JPH09214032A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH09214032A JPH09214032A JP8040389A JP4038996A JPH09214032A JP H09214032 A JPH09214032 A JP H09214032A JP 8040389 A JP8040389 A JP 8040389A JP 4038996 A JP4038996 A JP 4038996A JP H09214032 A JPH09214032 A JP H09214032A
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 レーザチューブ２には２対の主電極１
２，１３を設けてあり、レーザチューブ２内のガスは左
方から右方に向けて流通するようになっている。またガ
スの流通方向における上流側（左方側）の主電極１２よ
りも上流の位置には、リング状をした一対の予備電離用
電極２１を配設している。これら予備電離用電極２１
は、レーザチューブ２の円周方向全域において、相互に
等間隔を維持して配設されている。さらに、この予備電
離用電極２１には、それ専用の高圧の交流電源２２を接
続している。そして、主電極１２，１３に電圧を印加す
る直前に、交流電源２２から予備電離用電極２１に交流
の高圧電圧を印加して、予備電離を生じさせるようにし
ている。 【効果】 予備電離用電極２１を設けたことにより、一
様な予備電離を行うことができるので、主電極による安
定した主放電を行わせることができる。
２，１３を設けてあり、レーザチューブ２内のガスは左
方から右方に向けて流通するようになっている。またガ
スの流通方向における上流側（左方側）の主電極１２よ
りも上流の位置には、リング状をした一対の予備電離用
電極２１を配設している。これら予備電離用電極２１
は、レーザチューブ２の円周方向全域において、相互に
等間隔を維持して配設されている。さらに、この予備電
離用電極２１には、それ専用の高圧の交流電源２２を接
続している。そして、主電極１２，１３に電圧を印加す
る直前に、交流電源２２から予備電離用電極２１に交流
の高圧電圧を印加して、予備電離を生じさせるようにし
ている。 【効果】 予備電離用電極２１を設けたことにより、一
様な予備電離を行うことができるので、主電極による安
定した主放電を行わせることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ発振器に関し、よ
り詳しくは、予備電離用電極を備えたレーザ発振器に関
する。
り詳しくは、予備電離用電極を備えたレーザ発振器に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ発振器として、例えば特開
平６−２９１３９１号公報が公知である。この装置で
は、レーザチューブの両端部を支持部材によって支持
し、そのチューブ内の軸方向に２組の主電極を設けたも
のである。ところで、このような主電極だけを備えた従
来のレーザ発振器では、駆動開始時に主電極による放電
が円滑に行われないことがあった。そこで、従来では、
主電極の他に予備電離用電極を設けて、予備電離を行わ
せてから主放電を行わせるレーザ発振器が提案されてい
る。このようなものとして、例えば主電極のカソードと
予備電離用電極としてのリングとの間で予備電離を行わ
せるものが提案されている（例えば、特開平１−１０３
８８９号公報、特開平４−１５９７４号公報、特開平４
−２２１７８号公報）。また、第２に、予備電離用電極
としてのピンと主電極のアノードとの間で予備電離を行
わせるものも提案されている（例えば、特公平６−１０
５８１２号公報）。さらに、第３に予備電離用電極とし
てのリングと主電極のアノードとの間で予備電離を行わ
せるものが提案されている（例えば、特公平７−５４８
６４号公報）。
平６−２９１３９１号公報が公知である。この装置で
は、レーザチューブの両端部を支持部材によって支持
し、そのチューブ内の軸方向に２組の主電極を設けたも
のである。ところで、このような主電極だけを備えた従
