JP2746050B2 - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JP2746050B2 JP2746050B2 JP9719793A JP9719793A JP2746050B2 JP 2746050 B2 JP2746050 B2 JP 2746050B2 JP 9719793 A JP9719793 A JP 9719793A JP 9719793 A JP9719793 A JP 9719793A JP 2746050 B2 JP2746050 B2 JP 2746050B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- electrodes
- ground
- laser tube
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ発振器に関し、
より詳しくは、一対の電極を備えたレーザ発振器に関す
る。
より詳しくは、一対の電極を備えたレーザ発振器に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ発振器として、レーザチュ
ーブの両端部を一対のマニホールドで支持するととも
に、該レーザチューブの長手方向に一対の電極を対向し
て配設し、レーザガス供給手段により上記マニホールド
を介してレーザチューブ内にレーザガスを流通させた状
態で上記一対の電極に電圧を印加して該電極間で放電を
生じさせ、その一対の電極間の放電によって励起された
光を反射ミラーと出力ミラーとの間で共振させてレーザ
光線を上記出力ミラーから外部に放射するようにしたも
のが知られている。
ーブの両端部を一対のマニホールドで支持するととも
に、該レーザチューブの長手方向に一対の電極を対向し
て配設し、レーザガス供給手段により上記マニホールド
を介してレーザチューブ内にレーザガスを流通させた状
態で上記一対の電極に電圧を印加して該電極間で放電を
生じさせ、その一対の電極間の放電によって励起された
光を反射ミラーと出力ミラーとの間で共振させてレーザ
光線を上記出力ミラーから外部に放射するようにしたも
のが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したレーザ発振器
では、一対の電極のうちの一方の電極をグランド電極と
するのが普通であるが、この場合、レーザチューブの両
端部を支持するマニホールドの両方をグランドとする
と、グランド側とは異なる非グランド側電極とマニホー
ルドとの間でリークが生じ易くなる。これを防止するた
めには、上記非グランド側電極とマニホールドとの間隔
を充分に拡げればよいが、その場合にはレーザガス空間
に無駄が生じ、また装置全体が大きくなるという欠点が
生じる。他方、上記非グランド側電極に隣接したマニホ
ールドをグランドから絶縁すれば、該非グランド側電極
と該マニホールドとの間隔を狭めても両者間のリークを
防止することができるが、この場合には該マニホールド
と他のグランド側の機器との間でのリークを防止しなけ
ればならなくなる。より具体的には、レーザ発振器では
上記レーザチューブ内にレーザガスを供給するレーザガ
ス供給手段が必要であり、上記レーザチューブに上記レ
ーザガス供給手段を構成する熱交換器やブロワを接続す
る必要がある。したがってこの場合には、非グランド側
電極に隣接するとともにグランドから絶縁されたマニホ
ールドとグランド側となる上記熱交換器やブロワとの間
でリークが発生するのを防止する必要があり、そのため
にそれらの間隔を充分に拡げると、やはりレーザガス空
間に無駄が生じ、また装置全体が大きくなるという欠点
が生じる結果となる。さらにまた、上記一対の電極間の
放電の際に生じたスパッタが、レーザチューブや熱交換
器を流通するレーザガスによって運ばれて、上記グラン
ドから絶縁されたマニホールドとグランド側の熱交換器
やブロワとを連結する絶縁チューブの内側に付着する
と、このスパッタによってマニホールドと熱交換器やブ
ロワとの間でリークが生じる危険性があった。本発明は
そのような事情に鑑み、非グランド側電極とグランド側
のマニホールドや機器との間で生じるリークを効果的に
防止できるようにすることにより、レーザ発振器を小型
化するとともに、上述したスパッタが発生してもリーク
が生じないようにしたレーザ発振器を提供するものであ
る。
では、一対の電極のうちの一方の電極をグランド電極と
するのが普通であるが、この場合、レーザチューブの両
端部を支持するマニホールドの両方をグランドとする
と、グランド側とは異なる非グランド側電極とマニホー
ルドとの間でリークが生じ易くなる。これを防止するた
めには、上記非グランド側電極とマニホールドとの間隔
を充分に拡げればよいが、その場合にはレーザガス空間
