JPH0328530Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は軸流型ガスレーザー発振器に関し、特
に、内管と外管とで構成されていて内管の内部を
ガス流路とし且つ内管と外管との間に冷却水を流
通させる一連の冷却室を形成したレーザー管を有
する軸流型ガスレーザー発振器に関する。

（従来技術及びその問題点） 従来におけるこの種のガスレーザー発振器は第
４図に示すように、レーザー管１を構成している
内管１ｂの端部が外管１ａの端部たるフランジ１
ｃの位置から手前側へ所要長さ隔たつたところで
終わつたいて内管１ｂの存在しない部分には冷却
室２が形成されていないことから、放電時に冷却
室２の形成されていないレーザー管部分１a′にお
いては、高温のガス流や電極の発熱などによつて
高温となり、しかも周方向位置によつて温度差が
生じるため、この部分が大きく熱変化ししかもこ
の熱変形により当該レーザー管部分１a′の中心軸
線がレーザー管１の本来の中心軸線ｌに対し屈曲
したり偏心するに至る。その結果、レーザー管が
損傷したり、フランジ１ｃに取付けられたミラー
の角度が変化し、出力に乱れを生じるという問題
があつた。

また従来の軸流型ガスレーザー発振器において
は、レーザー管内部に設けられた各放電用電極の
電極端子がその電極からレーザー管の外向き半径
方向に１本だけ導出されている構造であつたた
め、放電時にはレーザー管における電極端子の延
出されている部分が局部的に熱膨脹することとな
つて、その部分からレーザー管の中心軸線が屈曲
して直線性に狂いを生じるという前記同様の問題
があつた。

（問題点を解決するための技術的手段） 本考案は上記のような問題点を解決せんとした
もので、そのための技術的手段は、内管１１ｂの
端部が外管１１ａの端部位置まで延設されること
によつて冷却室１２がレーザー管１１の全長に亘
つて形成され、内管１１ｂに設けられた放電用電
極１５，１６からはレーザー管１１の断面に関し
て対称位置に配設された複数の電極端子１７，１
９が外管１１ａの外部に導出されていると共に、
各電極端子１７，１９は内管１１ｂから外管１１
ａに亘つてレーザー管１１の半径方向に一体延設
された水封端子管１８，２０に挿通支持されてい
ることを特徴とする。

（実施例） 以下本考案の実施例を図面にもとづき説明す
る。

第１図は高速軸流型のレーザー発振器を縦断面
図で示したものであり、第２図は同発振器を第１
図の位置から90゜回転させた状態で示す縦断面図
である。これらの図において１１はレーザー管
で、外管１１ａと、この外管１１ａ内部に同心的
且つ一体的に形成されて内部をガス流路１４とす
る内管１１ｂとからなり、そして内管１１ｂの左
右端部が外管１１ａの左右端部のフランジ１３ま
で延びて、これら内管１１ｂと外管１１ｂとの間
には環状の冷却室１２がレーザー管１１の全長に
亘り形成されている。

上記内管１１ｂの両端部寄りの位置及び中央位
置にはそれぞれ放電用の円筒状及びリング状電極
１５，１６が配設されている。各端部側の円筒状
電極１５からは、レーザー管１１の直径方向線に
関して対称位置に配設された２本の電極端子１
７，１７がレーザー管１１の外部に導出されてい
ると共に、これらの電極端子１７，１７は、第２
図に示されるように内管１１ｂから外管１１ａ側
へレーザー管１１の断面の半径方向に一体延設さ
れ更にこの外管１１ａを貫通してその外側で折曲
延設されたところの水封端子管１８，１８にそれ
ぞれ挿通支持されている。また、中央部側のリン
グ状電極１６からも同様に、レーザー管１１の直
径に関して対称位置に配設された２本の電極端子
１９，１９がレーザー管１１の外部に導出され、
そしてこれらの電極端子１９，１９も、前記端子
管１８，１８と同様に内管１１ｂからレーザー管
１１の直径方向に外管１１ａを貫いて外方へ一体
延設された水封端子管２０，２０に挿通支持され
ている。

上記外管１１ａの両端部には冷却室１２に対し
冷却水の給排を行うための冷却水給排口２１，２
１が設けられている。また、レーザー管１１の両
端部にはガス流路１４にガスを供給するためのガ
ス供給口２２が設けられ、中央部側にはガス排出
口２３，２３が直径方向両側位置に設けられてい
る。尚、図示は省略するが、レーザー管１１の両
端にはミラーヘツドを介してミラーが取付けられ
るようになつている。

また、上記外管１１ａ，内管１１ｂ、フランジ
１３、水封端子管１８，２０、冷却水給排口２
１、ガス供給口及びガス排出口２３は石英その他
熱膨脹率の小さいガラスで一体形成されている。

上述したような構成を有するガスレーザー発振
器の使用にあたつては、レーザー管１１内部の中
央側に配置されたリング状電極１６を高圧側に、
各端部側に配置された円筒状電極１５を低圧側に
充電して、それぞれ両電極１５，１６間で放電を
行わせる。ガスは各ガス供給口２２からガス流路
１４に供給されてガス排出口２３から排出され、
そして冷却水はいずれか一方の給排口２１から冷
却室１２に供給され、ここを流通した冷却水は他
方の給排口２１より排出されるようになつてい
る。

（考案の効果） 本考案によれば、冷却室がレーザー管の全長に
亘つて形成されているので、従来のようにレーザ
ー管の端部が局部的に温度上昇してその熱膨脹に
より不都合な変形を生ずるということがなくな
り、レーザー管の全長に亘つてその直線性を維持
することができ、それにより出力の変動を生ずる
ことがなく、またレーザー管を損傷させることが
ない。

また本考案によれば、電極端子を挿通支持する
水封端子管の設けられているレーザー管部分が断
面対称形状となり、従つて放電時に内管及び端子
管が高温に加熱される際には上記各レーザー管部
分、特に内管部分がその断面上の対称位置で均等
に熱膨脹し、それによりレーザー管はその中心軸
線が屈曲することなくその直線性を維持すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るガスレーザー発振器の一
実施例を示す縦断面図、第２図はレーザー管を第
１図の状態から90゜回転させた位置での縦断面図、
第３図は第１図に示すガスレーザー発振器の端面
図、第４図は従来例を示す要部半縦断面図であ
る。 １１…レーザー管、１１ａ…外管、１１ｂ…内
管、１２…冷却室、１４…ガス流路、１５，１６
…放電用電極、１７，１９…電極端子、１８，２
０…水封端子管、２１…冷却水給排口、２２…ガ
ス供給口、２３…ガス排出口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 内管と外管とで構成されていて内管の内部をガ
   ス流路とし且つ内管と外管との間に冷却水を流通
   させる一連の冷却室を形成したレーザー管を有す
   る軸流型ガスレーザー発振器において、内管の端
   部が外管の端部位置まで延設されることによつて
   冷却室がレーザー管の全長に亘つて形成され、内
   管に設けられた放電用電極からはレーザー管の断
   面に関して対称位置に配設された複数の電極端子
   が外管の外部に導出されていると共に、各電極端
   子は内管から外管に亘つてレーザー管の半径方向
   に一体延設された水封端子管に挿通支持されてい
   ることを特徴とする軸流型ガスレーザー発振器。