来のレーザ発振器では、駆動開始時に主電極による放電
が円滑に行われないことがあった。そこで、従来では、
主電極の他に予備電離用電極を設けて、予備電離を行わ
せてから主放電を行わせるレーザ発振器が提案されてい
る。このようなものとして、例えば主電極のカソードと
予備電離用電極としてのリングとの間で予備電離を行わ
せるものが提案されている（例えば、特開平１−１０３
８８９号公報、特開平４−１５９７４号公報、特開平４
−２２１７８号公報）。また、第２に、予備電離用電極
としてのピンと主電極のアノードとの間で予備電離を行
わせるものも提案されている（例えば、特公平６−１０
５８１２号公報）。さらに、第３に予備電離用電極とし
てのリングと主電極のアノードとの間で予備電離を行わ
せるものが提案されている（例えば、特公平７−５４８
６４号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上述した予
備電離用電極を備えた従来の装置では、予備電離用電極
のうちの一方は、主電極によって兼用させていたもので
ある。そのため、このような従来の装置では、レーザチ
ューブの外径が大きくなると、レーザチューブの半径方
向に対して一様な予備電離が行われないという欠点があ
った。また、主電極による主放電を行う前に、主電極の
電源となる高圧の直流電源を予め低い出力で駆動させな
ければならないという欠点も指摘されていたものであ
る。
備電離用電極を備えた従来の装置では、予備電離用電極
のうちの一方は、主電極によって兼用させていたもので
ある。そのため、このような従来の装置では、レーザチ
ューブの外径が大きくなると、レーザチューブの半径方
向に対して一様な予備電離が行われないという欠点があ
った。また、主電極による主放電を行う前に、主電極の
電源となる高圧の直流電源を予め低い出力で駆動させな
ければならないという欠点も指摘されていたものであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような事情に鑑
み、本発明は、レーザチューブ内に設けた少なくとも一
対の主電極と、上記主電極に高電圧を印加する直流電源
と、上記レーザチューブ内にガスを供給し、かつレーザ
チューブ内でガスを流通させるガス供給手段とを備えた
レーザ発振器において、上記レーザチューブ内を流通す
るガスの流通方向における上記主電極よりも上流側に、
リング状をした一対の予備電離用電極を配設し、また、
上記予備電離用電極に高圧のパルス波または交流の高電
圧を印加する予備電離用電源を配設したものである。
み、本発明は、レーザチューブ内に設けた少なくとも一
対の主電極と、上記主電極に高電圧を印加する直流電源
と、上記レーザチューブ内にガスを供給し、かつレーザ
チューブ内でガスを流通させるガス供給手段とを備えた
レーザ発振器において、上記レーザチューブ内を流通す
るガスの流通方向における上記主電極よりも上流側に、
リング状をした一対の予備電離用電極を配設し、また、
上記予備電離用電極に高圧のパルス波または交流の高電
圧を印加する予備電離用電源を配設したものである。
【０００５】
【作用】このような構成によれば、予備電離用電極は主
電極とは別個に設けてあり、かつ予備電離用電源は主電
極用の直流電源とは別個に設けている。そのため、レー
ザチューブの外径の大小に拘りなく、予備電離用電極に
よって一様な予備電離を行うことができるので、主電極
による安定した主放電を行わせることができる。換言す
ると、レーザチューブの外径が大きくなったとしても、
予備電離用電極によって一様な予備電離を行うことがで
きる。また、予備電離用電源は主電極用の直流電源とは
別個に設けていることにより、所要の出力のレーザ光線
を得る時だけ主電極用の直流電源を駆動させればよい。
換言すると、主放電を行う前に、主電極の電源となる高
圧の直流電源を予め低い出力で駆動させる必要がない。
電極とは別個に設けてあり、かつ予備電離用電源は主電
極用の直流電源とは別個に設けている。そのため、レー
ザチューブの外径の大小に拘りなく、予備電離用電極に
よって一様な予備電離を行うことができるので、主電極
による安定した主放電を行わせることができる。換言す