に無駄が生じ、また装置全体が大きくなるという欠点が
生じる。他方、上記非グランド側電極に隣接したマニホ
ールドをグランドから絶縁すれば、該非グランド側電極
と該マニホールドとの間隔を狭めても両者間のリークを
防止することができるが、この場合には該マニホールド
と他のグランド側の機器との間でのリークを防止しなけ
ればならなくなる。より具体的には、レーザ発振器では
上記レーザチューブ内にレーザガスを供給するレーザガ
ス供給手段が必要であり、上記レーザチューブに上記レ
ーザガス供給手段を構成する熱交換器やブロワを接続す
る必要がある。したがってこの場合には、非グランド側
電極に隣接するとともにグランドから絶縁されたマニホ
ールドとグランド側となる上記熱交換器やブロワとの間
でリークが発生するのを防止する必要があり、そのため
にそれらの間隔を充分に拡げると、やはりレーザガス空
間に無駄が生じ、また装置全体が大きくなるという欠点
が生じる結果となる。さらにまた、上記一対の電極間の
放電の際に生じたスパッタが、レーザチューブや熱交換
器を流通するレーザガスによって運ばれて、上記グラン
ドから絶縁されたマニホールドとグランド側の熱交換器
やブロワとを連結する絶縁チューブの内側に付着する
と、このスパッタによってマニホールドと熱交換器やブ
ロワとの間でリークが生じる危険性があった。本発明は
そのような事情に鑑み、非グランド側電極とグランド側
のマニホールドや機器との間で生じるリークを効果的に
防止できるようにすることにより、レーザ発振器を小型
化するとともに、上述したスパッタが発生してもリーク
が生じないようにしたレーザ発振器を提供するものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、レー
ザチューブの両端部に設けられて該レーザチューブを支
持する一対のマニホールドと、このマニホールドを介し
て上記レーザチューブ内にレーザガスを供給するレーザ
ガス供給手段と、上記レーザチューブの長手方向に対向
して配設したグランド側電極と非グランド側電極と、こ
れら電極間の放電によって励起された光を共振する反射
ミラーと出力ミラーとを備えたレーザ発振器において、
一対のグランド側電極と非グランド側電極とを１組とし
てこれを２組、上記レーザチューブの長手方向に直列に
配置し、各組の電極のうち相互に隣接してレーザチュー
ブの中央側となる電極をそれぞれ非グランド側電極とす
るとともに、他方のレーザチューブの端部マニホールド
に隣接する側の電極をそれぞれグランド側電極とし、さ
らに上記非グランド側電極をそれぞれ別個の電線を介し
て高電圧回路に接続したものである。
ザチューブの両端部に設けられて該レーザチューブを支
持する一対のマニホールドと、このマニホールドを介し
て上記レーザチューブ内にレーザガスを供給するレーザ
ガス供給手段と、上記レーザチューブの長手方向に対向
して配設したグランド側電極と非グランド側電極と、こ
れら電極間の放電によって励起された光を共振する反射
ミラーと出力ミラーとを備えたレーザ発振器において、
一対のグランド側電極と非グランド側電極とを１組とし
てこれを２組、上記レーザチューブの長手方向に直列に
配置し、各組の電極のうち相互に隣接してレーザチュー
ブの中央側となる電極をそれぞれ非グランド側電極とす
るとともに、他方のレーザチューブの端部マニホールド
に隣接する側の電極をそれぞれグランド側電極とし、さ
らに上記非グランド側電極をそれぞれ別個の電線を介し
て高電圧回路に接続したものである。
【０００５】
【作用】上記構成によれば、レーザチューブの端部マニ
ホールド側に設けた電極はいずれもグランド側電極とな
るので、グランド側電極とグランド側のマニホールドと
を近接させて設けてもそれらの間でリークが生じること
がない。またグランド側の各マニホールドとこれらマニ
ホールドに接続したレーザガス供給手段のグランド側の
熱交換器やブロワとを近接させて設けてもやはりリーク
が生じることがなく、したがって各構成部品を近接させ
て設けることによりレーザ発振器の小型化を図ることが
できる。さらにまた、上記スパッタがグランド側のマニ
ホールドとグランド側の熱交換器やブロワとを連結する
接続チューブの内側に付着しても、リークが生じる余地
がない。さらに上記非グランド側電極をそれぞれ別個の
電線を介して高電圧回路に接続しているので、各組一対
のグランド側電極と非グランド側電極との間で安定した
放電を行なわせることができる。
ホールド側に設けた電極はいずれもグランド側電極とな
るので、グランド側電極とグランド側のマニホールドと
を近接させて設けてもそれらの間でリークが生じること
がない。またグランド側の各マニホールドとこれらマニ
ホールドに接続したレーザガス供給手段のグランド側の
熱交換器やブロワとを近接させて設けてもやはりリーク
が生じることがなく、したがって各構成部品を近接させ
