特徴とする、特許請求の範囲第１項
から第７項までのいずれか１項に記載の高周波エネルギ
の交差入力装置を有するガスレーザ。 ９、最低１つの電極対（４０〜４３）または最低１つの
区間が、ガス流ないしはレーザ光束に対し旋回可能に配
置されていることを特徴とする、特許請求の範囲第８項
記載の高周波エネルギの交差入力装置を有するガスレー
ザ。 １０、電極対（４０〜４３）またはその区間が管状体（
１）に固定結合され、かつこの管状体が多数の区間に分
割され、その最低１つが旋回可能に取付けられているこ
とを特徴とする、特許請求の範囲第９項記載の高周波エ
ネルギの交差入力装置を有するガスレーザ。 １１、旋回可能に取付けられた電極対（４０〜４３）な
いしは電極対を支持する管部材が調節装置（４４、４５
）と結合されていることを特徴とする、特許請求の範囲
第９項または第１０項のいずれかに記載の高周波エネル
ギの交差入力装置を有するガスレーザ。 １２、旋回可能な電極対ないしは、電極対を支持する旋
回可能な管部材に、ロック装置が備えられていることを
特徴とする、特許請求の範囲第９項から第１１項までの
いずれか１項に記載の高周波エネルギの交差入力装置を
有するガスレーザ。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843442898 DE3442898A1 (de) | 1984-11-24 | 1984-11-24 | Gas-laser mit quereinkopplung von hochfrequenzenergie |
| DE3442898.4 | 1984-11-24 | ||
| DE8526361.3 | 1985-09-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198694A true JPS61198694A (ja) | 1986-09-03 |
| JPH0464476B2 JPH0464476B2 (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=6251057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26272485A Granted JPS61198694A (ja) | 1984-11-24 | 1985-11-25 | 高周波エネルギの交差入力装置を有するガスレ−ザ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61198694A (ja) |
| DE (1) | DE3442898A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63296382A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPH0444283A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-14 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3643735A1 (de) * | 1986-12-20 | 1988-07-07 | Tzn Forschung & Entwicklung | Gastransportlaser |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478098A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Laser equipment of gas flow type |
| JPS55113391A (en) * | 1979-02-21 | 1980-09-01 | Hitachi Ltd | Gas flow type laser device |
| JPS576261U (ja) * | 1980-06-11 | 1982-01-13 | ||
| JPS5840351A (ja) * | 1981-09-03 | 1983-03-09 | Dainippon Ink & Chem Inc | 硬化性樹脂組成物 |
| JPS58111384A (ja) * | 1981-12-24 | 1983-07-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ管 |
| JPS603170A (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-09 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5110777A (en) * | 1974-07-16 | 1976-01-28 | Sharp Kk | Handotaisochino seizoho |
| JPS5839396B2 (ja) * | 1978-08-25 | 1983-08-30 | 株式会社日立製作所 | ガスレ−ザ発生装置 |
| JPS5986277A (ja) | 1982-11-10 | 1984-05-18 | Hitachi Ltd | ガスレ−ザ発生装置 |
| JPS59136983A (ja) | 1983-01-26 | 1984-08-06 | Hitachi Ltd | ガスレ−ザ発生装置 |
| DE3422525A1 (de) * | 1984-06-16 | 1986-02-13 | Trumpf GmbH & Co, 7257 Ditzingen | Gefalteter co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-laser |
-
1984
- 1984-11-24 DE DE19843442898 patent/DE3442898A1/de not_active Ceased
-
1985
- 1985-11-25 JP JP26272485A patent/JPS61198694A/ja active Granted
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS603170A (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-09 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
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|---|---|---|---|---|
| JPS63296382A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPH0444283A (ja) * | 1990-06-07 | 1992-02-14 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0464476B2 (ja) | 1992-10-15 |
| DE3442898A1 (de) | 1986-05-28 |
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|---|---|---|---|
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