ると、レーザチューブの外径が大きくなったとしても、
予備電離用電極によって一様な予備電離を行うことがで
きる。また、予備電離用電源は主電極用の直流電源とは
別個に設けていることにより、所要の出力のレーザ光線
を得る時だけ主電極用の直流電源を駆動させればよい。
換言すると、主放電を行う前に、主電極の電源となる高
圧の直流電源を予め低い出力で駆動させる必要がない。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図１において、レーザ発振器１は同一構造を有する
２本のレーザチューブ２をその軸方向に縦に配設してあ
り、これらレーザチューブ２の互いに対向する一端部を
共通の支持部材としてのマニホールド３で支持するとと
もに、各レーザチューブ２の他端部を支持部材としての
マニホールド４Ａ、４Ｂによってそれぞれ支持してい
る。レーザガス供給手段５は、両端部のマニホールド４
Ａ、４Ｂを介して各レーザチューブ２内にレーザガスを
供給するとともに、各レーザチューブ２内のレーザガス
を中央部のマニホールド３から外部に排出し、そのレー
ザガスを再び両端部のマニホールド４Ａ、４Ｂから各レ
ーザチューブ２内に循環供給することができるようにな
っている。上記レーザガス供給手段５は、中央部のマニ
ホールド３の下流側に、上記各レーザチューブ２から排
出されてきたレーザガスを冷却する熱交換器６と、この
熱交換器６の下流側のブロワ７とを備えており、上記マ
ニホールド３と熱交換器６との間、および熱交換器６と
ブロワ７との間をそれぞれ接続チューブ８で接続してい
る。上記ブロワ７は２方向にレーザガスを送り出すこと
ができるようになっており、上記ブロワ７より２つに分
岐された一方のレーザガスは接続チューブ８Ａ、レーザ
ガスを加熱する熱交換器９Ａおよび上記マニホールド４
Ａを介して一方のレーザチューブ２に供給され、他方の
レーザガスは接続チューブ８Ｂ、レーザガスを加熱する
熱交換器９Ｂおよび上記マニホールド４Ｂを介して他方
のレーザチューブ２に供給されるようになっている。と
ころで、上記各接続チューブ８、８Ａ、８Ｂは非絶縁材
より製造されており、これら接続チューブの形状はそれ
ぞれ円筒状となっている。また、一方のマニホールド４
Ｂにはレーザチューブ２内で励起されたレーザ光を反射
する反射ミラー１０を設けてあり、また他方のマニホー
ルド４Ａにはレーザチューブ２内で励起されたレーザ光
を反射するとともにそのレーザ光を透過させる出力ミラ
ー１１を設けている。上記反射ミラー１０と出力ミラー
１１とは２本のレーザチューブ２の軸線上に対向させて
設けてあり、これら一対のミラー１０、１１で共振され
たレーザ光を上記出力ミラー１１から左方側にむけて放
射させることができるようになっている。然して、上記
レーザチューブ２のそれぞれには、互いに対向する一対
の主電極１２、１３を二組直列に設け、各一対の主電極
のうち一方の電極をグランド側電極１２として各レーザ
チューブ２の端部側に、すなわちマニホールド３、４
Ａ、４Ｂ側にそれぞれ配置し、かつ他方の非グランド側
電極１３を各レーザチューブ２の中央部に配置してい
る。このとき、グランド側電極１２を陽極、非グランド
側電極１３を陰極としても、或いはこれとは逆にグラン
ド側電極１２を陰極、非グランド側電極１３を陽極とし
てもよい。上記各一対の主電極１２、１３は電線１４を
介して、電源としての直流高電圧回路１５に接続してあ
り、レーザチューブ２内にレーザガスを流通させた状態
で一対の主電極１２、１３間に高電圧を印加することに
より、一対の主電極間で放電を行なわせてレーザガスを
励起することができるようになっている。すなわち、主
放電を行わせるようにしている。図２は図１の左側のレ
ーザチューブ２の拡大断面図であり、該レーザチューブ
２の肉厚は軸方向の全域において同一としているが、軸
方向における左右両端部および中央部を大径部２ａとす
るとともにその他の部分を小径部２ｂとし、それら小径
部２ｂと大径部２ａとの連続部分をテーパ部２ｃで接続
している。そして上記グランド側電極１２をレーザチュ
ーブ２の左右両端の大径部２ａに設けるとともに、非グ