て設けることによりレーザ発振器の小型化を図ることが
できる。さらにまた、上記スパッタがグランド側のマニ
ホールドとグランド側の熱交換器やブロワとを連結する
接続チューブの内側に付着しても、リークが生じる余地
がない。さらに上記非グランド側電極をそれぞれ別個の
電線を介して高電圧回路に接続しているので、各組一対
のグランド側電極と非グランド側電極との間で安定した
放電を行なわせることができる。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図１において、レーザ発振器１は同一構造を有する
２本のレーザチューブ２をその軸方向に縦に配設してあ
り、これらレーザチューブ２の互いに隣接する一端部を
支持部材としての機能を有する共通のマニホールド３で
支持するとともに、各レーザチューブ２の他端部を支持
部材としての機能を有するマニホールド４Ａ、４Ｂによ
ってそれぞれ支持している。レーザガス供給手段５は、
両端部のマニホールド４Ａ、４Ｂを介して各レーザチュ
ーブ２内にレーザガスを供給するとともに、各レーザチ
ューブ２内のレーザガスを中央部のマニホールド３から
外部に排出し、そのレーザガスを再び両端部のマニホー
ルド４Ａ、４Ｂから各レーザチューブ２内に循環供給す
ることができるようになっている。上記レーザガス供給
手段５は、中央部のマニホールド３の下流側に、上記各
レーザチューブ２から排出されてきたレーザガスを冷却
する熱交換器６と、この熱交換器６の下流側のブロワ７
とを備えており、上記マニホールド３と熱交換器６との
間、および熱交換器６とブロワ７との間をそれぞれ接続
チューブ８で接続している。上記ブロワ７は２方向にレ
ーザガスを送り出すことができるようになっており、上
記ブロワ７より２つに分岐された一方のレーザガスは接
続チューブ８Ａ、レーザガスを加熱する熱交換器９Ａお
よび上記マニホールド４Ａを介して一方のレーザチュー
ブ２に供給され、他方のレーザガスは接続チューブ８
Ｂ、レーザガスを加熱する熱交換器９Ｂおよび上記マニ
ホールド４Ｂを介して他方のレーザチューブ２に供給さ
れるようになっている。
と、図１において、レーザ発振器１は同一構造を有する
２本のレーザチューブ２をその軸方向に縦に配設してあ
り、これらレーザチューブ２の互いに隣接する一端部を
支持部材としての機能を有する共通のマニホールド３で
支持するとともに、各レーザチューブ２の他端部を支持
部材としての機能を有するマニホールド４Ａ、４Ｂによ
ってそれぞれ支持している。レーザガス供給手段５は、
両端部のマニホールド４Ａ、４Ｂを介して各レーザチュ
ーブ２内にレーザガスを供給するとともに、各レーザチ
ューブ２内のレーザガスを中央部のマニホールド３から
外部に排出し、そのレーザガスを再び両端部のマニホー
ルド４Ａ、４Ｂから各レーザチューブ２内に循環供給す
ることができるようになっている。上記レーザガス供給
手段５は、中央部のマニホールド３の下流側に、上記各
レーザチューブ２から排出されてきたレーザガスを冷却
する熱交換器６と、この熱交換器６の下流側のブロワ７
とを備えており、上記マニホールド３と熱交換器６との
間、および熱交換器６とブロワ７との間をそれぞれ接続
チューブ８で接続している。上記ブロワ７は２方向にレ
ーザガスを送り出すことができるようになっており、上
記ブロワ７より２つに分岐された一方のレーザガスは接
続チューブ８Ａ、レーザガスを加熱する熱交換器９Ａお
よび上記マニホールド４Ａを介して一方のレーザチュー
ブ２に供給され、他方のレーザガスは接続チューブ８
Ｂ、レーザガスを加熱する熱交換器９Ｂおよび上記マニ
ホールド４Ｂを介して他方のレーザチューブ２に供給さ
れるようになっている。
【０００７】ところで、上記各接続チューブ８、８Ａ、
８Ｂは非絶縁材より製造されており、これら接続チュー
ブの形状はそれぞれ円筒状となっている。また、一方の
マニホールド４Ｂにはレーザチューブ２内で励起された
レーザ光を反射する反射ミラー１０を設けてあり、また
他方のマニホールド４Ａにはレーザチューブ２内で励起
されたレーザ光を反射するとともにそのレーザ光を透過
させる出力ミラー１１を設けてある。上記反射ミラー１
０と出力ミラー１１とは２本のレーザチューブ２の軸線
上に対向させて設けてあり、これら一対のミラー１０、
１１で共振されたレーザ光を上記出力ミラー１１から左
方側にむけて放射させることができるようになってい
る。然して、上記レーザチューブ２のそれぞれには、互
いに対向する一対の電極１２、１３を二組直列に設け、
各一対の電極のうち一方の電極をグランド側電極１２と
して各レーザチューブ２の端部側に、すなわちマニホー
ルド３、４Ａ、４Ｂ側にそれぞれ配置し、かつ他方の非
グランド側電極１３を各レーザチューブ２の中央部に配
置している。このとき、グランド側電極１２を陽極、非
グランド側電極１３を陰極としても、或いはこれとは逆
