JPH03297181A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、とくに電源部に特徴を有するガスレーザ発振
装置に関する。

（従来の技術） 第２図は従来の、軸流型ガスレーザ発振装置と呼ばれる
ガスレーザ装置を示すもので、絶縁体からなる放電管の
光軸方向にレーザガスを流し、放電管の両端に設けた電
極間に高電圧を印加してレーザビームを発振させるもの
である。

第２図（ａ）において、１はガラス等の誘電体からなる
放電管、２．３は放電管１の内部に配置された電極、４
はそれら電極２．３に接続された高電圧電源部であり、
たとえば３０ｋＶの高電圧を上記画電極２および３の間
に印加している。５は電極２および３の間のレーザ放電
空間、６はレーザの全反射鏡、７は同じく部分反射鏡で
あり、これらは上記レーザ放電空間５を介して対向配置
されて光共振器を構成している。

また、８は上記の部分反射鏡７から出力されるレーザビ
ームを表わし、矢印９はレーザガスの流れの方向で、レ
ーザガスは軸流型に形成されたレーザ装置の中を循環し
ている。１０は送気管、１１゜１２は上記レーザ放電空
間５における放電、および送風機により上昇するレーザ
ガスの温度を低減させるだめの熱交換器、そして１３は
送風機であり、通常、レーザ発振のためにはレーザ放電
空間５において、約１００ｍ／ｓｅｅ程度のガス流が得
られるように送風される。

従来の軸流型ガスレーザ発振装置は上記のように構成さ
れ、まず電極２および３に高電圧電源部４から高電圧を
印加し、レーザ放電空間５にグロー放電を発生させる。

レーザ放電空間５を通過するレーザガスは、上記グロー
放電の放電エネルギーにより発振が励起され、その励起
されたレーザガスは全反射鏡６および部分反射＠３７に
より構成された光共振器により共振状態となって、部分
反射鏡７からレーザビーム８として出力され、それはレ
ーザ加工等に用いられる。

第２図（ｂ）は他の従来例として、複数の放電管によっ
て構成されたガスレーザ装置を示すものである。１４は
電源の陽極であり全反射鏡６、および部分反射鏡７が対
向して構成された光共振器の中央部に１個配置されてお
り、それに対する陰極は上記全反射鏡６および部分反射
鏡７の近傍それぞれに１５．１５’として形成されてお
り、複数の放電管の放電電流のバランスをとるために接
地されておらず高電圧となされている。

（発明が解決しようとする課題） 上述したような従来のガスレーザ発振装置は、特に電源
部における陰極１５．１５’の近傍には全反射鏡６、お
よび部分反射！７が配置されており、それらの光共振器
を構成する全反射鏡や部分反射鏡の角度の調整には大き
な危険を伴い、また、他の接地部との絶縁を保証するた
めには、装置が大型になる問題点を有している。

本発明は、上述従来の問題点に鑑み高電圧電源による安
全性と信頼性を確保するガスレーザ発振装置の提供を目
的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記の目的を、全反射鏡と部分反射鏡とを光軸
を一致させ、両端に電極を有する放電管を介在対向させ
て光共振器を構成し、上記、放電管内にレーザガスを流
送し、上記電極に高電圧を印加し放電させ光共振器の軸
方向にレーザビームを発生させる、軸流型ガスレーザ発
振装置において、上記電極の一方を接地を兼ねる陰極と
して光共振器の全反射鏡および部分反射鏡の近傍に固定
接続するとともに、上記、他方の電極を陽極として光共
振器の中央部近傍に固定接続し、絶縁体で被覆させる構
成により達成する。

（作　用） 本発明によれば、光共振器の構造によって高電圧電源の
暴露部分が激減するから、安全性および信頼性が極めて
高いガスレーザ発振装置となる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図は本発明の一実施例の構成図で要部の高電圧電源
の接続点を設ける光共振器部分の詳細を示している。高
電圧電源は上記光共振器の全反射鏡６および部分反射鏡
７の近傍に陰極１５．、１５’を形成し、さらに光共振
器の中央部に陽極１４を設置し、それら陰極１５．１５
’、陽極１４は各々絶縁している。

したがって曝される高電圧部分が激減し安全となり、と
くに、全反射＠６および部分反射鏡７等の角度調整が安
全容易になる。

以上、説明して判る通り本発明は、高電圧電源部を安全
に処理したもので、レーザの調整等について安全な構造
である。

（発明の効果） 以上説明して明らかなように本発明は、ガスレーザ発振
回路において高電圧電源の陽極部を印加する電極を、光
共振器の中央部近傍に複数個設置し、対応する陰極の電
極を光共振器内に設置し、前記陽極間を絶縁体によって
被覆するから、高電圧電源の露出部が激減され、電撃の
危険が少なくなるから全反射鏡および部分反射鏡の光共
振器としての対向調整のための角度調整が容易となるか
ら用いて益するところがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は従来のガ
スレーザ発振器の構成を示す図である。 １・・・放電管、　２，３・・・電極、　４・・・高電
圧電源部、　　５・・・レーザ放電空間。 ６・・・全反射鏡、 ７・・・部分反射鏡、 ０ ・・・送気管、 １１゜ １２・・・熱交換器。 １３・・・ 送風機、 １４・・・陽極、 １５゜ １５’・・・陰極 （接地）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 全反射鏡と部分反射鏡とを光軸を一致させ、両端に電極
   を有する放電管を介在対向させて光共振器を構成し、上
   記、放電管内にレーザガスを流送し、上記電極に高電圧
   を印加し放電させ光共振器の軸方向にレーザビームを発
   生させる、軸流型ガスレーザ発振装置において、上記電
   極の一方を接地を兼ねる陰極として光共振器の全反射鏡
   および部分反射鏡の近傍に固定接続するとともに、上記
   、他方の電極を陽極として光共振器の中央部近傍に固定
   接続し、絶縁体で被覆させたことを特徴とするガスレー
   ザ発振装置。