ランド側電極１３をレーザチューブ２の中央側の大径部
２ａに設けている。上記レーザチューブ２の大径部２ａ
には半径方向外方に突出させて形成した突出部２ｄを形
成してあり、各突出部２ｄの中央に棒状のグランド側電
極１２又は非グランド側電極１３を放射方向に貫通させ
てコバールで固定している。このコバールは、各主電極
１２、１３が熱膨張した際にその熱膨張を吸収する目的
で設けたものである。上記突出部２ｄはレーザチューブ
２の円周方向等間隔位置に例えば８個設けてあり、それ
ぞれの突出部２ｄにグランド側電極１２又は非グランド
側電極１３を設けている。つまりグランド側電極１２又
は非グランド側電極１３は、円周方向の８個が１組とな
っている。上記各主電極１２、１３はそのレーザチュー
ブ２内の先端部がＬ字形に折曲げてあり、一対の主電極
１２、１３のＬ字形に折曲げた先端部を軸方向に対向さ
せている。このとき各主電極１２、１３の先端部は、レ
ーザチューブ２の小径部２ｂの内周面よりも僅かに半径
方向外方に位置するようにしている。さらに、上記二対
の主電極のうち、レーザガスの流れ方向の上流側（左方
側）となる一対の主電極１２、１３間の間隔Ｌ１を下流
側の一対の主電極１２、１３間の間隔Ｌ２よりも短く設
定している。これによって、レーザ出力を増大すること
ができるようにしている。また、上記レーザチューブ２
の小径部２ｂの内径をＡ、大径部２ａの内径をＢとした
ときに、この小径部２ｂと大径部２ａとの比Ｂ／Ａが
１．２程度だと上記テーパ部２ｃの傾斜が緩やか過ぎる
ため、左側より流入されたレーザガスはレーザチューブ
２のチューブ内周面に沿って流れてしまい、主放電が良
好に行なわれない。そこで上記大径部２ａと小径部２ｂ
との比Ｂ／Ａを１．６以上として上記テーパ部２ｃで充
分な乱流を発生させ、レーザチューブ２内で均一な主放
電を行なうことができるようにしている。さらに、本実
施例では、上記レーザチューブ２におけるレーザガスの
流通方向における最も上流側の主電極１２よりも上流と
なる外周部に、リング状をした一対の予備電離用電極２
１を設けている。図３に拡大して示すように、この予備
電離用電極２１は銅製の薄板から構成している。そし
て、これら一対の予備電離用電極２１は、レーザチュー
ブ２の円周方向全域において、それらが隔てた距離Ｌ
３、つまりレーザチューブ２の軸方向における両予備電
離用電極２１の間隔は等間隔となるように、それら両予
備電離用電極２１をレーザチューブ２の外周面に取り付
けている。また、これら両予備電離用電極２１は、それ
専用の高圧の交流電源２２に接続している。そして、上
述した主電極１２，１３による主放電を行わせる直前
に、予備電離用電極２１の交流電源２２から両予備電離
用電極２１に３０００Ｖの交流電圧を印加するようにし
ている。これによって、両予備電離用電極２１を設けた
位置のレーザチューブ２内で予備電離を生じさせるよう
にしている。このようにすることで、その後の主放電を
円滑に行わせる様にしている。なお、図１における右側
のレーザチューブは上述した左側のレーザチューブとレ
ーザガスの流れる方向を基準として同一構造を有してい
るので、その説明は省略する。上述した本実施例の構成
によれば、各レーザチューブ２の支持部材としてのマニ
ホールド３、４Ａ、４Ｂに近接した位置の主電極は全て
グランド側電極１２となっているので、全てのマニホー
ルド３、４Ａ、４Ｂをグランド側として上記グランド側
電極１２との間隔を狭めても、グランド側電極１２とマ
ニホールド３、４Ａ、４Ｂの間でリークが生じる虞がな
い。また同様な理由からグランド側のマニホールド３、
４Ａ、４Ｂに近接させてグランド側となる熱交換器６、
９Ａ、９Ｂやブロワ７を設けることができるので、レー
ザ発振器１を小型に製造することができる。また、上記
接続チューブ８、８Ａ、８Ｂの内側にスパッタが付着し
たとしても、各構成部材は共にグランドとなっているの
でリークが生じることがない。さらに、本実施例では、
リング状をした一対の予備電離用電極２１を主電極１
２，１３とは別個に備えるとともに、予備電離用電極２
１専用の交流電源２２を備えている。そのため、レーザ
チューブ２の径の大小に拘りなくレーザチューブ２内に