にグランド側電極１２を陰極、非グランド側電極１３を
陽極としてもよい。上記各一対の電極１２、１３はそれ
ぞれ別個の電線１４を介して直流高電圧回路１５に接続
してあり、レーザチューブ２内にレーザガスを流通させ
た状態で一対の電極１２、１３間に高電圧を印加するこ
とにより、一対の電極間で放電を行なわせてレーザガス
を励起することができるようになっている。
８Ｂは非絶縁材より製造されており、これら接続チュー
ブの形状はそれぞれ円筒状となっている。また、一方の
マニホールド４Ｂにはレーザチューブ２内で励起された
レーザ光を反射する反射ミラー１０を設けてあり、また
他方のマニホールド４Ａにはレーザチューブ２内で励起
されたレーザ光を反射するとともにそのレーザ光を透過
させる出力ミラー１１を設けてある。上記反射ミラー１
０と出力ミラー１１とは２本のレーザチューブ２の軸線
上に対向させて設けてあり、これら一対のミラー１０、
１１で共振されたレーザ光を上記出力ミラー１１から左
方側にむけて放射させることができるようになってい
る。然して、上記レーザチューブ２のそれぞれには、互
いに対向する一対の電極１２、１３を二組直列に設け、
各一対の電極のうち一方の電極をグランド側電極１２と
して各レーザチューブ２の端部側に、すなわちマニホー
ルド３、４Ａ、４Ｂ側にそれぞれ配置し、かつ他方の非
グランド側電極１３を各レーザチューブ２の中央部に配
置している。このとき、グランド側電極１２を陽極、非
グランド側電極１３を陰極としても、或いはこれとは逆
にグランド側電極１２を陰極、非グランド側電極１３を
陽極としてもよい。上記各一対の電極１２、１３はそれ
ぞれ別個の電線１４を介して直流高電圧回路１５に接続
してあり、レーザチューブ２内にレーザガスを流通させ
た状態で一対の電極１２、１３間に高電圧を印加するこ
とにより、一対の電極間で放電を行なわせてレーザガス
を励起することができるようになっている。
【０００８】図２は図１の左側のレーザチューブ２の拡
大断面図で、該レーザチューブ２の肉厚は軸方向の全域
において同一としているが、軸方向における左右両端部
および中央部を大径部２ａとするとともにその他の部分
を小径部２ｂとし、それら小径部２ｂと大径部２ａとの
連続部分をテーパ部２ｃで接続している。そして上記グ
ランド側電極１２をレーザチューブ２の左右両端の大径
部２ａに設けるとともに、非グランド側電極１３をレー
ザチューブ２の中央側の大径部２ａに設けている。上記
レーザチューブ２の大径部２ａには半径方向外方に突出
させて形成した突出部２ｄを形成してあり、各突出部２
ｄの中央に棒状のグランド側電極１２又は非グランド側
電極１３を放射方向に貫通させてコバールで固定してい
る。このコバールは、各電極１２、１３が熱膨張した際
にその熱膨張を吸収する目的で設けたものである。上記
突出部２ｄはレーザチューブ２の円周方向等間隔位置に
例えば８個設けてあり、それぞれの突出部２ｄにグラン
ド側電極１２又は非グランド側電極１３を設けている。
つまりグランド側電極１２又は非グランド側電極１３
は、円周方向の８個が１組となっている。上記各電極１
２、１３はそのレーザチューブ２内の先端部がＬ字形に
折曲げてあり、一対の電極１２、１３のＬ字形に折曲げ
た先端部を軸方向に対向させている。このとき各電極１
２、１３の先端部は、レーザチューブ２の小径部２ｂの
内周面よりも僅かに半径方向外方に位置するようにして
いる。さらに、上記二対の電極のうち、レーザガスの流
れ方向の上流側となる一対の電極１２、１３間の間隔Ｌ
1 を下流側の一対の電極１２、１３間の間隔Ｌ2 よりも
短く設定することにより、後に詳述するようにレーザ出
力を増大することができるようにしている。また、上記
レーザチューブ２の小径部２ｂの内径をＡ、大径部２ａ
の内径をＢとしたとき、この小径部２ｂと大径部２ａと
の比Ｂ／Ａが１．２程度だと上記テーパ部２ｃの傾斜が
緩やか過ぎるため、左側より流入されたレーザガスはレ
ーザチューブ２のチューブ内周面に沿って流れてしま
い、放電が良好に行なわれない。そこで上記大径部２ａ
と小径部２ｂとの比Ｂ／Ａを１．６以上として上記テー
パ部２ｃで充分な乱流を発生させ、レーザチューブ２内
で均一な放電を行なうことができるようにしている。な
お、図１における右側のレーザチューブは上述した左側
のレーザチューブとレーザガスの流れる方向を基準とし
て同一構造を有しているので、その説明は省略する。
大断面図で、該レーザチューブ２の肉厚は軸方向の全域
において同一としているが、軸方向における左右両端部
および中央部を大径部２ａとするとともにその他の部分
を小径部２ｂとし、それら小径部２ｂと大径部２ａとの
連続部分をテーパ部２ｃで接続している。そして上記グ
ランド側電極１２をレーザチューブ２の左右両端の大径
部２ａに設けるとともに、非グランド側電極１３をレー