おいて均一な予備電離を生じさせることができる。それ
によって、主電極１２，１３による主放電も安定して円
滑に行わせることができる。しかも、一対の予備電離用
電極２１を、円周方向全域において等距離で離隔させて
あるので、円周方向全域において均一な予備電離を生じ
させることができる。 （第２実施例）次に、図４ないし図５は、本発明の第２
実施例を示したものである。この第２実施例では、予備
電離用電極１２１を断面円形の銅線から構成したもので
ある。またこの第２実施例では、レーザチューブ１０２
の外周面に、軸方向に所定寸法だけ離隔させた一対の環
状溝１０２ｅを形成してあり、これらの環状溝１０２ｅ
内に上記銅線からなる予備電離用電極１２１を配設した
ものである。なお、この第２実施例では、レーザチュー
ブ１０２の外周面に上述した環状溝１０２ｅを形成した
関係で、それらの位置と対応するレーザチューブ１０２
の内周面に、環状突起１０２ｅ’が形成されている。こ
のような構成の第２実施例であっても、上述した第１実
施例と同様の作用効果を得ることができる。 （第３実施例）次に図６は本発明の第３実施例を示した
ものである。この第３実施例のレーザチューブ２０２
は、上記第２実施例のレーザチューブ１０２における環
状突起１０２ｅ’を省略して滑らかな内周面としたもの
である。その他の構成は、上記第２実施例のものと同じ
であり、このような第３実施例の構成であっても上記第
２実施例と同様の作用効果を得ることができる。なお、
上記各実施例では予備電離用電極２１用の電源として、
高圧の交流電源２２を用いているが、交流電源２２の代
わりに高圧のパルス波を発生させる電源を用い、この電
源から予備電離用電極２１に対して高圧のパルス波を印
加するようにしても良い。
と、図１において、レーザ発振器１は同一構造を有する
２本のレーザチューブ２をその軸方向に縦に配設してあ
り、これらレーザチューブ２の互いに対向する一端部を
共通の支持部材としてのマニホールド３で支持するとと
もに、各レーザチューブ２の他端部を支持部材としての
マニホールド４Ａ、４Ｂによってそれぞれ支持してい
る。レーザガス供給手段５は、両端部のマニホールド４
Ａ、４Ｂを介して各レーザチューブ２内にレーザガスを
供給するとともに、各レーザチューブ２内のレーザガス
を中央部のマニホールド３から外部に排出し、そのレー
ザガスを再び両端部のマニホールド４Ａ、４Ｂから各レ
ーザチューブ２内に循環供給することができるようにな
っている。上記レーザガス供給手段５は、中央部のマニ
ホールド３の下流側に、上記各レーザチューブ２から排
出されてきたレーザガスを冷却する熱交換器６と、この
熱交換器６の下流側のブロワ７とを備えており、上記マ
ニホールド３と熱交換器６との間、および熱交換器６と
ブロワ７との間をそれぞれ接続チューブ８で接続してい
る。上記ブロワ７は２方向にレーザガスを送り出すこと
ができるようになっており、上記ブロワ７より２つに分
岐された一方のレーザガスは接続チューブ８Ａ、レーザ
ガスを加熱する熱交換器９Ａおよび上記マニホールド４
Ａを介して一方のレーザチューブ２に供給され、他方の
レーザガスは接続チューブ８Ｂ、レーザガスを加熱する
熱交換器９Ｂおよび上記マニホールド４Ｂを介して他方
のレーザチューブ２に供給されるようになっている。と
ころで、上記各接続チューブ８、８Ａ、８Ｂは非絶縁材
より製造されており、これら接続チューブの形状はそれ
ぞれ円筒状となっている。また、一方のマニホールド４
Ｂにはレーザチューブ２内で励起されたレーザ光を反射
する反射ミラー１０を設けてあり、また他方のマニホー
ルド４Ａにはレーザチューブ２内で励起されたレーザ光
を反射するとともにそのレーザ光を透過させる出力ミラ
ー１１を設けている。上記反射ミラー１０と出力ミラー
１１とは２本のレーザチューブ２の軸線上に対向させて
設けてあり、これら一対のミラー１０、１１で共振され
たレーザ光を上記出力ミラー１１から左方側にむけて放
射させることができるようになっている。然して、上記
レーザチューブ２のそれぞれには、互いに対向する一対
の主電極１２、１３を二組直列に設け、各一対の主電極
のうち一方の電極をグランド側電極１２として各レーザ