ザチューブ２の中央側の大径部２ａに設けている。上記
レーザチューブ２の大径部２ａには半径方向外方に突出
させて形成した突出部２ｄを形成してあり、各突出部２
ｄの中央に棒状のグランド側電極１２又は非グランド側
電極１３を放射方向に貫通させてコバールで固定してい
る。このコバールは、各電極１２、１３が熱膨張した際
にその熱膨張を吸収する目的で設けたものである。上記
突出部２ｄはレーザチューブ２の円周方向等間隔位置に
例えば８個設けてあり、それぞれの突出部２ｄにグラン
ド側電極１２又は非グランド側電極１３を設けている。
つまりグランド側電極１２又は非グランド側電極１３
は、円周方向の８個が１組となっている。上記各電極１
２、１３はそのレーザチューブ２内の先端部がＬ字形に
折曲げてあり、一対の電極１２、１３のＬ字形に折曲げ
た先端部を軸方向に対向させている。このとき各電極１
２、１３の先端部は、レーザチューブ２の小径部２ｂの
内周面よりも僅かに半径方向外方に位置するようにして
いる。さらに、上記二対の電極のうち、レーザガスの流
れ方向の上流側となる一対の電極１２、１３間の間隔Ｌ
1 を下流側の一対の電極１２、１３間の間隔Ｌ2 よりも
短く設定することにより、後に詳述するようにレーザ出
力を増大することができるようにしている。また、上記
レーザチューブ２の小径部２ｂの内径をＡ、大径部２ａ
の内径をＢとしたとき、この小径部２ｂと大径部２ａと
の比Ｂ／Ａが１．２程度だと上記テーパ部２ｃの傾斜が
緩やか過ぎるため、左側より流入されたレーザガスはレ
ーザチューブ２のチューブ内周面に沿って流れてしま
い、放電が良好に行なわれない。そこで上記大径部２ａ
と小径部２ｂとの比Ｂ／Ａを１．６以上として上記テー
パ部２ｃで充分な乱流を発生させ、レーザチューブ２内
で均一な放電を行なうことができるようにしている。な
お、図１における右側のレーザチューブは上述した左側
のレーザチューブとレーザガスの流れる方向を基準とし
て同一構造を有しているので、その説明は省略する。
【０００９】上述した構成によれば、各レーザチューブ
２のマニホールド３、４Ａ、４Ｂに近接した位置の電極
は全てグランド側電極１２となっているので、全てのマ
ニホールド３、４Ａ、４Ｂをグランド側として上記グラ
ンド側電極１２との間隔を狭めても、グランド側電極１
２とマニホールド３、４Ａ、４Ｂの間でリークが生じる
虞がない。また同様な理由からグランド側のマニホール
ド３、４Ａ、４Ｂに近接させてグランド側となる熱交換
器６、９Ａ、９Ｂやブロワ７を設けることができるの
で、レーザ発振器１を小型に製造することができる。ま
た、上記接続チューブ８、８Ａ、８Ｂの内側にスパッタ
が付着したとしても、各構成部材は共にグランドとなっ
ているのでリークが生じることがない。さらに少なくと
も上記非グランド側電極１３、１３をそれぞれ別個の電
線１４を介して直流高電圧回路１５に接続しているの
で、各組一対のグランド側電極１２と非グランド側電極
１３との間で安定した放電を行なわせることができる。
２のマニホールド３、４Ａ、４Ｂに近接した位置の電極
は全てグランド側電極１２となっているので、全てのマ
ニホールド３、４Ａ、４Ｂをグランド側として上記グラ
ンド側電極１２との間隔を狭めても、グランド側電極１
２とマニホールド３、４Ａ、４Ｂの間でリークが生じる
虞がない。また同様な理由からグランド側のマニホール
ド３、４Ａ、４Ｂに近接させてグランド側となる熱交換
器６、９Ａ、９Ｂやブロワ７を設けることができるの
で、レーザ発振器１を小型に製造することができる。ま
た、上記接続チューブ８、８Ａ、８Ｂの内側にスパッタ
が付着したとしても、各構成部材は共にグランドとなっ
ているのでリークが生じることがない。さらに少なくと
も上記非グランド側電極１３、１３をそれぞれ別個の電
線１４を介して直流高電圧回路１５に接続しているの
で、各組一対のグランド側電極１２と非グランド側電極
１３との間で安定した放電を行なわせることができる。
【００１０】図３は上流側の電極１２、１３間の間隔Ｌ
1 を下流側の電極１２、１３間の間隔Ｌ2 よりも短く設
定した効果を説明するための実験結果を示す図である。
この実験は、１本のグランド側電極１２と非グランド側
電極１３とを対向させて行なっており、かつ上流側の間
隔Ｌ1 を２０５ｍｍ、下流側の間隔Ｌ2 を２３５ｍｍと
し、また両者の間隔を同一とした比較装置ではその間隔
を２３５ｍｍとした。同図において、○が本発明装置に
おける上流側の一対の電極についてのデータを、●が下
流側の一対の電極についてのデータを示し、□が比較装
置における上流側のデータを、■が下流側のデータを示
している。同図から理解されるように、電極間の放電が
不安定な状態となるまで設定電流を増大させた際の放電
電流の最大値は、比較装置における上流側が約３１ｍ
Ａ、下流側が約５３ｍＡで合計８４ｍＡとなるのに対
し、本発明における上流側と下流側とはともに約４９ｍ