チューブ２の端部側に、すなわちマニホールド３、４
Ａ、４Ｂ側にそれぞれ配置し、かつ他方の非グランド側
電極１３を各レーザチューブ２の中央部に配置してい
る。このとき、グランド側電極１２を陽極、非グランド
側電極１３を陰極としても、或いはこれとは逆にグラン
ド側電極１２を陰極、非グランド側電極１３を陽極とし
てもよい。上記各一対の主電極１２、１３は電線１４を
介して、電源としての直流高電圧回路１５に接続してあ
り、レーザチューブ２内にレーザガスを流通させた状態
で一対の主電極１２、１３間に高電圧を印加することに
より、一対の主電極間で放電を行なわせてレーザガスを
励起することができるようになっている。すなわち、主
放電を行わせるようにしている。図２は図１の左側のレ
ーザチューブ２の拡大断面図であり、該レーザチューブ
２の肉厚は軸方向の全域において同一としているが、軸
方向における左右両端部および中央部を大径部２ａとす
るとともにその他の部分を小径部２ｂとし、それら小径
部２ｂと大径部２ａとの連続部分をテーパ部２ｃで接続
している。そして上記グランド側電極１２をレーザチュ
ーブ２の左右両端の大径部２ａに設けるとともに、非グ
ランド側電極１３をレーザチューブ２の中央側の大径部
２ａに設けている。上記レーザチューブ２の大径部２ａ
には半径方向外方に突出させて形成した突出部２ｄを形
成してあり、各突出部２ｄの中央に棒状のグランド側電
極１２又は非グランド側電極１３を放射方向に貫通させ
てコバールで固定している。このコバールは、各主電極
１２、１３が熱膨張した際にその熱膨張を吸収する目的
で設けたものである。上記突出部２ｄはレーザチューブ
２の円周方向等間隔位置に例えば８個設けてあり、それ
ぞれの突出部２ｄにグランド側電極１２又は非グランド
側電極１３を設けている。つまりグランド側電極１２又
は非グランド側電極１３は、円周方向の８個が１組とな
っている。上記各主電極１２、１３はそのレーザチュー
ブ２内の先端部がＬ字形に折曲げてあり、一対の主電極
１２、１３のＬ字形に折曲げた先端部を軸方向に対向さ
せている。このとき各主電極１２、１３の先端部は、レ
ーザチューブ２の小径部２ｂの内周面よりも僅かに半径
方向外方に位置するようにしている。さらに、上記二対
の主電極のうち、レーザガスの流れ方向の上流側（左方
側）となる一対の主電極１２、１３間の間隔Ｌ１を下流
側の一対の主電極１２、１３間の間隔Ｌ２よりも短く設
定している。これによって、レーザ出力を増大すること
ができるようにしている。また、上記レーザチューブ２
の小径部２ｂの内径をＡ、大径部２ａの内径をＢとした
ときに、この小径部２ｂと大径部２ａとの比Ｂ／Ａが
１．２程度だと上記テーパ部２ｃの傾斜が緩やか過ぎる
ため、左側より流入されたレーザガスはレーザチューブ
２のチューブ内周面に沿って流れてしまい、主放電が良
好に行なわれない。そこで上記大径部２ａと小径部２ｂ
との比Ｂ／Ａを１．６以上として上記テーパ部２ｃで充
分な乱流を発生させ、レーザチューブ２内で均一な主放
電を行なうことができるようにしている。さらに、本実
施例では、上記レーザチューブ２におけるレーザガスの
流通方向における最も上流側の主電極１２よりも上流と
なる外周部に、リング状をした一対の予備電離用電極２
１を設けている。図３に拡大して示すように、この予備
電離用電極２１は銅製の薄板から構成している。そし
て、これら一対の予備電離用電極２１は、レーザチュー
ブ２の円周方向全域において、それらが隔てた距離Ｌ
３、つまりレーザチューブ２の軸方向における両予備電
離用電極２１の間隔は等間隔となるように、それら両予
備電離用電極２１をレーザチューブ２の外周面に取り付
けている。また、これら両予備電離用電極２１は、それ
専用の高圧の交流電源２２に接続している。そして、上
述した主電極１２，１３による主放電を行わせる直前
に、予備電離用電極２１の交流電源２２から両予備電離
用電極２１に３０００Ｖの交流電圧を印加するようにし
ている。これによって、両予備電離用電極２１を設けた
位置のレーザチューブ２内で予備電離を生じさせるよう
にしている。このようにすることで、その後の主放電を
円滑に行わせる様にしている。なお、図１における右側