Ａで合計９８ｍＡとなっており、合計の放電電流を増大
させることができる。そして合計の放電電流を増大させ
ることにより、レーザ光線の出力を増大させることがで
きる。
1 を下流側の電極１２、１３間の間隔Ｌ2 よりも短く設
定した効果を説明するための実験結果を示す図である。
この実験は、１本のグランド側電極１２と非グランド側
電極１３とを対向させて行なっており、かつ上流側の間
隔Ｌ1 を２０５ｍｍ、下流側の間隔Ｌ2 を２３５ｍｍと
し、また両者の間隔を同一とした比較装置ではその間隔
を２３５ｍｍとした。同図において、○が本発明装置に
おける上流側の一対の電極についてのデータを、●が下
流側の一対の電極についてのデータを示し、□が比較装
置における上流側のデータを、■が下流側のデータを示
している。同図から理解されるように、電極間の放電が
不安定な状態となるまで設定電流を増大させた際の放電
電流の最大値は、比較装置における上流側が約３１ｍ
Ａ、下流側が約５３ｍＡで合計８４ｍＡとなるのに対
し、本発明における上流側と下流側とはともに約４９ｍ
Ａで合計９８ｍＡとなっており、合計の放電電流を増大
させることができる。そして合計の放電電流を増大させ
ることにより、レーザ光線の出力を増大させることがで
きる。
【００１１】図４は本発明の他の実施例を示したもの
で、第１実施例では２つのマニホールド間のレーザチュ
ーブ２を一体物から製造しているが、本実施例のレーザ
チューブ１０２は、２つのチューブ１０２Ａ、１０２Ｂ
をセラミックス製の筒状ホルダ１１６で接続することに
より構成している。上記２つのチューブ１０２Ａ、１０
２Ｂの肉厚は同一としてあるが、レーザガスの流れ方向
上流側に位置するチューブ１０２Ａの上流側を大径部１
０２ａとするとともに、その他の部分を小径部１０２ｂ
とし、さらに上記小径部１０２ｂと大径部１０２ａとの
連設部分を傾斜したテーパ部１０２ｃとしている。ま
た、下流側に位置するチューブ１０２Ｂは上記小径部１
０２ｂと同一径で製造してある。上記レーザチューブ１
０２の両端部外周にもセラミックス製の筒状ホルダ１１
７をそれぞれ取付けてあり、各ホルダ１１７には上記レ
ーザチューブ１０２の円周方向等間隔位置に穿設した孔
１０２ｅと重合する挿入孔１１７ａを形成している。つ
まり挿入孔１１７ａは孔１０２ｅを介してレーザチュー
ブ１０２内に臨んでいる。また、中央部の筒状ホルダ１
１６にも円周方向等間隔位置に挿入孔１１６ａを２列で
形成してあり、この挿入孔１１６ａは直接レーザチュー
ブ１０２内に臨んでいる。上記レーザチューブ１０２の
両端部に設けた筒状ホルダ１１７の挿入孔１１７ａには
棒状のグランド側電極１１２をそれぞれ貫通させ、かつ
シール材１１７ｂで各グランド側電極１１２を筒状ホル
ダ１１７に固定するとともに、各挿入孔１１７ａをシー
ルしている。これと同様に、レーザチューブ１０２の中
央部に設けた筒状ホルダ１１６の挿入孔１１６ａに棒状
の非グランド側電極１１３をそれぞれ貫通させ、かつシ
ール材１１６ｂで各非グランド側電極１１３を筒状ホル
ダ１１６に固定するとともに、各挿入孔１１６ａをシー
ルしている。また本実施例においても、レーザガスの流
れ方向の上流側となる一対の電極１１２、１１３間の間
隔Ｌ1 を下流側の一対の電極１１２、１１３間の間隔Ｌ
2 よりも短く設定し、さらに上記大径部１０２ａと小径
部１０２ｂとの比Ｂ／Ａを１．６以上に設定している。
上記構成を有する本実施例によっても、第１実施例と同
等の作用効果を得ることができることは明らかである。
で、第１実施例では２つのマニホールド間のレーザチュ
ーブ２を一体物から製造しているが、本実施例のレーザ
チューブ１０２は、２つのチューブ１０２Ａ、１０２Ｂ
をセラミックス製の筒状ホルダ１１６で接続することに
より構成している。上記２つのチューブ１０２Ａ、１０
２Ｂの肉厚は同一としてあるが、レーザガスの流れ方向
上流側に位置するチューブ１０２Ａの上流側を大径部１
０２ａとするとともに、その他の部分を小径部１０２ｂ
とし、さらに上記小径部１０２ｂと大径部１０２ａとの
連設部分を傾斜したテーパ部１０２ｃとしている。ま
た、下流側に位置するチューブ１０２Ｂは上記小径部１
０２ｂと同一径で製造してある。上記レーザチューブ１
０２の両端部外周にもセラミックス製の筒状ホルダ１１
７をそれぞれ取付けてあり、各ホルダ１１７には上記レ
ーザチューブ１０２の円周方向等間隔位置に穿設した孔
１０２ｅと重合する挿入孔１１７ａを形成している。つ
まり挿入孔１１７ａは孔１０２ｅを介してレーザチュー
ブ１０２内に臨んでいる。また、中央部の筒状ホルダ１
１６にも円周方向等間隔位置に挿入孔１１６ａを２列で
形成してあり、この挿入孔１１６ａは直接レーザチュー
ブ１０２内に臨んでいる。上記レーザチューブ１０２の
両端部に設けた筒状ホルダ１１７の挿入孔１１７ａには
棒状のグランド側電極１１２をそれぞれ貫通させ、かつ
シール材１１７ｂで各グランド側電極１１２を筒状ホル
ダ１１７に固定するとともに、各挿入孔１１７ａをシー
ルしている。これと同様に、レーザチューブ１０２の中
央部に設けた筒状ホルダ１１６の挿入孔１１６ａに棒状
の非グランド側電極１１３をそれぞれ貫通させ、かつシ
ール材１１６ｂで各非グランド側電極１１３を筒状ホル
ダ１１６に固定するとともに、各挿入孔１１６ａをシー
ルしている。また本実施例においても、レーザガスの流
れ方向の上流側となる一対の電極１１２、１１３間の間
隔Ｌ1 を下流側の一対の電極１１２、１１３間の間隔Ｌ
2 よりも短く設定し、さらに上記大径部１０２ａと小径
部１０２ｂとの比Ｂ／Ａを１．６以上に設定している。
上記構成を有する本実施例によっても、第１実施例と同
等の作用効果を得ることができることは明らかである。
【００１２】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、グラン
ド側のマニホールドに近接した電極をグランド側電極と
しているので両者間でリークが生じることがなく、した
がって各構成部材を近接して設けてレーザ発振器を小型
化することでき、またスパッタによるリークが発生する
余地がなく、さらに各非グランド側電極をそれぞれ別個
の電線を介して高電圧回路に接続しているので、各組一
対のグランド側電極と非グランド側電極との間で安定し
た放電を行なわせることができるという効果が得られ
る。
ド側のマニホールドに近接した電極をグランド側電極と
しているので両者間でリークが生じることがなく、した
がって各構成部材を近接して設けてレーザ発振器を小型
化することでき、またスパッタによるリークが発生する
余地がなく、さらに各非グランド側電極をそれぞれ別個
の電線を介して高電圧回路に接続しているので、各組一
対のグランド側電極と非グランド側電極との間で安定し
た放電を行なわせることができるという効果が得られ
る。
【図１】本発明の一実施例を示す配置図。
【図２】図１の左側のレーザチューブ２の拡大断面図。
【図３】設定電流に対する電極間の放電電流を示した実
験結果図。
験結果図。
【図４】本発明の他の実施例を示すレーザチューブの拡
大断面図。
大断面図。
１…レーザ発振器 ２、１０２…レーザ
チューブ ３、４Ａ、４Ｂ…マニホールド（支持部材） ６、９Ａ、９Ｂ…熱交換器 ７…ブロワ １２、１１２…グランド側電極 １３、１１３…非グ
ランド側電極
チューブ ３、４Ａ、４Ｂ…マニホールド（支持部材） ６、９Ａ、９Ｂ…熱交換器 ７…ブロワ １２、１１２…グランド側電極 １３、１１３…非グ
ランド側電極
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザチューブの両端部に設けられて該
レーザチューブを支持する一対のマニホールドと、この
マニホールドを介して上記レーザチューブ内にレーザガ
スを供給するレーザガス供給手段と、上記レーザチュー
ブの長手方向に対向して配設したグランド側電極と非グ
ランド側電極と、これら電極間の放電によって励起され
た光を共振する反射ミラーと出力ミラーとを備えたレー
ザ発振器において、一対のグランド側電極と非グランド側電極とを１組とし
てこれを２組、上 記レーザチューブの長手方向に直列に
配置し、各組の電極のうち相互に隣接してレーザチュー
ブの中央側となる電極をそれぞれ非グランド側電極とす
るとともに、他方のレーザチューブの端部マニホールド
に隣接する側の電極をそれぞれグランド側電極とし、さ
らに上記非グランド側電極をそれぞれ別個の電線を介し
て高電圧回路に接続したことを特徴とするレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9719793A JP2746050B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9719793A JP2746050B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06291391A JPH06291391A (ja) | 1994-10-18 |
| JP2746050B2 true JP2746050B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=14185877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9719793A Expired - Fee Related JP2746050B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2746050B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW337049B (en) * | 1996-02-02 | 1998-07-21 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Laser oscillator |