のレーザチューブは上述した左側のレーザチューブとレ
ーザガスの流れる方向を基準として同一構造を有してい
るので、その説明は省略する。上述した本実施例の構成
によれば、各レーザチューブ２の支持部材としてのマニ
ホールド３、４Ａ、４Ｂに近接した位置の主電極は全て
グランド側電極１２となっているので、全てのマニホー
ルド３、４Ａ、４Ｂをグランド側として上記グランド側
電極１２との間隔を狭めても、グランド側電極１２とマ
ニホールド３、４Ａ、４Ｂの間でリークが生じる虞がな
い。また同様な理由からグランド側のマニホールド３、
４Ａ、４Ｂに近接させてグランド側となる熱交換器６、
９Ａ、９Ｂやブロワ７を設けることができるので、レー
ザ発振器１を小型に製造することができる。また、上記
接続チューブ８、８Ａ、８Ｂの内側にスパッタが付着し
たとしても、各構成部材は共にグランドとなっているの
でリークが生じることがない。さらに、本実施例では、
リング状をした一対の予備電離用電極２１を主電極１
２，１３とは別個に備えるとともに、予備電離用電極２
１専用の交流電源２２を備えている。そのため、レーザ
チューブ２の径の大小に拘りなくレーザチューブ２内に
おいて均一な予備電離を生じさせることができる。それ
によって、主電極１２，１３による主放電も安定して円
滑に行わせることができる。しかも、一対の予備電離用
電極２１を、円周方向全域において等距離で離隔させて
あるので、円周方向全域において均一な予備電離を生じ
させることができる。 （第２実施例）次に、図４ないし図５は、本発明の第２
実施例を示したものである。この第２実施例では、予備
電離用電極１２１を断面円形の銅線から構成したもので
ある。またこの第２実施例では、レーザチューブ１０２
の外周面に、軸方向に所定寸法だけ離隔させた一対の環
状溝１０２ｅを形成してあり、これらの環状溝１０２ｅ
内に上記銅線からなる予備電離用電極１２１を配設した
ものである。なお、この第２実施例では、レーザチュー
ブ１０２の外周面に上述した環状溝１０２ｅを形成した
関係で、それらの位置と対応するレーザチューブ１０２
の内周面に、環状突起１０２ｅ’が形成されている。こ
のような構成の第２実施例であっても、上述した第１実
施例と同様の作用効果を得ることができる。 （第３実施例）次に図６は本発明の第３実施例を示した
ものである。この第３実施例のレーザチューブ２０２
は、上記第２実施例のレーザチューブ１０２における環
状突起１０２ｅ’を省略して滑らかな内周面としたもの
である。その他の構成は、上記第２実施例のものと同じ
であり、このような第３実施例の構成であっても上記第
２実施例と同様の作用効果を得ることができる。なお、
上記各実施例では予備電離用電極２１用の電源として、
高圧の交流電源２２を用いているが、交流電源２２の代
わりに高圧のパルス波を発生させる電源を用い、この電
源から予備電離用電極２１に対して高圧のパルス波を印
加するようにしても良い。
【０００７】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、予備電
離用電極によって一様な予備電離を行うことができるの
で、主電極による安定した主放電を行わせることができ
るという効果が得られる。
離用電極によって一様な予備電離を行うことができるの
で、主電極による安定した主放電を行わせることができ
るという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す配置図。
【図２】図１の左側のレーザチューブ２の拡大断面図。
【図３】図２の要部の拡大断面図。
【図４】本発明の他の実施例を示す要部の断面図。
【図５】図５の要部の拡大図。
【図６】本発明の他の実施例を示す要部の断面図。
１…レーザ発振器 ２…レーザチュ
ーブ ５…レーザガス供給手段 １２，１３…主
電極 １５…直流高圧回路（直流電源） ２１…予備電離
用電極 ２２…交流電源（予備電離用の電源）
ーブ ５…レーザガス供給手段 １２，１３…主
電極 １５…直流高圧回路（直流電源） ２１…予備電離
用電極 ２２…交流電源（予備電離用の電源）
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザチューブ内に設けた少なくとも一
対の主電極と、上記主電極に高電圧を印加する直流電源
と、上記レーザチューブ内にガスを供給し、かつレーザ
チューブ内でガスを流通させるガス供給手段とを備えた
レーザ発振器において、 上記レーザチューブ内を流通するガスの流通方向におけ
る上記主電極よりも上流側に、リング状をした一対の予
備電離用電極を配設し、 また、上記予備電離用電極に高圧のパルス波または交流
の高電圧を印加する予備電離用電源を配設したことを特
徴とするレーザ発振器。 - 【請求項２】 上記一対の予備電離用電極は、レーザチ
ューブの外周面に、レーザチューブの軸方向において所
定の間隔を維持して設けられていることを特徴とする請
求項１に記載のレーザ発振器。 - 【請求項３】 上記一対の予備電離用電極は、レーザチ
ューブの外周部に軸方向に離隔させて形成した一対の環
状溝内に設けられていることを特徴とする請求項１ない
し請求項２に記載のレーザ発振器。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4038996A JP3132548B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | レーザ発振器 |
| TW086100849A TW337049B (en) | 1996-02-02 | 1997-01-24 | Laser oscillator |
| US08/790,026 US5790582A (en) | 1996-02-02 | 1997-01-28 | Laser oscillator |
| DE69707521T DE69707521T2 (de) | 1996-02-02 | 1997-01-30 | Laseroszillator |
| EP97300624A EP0788201B1 (en) | 1996-02-02 | 1997-01-30 | Laser oscillator |
| KR1019970003236A KR100272847B1 (ko) | 1996-02-02 | 1997-02-03 | 레이저발진기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4038996A JP3132548B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09214032A true JPH09214032A (ja) | 1997-08-15 |
| JP3132548B2 JP3132548B2 (ja) | 2001-02-05 |
Family
ID=12579311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4038996A Expired - Fee Related JP3132548B2 (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3132548B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023188645A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 精電舎電子工業株式会社 | パルスガスレーザ装置 |
-
1996
- 1996-02-02 JP JP4038996A patent/JP3132548B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023188645A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 精電舎電子工業株式会社 | パルスガスレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3132548B2 (ja) | 2001-02-05 |
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