| JP2008004584A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ発振器 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP9719793A patent/JP2746050B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06291391A (ja) | 1994-10-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5811110B2 (ja) | ガスレ−ザ発生装置 | |
| JP2746050B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| US4736379A (en) | Conduction cooled ion laser | |
| US4907241A (en) | Gas laser device | |
| JP3253008B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| KR100272847B1 (ko) | 레이저발진기 | |
| JPH0445266Y2 (ja) | ||
| JPH09214032A (ja) | レーザ発振器 | |
| US5402035A (en) | Cathode structure for an electron tube | |
| JPS63253680A (ja) | 金属蒸気レ−ザ装置 | |
| JPH09252154A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH0328530Y2 (ja) | ||
| US4864583A (en) | Gas lasers with reduced turn-on delay | |
| JP2606412B2 (ja) | ガスレーザ発振器 | |
| JPH03297181A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP3580677B2 (ja) | マイクロ波管の電子銃構体およびその製造方法 | |
| JPS60206080A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH104230A (ja) | 気体レーザ用電極 | |
| JPH02281671A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH1093163A (ja) | 金属蒸気レ−ザ装置 | |
| JPH0422179A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH10209530A (ja) | 炭酸ガスレーザ発振器 | |
| JP2002237631A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPH0437078A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS63228686A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080213 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090213 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090213 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100213 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110213 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110213 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120213 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130213 Year of fee payment: 15 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |